JPS6127178A - 開先エツジ部の検出方法 - Google Patents
開先エツジ部の検出方法Info
- Publication number
- JPS6127178A JPS6127178A JP14719184A JP14719184A JPS6127178A JP S6127178 A JPS6127178 A JP S6127178A JP 14719184 A JP14719184 A JP 14719184A JP 14719184 A JP14719184 A JP 14719184A JP S6127178 A JPS6127178 A JP S6127178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- groove
- light
- beveling
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q35/00—Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually
- B23Q35/04—Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually using a feeler or the like travelling along the outline of the pattern, model or drawing; Feelers, patterns, or models therefor
- B23Q35/08—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work
- B23Q35/12—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means
- B23Q35/127—Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means using non-mechanical sensing
- B23Q35/128—Sensing by using optical means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Machine Tool Copy Controls (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は溶接あるいは溶接前の開先りＩＪ ＝ング等
の前処理において、溶接トーチ等を開先に沿って倣わす
開先倣い装置の開先の工、ジ位置を精度良く検出する方
法に関する。
の前処理において、溶接トーチ等を開先に沿って倣わす
開先倣い装置の開先の工、ジ位置を精度良く検出する方
法に関する。
（従来技術）
従来、開先倣い装置として最も良く使用されている装置
に、機械式の倣いロールや電磁プローブが知られている
。第６図は機械式の倣い四−ルによる開先倣い装置の一
構成例を示したものである。
に、機械式の倣いロールや電磁プローブが知られている
。第６図は機械式の倣い四−ルによる開先倣い装置の一
構成例を示したものである。
ｌは開先ａを有する被溶接材（母材）である。この開先
ａ内面に沿って移動する倣いロール２の軸に取付けられ
たポテンショメータ３により倣い四−ル２の位置を電気
信号４に変換し、溶接トーチ駆動装置５に入力すること
により開先ａを倣うものである。本方式は機械的にも電
気的にも非常に簡易な装置構造で実施可能であるが、幾
つかの欠点を有している。第１Ｋ多層溶接においては、
層を重ねる毎に開先ａが浅くなって行く為、倣いロール
２が開先ａを外れる危険性があること、第２に被溶接材
にオフセットが生じた時トーチのセンターずれが起きる
ことである。第７図はこの状況を示したもので、オフセ
ットΔｈが存在する時、倣いロール２のセンターがΔＷ
ずれることを表わしている。
ａ内面に沿って移動する倣いロール２の軸に取付けられ
たポテンショメータ３により倣い四−ル２の位置を電気
信号４に変換し、溶接トーチ駆動装置５に入力すること
により開先ａを倣うものである。本方式は機械的にも電
気的にも非常に簡易な装置構造で実施可能であるが、幾
つかの欠点を有している。第１Ｋ多層溶接においては、
層を重ねる毎に開先ａが浅くなって行く為、倣いロール
２が開先ａを外れる危険性があること、第２に被溶接材
にオフセットが生じた時トーチのセンターずれが起きる
ことである。第７図はこの状況を示したもので、オフセ
