JPS63184301A - 厚膜低抗塗料およびこれから製造した低抗体 - Google Patents
厚膜低抗塗料およびこれから製造した低抗体Info
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- JPS63184301A JPS63184301A JP61056759A JP5675986A JPS63184301A JP S63184301 A JPS63184301 A JP S63184301A JP 61056759 A JP61056759 A JP 61056759A JP 5675986 A JP5675986 A JP 5675986A JP S63184301 A JPS63184301 A JP S63184301A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は卑金属抵抗塗料、抵抗塗料から製造した抵抗体
、そして抵抗体および抵抗塗料の製法に関する。さらに
詳しく言うと、本発明は、後続の不活性雰囲気中、最高
温度約９００℃での焼付けのための、第一および第二の
ガラス材料の少なくとも一種からのガラスフリットを、
ＴｉＳｉ２とＴｉ ｓ Ｓｉ ３およびＡＪＩ ２０ａ
の少なくとも一つ、およびスクリーニング剤と混合する
ことによって、調整されたシート抵抗およびＴＣＲを有
する抵抗体を形成する、基体への焼付は用厚膜卑金属抵
抗塗料に関する。スクリーニング剤は、不活性雰囲気中
での焼付けの間の熱分解で、炭素を含まぬ残留物を形成
するものが好ましい。
、そして抵抗体および抵抗塗料の製法に関する。さらに
詳しく言うと、本発明は、後続の不活性雰囲気中、最高
温度約９００℃での焼付けのための、第一および第二の
ガラス材料の少なくとも一種からのガラスフリットを、
ＴｉＳｉ２とＴｉ ｓ Ｓｉ ３およびＡＪＩ ２０ａ
の少なくとも一つ、およびスクリーニング剤と混合する
ことによって、調整されたシート抵抗およびＴＣＲを有
する抵抗体を形成する、基体への焼付は用厚膜卑金属抵
抗塗料に関する。スクリーニング剤は、不活性雰囲気中
での焼付けの間の熱分解で、炭素を含まぬ残留物を形成
するものが好ましい。
金属珪化物膜は金属珪化物溶液の噴霧および加熱によっ
て、蒸発およびスパッターリング法によって、化学蒸着
によって、あるいは厚膜法によってつくりうる。
て、蒸発およびスパッターリング法によって、化学蒸着
によって、あるいは厚膜法によってつくりうる。
厚膜法は２５年以上もの間、電子工業界で用いられてき
た。厚膜法では、抵抗塗料を所望のパターンに適当な基
板上へ印刷−しそして焼付ける。厚膜法で用いられる抵
抗塗料には一般的に、導電材料、ガラスフリットおよび
スクリーニング剤が含まれる。
た。厚膜法では、抵抗塗料を所望のパターンに適当な基
板上へ印刷−しそして焼付ける。厚膜法で用いられる抵
抗塗料には一般的に、導電材料、ガラスフリットおよび
スクリーニング剤が含まれる。
卑金属抵抗塗料は、その組成中に貴金属を含ま゛ない抵
抗塗料である。
抗塗料である。
初期の厚膜抵抗塗料は主に導電材料の組成が変化した。
ガラスフリットは、溶融後、導電材料を基板に結合する
結合剤として主に使用された。ガラスフリットの化学組
成は、その融点が、使用する導電材料の融点より下でな
ければならないということを考慮して選択された。スク
リーニング剤は均一性および印刷の容易さで選択された
。゛市販のガラスフリットおよびスクリーニング剤が一
般に使用された。
結合剤として主に使用された。ガラスフリットの化学組
成は、その融点が、使用する導電材料の融点より下でな
ければならないということを考慮して選択された。スク
リーニング剤は均一性および印刷の容易さで選択された
。゛市販のガラスフリットおよびスクリーニング剤が一
般に使用された。
一般的なガラスフリット中に見られる化合物は無機物質
、たとえば鉱物である。これらの化合物は一般的には多
くの好ましくない性質、たとえば高いＴＣＲ、大きく変
化する熱安定性、不十分な短時間オーバーロード特性、
不均一な混合による変化しやすい抵抗値および目に見え
る亀裂等を示す。
、たとえば鉱物である。これらの化合物は一般的には多
くの好ましくない性質、たとえば高いＴＣＲ、大きく変
化する熱安定性、不十分な短時間オーバーロード特性、
不均一な混合による変化しやすい抵抗値および目に見え
る亀裂等を示す。
所望の広範囲な抵抗および低いＴＣＲ（抵抗の温度特性
）を得るために、特定の材料を一般的には金属珪化物粉
末と混合した。
）を得るために、特定の材料を一般的には金属珪化物粉
末と混合した。
英国特許第１．５５９．５２３号には、二珪化タングス
テン、二珪化バナジウム、二珪化チタン、二珪化ジルコ
ニウム、二珪化モリブデン、二珪化クロムおよび二珪化
タンタルから選択しそして９７０℃〜１１５０℃で焼付
けた抵抗体組成物が記載されている。
テン、二珪化バナジウム、二珪化チタン、二珪化ジルコ
ニウム、二珪化モリブデン、二珪化クロムおよび二珪化
タンタルから選択しそして９７０℃〜１１５０℃で焼付
けた抵抗体組成物が記載されている。
米国特許第２，８９１，９１４号には、ＭｏＳｉ２およ
びホウシリケートガラスフリットからつくった焼付は抵
抗体が示されている。
びホウシリケートガラスフリットからつくった焼付は抵
抗体が示されている。
米国特許第３，０２７．３３２号では、ＭＯ、Ｃｒ 、
Ｖ。
Ｖ。
Ｔｉ、ＺｒおよびＴｒの珪化物が使用されている。
これまで、珪化物抵抗体は９７０℃〜１１５０℃の藺で
、そしであるものは１３００℃もの高温で焼付けられた
。
、そしであるものは１３００℃もの高温で焼付けられた
。
米国特許第３．４９８．８３２号には、Ｃｒ３Ｓｉおよ
びＴａＴ＋２を使用した焼付は抵抗体が示されている。
びＴａＴ＋２を使用した焼付は抵抗体が示されている。
米国特許第３．６６１ 、５９５号では、焼付は抵抗体
の製造に珪化モリブデンおよび珪化タングステンが使用
されている。
