JPS6318351B2 - - Google Patents
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- JPS6318351B2 JPS6318351B2 JP19490183A JP19490183A JPS6318351B2 JP S6318351 B2 JPS6318351 B2 JP S6318351B2 JP 19490183 A JP19490183 A JP 19490183A JP 19490183 A JP19490183 A JP 19490183A JP S6318351 B2 JPS6318351 B2 JP S6318351B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass powder
- electrostrictive
- laminate
- electrostrictive material
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
本発明は縦効果を利用した電歪効果素子の製造
方法に関するものである。 縦効果を利用した電歪効果素子の構造において
は電歪材料全体に電界を発生させることにより歪
発生時の応力集中を防ぐため、素子の断面全体と
同じ大きさの内部電極を持つことが必要である。
また低電圧で高い電界を発生させ大きな歪を得る
ためには内部電極相互の間隔を100ミクロン程度
にすることが必要である。以上２つの理由で素子
断面と同じ面積の内部電極を有する。電歪効果素
子を電気的に接続するには大きな困難が伴う。 そこで本発明者等は先に電気泳動法により、電
歪材料積層体の端面に露出した内部電極層とその
近傍のセラミツク上に一層おきに絶縁物を形成す
ることを特徴とする電気的接続方法を提案した。
第１図はその方法により接続した電歪効果素子の
外観図である。端面に露出した内部電極層および
その近傍のセラミツク上に電気泳動法により一層
おきに絶縁物７が形成されている。裏側の端面に
は一層だけずらした内部電極上に同じく絶縁物８
が形成されている。この絶縁物および露出したま
まの内部電極４を横断して帯状の外部電極１１を
形成する。裏側にも同様に内部電極３に対して外
部電極を形成することにより多数の内部電極は一
層おきにプラス側端子１３又はマイナス側端子１
２にそれぞれ接続される。これらの外部端子間に
直流電圧を印加することにより保護膜部１を除く
電歪材料２全体に均一な電界が発生し積層方向と
平行に素子が伸長する。応力集中がないため繰り
返し電圧を印加しても素子は破壊せず、また内部
電極間距離が100ミクロン程度と短かいため100V
以下の低電圧で駆動することができる。 この素子の製造方法について簡単に説明する。
まず第２図に示すような内部電極３，４と電歪材
料１，２とを交互に積層した積層体を積層セラミ
ツクコンデンサの製造技術を応用して作製する。
多数の内部電極３，４は表側と裏側の端面に露出
しており、また側面に形成した２つの仮設外部電
極５，６に一層おきに交互に接続している。懸濁
液中にこの積層体と対向電極用金属板とを設置
し、直流電圧をこの対向電極板から、前記仮設外
部電極５に向けて印加すると懸濁液中のプラスに
帯電したガラス粉末は電気泳動によつて内部電極
３とその近傍の電歪材料上に付着する。第３図は
表側の端面にガラス粉末を付着させた積層体の外
観図である。図中番号１は保護膜の働きをする電
歪材料、２は電界が発生して歪を生ずる部分の電
歪材料を示す。４は露出している内部電極を示
し、それらの間に存在する内部電極はガラス粉末
７によつて被われている。該ガラス粉末を焼成固
着させた後、裏側の端面についても同様な方法で
ガラス粉末を付着し、焼成固着させる。絶縁物を
形成した積層体は第４図に破線で示すような位置
で切断され両端の小片９を除いた数個の小片１０
に外部電極１１を形成すると第１図に示す電歪効
果素子が得られる。 この方法の問題点としては付着するガラス粉末
の巾および厚さが大きく変動すること、焼成後に
時として空孔が発生しガラス被膜が多孔質となり
絶縁耐圧が大きく低下することがあげられる。付
着の巾および厚さは付着の容易さと考えられ、こ
