JPS63185182A - 濃淡画像処理方式 - Google Patents
濃淡画像処理方式Info
- Publication number
- JPS63185182A JPS63185182A JP1689087A JP1689087A JPS63185182A JP S63185182 A JPS63185182 A JP S63185182A JP 1689087 A JP1689087 A JP 1689087A JP 1689087 A JP1689087 A JP 1689087A JP S63185182 A JPS63185182 A JP S63185182A
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- Japan
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- Granted
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 23
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 8
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、被検査物の外観検査に用いる濃淡画像処理方
式に関するものである。
式に関するものである。
（背景技術）
従来、被検査物の表面に対して斜方向から光を照射する
光源と、前記光源による照明下で被検査物の濃淡画像を
撮影するテレビカメラとを設け、得られた濃淡画像を微
分して検査領域内に発生した低コントラストな欠陥を判
定する画像処理方式が提案されている。しかしながら、
低コシトラストな欠陥を含む濃淡画像を微分しても、欠
陥部とその周辺の正常部との微分値の差は余り無いので
、欠陥部の正確なエツジを認識することは困難であり、
誤判定する場合が多かった。
光源と、前記光源による照明下で被検査物の濃淡画像を
撮影するテレビカメラとを設け、得られた濃淡画像を微
分して検査領域内に発生した低コントラストな欠陥を判
定する画像処理方式が提案されている。しかしながら、
低コシトラストな欠陥を含む濃淡画像を微分しても、欠
陥部とその周辺の正常部との微分値の差は余り無いので
、欠陥部の正確なエツジを認識することは困難であり、
誤判定する場合が多かった。
（発明の目的）
本発明は上述のような点に鑑みてなされたものであり、
その目的とするところは、斜照明を用いて検査領域内に
発生する低コントラストな欠陥を正確に識別できるよう
にして検出精度を高めな濃製画像処理方式を提供するに
ある。
その目的とするところは、斜照明を用いて検査領域内に
発生する低コントラストな欠陥を正確に識別できるよう
にして検出精度を高めな濃製画像処理方式を提供するに
ある。
（発明の開示）
本発明に係る濃淡画像処理方式にあっては、上記の目的
を達成するなめに、添付図面に示すように、被検査物２
の表面に対して斜方向から光を照射する光源１と、前記
光源１による照明下で被検査物２の濃淡画像を撮影する
テレビカメラ３とを設け、前記テレビカメラ３にて得ら
れた濃淡画像について検査領域を設定すると共に、該検
査領域内に光の照射方向とは直角な複数のラインｂ１〜
ｌｏｇｆ！：設定し、光源１に一番近いラインｂ１につ
いての光量のモード値Ｍ（ｂ、）を最大値、一番遠いラ
インｔｏｎについての光量のモード［Ｍ（ｂｎ）を最小
値として検査領域内の光量の傾きｋを算出し、該光量の
傾きｋを用いて最大値のラインｂ、と最小値のライン１
３Ｉｆｉとの間に存在するラインｂｊについての光量の
推定モード値Ｍ （ｂｊ）を求めて、各ラインの推定モ
ード値Ｍ（ｂｊ）と検査領域内に設定された各ドツト（
ａｉ、ｂｊ）の光量りとの差を算出し、その差が所定の
スライス［ＷＳＬ、ＢＳＬを越えるドツトの総数の大小
により被検査物２の良否判定を行うことを特徴とするも
のである。
を達成するなめに、添付図面に示すように、被検査物２
の表面に対して斜方向から光を照射する光源１と、前記
光源１による照明下で被検査物２の濃淡画像を撮影する
テレビカメラ３とを設け、前記テレビカメラ３にて得ら