の製造に珪化モリブデンおよび珪化タングステンが使用
されている。
米国特許第４’、３０９，９９７号、には、ＭＯＳｉ
２ 。
２ 。
ＷＳｉ２．’ＶＳｉ２．Ｔ！Ｓｉ２．ＺｒＳｉ２゜Ｃｒ
ｓｉ ２およびＴａ”Ｓｉ２から選択した金属珪化物
を用い、９７０℃〜１１５０℃で焼付けた抵抗材料が記
されている。
ｓｉ ２およびＴａ”Ｓｉ２から選択した金属珪化物
を用い、９７０℃〜１１５０℃で焼付けた抵抗材料が記
されている。
Ｃｅｒａｍｉｃ Ｂｕｌｌｅｔｉｎ、 第５５巻、 ｉ
６．１９７６のＥ、 Ｄａｎｃｙによる”Ａ Ｎｏｖｅ
ｌ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ’ Ｇｌａｚｅ”と題する論
文には、厚膜抵抗体用の導電材料としてＭＯＳｉ２を使
用することが記載されている。
６．１９７６のＥ、 Ｄａｎｃｙによる”Ａ Ｎｏｖｅ
ｌ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ’ Ｇｌａｚｅ”と題する論
文には、厚膜抵抗体用の導電材料としてＭＯＳｉ２を使
用することが記載されている。
この技術分野で種々の金に珪化物が使用されていること
は知られているが、本発明は、約９００℃の好ましい温
度にて均等なベルト速度で焼付けて、抵抗の温度係数が
±１１００ｐｐ／℃内であり、“混合を選択することに
よって１０オーム／平方以下から１キロオ一ム／平方以
上もの広い範囲のデケイド電気抵抗（ｄｅｃａｄｅ ｒ
ｅｓｉｓｔｉｖｉｔｉｅｓ）となる抵抗体を形成するだ
めの基板焼付は用、卑金属抵抗塗料に関するものである
。本発明は、異なる焼付は回数および様々なベルト速度
で焼付けても、厳しい抵抗温度係数並びにすぐれた短時
間オーバーロードおよび熱安定性特性を示す抵抗塗料を
提供するものである。
は知られているが、本発明は、約９００℃の好ましい温
度にて均等なベルト速度で焼付けて、抵抗の温度係数が
±１１００ｐｐ／℃内であり、“混合を選択することに
よって１０オーム／平方以下から１キロオ一ム／平方以
上もの広い範囲のデケイド電気抵抗（ｄｅｃａｄｅ ｒ
ｅｓｉｓｔｉｖｉｔｉｅｓ）となる抵抗体を形成するだ
めの基板焼付は用、卑金属抵抗塗料に関するものである
。本発明は、異なる焼付は回数および様々なベルト速度
で焼付けても、厳しい抵抗温度係数並びにすぐれた短時
間オーバーロードおよび熱安定性特性を示す抵抗塗料を
提供するものである。
従って、本発明の一つの目的は、第一および第二のガラ
ス材料の少なくとも一種を、Ｔｉ’Ｓｉ２と、Ｔｉ ５
Ｓｉ ３およヒＡ、Ｑ ２０３ （１）少なくとも一
つおよびスクリーニング剤と選択的に混合することによ
って、卑金属抵抗塗料の抵抗およびＴＣＰを調整する手
段を提供して、基板上へのスクリーニングおよび最高温
度９００℃での焼付けに適した卑金属抵抗塗料を製造し
、調整されたシート抵抗が±１００ ｐｐｍ ／℃の卑
金属抵抗体を形成することである。他の目的は、抵抗塗
料のシート抵抗およびＴＣＲの調整を助けるために、比
較的より高いおよびより低いシート抵抗およびＴＣＲを
有する第一および第二のガラス材料の少なくとも一種か
らのガラスフリットを混合することである。
ス材料の少なくとも一種を、Ｔｉ’Ｓｉ２と、Ｔｉ ５
Ｓｉ ３およヒＡ、Ｑ ２０３ （１）少なくとも一
つおよびスクリーニング剤と選択的に混合することによ
って、卑金属抵抗塗料の抵抗およびＴＣＰを調整する手
段を提供して、基板上へのスクリーニングおよび最高温
度９００℃での焼付けに適した卑金属抵抗塗料を製造し
、調整されたシート抵抗が±１００ ｐｐｍ ／℃の卑
金属抵抗体を形成することである。他の目的は、抵抗塗
料のシート抵抗およびＴＣＲの調整を助けるために、比
較的より高いおよびより低いシート抵抗およびＴＣＲを
有する第一および第二のガラス材料の少なくとも一種か
らのガラスフリットを混合することである。
他の目的は、抵抗塗料中に混合するＴｉ Ｓｉ ２の量
を調整することであり、ＴｉＳｉ２が増加するとシート
抵抗（オーム／平方）は下がり、一方ＴＣＲ値は高くな
る。
を調整することであり、ＴｉＳｉ２が増加するとシート
抵抗（オーム／平方）は下がり、一方ＴＣＲ値は高くな
る。
他の目的は、抵抗塗料中に混合する八ρ゛２−０３の量
を調整することであり、八ρ２０３゛が増加するとシー
ト抵抗（オーム／平方）は上がり、一方ＴＣＲ値は下が
る。
を調整することであり、八ρ２０３゛が増加するとシー
ト抵抗（オーム／平方）は上がり、一方ＴＣＲ値は下が
る。
また他の目的は、改良された卑金属抵抗塗料の製法を示
すことである。
すことである。
さらに別の目的は、ガラスフリット、′調整された量の
ＴｉＳｉ２と、Ｔｉ ５ Ｓｉ ３およびＡ、Ｑ ２０
３の少なくとも一つ、およびスクリーニング剤を混合し
た改良された卑金属抵抗体を提供することである。
ＴｉＳｉ２と、Ｔｉ ５ Ｓｉ ３およびＡ、Ｑ ２０
３の少なくとも一つ、およびスクリーニング剤を混合し
た改良された卑金属抵抗体を提供することである。
さらに別の目的は、前記の目的のいずれかとの組合せの
抵抗塗料から製造した抵抗体を提供することである。
抵抗塗料から製造した抵抗体を提供することである。
本発明の上記のそして他の特徴および目的およびこれら
を得る方法は、添付の図面を参照して、以下の本発明の
詳しい記述からよく理解されるであろう。
を得る方法は、添付の図面を参照して、以下の本発明の
詳しい記述からよく理解されるであろう。
第１図は、本発明の抵抗塗料で製造した、焼付は前の抵
抗体の部分断面図である。
抗体の部分断面図である。
第２Ａ図は、記載の抵抗塗料の抵抗（オーム／平方）へ
の焼付は温度の効果を比較するグラフである。
の焼付は温度の効果を比較するグラフである。
第２Ｂ図は、焼付は温度のＴＣＲ（ｐＦ１ｍ／’Ｃ）へ
の効果を比較するグラフである。
の効果を比較するグラフである。
第３Ａ図は、焼付は回数の抵抗（オーム／平方）への効
果を比較するグラフである。