れはガラス粉末の単位量当りの帯電量に比例し、
比表面積の大きな細かいガラス粉末ほど短時間で
充分な巾と厚みを持つた付着が得られる。二番め
の問題点はガラス粉末の焼成時における脱泡性に
関係している。粗いガラス粉末の場合は泡抜けは
良好でち密なガラス被膜が得られるが、細かいガ
ラス粉末ではカサ密度が低く多数の泡をとりこん
だまま焼結し、多孔質状のガラス被膜が得られ
る。この現象は微細な帯状のガラス粉末の場合に
特に顕著にあらわれるものと考えられる。 本発明の目的は充分な巾と厚みを持ち、かつ焼
成時に容易に脱泡してち密なガラス被膜を形成す
るようなガラス粉の帯状付着を形成できる電歪効
果素子の製造方法を提供することである。 本発明の方法は帯電したガラス粉末を含む懸濁
液中において、電歪材料と内部電極との積層体の
内部電極層の全部又は一部を一方の電極とし、対
向電極板を他方の電極として両電極記に直流電圧
を印加し、電気泳動法によつて前記の帯電したガ
ラス粉末を前記積層体表面の内部電極層の露出部
の全部又は一部およびその周辺の電歪材料上に付
着させる電歪効果素子の製造方法において、前記
ガラス粉末としてBET比表面積の値で1.0〜2.0
m2／ｇの粒度の粉末を用いることを特徴とする。 BET比表面積2.0m2／ｇ以上の細かいガラス粉
末原料は使用不可能である、BET比表面積が1.0
〜2.0m2／ｇの粒度のガラス粉末が望ましい範囲
である。BET比表面積が1.0m2／ｇ以下の粗い原
料粉はエタノールを加えてアルミナボールミルに
より所定の時間湿式粉砕することにより容易に
1.5m2／ｇ程度の粒度に調整することができる。
粉砕による粉末の活性化の効果もあるため、粗い
原料粉を湿式粉砕した方が良好なガラス被膜が得
られる。 ガラス粉末の電気泳動時の付着性および焼成時
の脱泡性はガラス粉の粒度をパラメータとして互
いに逆の相関関係にあり、粒度を適切な範囲にお
さめる以外にち密で充分な巾と厚みを持つた絶縁
耐圧の大きなガラス被膜を安定に形成することは
できない。 以下実施例に従つて本発明の詳細な説明を行な
う。 まず第２図に示すような構造の多数の内部電極
と１組の仮設外部電極とを有する電歪材料積層体
をして以下の方法により作製する。 マグネシウムニオブ酸鉛（Pb（Mg1／3Nb2／
３）O3）およびチタン酸鉛（PbTiO3）を主成分
とする電歪材料子焼粉末に微量の有機バインダー
を添加し、これを有機溶媒中に分散させたスラリ
ーを準備した。通常の積層セラミツクコンデンサ
の製造に使用されるキヤステイング製膜装置によ
りこのスラリーをマイラーフイルム上に百ミクロ
ンの厚さに塗布し乾燥させた。これをフイルムか
ら剥離し、電歪材料グリーンシートを得た。一部
のグリーンシートには更に内部電極として白金ペ
ーストをスクリーン印刷した。これらのグリーン
シートを数10枚重ね、熱プレスにより圧着一体化
した後1250℃で焼成し、電歪材料積層体を得た。
これを内部電極が一層おきに表面に露出するよう
な位置で切断し仮設外部電極を塗布焼付けし更に
側面を切断して第２図に示すような内部電極が露
出している積層体を得た。このようにして得られ
た電歪材料積層体に電気泳動法を適用する。第２
図において１は保護膜部分の電歪材料、２は歪を
生じる電歪材料をそれぞれ示す。内部電極３，４
はそれぞれ５と６で示す仮設外部電極に接続して
おり、他の内部電極は一層おきに交互に２つの仮
設外部電極に接続されている。 次にホウケイ酸亜鉛系結晶化ガラス粉末の粒度
をかえたものを５種類準備した。原料粉はBET
比表面積0.3m2／ｇであつた。この原料粉300ｇを
エタノール600mlとともにアルミナ製ボールミル
に入れ４時間湿式粉砕を行ない、BET比表面積
0.7m2／ｇのガラス粉末を得た。同様の方法で８
時間、12時間、16時間、20時間粉砕することによ
りそれぞれ1.0m2／ｇ、1.5m2／ｇ、2.0m2／ｇ、
2.8m2／ｇのガラス粉末を得た。 以上５種類の粒度の異なるガラス粉末について
前記電歪材料積層体を用いて以下に述べる方法で
電気泳動法の付着と焼成実験を行ない付着性およ
び焼結性について調べた。 湿式粉砕を行なつたホウケイ酸亜鉛系結晶ガラ
ス粉末30ｇ、エタノール290ml、５％ヨウ素エタ