ットΔｈが存在する時、倣いロール２のセンターがΔＷ
ずれることを表わしている。
次に電磁プローブ方式の一構成例を第８図に示す。２つ
のコイルを有する電磁プローブ７を揺動装置８により開
先ａと直角方向に揺動させると共に、２つのコイルのイ
ンピーダンス差がある閾値以上に大きくなったことをイ
ンピーダンス差検出装置９により検出し、その検出点に
おけるプローブ位置を揺動装置８に取り付けたボテンン
ヨメータ３により検出する。４はプローブ位置信号であ
る。本方式の原理は開先エツジ６を検出するものである
が、工、ジ検出の分解能はコイル径によって決定され限
界が存在する。又、被溶接材ｌにオフセットが存在する
とプローブ７と被溶接材１の距離１１が変化する為、イ
ンピーダンスが変動する。この為、開先エツジ６の検出
精度に限界が発生し、例えば±０．５瓢といった検出精
度を満足することは難しい。
のコイルを有する電磁プローブ７を揺動装置８により開
先ａと直角方向に揺動させると共に、２つのコイルのイ
ンピーダンス差がある閾値以上に大きくなったことをイ
ンピーダンス差検出装置９により検出し、その検出点に
おけるプローブ位置を揺動装置８に取り付けたボテンン
ヨメータ３により検出する。４はプローブ位置信号であ
る。本方式の原理は開先エツジ６を検出するものである
が、工、ジ検出の分解能はコイル径によって決定され限
界が存在する。又、被溶接材ｌにオフセットが存在する
とプローブ７と被溶接材１の距離１１が変化する為、イ
ンピーダンスが変動する。この為、開先エツジ６の検出
精度に限界が発生し、例えば±０．５瓢といった検出精
度を満足することは難しい。
従って溶接技術の進歩に伴い高精度な倣いが要求されて
来るに伴って、最近では特開昭５５−５０９８４号に示
される光切断法のような光学的開先検出方法が採用され
るに至った。この光切断法の一構成例を第９図に示す。
来るに伴って、最近では特開昭５５−５０９８４号に示
される光切断法のような光学的開先検出方法が採用され
るに至った。この光切断法の一構成例を第９図に示す。
開先ａを有する被溶接材１上に斜め上方よりレーザー等
の投光器１２で投影されたスリット光１３を直上に設け
たテレビカメ２１４により検出する。テレビカメラ１４
で得た画像信号はＡ／Ｄコンバータ１５．２値化処理装
置１６を通シ、２値画像２０として計算機１７に入力さ
れる。該計算機１７は入力された画像のソフトウェア処
理により、開先エツジ位置６を計算し、Ｄ／Ａコンバー
タ１８を通って開先位置検出信号１９を出力するもので
ある。
の投光器１２で投影されたスリット光１３を直上に設け
たテレビカメ２１４により検出する。テレビカメラ１４
で得た画像信号はＡ／Ｄコンバータ１５．２値化処理装
置１６を通シ、２値画像２０として計算機１７に入力さ
れる。該計算機１７は入力された画像のソフトウェア処
理により、開先エツジ位置６を計算し、Ｄ／Ａコンバー
タ１８を通って開先位置検出信号１９を出力するもので
ある。
かかる高精度な倣い方式に於ては、２次元情報が取シ込
み可能な検出器を用い、得た２次元情報を計算機１７に
より画像処理して開先を検出するという方法を採用して
いる。画像という大量の情報から開先部を求める為、精
度の良い検出が可能であシ、分解能もスリット幅及びテ
レビの分解能といつた光学的な因子により決定される為
、非常に高くすることができる。反面、本方式に於ては
、信号処理装置が複雑で高価なものとなる為、タンデム
溶接の各トーチ１本毎に倣い位置を設ける等の要求には
応えられないものとなっていた。
み可能な検出器を用い、得た２次元情報を計算機１７に
より画像処理して開先を検出するという方法を採用して
いる。画像という大量の情報から開先部を求める為、精
度の良い検出が可能であシ、分解能もスリット幅及びテ
レビの分解能といつた光学的な因子により決定される為
、非常に高くすることができる。反面、本方式に於ては
、信号処理装置が複雑で高価なものとなる為、タンデム
溶接の各トーチ１本毎に倣い位置を設ける等の要求には
応えられないものとなっていた。
（発明の目的）
本発明は光学的な検出原理にもとすいた精度の良い開先
検出方式であ夛ながら、信号処理系として１次元の処理
が可能なようにスリットを採用し前記の光切断法の欠点
である信号処理装置の煩雑さを大幅に軽減した開先エツ
ジ部の検出方法を提供するものである。
検出方式であ夛ながら、信号処理系として１次元の処理
が可能なようにスリットを採用し前記の光切断法の欠点
である信号処理装置の煩雑さを大幅に軽減した開先エツ
ジ部の検出方法を提供するものである。
（発明の概要）