果を比較するグラフである。
第３Ｂ図は、焼付は回数のＴＣＲ（Ｉｌｌ）ｍ／℃）へ
の効果を比較するグラフである。
の効果を比較するグラフである。
第４Ａ図は、全焼付は回数の抵抗（オーム／平方）への
効果を比較するグラフである。
効果を比較するグラフである。
第４Ｂ図は、全焼付は回数のＴＣＲ（Ｆ）ｌ１ｍ／℃）
ヘの効果を比較するグラフである。
ヘの効果を比較するグラフである。
第５Ａ図は、ベルト速度の抵抗（オーム／平方）への効
果を比較するグラフである。
果を比較するグラフである。
第５Ｂ図は、ベルト速度のＴＣＲ（ｐＩ）ｍ／℃）へ（
７）効果を比較するグラフである。
７）効果を比較するグラフである。
第６図は、焼付は温度の抵抗（オーム／平方）および、
高温および低温ＴＣＲへの効果を比較するグラフである
。
高温および低温ＴＣＲへの効果を比較するグラフである
。
第７図は、塗料−ＡおよびＢをＡｆＪ−２０３と共に変
化させた場合の効果を比較する図表である。
化させた場合の効果を比較する図表である。
第８図は、ＴｉＳｉ２およびＡｆＪ２’０３をガラスエ
およびガラス■と共に変化させた場合の効果を比較する
図表である。
およびガラス■と共に変化させた場合の効果を比較する
図表である。
第９図は、Ｔｉ ｓ Ｓｉ ３およびＴｉＳｉ２をガラ
スＩおよびガラス■と共に変化させた場合の効果を比較
する表である。
スＩおよびガラス■と共に変化させた場合の効果を比較
する表である。
第１０図は、Ｔｉ Ｓｉ ２ 、 Ｔｉ ５ Ｓｉ ３
およびＡｌ２Ｏ３をガラス■およびガラスπど共に変化
させた場合の効果を比較する表である。
およびＡｌ２Ｏ３をガラス■およびガラスπど共に変化
させた場合の効果を比較する表である。
第１１図は、好ましい本発明に従って製造した塗料で抵
抗体を製造する工程の詳しいフローチャートである。
抗体を製造する工程の詳しいフローチャートである。
本発明の主題は特許請求の範囲に詳しくそして明確に示
しである。本発明の構成および作用、さらに目的および
利点は、添付の図面に関連させた以下の記載からよく理
解しうる。
しである。本発明の構成および作用、さらに目的および
利点は、添付の図面に関連させた以下の記載からよく理
解しうる。
第１図は、焼付は前の本発明の卑金属抵抗体であり、１
０で示す。抵抗体１０は、導電層を有する基板１２、た
とえばセラミック基板、およびその後の焼付けのために
基板上にスクリーニングされたあるいは別の方法で被覆
された本発明の抵抗塗料１４の層よりなる。抵抗塗料１
４はガラスフリット、いくらかのＴｉＳｉ２１８、い（
らかのＴｉ ５ Ｓｉ ３２０およびＡｊ！ ２０３２
２の少なくとも一つそしてスクリーニング剤２４の混合
物よりなる。
０で示す。抵抗体１０は、導電層を有する基板１２、た
とえばセラミック基板、およびその後の焼付けのために
基板上にスクリーニングされたあるいは別の方法で被覆
された本発明の抵抗塗料１４の層よりなる。抵抗塗料１
４はガラスフリット、いくらかのＴｉＳｉ２１８、い（
らかのＴｉ ５ Ｓｉ ３２０およびＡｊ！ ２０３２
２の少なくとも一つそしてスクリーニング剤２４の混合
物よりなる。
ガラスフリット１６は、抵抗（オーム／平方）への効果
およびＴＣＲへの効果を考えて、゛第一および第二のガ
ラス材料２６．２８の少なくとも一種から選択する。
およびＴＣＲへの効果を考えて、゛第一および第二のガ
ラス材料２６．２８の少なくとも一種から選択する。
第一のガラス材料２６は、重置に基づいて、５〜１０％
のＳｉＯ２、３０〜５０％のＢａ０，４０〜６０％のＢ
２Ｏ３および１〜５％のＣｕＯよりなる。
のＳｉＯ２、３０〜５０％のＢａ０，４０〜６０％のＢ
２Ｏ３および１〜５％のＣｕＯよりなる。
第二のガラス材料２８は、重量に基づいて、５０〜７０
％のＢ２Ｏ３．２５〜４５％のＳｒＯおよび２〜１０％
の８１０２よりなる。
％のＢ２Ｏ３．２５〜４５％のＳｒＯおよび２〜１０％
の８１０２よりなる。
第一のガラス材料２６の量−が増すとガラスフリット１
６におけるシート抵抗（オーム／平方）は高くなり、そ
してＴＣＲ値は低くなる。
６におけるシート抵抗（オーム／平方）は高くなり、そ
してＴＣＲ値は低くなる。
第二のガラス材料２８の量が増すとガラス１６における
シート抵抗（オーム／平方）は高くなり、ＴＣＲ値は低
くなるが、第二のガラス材料２８はシート抵抗およびＴ
ＣＲを、第一のガラス材料以上に高める。従って、第一
および第二のガラス材料２６゜２８を選択混合してガラ
スフリット１６を形成することにより、得られるシート
抵抗値およびＴＣＲをさらに正確に調整しうる。
シート抵抗（オーム／平方）は高くなり、ＴＣＲ値は低
くなるが、第二のガラス材料２８はシート抵抗およびＴ
ＣＲを、第一のガラス材料以上に高める。従って、第一
および第二のガラス材料２６゜２８を選択混合してガラ
スフリット１６を形成することにより、得られるシート
抵抗値およびＴＣＲをさらに正確に調整しうる。
スクリーニング剤の製造に使用される溶剤はパイン油、
チルビオネール、テキサス・イーストマン社のＴｅｘａ
ｎｏ Ｉのエステルアルコール、ブチルカルビノールア
セテート等である。結合剤に使用される樹脂はデュポン
社またはローム・アンド・ハース社のポリアルキルメタ
クリレートまたはアモコ・ケミカルス社のＡｍ０ＣＯＨ
−２５，Ａｍｏｃｏ ）Ｉ’−ｓ。
チルビオネール、テキサス・イーストマン社のＴｅｘａ
ｎｏ Ｉのエステルアルコール、ブチルカルビノールア
セテート等である。結合剤に使用される樹脂はデュポン
社またはローム・アンド・ハース社のポリアルキルメタ
クリレートまたはアモコ・ケミカルス社のＡｍ０ＣＯＨ
−２５，Ａｍｏｃｏ ）Ｉ’−ｓ。
およびＡｍｏｃｏ Ｌ−１００として市販されているポ
リブテン類である。塗料のレオロジーをよくするために
、湿潤剤を加えて固体粉末を湿らせてもよい。
リブテン類である。塗料のレオロジーをよくするために
、湿潤剤を加えて固体粉末を湿らせてもよい。
市販のスクリーニング剤の中には、不活性雰囲気中にお