ノール溶液10mlを高速ホセジナイザーで混合す
る。ヨウ素が電解質の役割を果たし、ガラス粉末
はプラスに帯電している。30分間超音波をかけた
後、30分間静置して沈澱物を除去し残りの懸濁液
を使用する。 第５図に電気泳動装置の接続方法を示す。 前記電歪材料積層体２１の内部電極が露出して
いる片面を粘着テープで被い懸濁液にぬれるのを
防いだ後前記懸濁液を満たした容器２２に沈め
る。付着させたい面の前方１cmの距離のところに
円筒状のステンレス製対向電極２３を沈める。対
向電極を直流電源のプラス端子２５に接続し、仮
設外部電極をマイナス端子２６に接続し、20Vの
直流電圧を印加する。終了後乾燥させる。裏面の
粘着テープを取り除いた後、705℃で保持するこ
とにより焼成しガラス被膜を形成させる。内周刃
切断機でガラス被膜上を切断し、断面を観察して
内部の空孔の有無について調べた。 表はこのような方法で行なつた付着、焼成実験
の結果をまとめたものである。付着時間の項は充
分な巾を得るために必要な時間であり短時間で良
い場合を◎とした。粗いガラス粉では実験中にガ
ラス粉末が容器内で沈降し支障があつたため×印
とした。非常に細かいガラス粉では軟化点で長時
間保持しても脱泡は不可能であるが〇印で示した
ガラス粉については軟化点600℃付近で４時間程
度保持することにより脱泡が可能となつた。表に
示した結果より1.0m2／ｇより小さい範囲では付
着性が悪く、2.0m2／ｇより大きい範囲では焼結
性が悪くなることが判る。このためガラス粉末の
粒度はBET値1.0〜2.0m2／ｇに調整すべきであ
る。
方法に関するものである。 縦効果を利用した電歪効果素子の構造において
は電歪材料全体に電界を発生させることにより歪
発生時の応力集中を防ぐため、素子の断面全体と
同じ大きさの内部電極を持つことが必要である。
また低電圧で高い電界を発生させ大きな歪を得る
ためには内部電極相互の間隔を100ミクロン程度
にすることが必要である。以上２つの理由で素子
断面と同じ面積の内部電極を有する。電歪効果素
子を電気的に接続するには大きな困難が伴う。 そこで本発明者等は先に電気泳動法により、電
歪材料積層体の端面に露出した内部電極層とその
近傍のセラミツク上に一層おきに絶縁物を形成す
ることを特徴とする電気的接続方法を提案した。
第１図はその方法により接続した電歪効果素子の
外観図である。端面に露出した内部電極層および
その近傍のセラミツク上に電気泳動法により一層
おきに絶縁物７が形成されている。裏側の端面に
は一層だけずらした内部電極上に同じく絶縁物８
が形成されている。この絶縁物および露出したま
まの内部電極４を横断して帯状の外部電極１１を
形成する。裏側にも同様に内部電極３に対して外
部電極を形成することにより多数の内部電極は一
層おきにプラス側端子１３又はマイナス側端子１
２にそれぞれ接続される。これらの外部端子間に
直流電圧を印加することにより保護膜部１を除く
電歪材料２全体に均一な電界が発生し積層方向と
平行に素子が伸長する。応力集中がないため繰り
返し電圧を印加しても素子は破壊せず、また内部
電極間距離が100ミクロン程度と短かいため100V
以下の低電圧で駆動することができる。 この素子の製造方法について簡単に説明する。
まず第２図に示すような内部電極３，４と電歪材
料１，２とを交互に積層した積層体を積層セラミ
ツクコンデンサの製造技術を応用して作製する。
多数の内部電極３，４は表側と裏側の端面に露出
しており、また側面に形成した２つの仮設外部電
極５，６に一層おきに交互に接続している。懸濁
液中にこの積層体と対向電極用金属板とを設置
し、直流電圧をこの対向電極板から、前記仮設外
部電極５に向けて印加すると懸濁液中のプラスに
帯電したガラス粉末は電気泳動によつて内部電極
３とその近傍の電歪材料上に付着する。第３図は
表側の端面にガラス粉末を付着させた積層体の外
観図である。図中番号１は保護膜の働きをする電
歪材料、２は電界が発生して歪を生ずる部分の電
歪材料を示す。４は露出している内部電極を示
し、それらの間に存在する内部電極はガラス粉末
７によつて被われている。該ガラス粉末を焼成固
着させた後、裏側の端面についても同様な方法で
ガラス粉末を付着し、焼成固着させる。絶縁物を