れた濃淡画像について検査領域を設定すると共に、該検
査領域内に光の照射方向とは直角な複数のラインｂ１〜
ｌｏｇｆ！：設定し、光源１に一番近いラインｂ１につ
いての光量のモード値Ｍ（ｂ、）を最大値、一番遠いラ
インｔｏｎについての光量のモード［Ｍ（ｂｎ）を最小
値として検査領域内の光量の傾きｋを算出し、該光量の
傾きｋを用いて最大値のラインｂ、と最小値のライン１
３Ｉｆｉとの間に存在するラインｂｊについての光量の
推定モード値Ｍ （ｂｊ）を求めて、各ラインの推定モ
ード値Ｍ（ｂｊ）と検査領域内に設定された各ドツト（
ａｉ、ｂｊ）の光量りとの差を算出し、その差が所定の
スライス［ＷＳＬ、ＢＳＬを越えるドツトの総数の大小
により被検査物２の良否判定を行うことを特徴とするも
のである。
第１図は本発明の濃淡画像処理方式を用いた物体外観検
査装置の概略構成図である。光源１は、被検査物２をそ
の表面に対して斜方向から照明し、検査領域内に発生す
る低コントラストな欠陥を検出するための照明を行う、
テレビカメラ３は前記光源１による照明下で被検査物２
を撮影する０画像メモリ−４はテレビカメラ１で画像化
しデジタル信号に変換した画像データを記憶するメモリ
ーである。ＣＰＵ５は被検査物２の検査領域を設定した
り、被検査物の欠陥の認識や良否判断を行うものである
。
査装置の概略構成図である。光源１は、被検査物２をそ
の表面に対して斜方向から照明し、検査領域内に発生す
る低コントラストな欠陥を検出するための照明を行う、
テレビカメラ３は前記光源１による照明下で被検査物２
を撮影する０画像メモリ−４はテレビカメラ１で画像化
しデジタル信号に変換した画像データを記憶するメモリ
ーである。ＣＰＵ５は被検査物２の検査領域を設定した
り、被検査物の欠陥の認識や良否判断を行うものである
。
以下、本実施例の動作について説明する。斜照明を行う
光源１とテレビカメラ３とを用いて被検査物２の濃淡画
像を撮影する。テレビカメラ３により得られたアナログ
信号よりなるｒＰＡ淡画顔をＡ／Ｄ変換して、デジタル
化された画像データを画像メモリー４に記憶する。（：
ｌ：ＰＵ５では、この画像データに基づいて、検査領域
内の欠陥の認識と良否判定を下す。
光源１とテレビカメラ３とを用いて被検査物２の濃淡画
像を撮影する。テレビカメラ３により得られたアナログ
信号よりなるｒＰＡ淡画顔をＡ／Ｄ変換して、デジタル
化された画像データを画像メモリー４に記憶する。（：
ｌ：ＰＵ５では、この画像データに基づいて、検査領域
内の欠陥の認識と良否判定を下す。
第２図（ａ）はテレビカメラ３により得られた濃淡画像
６に検査領域７を設定すると共に、検査領域７内に光量
測定のための複数のドツトをある一定間隔で設定した様
子を示している。同図において、斜線を施した部分は低
コントラストある部分を示している。第２図（１〕）は
同図（、）に示す濃淡画像６におけるＡ−Ａ’線上の明
るさの変化を示す図である．この図に示すように、斜照
明を行うことにより、Ａ−Ａ’線上の光量は傾斜を持っ
ている。
６に検査領域７を設定すると共に、検査領域７内に光量
測定のための複数のドツトをある一定間隔で設定した様
子を示している。同図において、斜線を施した部分は低
コントラストある部分を示している。第２図（１〕）は
同図（、）に示す濃淡画像６におけるＡ−Ａ’線上の明
るさの変化を示す図である．この図に示すように、斜照
明を行うことにより、Ａ−Ａ’線上の光量は傾斜を持っ
ている。
第３図は、検査領域内に光の照射方向に垂直な方向に設
定されたライン１】１〜ｂＩ１１を示している．光源か
ら最も近いラインｂ１と最も遠いライン１】輪につσ）
で光量のモード値（最頻値）を求め、それぞれをモード
値の最大値Ｍ（ｂｌ）及び最小（ｎ Ｍ （ｔｏｅ）と
する。
定されたライン１】１〜ｂＩ１１を示している．光源か
ら最も近いラインｂ１と最も遠いライン１】輪につσ）
で光量のモード値（最頻値）を求め、それぞれをモード
値の最大値Ｍ（ｂｌ）及び最小（ｎ Ｍ （ｔｏｅ）と
する。
ここで、モード値とは、被検査物２の検査領域内で光の
照射方向に垂直に設定されたラインｂｊ上で、各ドツト
（ｎｉ，ｂｊ）の光量データのうち、度数が最も多いデ
ータを意味する，また、各ドツトの光量データとは検査