ける高温での焼付けの後、導電性である炭素残留物を含
むものがある。このような炭素残留物は、不活性雰囲気
中の加熱の間に、゛酸素と結合して二酸化炭素を形成す
ることはな（、従ってスクリーニング剤中の炭素は抵抗
塗料中に残り、抵抗体１０の調整された性能特性に悪い
影精を及ぼす。それ故、使用するスクリーニング剤は、
不活性雰囲気中での焼付けの間の熱分解で炭素残留物を
形成しないものが好ましい。スクリーニング斉■２４は
、不活性雰囲気中の熱分解で炭素残留物を形成しないも
の、たとえば９０％のパイン油に１０％のブヂルーメタ
クリレートを溶解したもの、が好ましい。
ける高温での焼付けの後、導電性である炭素残留物を含
むものがある。このような炭素残留物は、不活性雰囲気
中の加熱の間に、゛酸素と結合して二酸化炭素を形成す
ることはな（、従ってスクリーニング剤中の炭素は抵抗
塗料中に残り、抵抗体１０の調整された性能特性に悪い
影精を及ぼす。それ故、使用するスクリーニング剤は、
不活性雰囲気中での焼付けの間の熱分解で炭素残留物を
形成しないものが好ましい。スクリーニング斉■２４は
、不活性雰囲気中の熱分解で炭素残留物を形成しないも
の、たとえば９０％のパイン油に１０％のブヂルーメタ
クリレートを溶解したもの、が好ましい。
注：ここに記載の全ての組成は重量％に基づく。
第１１図に示すように、ガラスフリット１６は第一およ
び第二のガラス材料２６．２８の少なくとも一種を選択
した量でよく混合し、ガラス材料を炉内で１０００℃〜
１１００℃で焼成することによって溶融し、次に冷却し
そして焼成したガラスをボールミル粉砕して１０ミクロ
ンより小さい粒子サイズの微粉末ガラスフリット１６に
することによって製造する。
び第二のガラス材料２６．２８の少なくとも一種を選択
した量でよく混合し、ガラス材料を炉内で１０００℃〜
１１００℃で焼成することによって溶融し、次に冷却し
そして焼成したガラスをボールミル粉砕して１０ミクロ
ンより小さい粒子サイズの微粉末ガラスフリット１６に
することによって製造する。
ＴｉＳｉ２は密度４．４０ ｇ’／ＣＣ，融点１５４０
℃、抵抗６１８マイクＯオーム−ｃｍであり、そして結
晶形は正斜方晶である。２５〜９９％のＴｉ’Ｓｉ２を
Ｔｉ ｓ Ｓｔ ３およびＡＪ２Ｃｈの少なくとも一つ
と混合して、所望の抵抗およびＴＣＲを得る。
℃、抵抗６１８マイクＯオーム−ｃｍであり、そして結
晶形は正斜方晶である。２５〜９９％のＴｉ’Ｓｉ２を
Ｔｉ ｓ Ｓｔ ３およびＡＪ２Ｃｈの少なくとも一つ
と混合して、所望の抵抗およびＴＣＲを得る。
Ｔｉ ５ Ｓｉ ３は密度４．’３２ ｇ−／ｃｃ、融
点２１５０℃、抵抗３５０マイクロオーム−ｃｍであり
、そして結晶形は六方晶である。
点２１５０℃、抵抗３５０マイクロオーム−ｃｍであり
、そして結晶形は六方晶である。
ＡＱ２０３は密度３０ｇ６び／ｃｃ、融点２０４５℃で
あり、抵抗（マイクロオーム−ｃｍ ）は非常に高く、
そして様々な結晶形を示す。
あり、抵抗（マイクロオーム−ｃｍ ）は非常に高く、
そして様々な結晶形を示す。
Ｔｉ Ｓｔ ２を０〜７５％のＴｉ ５ Ｔｉ ３およ
び／または０〜１０％のＡＮ２０３と混合して混合物３
０を得る。Ｔｉ Ｓｉ ２ 、 Ｔｉ ５ Ｓｉ ３お
よび八ρ２０３のコストは貴金属のコストと較べて安価
である。
び／または０〜１０％のＡＮ２０３と混合して混合物３
０を得る。Ｔｉ Ｓｉ ２ 、 Ｔｉ ５ Ｓｉ ３お
よび八ρ２０３のコストは貴金属のコストと較べて安価
である。
混合物３０は１０ミクロンより小さい粒子サイズである
のが好ましい。混合物３０を、ガラスブリット１６およ
びスクリーニング剤２４と混合３２シて、基板１２への
スクリーニング３４に適した抵抗塗１．１４をつくる。
のが好ましい。混合物３０を、ガラスブリット１６およ
びスクリーニング剤２４と混合３２シて、基板１２への
スクリーニング３４に適した抵抗塗１．１４をつくる。
１０〜３０％の混合物３０を、好ましくは三本ロール練
り機へ通して、１８〜３５％のスクリーニング剤２４お
よび４５〜６５％のガラスフリット１６とよく混合し、
スクリーニング３４が容易な均一な抵抗塗料１４を得る
。
り機へ通して、１８〜３５％のスクリーニング剤２４お
よび４５〜６５％のガラスフリット１６とよく混合し、
スクリーニング３４が容易な均一な抵抗塗料１４を得る
。
抵抗塗料１４は、抵抗体パターン３５が形成された１６
５〜１３５メツシユのステンレス鋼スクリーンを通して
スクリーニング３４するのが好ましい。抵抗塗料１４を
基板１２上にスクリーニング３４するにつれて、スクリ
ーン上の抵抗体パターン３５は基［１２へ転写される。
５〜１３５メツシユのステンレス鋼スクリーンを通して
スクリーニング３４するのが好ましい。抵抗塗料１４を
基板１２上にスクリーニング３４するにつれて、スクリ
ーン上の抵抗体パターン３５は基［１２へ転写される。
基板１２上にスクリーニング３４シた抵抗塗料１４は、
不活性雰囲気中、最高温度９００℃±２０℃での焼付け
３８前に、１００℃〜１５０℃で自然乾燥させるのが好
ましい。
不活性雰囲気中、最高温度９００℃±２０℃での焼付け
３８前に、１００℃〜１５０℃で自然乾燥させるのが好
ましい。
以下の実施例において：低温ＴＣＲ（ＣＴＣＲ）は−５
５℃〜＋２５℃で試験し、高温ＴＣＲ（ＨＴＣＲ）は＋
２５℃〜１２５℃で試験し、熱安定性は１５０℃にて４
８時間試験し、短時間オーバーロード（ＳＴＯＬ）は５
００ボルトまたは最高５ワツトで試験し、そして試験し
た抵抗体の寸法は０．０６２ｘ ｏ、 １５６インチ、
または２．５平方であった。
５℃〜＋２５℃で試験し、高温ＴＣＲ（ＨＴＣＲ）は＋
２５℃〜１２５℃で試験し、熱安定性は１５０℃にて４
８時間試験し、短時間オーバーロード（ＳＴＯＬ）は５
００ボルトまたは最高５ワツトで試験し、そして試験し
た抵抗体の寸法は０．０６２ｘ ｏ、 １５６インチ、
または２．５平方であった。
第７図に示ずように、塗料ＡはＴｉＳｉ２３０％＋第一