形成した積層体は第４図に破線で示すような位置
で切断され両端の小片９を除いた数個の小片１０
に外部電極１１を形成すると第１図に示す電歪効
果素子が得られる。 この方法の問題点としては付着するガラス粉末
の巾および厚さが大きく変動すること、焼成後に
時として空孔が発生しガラス被膜が多孔質となり
絶縁耐圧が大きく低下することがあげられる。付
着の巾および厚さは付着の容易さと考えられ、こ
れはガラス粉末の単位量当りの帯電量に比例し、
比表面積の大きな細かいガラス粉末ほど短時間で
充分な巾と厚みを持つた付着が得られる。二番め
の問題点はガラス粉末の焼成時における脱泡性に
関係している。粗いガラス粉末の場合は泡抜けは
良好でち密なガラス被膜が得られるが、細かいガ
ラス粉末ではカサ密度が低く多数の泡をとりこん
だまま焼結し、多孔質状のガラス被膜が得られ
る。この現象は微細な帯状のガラス粉末の場合に
特に顕著にあらわれるものと考えられる。 本発明の目的は充分な巾と厚みを持ち、かつ焼
成時に容易に脱泡してち密なガラス被膜を形成す
るようなガラス粉の帯状付着を形成できる電歪効
果素子の製造方法を提供することである。 本発明の方法は帯電したガラス粉末を含む懸濁
液中において、電歪材料と内部電極との積層体の
内部電極層の全部又は一部を一方の電極とし、対
向電極板を他方の電極として両電極記に直流電圧
を印加し、電気泳動法によつて前記の帯電したガ
ラス粉末を前記積層体表面の内部電極層の露出部
の全部又は一部およびその周辺の電歪材料上に付
着させる電歪効果素子の製造方法において、前記
ガラス粉末としてBET比表面積の値で1.0〜2.0
m2／ｇの粒度の粉末を用いることを特徴とする。 BET比表面積2.0m2／ｇ以上の細かいガラス粉
末原料は使用不可能である、BET比表面積が1.0
〜2.0m2／ｇの粒度のガラス粉末が望ましい範囲
である。BET比表面積が1.0m2／ｇ以下の粗い原
料粉はエタノールを加えてアルミナボールミルに
より所定の時間湿式粉砕することにより容易に
1.5m2／ｇ程度の粒度に調整することができる。
粉砕による粉末の活性化の効果もあるため、粗い
原料粉を湿式粉砕した方が良好なガラス被膜が得
られる。 ガラス粉末の電気泳動時の付着性および焼成時
の脱泡性はガラス粉の粒度をパラメータとして互
いに逆の相関関係にあり、粒度を適切な範囲にお
さめる以外にち密で充分な巾と厚みを持つた絶縁
耐圧の大きなガラス被膜を安定に形成することは
できない。 以下実施例に従つて本発明の詳細な説明を行な
う。 まず第２図に示すような構造の多数の内部電極
と１組の仮設外部電極とを有する電歪材料積層体
をして以下の方法により作製する。 マグネシウムニオブ酸鉛（Pb（Mg1／3Nb2／
３）O3）およびチタン酸鉛（PbTiO3）を主成分
とする電歪材料子焼粉末に微量の有機バインダー
を添加し、これを有機溶媒中に分散させたスラリ
ーを準備した。通常の積層セラミツクコンデンサ
の製造に使用されるキヤステイング製膜装置によ
りこのスラリーをマイラーフイルム上に百ミクロ
ンの厚さに塗布し乾燥させた。これをフイルムか
ら剥離し、電歪材料グリーンシートを得た。一部
のグリーンシートには更に内部電極として白金ペ
ーストをスクリーン印刷した。これらのグリーン
シートを数10枚重ね、熱プレスにより圧着一体化
した後1250℃で焼成し、電歪材料積層体を得た。
これを内部電極が一層おきに表面に露出するよう
な位置で切断し仮設外部電極を塗布焼付けし更に
側面を切断して第２図に示すような内部電極が露
出している積層体を得た。このようにして得られ
た電歪材料積層体に電気泳動法を適用する。第２
図において１は保護膜部分の電歪材料、２は歪を
生じる電歪材料をそれぞれ示す。内部電極３，４
はそれぞれ５と６で示す仮設外部電極に接続して
おり、他の内部電極は一層おきに交互に２つの仮
設外部電極に接続されている。 次にホウケイ酸亜鉛系結晶化ガラス粉末の粒度
をかえたものを５種類準備した。原料粉はBET
比表面積0.3m2／ｇであつた。この原料粉300ｇを
エタノール600mlとともにアルミナ製ボールミル
に入れ４時間湿式粉砕を行ない、BET比表面積
0.7m2／ｇのガラス粉末を得た。同様の方法で８
時間、12時間、16時間、20時間粉砕することによ