上記目的を達成するための本発明方法の特徴は。
開先長手方向の斜め上方よりスリット光又は走査された
スポット光を開先長手方向に対して直角に照射し、その
開先面上及び母材面上の反射光を、該反射光上方に設け
た対物レンズにより結像させ、母材面上の反射光の結像
面上に開先長手方向と直角方向に細長いスリ、トが位置
するようにスリット板を配置し、該スリット内を通過し
た反射光のみを検出器にて検出し、該検出信号を信号処
理装置で１次元の信号処理をすることにより開先エツジ
部の位置を検出する開先エツジ部の検出方法にある。
スポット光を開先長手方向に対して直角に照射し、その
開先面上及び母材面上の反射光を、該反射光上方に設け
た対物レンズにより結像させ、母材面上の反射光の結像
面上に開先長手方向と直角方向に細長いスリ、トが位置
するようにスリット板を配置し、該スリット内を通過し
た反射光のみを検出器にて検出し、該検出信号を信号処
理装置で１次元の信号処理をすることにより開先エツジ
部の位置を検出する開先エツジ部の検出方法にある。
（発明の構成、作用）
以下、本発明の開先エツジ検出原理を第１図に示す。第
１図に於て光源１２は斜め上方よ多走査されたスポット
光又はスリット光（以下スポット光等と称する）をθの
角度で投影するものである。
１図に於て光源１２は斜め上方よ多走査されたスポット
光又はスリット光（以下スポット光等と称する）をθの
角度で投影するものである。
θには３０°〜６０’の範囲の角度が用いられる。
このスポット光等は、被溶接材１の上で、母材表面上の
場合は２１の位置に、開先面内の底の部分の場合は２２
の位置に投影される。従って、開先面内２２に於てはΔ
ＸだけＸ方向（開先長手方向）に位置が変化する。この
母材表面２１上に投影された光を直上に設けた像倍率ｍ
をもつ対物レンズ２３により結像させ、その結像面上に
開先長手方向と直角方向に細長いスリット２４を持つス
リット板２６を設ける。スリット巾は例えば０．５ ％
のものが用いられる。この細長いスリット２４を通過す
る光のみを検出器２５で受け、その出力信号を信号処理
回路３１で処理して、母材表面上にスポット光等が存在
する時のみエツジ位置の信号出力が出る装置を構成した
ものである。この図でＷ８はスリット巾、ΔＸｍはスポ
ット光２１．２２の結像点のずれの長さ、±Δｈは被溶
接材１の上下変動量である。ΔＸ等には、ΔＸ＝ΔＹ
ｃｏｔθ、ΔＸｍ＝ｍ・ΔＸの関係があシ、またＷ８；
２Δｈ／ｍとする。
場合は２１の位置に、開先面内の底の部分の場合は２２
の位置に投影される。従って、開先面内２２に於てはΔ
ＸだけＸ方向（開先長手方向）に位置が変化する。この
母材表面２１上に投影された光を直上に設けた像倍率ｍ
をもつ対物レンズ２３により結像させ、その結像面上に
開先長手方向と直角方向に細長いスリット２４を持つス
リット板２６を設ける。スリット巾は例えば０．５ ％
のものが用いられる。この細長いスリット２４を通過す
る光のみを検出器２５で受け、その出力信号を信号処理
回路３１で処理して、母材表面上にスポット光等が存在
する時のみエツジ位置の信号出力が出る装置を構成した
ものである。この図でＷ８はスリット巾、ΔＸｍはスポ
ット光２１．２２の結像点のずれの長さ、±Δｈは被溶
接材１の上下変動量である。ΔＸ等には、ΔＸ＝ΔＹ
ｃｏｔθ、ΔＸｍ＝ｍ・ΔＸの関係があシ、またＷ８；
２Δｈ／ｍとする。
第２図は、結像面上に設けたスリット板２６のスリ、ト
２４の働きを表わしたも、ので、被溶接材１上のスポッ
ト光等２１が直上の対物レンズ２３により結像２８する
が、開先面２７上のスポット光２２等は、基本的にはス
リット２４の外に結像する為検出器には入らない。又、
開先面２７上のスポット２２等の部分像２９も開先面２
７が有する角度による反射率の低下及び開先工、シロに
よる乱反射による反射光の光量低下にょシ検出器２５へ
の入光量が低下する為、スレシュホールド処理によって
容易に除去可能である。
２４の働きを表わしたも、ので、被溶接材１上のスポッ
ト光等２１が直上の対物レンズ２３により結像２８する
が、開先面２７上のスポット光２２等は、基本的にはス
リット２４の外に結像する為検出器には入らない。又、
開先面２７上のスポット２２等の部分像２９も開先面２
７が有する角度による反射率の低下及び開先工、シロに
よる乱反射による反射光の光量低下にょシ検出器２５へ
の入光量が低下する為、スレシュホールド処理によって
容易に除去可能である。
（実施例）
第３図に本発明の実施例としてスポット光を使用したも
のを示す。被溶接材はＵＯ鋼管で開先の角度は６０°、