のガラス材料１５からつくったガラスフリツドア０％よ
りなる。′塗Ｆ８１ＢはＴｉ５ｉ２２５％十第−のガラ
ス材料１５からつくったガラスフリット７５％よりなる
。
のガラス材料１５からつくったガラスフリツドア０％よ
りなる。′塗Ｆ８１ＢはＴｉ５ｉ２２５％十第−のガラ
ス材料１５からつくったガラスフリット７５％よりなる
。
実施例１〜４では、塗料Ａを０〜４％で変化さぜた量の
Ａ、Ｑ ２０３と混合し、抵抗（オーム／平方） 、Ｃ
ＴＣＲ，ＨＴＣＲ，ＳＴ叶および熱安定性における効果
を記した。
Ａ、Ｑ ２０３と混合し、抵抗（オーム／平方） 、Ｃ
ＴＣＲ，ＨＴＣＲ，ＳＴ叶および熱安定性における効果
を記した。
実施例５〜８では、塗料Ｂを０〜４％で変化させた量の
八９２０３と混合し、効果を実施例１〜４との比較のた
めに記した。実施例１〜８の結果の比較から、シート抵
抗は混合物中に存在する△ｆＪ２０３の量の増加と共に
増し、そしてＣＴＣＲおよびＨＴＣＲは±１００１１１
１ｍ／ ℃内に徐々に減少する。同時に、熱安定性は０
．２５％以下になり好ましい。
八９２０３と混合し、効果を実施例１〜４との比較のた
めに記した。実施例１〜８の結果の比較から、シート抵
抗は混合物中に存在する△ｆＪ２０３の量の増加と共に
増し、そしてＣＴＣＲおよびＨＴＣＲは±１００１１１
１ｍ／ ℃内に徐々に減少する。同時に、熱安定性は０
．２５％以下になり好ましい。
第８図に示すように、実施例９〜１１では、ＴｉＳｉ２
およびＡ、１ｌ−２０３を量を変えて、第一のガラス材
料１５からつくったガラスフリット（ガラスＴ）と混合
し、抵抗（オーム／平方） 、ＣＴＣＲおよびＨＴＣＲ
における効果を記した。第８図にはないが、追加試験を
、Ａβ２０３を含有させずに、ＴｉＳｉ２３０％および
第一のガラス材料からつくったガラスフリット７０％を
用いて行なったところ、シート抵抗は４０オーム／平方
、ＣＴＣＲは１７２ｐｐｍ／℃そして ＨＴＣＩＩは１
６２１）ｌ）ｍ／ ’ＣＦあツタ。
およびＡ、１ｌ−２０３を量を変えて、第一のガラス材
料１５からつくったガラスフリット（ガラスＴ）と混合
し、抵抗（オーム／平方） 、ＣＴＣＲおよびＨＴＣＲ
における効果を記した。第８図にはないが、追加試験を
、Ａβ２０３を含有させずに、ＴｉＳｉ２３０％および
第一のガラス材料からつくったガラスフリット７０％を
用いて行なったところ、シート抵抗は４０オーム／平方
、ＣＴＣＲは１７２ｐｐｍ／℃そして ＨＴＣＩＩは１
６２１）ｌ）ｍ／ ’ＣＦあツタ。
これらの試験から、ＡＪ＋’２０３はＴｉ Ｓｉ ２お
よびガラス■のガラスフリットとの組合せで、ＣＴＣＲ
およびＨＴＣＲ値を±１００ｐＤＩＩｌ／℃内に調整す
るのに効果があることがわかる。
よびガラス■のガラスフリットとの組合せで、ＣＴＣＲ
およびＨＴＣＲ値を±１００ｐＤＩＩｌ／℃内に調整す
るのに効果があることがわかる。
実ｗＡ例１２〜１８テハ、量を変、ｔｆＴｉｓｉ２をＡ
、１１２０３および第二のガラス材料１７からつくった
ガラスフリット（ガラス■）と共に使用した場合を比較
している。これらの実施例では、“ガラス■で得られた
のと較べて、かなり高いシート抵抗そしてかなり低いＣ
ＴＣＲおよびＨＴＣＲが得られる。
、１１２０３および第二のガラス材料１７からつくった
ガラスフリット（ガラス■）と共に使用した場合を比較
している。これらの実施例では、“ガラス■で得られた
のと較べて、かなり高いシート抵抗そしてかなり低いＣ
ＴＣＲおよびＨＴＣＲが得られる。
実施例１〜２６のＴｉ Ｓｉ ２の平均粒子サイズが２
〜５ミクロンであったことも注目すべきである。
〜５ミクロンであったことも注目すべきである。
粒子サイズを０．６ミクロンに小さくすると、得られる
シート抵抗はより高くなり、ＴＣＲはより低くなるであ
ろう。
シート抵抗はより高くなり、ＴＣＲはより低くなるであ
ろう。
第８図の実施例１９〜２０は、同量のガラス■およびガ
ラス■を組合せ、八ρ２０３の量を１％〜２％で変化さ
せた結果を示している。
ラス■を組合せ、八ρ２０３の量を１％〜２％で変化さ
せた結果を示している。
第９図は、Ｔｉ ５ Ｓｉ ３をガラス１および／また
はガラス■およびＴｉＳｉ２と組合せて使用したときの
効果を示す。一般的に、Ｔｉ ５ Ｓｉ ３は、前記の
Ｔｔ Ｓｉ ２抵抗体と較べて、シート抵抗を低下させ
、同時にＴＣＲを低下させる効果を有する。
はガラス■およびＴｉＳｉ２と組合せて使用したときの
効果を示す。一般的に、Ｔｉ ５ Ｓｉ ３は、前記の
Ｔｔ Ｓｉ ２抵抗体と較べて、シート抵抗を低下させ
、同時にＴＣＲを低下させる効果を有する。
実施例２１〜２２は、ＴｉＳｉ２およびＴｉ ５Ｓｉ
３の昂゛を変化させたときのガラスエの効果を比較する
ものである。実施例２３および２４は、Ｔｉ Ｓｉ ２
およびＴｉ ５ Ｓｉ ３の量を変化させたとぎのガラ
ス■の効果を比較するものである。実施例２５および２
６は、等しい量のガラス■およびガラス■での、Ｔｉ
Ｓｉ ２およびＴｉ ｓ Ｓｉ ’ｌ−の量を変えた場
合の効果を示す。
３の昂゛を変化させたときのガラスエの効果を比較する
ものである。実施例２３および２４は、Ｔｉ Ｓｉ ２
およびＴｉ ５ Ｓｉ ３の量を変化させたとぎのガラ
ス■の効果を比較するものである。実施例２５および２
６は、等しい量のガラス■およびガラス■での、Ｔｉ
Ｓｉ ２およびＴｉ ｓ Ｓｉ ’ｌ−の量を変えた場
合の効果を示す。
実施例２６はスクリーニングサイズ、粘麿および膜厚を
変えていくつかのロットでつくった。これらの変数はシ
ート抵抗を９〜１３オーム／平方にするが、ＴＣＲは±
１１００ｐｐ／ ’Ｃ内に留めた。
変えていくつかのロットでつくった。これらの変数はシ
ート抵抗を９〜１３オーム／平方にするが、ＴＣＲは±
１１００ｐｐ／ ’Ｃ内に留めた。
第１０図は、種々の量のガラス■およびガラス■を種々
の量のＴｉ Ｓｔ ２と、Ｔｉ ５ Ｓｉ ３およびＡ
ｊ）２０３の少なくとも一つと混合して記載のシート抵
抗およびＴＣＲを得た実施例２７．２８および２９を示