りそれぞれ1.0m2／ｇ、1.5m2／ｇ、2.0m2／ｇ、
2.8m2／ｇのガラス粉末を得た。 以上５種類の粒度の異なるガラス粉末について
前記電歪材料積層体を用いて以下に述べる方法で
電気泳動法の付着と焼成実験を行ない付着性およ
び焼結性について調べた。 湿式粉砕を行なつたホウケイ酸亜鉛系結晶ガラ
ス粉末30ｇ、エタノール290ml、５％ヨウ素エタ
ノール溶液10mlを高速ホセジナイザーで混合す
る。ヨウ素が電解質の役割を果たし、ガラス粉末
はプラスに帯電している。30分間超音波をかけた
後、30分間静置して沈澱物を除去し残りの懸濁液
を使用する。 第５図に電気泳動装置の接続方法を示す。 前記電歪材料積層体２１の内部電極が露出して
いる片面を粘着テープで被い懸濁液にぬれるのを
防いだ後前記懸濁液を満たした容器２２に沈め
る。付着させたい面の前方１cmの距離のところに
円筒状のステンレス製対向電極２３を沈める。対
向電極を直流電源のプラス端子２５に接続し、仮
設外部電極をマイナス端子２６に接続し、20Vの
直流電圧を印加する。終了後乾燥させる。裏面の
粘着テープを取り除いた後、705℃で保持するこ
とにより焼成しガラス被膜を形成させる。内周刃
切断機でガラス被膜上を切断し、断面を観察して
内部の空孔の有無について調べた。 表はこのような方法で行なつた付着、焼成実験
の結果をまとめたものである。付着時間の項は充
分な巾を得るために必要な時間であり短時間で良
い場合を◎とした。粗いガラス粉では実験中にガ
ラス粉末が容器内で沈降し支障があつたため×印
とした。非常に細かいガラス粉では軟化点で長時
間保持しても脱泡は不可能であるが〇印で示した
ガラス粉については軟化点600℃付近で４時間程
度保持することにより脱泡が可能となつた。表に
示した結果より1.0m2／ｇより小さい範囲では付
着性が悪く、2.0m2／ｇより大きい範囲では焼結
性が悪くなることが判る。このためガラス粉末の
粒度はBET値1.0〜2.0m2／ｇに調整すべきであ
る。
【表】
ガラス粉末の粒度を調整する本発明の方法によ
り、電気泳動法によつて電歪材料積層体端面の内
部電極露出部に充分な巾と厚みを持つたち密なガ
ラス被膜を形成することが可能になり、電歪効果
素子を安定に高い信頼度で電気的に接続できるよ
うになつた。
り、電気泳動法によつて電歪材料積層体端面の内
部電極露出部に充分な巾と厚みを持つたち密なガ
ラス被膜を形成することが可能になり、電歪効果
素子を安定に高い信頼度で電気的に接続できるよ
うになつた。
第１図は電気泳動法を用いた絶縁膜を利用して
電気的接続を行なつた電歪効果素子の外観図であ
る。図中番号１は保護膜部の電歪材料、２は歪を
発生する部分の電歪材料、３，４は内部電極、
７，８は電気泳動法により形成した絶縁膜をそれ
ぞれ示す。１１は外部電極、１２，１３はマイナ
ス側およびプラス側の外部接続端子をそれぞれ示
す。 第２図は電気泳動法を適用するための仮設外部
電極付電歪材料積層体の外観図である。図中番号
５，６は内部電極を一層おきに相互に接続してい
る仮設外部電極を示す。 第３図は内部電極露出部とその周辺のセラミツ
ク上に一層おきにガラス粉末を付着させた電歪材
料積層体を示す外観図。図中番号７は付着させた
ガラス粉末を示す。 第４図は両方の端面にガラス被膜を形成した電
歪材料積層体の切断位置（点線）を示す外観図で
ある。図中番号９は両端の使用できない小片、１
０は電歪効果素子として使用できる部分をそれぞ
れ示す。 第５図は電気泳動装置の接続方法を示す外観図
である。図中番号２１は電歪材料積層体、２２は
容器、２３は円筒型対向電極をそれぞれ示す。２
４は直流電源、２５はプラス側端子、２６はマイ
ナス側端子、２７は導線を相互に接続するリング
をそれぞれ示す。
電気的接続を行なつた電歪効果素子の外観図であ
る。図中番号１は保護膜部の電歪材料、２は歪を
発生する部分の電歪材料、３，４は内部電極、
７，８は電気泳動法により形成した絶縁膜をそれ
ぞれ示す。１１は外部電極、１２，１３はマイナ
ス側およびプラス側の外部接続端子をそれぞれ示
す。 第２図は電気泳動法を適用するための仮設外部
電極付電歪材料積層体の外観図である。図中番号
５，６は内部電極を一層おきに相互に接続してい