スポット光の投影角は４５°、スリット巾は０．５％、
対物レンズの像倍率５倍のものを用いた。スポット光源
１２により投影されたスボ。
のを示す。被溶接材はＵＯ鋼管で開先の角度は６０°、
スポット光の投影角は４５°、スリット巾は０．５％、
対物レンズの像倍率５倍のものを用いた。スポット光源
１２により投影されたスボ。
ト光は回転ミラー又は振動ミラー３０により走査され、
開先面を有する被溶接材１上に斜め上方より開先長手方
向と直角方向に投影される。その反射光２１及び２２を
対物レンズ２３、ス！Ｊ 、ｙ ） ２４を通して検出
器２５に取込み、信号処理装置３１で処理して開先信号
１９を得る。
開先面を有する被溶接材１上に斜め上方より開先長手方
向と直角方向に投影される。その反射光２１及び２２を
対物レンズ２３、ス！Ｊ 、ｙ ） ２４を通して検出
器２５に取込み、信号処理装置３１で処理して開先信号
１９を得る。
第４図０）は、この検出器２５の出力波形を図示したも
ので横軸は時間ｔ１縦軸は光量を示す。４２゜４４は母
材部の信号、４３は開先部の信号であ択４７は被溶接材
の開先形状を示す。この検出器２５からの信号（イ）は
（へ）に詳しく図示する信号処理装置３１に送られ、こ
＼では先ず閾値処理回路３１１に入力されて、スレシュ
ホールド処理される。３１１からは開先面上の部分スポ
ット光像である信号は除去されて、矩形波に整形された
信号が出力され、工、ジ位置検出回路３１２に送られる
。該検出回路３１２にはエツジ位置検出用ゲート回路３
１３から（ハ）の信号が入力され、ここで矩形波の立上
り信号に）、立下）信号（ホ）のうち、（ハ）の位置に
ある■、■が出力され、時間差検出回路３１５に入力さ
れる。該検出回路３１５には基準タイミング信号検出回
路３１４からの←）の基準信号が入力され、該検出回路
３１５からは信号１９として左側開先エツジ位置ＷＬ１
右側開先エツジ位置ＷＲが出力される。この出力値をも
とに溶接トーチをＷＬと岡の中央にくるように倣わせる
ものである。尚、基準タイミング慣号検出回路３１４へ
の入力は回転ミラー３ｏの設定された角度の検出によ）
容易に得られる。
ので横軸は時間ｔ１縦軸は光量を示す。４２゜４４は母
材部の信号、４３は開先部の信号であ択４７は被溶接材
の開先形状を示す。この検出器２５からの信号（イ）は
（へ）に詳しく図示する信号処理装置３１に送られ、こ
＼では先ず閾値処理回路３１１に入力されて、スレシュ
ホールド処理される。３１１からは開先面上の部分スポ
ット光像である信号は除去されて、矩形波に整形された
信号が出力され、工、ジ位置検出回路３１２に送られる
。該検出回路３１２にはエツジ位置検出用ゲート回路３
１３から（ハ）の信号が入力され、ここで矩形波の立上
り信号に）、立下）信号（ホ）のうち、（ハ）の位置に
ある■、■が出力され、時間差検出回路３１５に入力さ
れる。該検出回路３１５には基準タイミング信号検出回
路３１４からの←）の基準信号が入力され、該検出回路
３１５からは信号１９として左側開先エツジ位置ＷＬ１
右側開先エツジ位置ＷＲが出力される。この出力値をも
とに溶接トーチをＷＬと岡の中央にくるように倣わせる
ものである。尚、基準タイミング慣号検出回路３１４へ
の入力は回転ミラー３ｏの設定された角度の検出によ）
容易に得られる。
第５図はスリット光の実施例であシ、開先の斜め上方の
スリット光投影装置１２にょシ投影されたスリ、ト光の
像２１を対物レンズ２３．スリ。
スリット光投影装置１２にょシ投影されたスリ、ト光の
像２１を対物レンズ２３．スリ。
ト２４を通し、検出器であるアレイセンサー２５にて検
出し、該アレイセンサー２５の電子的スキャンにより、
それぞれ時間領域の信号に置きかえられて、信号処理装
置３１に送られて上記３．４図と同様に処理され、左右
のエツジ部が検出される。
出し、該アレイセンサー２５の電子的スキャンにより、
それぞれ時間領域の信号に置きかえられて、信号処理装
置３１に送られて上記３．４図と同様に処理され、左右
のエツジ部が検出される。
上記の実施例においては、いずれも開先長手方向と直角
方向に設けられた細長いスリット２４により１次元の信
号処理（時間）のみで開先工、ジ部位置が精度よく検出
可能となった。
方向に設けられた細長いスリット２４により１次元の信
号処理（時間）のみで開先工、ジ部位置が精度よく検出
可能となった。
（効果）
本発明方法は簡易で安価な装置の採用により１次元の信
号処理を可能とし、精度の良い開先部。
号処理を可能とし、精度の良い開先部。
ジ部の検出が出来、多層溶接においてもタンデムに設け
られた各トーチ毎に倣い装置を設けることが容易となり