す。実施例２９は本発明の好ましい例であり、試験した
シート抵抗が１００オーム／平方±１０％に保持されそ
してＴＣＲは±１１００ｐｐ／’Ｃ内の状態で、多数の
ロットで再現された。
の量のＴｉ Ｓｔ ２と、Ｔｉ ５ Ｓｉ ３およびＡ
ｊ）２０３の少なくとも一つと混合して記載のシート抵
抗およびＴＣＲを得た実施例２７．２８および２９を示
す。実施例２９は本発明の好ましい例であり、試験した
シート抵抗が１００オーム／平方±１０％に保持されそ
してＴＣＲは±１１００ｐｐ／’Ｃ内の状態で、多数の
ロットで再現された。
第２Ａ図は、実施例１８．２６および２９に示すような
シート抵抗が１０．１００および１０００オーム／平方
の抵抗体への焼付は渇痕の効果を示す。好ましい焼付は
温度は９００℃±２０℃である。
シート抵抗が１０．１００および１０００オーム／平方
の抵抗体への焼付は渇痕の効果を示す。好ましい焼付は
温度は９００℃±２０℃である。
第２Ｂ図は、焼付は温度のＴＣＲへの効果を示す。
記載の焼付は温度内では、■ＴｃＲおよびＣＴＣＲは±
１００ｐＨｍ／℃に留まる。
１００ｐＨｍ／℃に留まる。
効率および製造の容易性の点から、異なるデケイド（ｄ
ｅｃａｄｅ ）抵抗塗料を一定の最高渇疫で焼付けて、
ばらつきのない結果を得ることができるのが好ましい。
ｅｃａｄｅ ）抵抗塗料を一定の最高渇疫で焼付けて、
ばらつきのない結果を得ることができるのが好ましい。
実施例１８．２６および２９の三種類のデケイド抵抗体
を８８０℃〜９２０℃で試験した。シート抵抗の変化は
±１０％内に留まり、そしてＴＣＲは±１１００ｐｐ／
℃より下であった。
を８８０℃〜９２０℃で試験した。シート抵抗の変化は
±１０％内に留まり、そしてＴＣＲは±１１００ｐｐ／
℃より下であった。
第３Ａおよび第３Ｂ図は、繰返しの焼付けのシート抵抗
およびＴＣＲへの効果を示す。抵抗の変化が小さく、Ｔ
ＣＲが±１００ｐｐｍ／℃内に留まるのが理想的である
。第３Ａおよび第３Ｂ図に示すように、記載の抵抗塗料
の焼付けを４回繰返した後の抵抗は変化は±１０％であ
り、ＴＣＲは±１１００ｐｐ／ ’Ｃ内である。
およびＴＣＲへの効果を示す。抵抗の変化が小さく、Ｔ
ＣＲが±１００ｐｐｍ／℃内に留まるのが理想的である
。第３Ａおよび第３Ｂ図に示すように、記載の抵抗塗料
の焼付けを４回繰返した後の抵抗は変化は±１０％であ
り、ＴＣＲは±１１００ｐｐ／ ’Ｃ内である。
第４Ａおよび４Ｂ図は、焼付は時間のシート抵抗および
丁ＣＲへの効果を比較するものである。焼付は時間は卑
金属抵抗塗料から製造した抵抗体の性能特性に影響を及
ぼす変数の一つである。全体の焼付は時間を１８〜６０
分で９００℃にて試験を行なった。これはベルト炉内の
ベルト速度３〜１０インチ／分に相当する。第４ＡＩＭ
に示すように、シート抵抗は±１０％より小さかった。
丁ＣＲへの効果を比較するものである。焼付は時間は卑
金属抵抗塗料から製造した抵抗体の性能特性に影響を及
ぼす変数の一つである。全体の焼付は時間を１８〜６０
分で９００℃にて試験を行なった。これはベルト炉内の
ベルト速度３〜１０インチ／分に相当する。第４ＡＩＭ
に示すように、シート抵抗は±１０％より小さかった。
第４Ｂ図に示すように、ＴＣＲは±１００Ｅ）ｌ）Ｉｌ
ｌ／℃内に留まった。
ｌ／℃内に留まった。
第５Ａおよび第５Ｂ図は、Ｎ２雰囲気中、９００℃での
赤外線加熱における、ベルト速度（インチ／分）のシー
ト抵抗への効果を示す。各々１０゜１００および１００
０オーム／平方を示す実施例２６．２９および１８を、
Ｎ２雰囲気中、９００℃にて赤外線炉内で、ベルト速度
８．６および４インチ／分で、焼付けた。第５Δ図に示
すように、シート抵抗は±１０％内に留まった。第５Ｂ
図に示すように、ＴＣＲは±１１００ｐｐ／℃内に留ま
った。
赤外線加熱における、ベルト速度（インチ／分）のシー
ト抵抗への効果を示す。各々１０゜１００および１００
０オーム／平方を示す実施例２６．２９および１８を、
Ｎ２雰囲気中、９００℃にて赤外線炉内で、ベルト速度
８．６および４インチ／分で、焼付けた。第５Δ図に示
すように、シート抵抗は±１０％内に留まった。第５Ｂ
図に示すように、ＴＣＲは±１１００ｐｐ／℃内に留ま
った。
第６図に示すように、実施例２６．２９および１８（各
々ｉｏ、 １００および１０００オーム／平方）を８５
０〜１０５０℃の種々の焼付は温度で焼付けた。各々の
シート抵抗を実線または点線で示した。ＣＴＣＲおよび
■ＴｃＲも、ＣＴＣＲをＨＴＣＲの上に記して示した。
々ｉｏ、 １００および１０００オーム／平方）を８５
０〜１０５０℃の種々の焼付は温度で焼付けた。各々の
シート抵抗を実線または点線で示した。ＣＴＣＲおよび
■ＴｃＲも、ＣＴＣＲをＨＴＣＲの上に記して示した。
９００℃±２０℃でのシート抵抗は±１０％内であり、
ＴＣＲは±１１００ｐｐ／ ℃に留まった。
ＴＣＲは±１１００ｐｐ／ ℃に留まった。
電流雑音は重要な性能特性の一つである。一般的には、
膜厚抵抗体はたいていの炭素抵抗体よりも生じる電流雑
音が少ない。ｏｕａｎｔｅｃｈ Ｍｏｄｅ１３１５Ｂノ
イズメーターで本発明の０．０６２″ｘ０．１２５″抵
抗体の電流雑音を測定した。雑音指数は実施例２６．２
９および１８（１０，１００および１０００オ−ム／平
方）に対し各々−３２，−２８および一２０デシベルで
あった。これらの結果は、最も厳しい電流Ｍ音条件が要
求されるルテニウムを基材とした抵抗体のそれらと同程
度かあるいはそれらよりすぐれている。
膜厚抵抗体はたいていの炭素抵抗体よりも生じる電流雑
音が少ない。ｏｕａｎｔｅｃｈ Ｍｏｄｅ１３１５Ｂノ
イズメーターで本発明の０．０６２″ｘ０．１２５″抵
抗体の電流雑音を測定した。雑音指数は実施例２６．２
９および１８（１０，１００および１０００オ−ム／平
方）に対し各々−３２，−２８および一２０デシベルで
あった。これらの結果は、最も厳しい電流Ｍ音条件が要
求されるルテニウムを基材とした抵抗体のそれらと同程
度かあるいはそれらよりすぐれている。