る仮設外部電極を示す。 第３図は内部電極露出部とその周辺のセラミツ
ク上に一層おきにガラス粉末を付着させた電歪材
料積層体を示す外観図。図中番号７は付着させた
ガラス粉末を示す。 第４図は両方の端面にガラス被膜を形成した電
歪材料積層体の切断位置（点線）を示す外観図で
ある。図中番号９は両端の使用できない小片、１
０は電歪効果素子として使用できる部分をそれぞ
れ示す。 第５図は電気泳動装置の接続方法を示す外観図
である。図中番号２１は電歪材料積層体、２２は
容器、２３は円筒型対向電極をそれぞれ示す。２
４は直流電源、２５はプラス側端子、２６はマイ
ナス側端子、２７は導線を相互に接続するリング
をそれぞれ示す。
Claims (1)
- １ 帯電したガラス粉末を含む懸濁液中で電歪材
料と内部電極との積層体の内部電極層の全部又は
一部を一方の電極とし、対向電極板を他方の電極
として両電極間に直流電圧を印加し、電気泳動法
によつて前記の帯電したガラス粉末を前記積層体
表面の内部電極層の露出部の全部又は一部および
その周辺の電歪材料上に付着させる工程を有する
電歪効果素子の製造方法において、前記ガラス粉
末としてBET比表面積の値で1.0〜2.0m2／ｇの粒
度の粉末を用いることを特徴とする電歪効果素子
の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58194901A JPS6086881A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 電歪効果素子の製造方法 |
| DE8383307867T DE3373594D1 (en) | 1982-12-22 | 1983-12-22 | Method of producing electrostrictive effect element |
| EP83307867A EP0113999B1 (en) | 1982-12-22 | 1983-12-22 | Method of producing electrostrictive effect element |
| US06/940,210 US4681667A (en) | 1982-12-22 | 1986-12-10 | Method of producing electrostrictive effect element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58194901A JPS6086881A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 電歪効果素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6086881A JPS6086881A (ja) | 1985-05-16 |
| JPS6318351B2 true JPS6318351B2 (ja) | 1988-04-18 |
Family
ID=16332212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58194901A Granted JPS6086881A (ja) | 1982-12-22 | 1983-10-18 | 電歪効果素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6086881A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63132491A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-04 | Toko Inc | 圧電セラミツクの製造方法 |
-
1983
- 1983-10-18 JP JP58194901A patent/JPS6086881A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6086881A (ja) | 1985-05-16 |
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