、溶接品質向上にもたらす影響は極めて多大である。
られた各トーチ毎に倣い装置を設けることが容易となり
、溶接品質向上にもたらす影響は極めて多大である。
第１図は本発明の基本構成を示す説明図、第２図はスリ
、トの働きを説明する図、第３図は本発明の詳細な説明
図、第４図は信号処理要領を説明するタイムチャート及
びブロック図、第５図は本発明の他の実施例の説明図、
第６図〜第９図は従来法の説明図である。 図面でａは開先、２１．２２はスリ、ト光又はスポット
光、ｌは被溶接材（母材）、２３は対物レンズ、２４は
スリット、２６はスリット板、２５は検出器、３１は信
号処理装置である。 出願人 新日本製鐵株式会社（を丘カー１名）代理人
弁理士 青 柳 稔第１図 ２４ スリット ２５検土器 ２６ スリット板 ３イ イ嵩号処理裟僧「 第２図 ２７ 開先面 第３図 １ ネ良★緊Ｖ吃オ第 １２ 光源 ２１ スポット兜 ２３ 対Ｉ＋リレソズ ２４ スリット ３１ 穂号処理獲置 第６図 第７図 第９図 １４ ＴＶ力１う
、トの働きを説明する図、第３図は本発明の詳細な説明
図、第４図は信号処理要領を説明するタイムチャート及
びブロック図、第５図は本発明の他の実施例の説明図、
第６図〜第９図は従来法の説明図である。 図面でａは開先、２１．２２はスリ、ト光又はスポット
光、ｌは被溶接材（母材）、２３は対物レンズ、２４は
スリット、２６はスリット板、２５は検出器、３１は信
号処理装置である。 出願人 新日本製鐵株式会社（を丘カー１名）代理人
弁理士 青 柳 稔第１図 ２４ スリット ２５検土器 ２６ スリット板 ３イ イ嵩号処理裟僧「 第２図 ２７ 開先面 第３図 １ ネ良★緊Ｖ吃オ第 １２ 光源 ２１ スポット兜 ２３ 対Ｉ＋リレソズ ２４ スリット ３１ 穂号処理獲置 第６図 第７図 第９図 １４ ＴＶ力１う
Claims (1)
- 開先長手方向の斜め上方よりスリット光又は走査された
スポット光を開先長手方向に対して直角に照射し、その
開先面上及び母材面上の反射光を、該反射光上方に設け
た対物レンズにより結像させ、母材面上の反射光の結像
面上に開先長手方向と直角方向に細長いスリットが位置
するようにスリット板を配置し、該スリット内を通過し
た反射光のみを検出器にて検出し、該検出信号を信号処
理装置で１次元の信号処理をすることにより開先エッジ
部の位置を検出する開先エッジ部の検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14719184A JPS6127178A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | 開先エツジ部の検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14719184A JPS6127178A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | 開先エツジ部の検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6127178A true JPS6127178A (ja) | 1986-02-06 |
| JPH052424B2 JPH052424B2 (ja) | 1993-01-12 |
Family
ID=15424622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14719184A Granted JPS6127178A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | 開先エツジ部の検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6127178A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5075534A (en) * | 1989-01-10 | 1991-12-24 | Fanuc Ltd. | Arc sensor provided with a transparent objective window having a contamination preventing construction |