レーザートリミング試験はすぐれた結果を示した。実施
例２６．２９および１８（１０，１００および１０００
オーム／平方）の抵抗試験では、トリミング後、０．２
％以下の抵抗変化を示した。
例２６．２９および１８（１０，１００および１０００
オーム／平方）の抵抗試験では、トリミング後、０．２
％以下の抵抗変化を示した。
Ａｌ２Ｏ３の好ましい粒子サイズは１０ミクロンより小
さいサイズである。１〜３ミクロンの粒子サイズが最も
好ましい。しかしながら、粒子サイズが１ミクロンより
小さくなると、ガラスと反応して、ガラスにふくれを生
じさせる。粒子サイズが大きすぎると、焼付けた表面が
粗くなる。
さいサイズである。１〜３ミクロンの粒子サイズが最も
好ましい。しかしながら、粒子サイズが１ミクロンより
小さくなると、ガラスと反応して、ガラスにふくれを生
じさせる。粒子サイズが大きすぎると、焼付けた表面が
粗くなる。
Ａｌ２Ｏ３の量が多すぎると、短時間オーバーロードが
高くなりすぎ、性能規格を通過することができなくなる
。
高くなりすぎ、性能規格を通過することができなくなる
。
抵抗塗料の配合に使用するガラスフリットが多すぎると
、シート抵抗は高くなり、ＴＣＲはさらにネガティブと
なり、抵抗表面はより光沢のあるものとなる。
、シート抵抗は高くなり、ＴＣＲはさらにネガティブと
なり、抵抗表面はより光沢のあるものとなる。
ＴｉＳｉ２の量が多すぎると、シート抵抗は減少し、Ｔ
ＣＲはさらにポジティブとなり、熱安定性は低下する。
ＣＲはさらにポジティブとなり、熱安定性は低下する。
ここに記載の配合の抵抗塗料を基板上にスクリーニング
し、最高温度９００℃±２０℃で焼付けると、本発明の
好ましい卑金属抵抗体が得られる。
し、最高温度９００℃±２０℃で焼付けると、本発明の
好ましい卑金属抵抗体が得られる。
従って、本発明を特定の貝体例を参考にして説明してき
たが、本発明の精神あるいは特許請求の範囲から逸脱す
ることなく変更しうろことは無論のことである。
たが、本発明の精神あるいは特許請求の範囲から逸脱す
ることなく変更しうろことは無論のことである。
第１図は、本発明の抵抗塗料で製造した、焼付は前の抵
抗体の部分断面図であり、 第２Ａ図は、抵抗塗料の抵抗への焼付は温度の効果を比
較するグラフであり、 第２Ｂ図は、焼付は湿度のＴＣＲへの効果を比較するグ
ラフであり、 第３Ａ図は、焼付は回数の抵抗への効果を比較−ｔｒ
− するグラフであり、 第３Ｂ図は、焼付【プ回数のＴＣＲへの効果を比較する
グラフであり、 第４Ａ図は、全焼付は回数の抵抗への効果を比較するグ
ラフであり、 第４Ｂ図は、全焼付は回数のＴＣＲへの効果を比較する
グラフであり、 第５Δ図は、ベルト速度の抵抗への効果を比較するグラ
フであり、 第５Ｂ図は、ベルト速度のＴＣＲへの効果を比較するグ
ラフであり、 第６図は、焼付は湿度の抵抗および、高温および低温Ｔ
ＣＲへの効果を比較するグラフであり、第７図は、塗料
ＡおよびＢをＡｌ２Ｏ３と共に変化させた場合の効果を
比較するものであり、第８図は、Ｔｉ Ｓｉ ２および
Ａ、Ｑ２０３をガラスエおよびガラス■と共に変化させ
た場合の効果を比較するものであり、 第９図は、Ｔ！ ５ Ｓｉ ３およびＴｉ Ｓｉ ２を
ガラス■およびガラス■と共に変化させた場合の効果を
比較する表であり、 第１０図ハ、ＴｉＳｉ２．Ｔｉ５ｉｓＪ５にびＡ、ｌｌ
’２０３をガラス■およびガラス■ど共に変化させた場
合の効果を比較する表であり、第１１図は、好ましい本
発明に従って製造した塗料で抵抗体を製造する工程の詳
しいフローチャートである。 １０・・・抵抗体 １２・・・基 板１４・
・・抵抗塗料 １６・・・ガラスフリット１
８・Ｔｉ Ｓｉ ２ ２Ｏ−Ｔｉ ５ Ｓｉ
３２２−Ａｌ２Ｏ３ （外５名） つ。／山ｄｄ’ｄつ上 つ。／ｕｕｄｄ’Ｈつ上 第９図 手続補正書 昭和６１年４り！７日
抗体の部分断面図であり、 第２Ａ図は、抵抗塗料の抵抗への焼付は温度の効果を比
較するグラフであり、 第２Ｂ図は、焼付は湿度のＴＣＲへの効果を比較するグ
ラフであり、 第３Ａ図は、焼付は回数の抵抗への効果を比較−ｔｒ
− するグラフであり、 第３Ｂ図は、焼付【プ回数のＴＣＲへの効果を比較する
グラフであり、 第４Ａ図は、全焼付は回数の抵抗への効果を比較するグ
ラフであり、 第４Ｂ図は、全焼付は回数のＴＣＲへの効果を比較する
グラフであり、 第５Δ図は、ベルト速度の抵抗への効果を比較するグラ
フであり、 第５Ｂ図は、ベルト速度のＴＣＲへの効果を比較するグ
ラフであり、 第６図は、焼付は湿度の抵抗および、高温および低温Ｔ
ＣＲへの効果を比較するグラフであり、第７図は、塗料
ＡおよびＢをＡｌ２Ｏ３と共に変化させた場合の効果を
比較するものであり、第８図は、Ｔｉ Ｓｉ ２および
Ａ、Ｑ２０３をガラスエおよびガラス■と共に変化させ
た場合の効果を比較するものであり、 第９図は、Ｔ！ ５ Ｓｉ ３およびＴｉ Ｓｉ ２を
ガラス■およびガラス■と共に変化させた場合の効果を
比較する表であり、 第１０図ハ、ＴｉＳｉ２．Ｔｉ５ｉｓＪ５にびＡ、ｌｌ
’２０３をガラス■およびガラス■ど共に変化させた場
合の効果を比較する表であり、第１１図は、好ましい本
発明に従って製造した塗料で抵抗体を製造する工程の詳
しいフローチャートである。 １０・・・抵抗体 １２・・・基 板１４・
・・抵抗塗料 １６・・・ガラスフリット１
８・Ｔｉ Ｓｉ ２ ２Ｏ−Ｔｉ ５ Ｓｉ
３２２−Ａｌ２Ｏ３ （外５名） つ。／山ｄｄ’ｄつ上 つ。／ｕｕｄｄ’Ｈつ上 第９図 手続補正書 昭和６１年４り！７日
Claims (20)
- （１）調整されたシート抵抗およびＴＣＲを有する卑金
属抵抗塗料において、 ａ）いくらかの量の、第一および第二のガラス材料の少
なくとも一種から選択したガラスフリットを混合し、第
一のガラス材料は５〜１０％のＳｉＯ＿２、３０〜５０
％のＢａＯ、４０〜６０％のＢ＿２Ｏ＿３および１〜５
％のＣｕＯよりなり、そして第二のガラス材料は５０〜
７０％の Ｂ＿２Ｏ＿３、２５〜４０％のＳｒＯおよび２〜１０％
のＳｉＯ＿２よりなり、 ｂ）４５〜６０％のガラスフリットを１０〜３０％の、
ＴｉＳｉ＿２と、Ｔｉ＿５Ｓｉ＿３および Ａｌ＿２Ｏ＿３の少なくとも一つとの混合物と混合し、
そして ｃ）その後の基板上へのスクリーニングそして不活性雰
囲気中での焼付けで調整されたシート抵抗およびＴＣＲ
を示す抵抗体を形成するために、ガラスフリットおよび
、ＴｉＳｉ＿２と、Ｔｉ＿５Ｓｉ＿３およびＡｌ＿２Ｏ
＿３の少なくとも一つとの混合物を、１８〜３５％のス
クリーニング剤と混合して、これから抵抗塗料を形成す
る、 ことよりなる上記の卑金属抵抗塗料。 - （２）抵抗塗料を基板上にスクリーニングし、そして最
高温度９００°±２０℃で焼付ける、特許請求の範囲第
（１）項記載の卑金属抵抗塗料。 - （３）第一および第二のガラス材料の少なくとも一種の
量を増してシート抵抗（オーム／平方）を高め、そして
ＴＣＲ値を下げる、特許請求の範囲第（１）項記載の塗
料。 - （４）ＴｉＳｉ＿２の量を増してシート抵抗（オーム／
平方）を下げ、そしてＴＣＲを高める、特許請求の範囲
第（１）項記載の塗料。 - （５）Ａｌ＿２Ｏ＿３の量を増してシート抵抗（オーム
／平方）を高め、そしてＴＣＲを下げる、特許請求の範
囲第（１）項記載の塗料。 - （６）Ｔｉ＿５Ｓｉ＿３の量を増してシート抵抗（オー
ム／平方）を下げ、そしてＴＣＲを下げる、特許請求の
範囲第（１）項記載の塗料。 - （７）ＴｉＳｉ＿２に対するＡｌ＿２Ｏ＿３の割合が０
〜１０％；ＴｉＳｉ＿２に対するＴｉ＿５Ｓｉ＿３の割
合が０〜７５％：そしてガラスフリットに対する得られ
た混合物の割合が１５〜４０％である、特許請求の範囲
第（１）項記載の塗料。 - （８）ガラスフリットを、混合前に、１０ミクロンより
小さい粒子サイズに粉砕する、特許請求の範囲第（１）
項記載の塗料。 - （９）スクリーニング剤が、不活性雰囲気中で熱分解し
たとき、炭素を含まぬ残留物を形成する、特許請求の範
囲第（１）項記載の塗料。 - （１０）結合樹脂をスクリーニング剤中に存在させる、
特許請求の範囲第（１）項記載の塗料。 - （１１）１８〜３５％のスクリーニング剤を混合物に加
えて、焼付け前の基板上へのスクリーン印刷のための均
一な抵抗塗料を得る、特許請求の範囲第（１）項記載の
塗料。 - （１２）抵抗の温度係数が±１００ｐｐｍ／℃内である
特許請求の範囲第（１）項記載の塗料。 - （１３）ＴｉＳｉ＿２を、混合前に、１０ミクロンより
小さい粒子サイズに粉砕する、特許請求の範囲第（１）
項記載の塗料。 - （１４）Ｔｉ＿５Ｓｉ＿３およびＡｌ＿２Ｏ＿３の少な
くとも一つを、混合前に、１０ミクロンより小さい粒子
サイズに粉砕する、特許請求の範囲第（１）項記載の塗
料。 - （１５）基板上へスクリーニングして抵抗パターンを形
成するための卑金属抵抗塗料の製法において、ａ）４５
〜６５％の、第一および第二のガラス材料の少なくとも
一種を混合し、第一のガラス材料は５〜１０％のＳｉＯ
＿２、３０〜５０％のＢａＯ、４０〜６０％のＢ＿２Ｏ
＿３および１〜５％のＣｕＯよりなり、そして第二のガ
ラス材料は５０〜７０％のＢ＿２Ｏ＿３、２５〜４０％
のＳｒＯおよび２〜１０％のＳｉＯ＿２よりなり、 ｂ）４５〜６５％のガラスフリットを１０〜３０％の、
ＴｉＳｉと、Ｔｉ＿５Ｓｉ＿３およびＡｌ＿２Ｏ＿３の
少なくとも一つとの混合物と混合し、 ｃ）ガラスフリットおよび、ＴｉＳｉ＿２と、Ｔｉ＿５
Ｓｉ＿３およびＡｌ＿２Ｏ＿３の少なくとも一つとの混
合物を１８〜３５％の、不活性雰囲気中で熱分解したと
き炭素を含まぬ残留物を形成するスクリーニング剤と混
合し、 ｄ）このようにしてつくつた抵抗塗料を基板上にスクリ
ーニングし、 ｅ）スクリーニングした基板を空気中で乾燥し、そして ｆ）スクリーニングした基板を不活性雰囲気中で最高温
度９００℃±２０℃にて焼付ける、ことよりなる上記の
方法。 - （１６）スクリーニングした基板を、焼付け前に、空気
中で温度１００℃〜１５０℃にて乾燥する、特許請求の
範囲第（１５）項記載の方法。 - （１７）抵抗塗料をスクリーニングしそして焼付けた基
板を有する厚膜卑金属抵抗体において、改良点が、 ａ）第一および第二のガラス材料の少なくとも一種から
選択したガラスフリットを調整混合し、第一のガラス材
料は５〜１０％のＳｉＯ＿２、３０〜５０％のＢａＯ、
４０〜６０％のＢ＿２Ｏ＿３および１〜５％のＣｕＯよ
りなり、そして第二のガラス材料は５０〜７０％のＢ＿
２Ｏ＿３、２５〜４５％のＳｒＯおよび２〜１０％のＳ
ｉＯ＿２よりなり、ｂ）４５〜６５％の混合ガラスフリ
ットを１０〜３０％の、ＴｉＳｉ＿２と、Ｔｉ＿５Ｓｉ
＿３およびＡｌ＿２Ｏ＿３の少なくとも一つよりなる選
択した混合物と混合し、 ｃ）抵抗塗料を基板上にスクリーニングし、ｄ）スクリ
ーニングした基板を、焼付け前に、空気中で乾燥し、そ
して ｅ）スクリーニングした基板を不活性雰囲気中で最高焼
付け温度約９００℃にて焼付け、第一および第二のガラ
ス材料およびＴｉＳｉ＿２と、Ｔｉ＿５Ｓｉ＿３および
Ａｌ＿２Ｏ＿３の少なくとも一つとの選択した混合物の
量は、これから製造される卑金属抵抗体のシート抵抗お
よび ＴＣＲを調整するように選択したものである、ことより
なる、上記の抵抗体。 - （１８）ＴｉＳｉ＿２の量を増してシート抵抗（オーム
／平方）を下げ、そしてＴＣＲを高める、特許請求の範
囲第（１７）項記載の抵抗体。 - （１９）第二のガラス材料の少なくとも一つの量および
Ａｌ＿２Ｏ＿３の量を増して、シート抵抗（オーム／平
方）を高め、そしてＴＣＲを下げる、特許請求の範囲第
（１７）項記載の抵抗体。 - （２０）ＴｉＳｉ＿２に対するＡｌ＿２Ｏ＿３の割合が
０〜１０％、ＴｉＳｉ＿２に対するＴｉ＿５Ｓｉ＿３の
割合が０〜７５％そしてガラスフリットに対する得られ
た混合物の割合が１５〜４０％である、特許請求の範囲
第（１７）項記載の抵抗体。
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