| JPH0455703A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-24 | Nippon Steel Corp | ギャップ検出装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107339933B (zh) * | 2017-02-09 | 2019-07-09 | 山西迪迈沃科光电工业有限公司 | 一种槽式太阳能聚光反射镜的安装检测方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56118604A (en) * | 1980-02-22 | 1981-09-17 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | Weld groove center position detector |
-
1984
- 1984-07-16 JP JP14719184A patent/JPS6127178A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56118604A (en) * | 1980-02-22 | 1981-09-17 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | Weld groove center position detector |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5075534A (en) * | 1989-01-10 | 1991-12-24 | Fanuc Ltd. | Arc sensor provided with a transparent objective window having a contamination preventing construction |
| JPH0455703A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-24 | Nippon Steel Corp | ギャップ検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH052424B2 (ja) | 1993-01-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3428122B2 (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| EP0316624A2 (en) | Improved imaging and inspection apparatus and method | |
| JPH03295408A (ja) | 凹凸面の検査方法およびその装置 | |
| JPH052424B2 (ja) | ||
| JPH0156682B2 (ja) | ||
| JP3048895B2 (ja) | 近接露光に適用される位置検出方法 | |
| JPH0511573B2 (ja) | ||
| JPS5880510A (ja) | 稜線座標自動測定用の稜頂点検出装置および稜線座標測定装置 | |
| JPS63180810A (ja) | 高さ検出方式 | |
| JPH07151514A (ja) | 重ね合わせ精度測定方法および測定装置 | |
| JPS61103692A (ja) | レ−ザ加工機 | |
| JPH03111707A (ja) | 物体形状検出方法 | |
| JPS61205808A (ja) | 形状検出装置 | |
| JPS59152626A (ja) | 異物検出装置 | |
| JPH0610607B2 (ja) | 微小間隔測定方法 | |
| JPH05215528A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JP2504944B2 (ja) | ３次元情報処理方法 | |
| JPS57168384A (en) | Detecting method for shape of object | |
| JPH01107990A (ja) | 自動焦点検出装置 | |
| JPH05337668A (ja) | レーザ溶接装置 | |
| JPS59164910A (ja) | 距離測定装置 | |
| JP3491102B2 (ja) | 重ね合わせ測定装置 | |
| JPH03180707A (ja) | 表面欠陥検出装置 | |
| JPS61191908A (ja) | 形状測定方法 | |
| JP2986130B2 (ja) | マークの検出処理方法 |