領域内に設定されたドツトの存在する画素についての光
量データを意味する．これらの最大値Ｍ（ｂｌ）と最小
値Ｍ（ｂｌｎ）とから、検査領域内でのモード値の変化
率 「勇 を求める．さらに、第３図（ｂ）に示すように、最大値
Ｍ（１＋１）と最小値Ｍ（ｔｏｎ）とを結ぶ補間直線上
で。
照射方向に垂直に設定されたラインｂｊ上で、各ドツト
（ｎｉ，ｂｊ）の光量データのうち、度数が最も多いデ
ータを意味する，また、各ドツトの光量データとは検査
領域内に設定されたドツトの存在する画素についての光
量データを意味する．これらの最大値Ｍ（ｂｌ）と最小
値Ｍ（ｂｌｎ）とから、検査領域内でのモード値の変化
率 「勇 を求める．さらに、第３図（ｂ）に示すように、最大値
Ｍ（１＋１）と最小値Ｍ（ｔｏｎ）とを結ぶ補間直線上
で。
各ライン３（ｉ＝ ２ 、・・・、ｍ−１）についての
推定モード値 Ｍ （ｂＪ）＝ Ｍ （ｂｌ） −（ｊｌ ）・ｋを求
める。
推定モード値 Ｍ （ｂＪ）＝ Ｍ （ｂｌ） −（ｊｌ ）・ｋを求
める。
第４図は１ライン上のドツトの存在する位置での光量の
変化を表している．同図において、Ｌは座標（ａｉ，ｂ
ｊ）のドツトの光量を示している．また、スライス値Ｗ
ＳＬ，ＢＳＬは、先に求めたモード値Ｍ （Ｌ＋ｊ）と
ライン上のドツトの光量との差が所定の巾を越えている
か否かを調べるための値である。
変化を表している．同図において、Ｌは座標（ａｉ，ｂ
ｊ）のドツトの光量を示している．また、スライス値Ｗ
ＳＬ，ＢＳＬは、先に求めたモード値Ｍ （Ｌ＋ｊ）と
ライン上のドツトの光量との差が所定の巾を越えている
か否かを調べるための値である。
明るい側のスライス値をＷＳＬ、暗い側のスライス値を
ＢＳＬとする．先に求めた各ラインの推定モード値Ｍ
（ｂｊ）を用いて各ドツトの光量が、（ａ） Ｍ （ｂ
ｊ）よりも明るい場合には、スライス値ＷＳＬよりも明
るいドツトの数（ｂ） Ｍ （ｂｊ）よりも暗い場合に
は、スライス値ＢＳＬよりも暗いドツトの数をそれぞれ
合計する。その総数の大小により良否判定を行う、すな
わち、推定モード値Ｍ（ｂｊ）からの光量差がスライス
値ＷＳＬ又はＢＳＬを越えるドツトの総数が所定値より
も多い場合には、低コントラストの欠陥が存在している
ということであり、被検査物は不良と判定される。
ＢＳＬとする．先に求めた各ラインの推定モード値Ｍ
（ｂｊ）を用いて各ドツトの光量が、（ａ） Ｍ （ｂ
ｊ）よりも明るい場合には、スライス値ＷＳＬよりも明
るいドツトの数（ｂ） Ｍ （ｂｊ）よりも暗い場合に
は、スライス値ＢＳＬよりも暗いドツトの数をそれぞれ
合計する。その総数の大小により良否判定を行う、すな
わち、推定モード値Ｍ（ｂｊ）からの光量差がスライス
値ＷＳＬ又はＢＳＬを越えるドツトの総数が所定値より
も多い場合には、低コントラストの欠陥が存在している
ということであり、被検査物は不良と判定される。
（発明の効果）
本発明は上述のように、被検査物の表面に対して斜方向
から光を照射して、テレビカメラにより被検査物の濃淡
画像を撮影し、この濃淡画像について検査領域内での光
量の変化を推定して、その推定値と実際の光量とのずれ
が大きいドツトの総数を求めるようにしたから、検査領
域内に発生する低コントラストな欠陥を正確に識別する
ことができ、欠陥検出の信頼性と精度を向上させること
ができるという効果がある。
から光を照射して、テレビカメラにより被検査物の濃淡
画像を撮影し、この濃淡画像について検査領域内での光
量の変化を推定して、その推定値と実際の光量とのずれ
が大きいドツトの総数を求めるようにしたから、検査領
域内に発生する低コントラストな欠陥を正確に識別する
ことができ、欠陥検出の信頼性と精度を向上させること
ができるという効果がある。
第１図は本発明の濃淡画像処理方式を用いた物体外観検
査装置の概略構成図、第２図（ａ）は同上に用いるテレ
ビカメラの撮影画面の一例を示す図、同図（ｂ）は同上
の撮影画面におけるＡ−Ａ’線上の明るさの変化を示す
図、第３図（ａ）（ｂ）及び第４図は本発明の動作説明
図である。 −１は光源、２は被検査物、３はテレビカメラである。
査装置の概略構成図、第２図（ａ）は同上に用いるテレ
ビカメラの撮影画面の一例を示す図、同図（ｂ）は同上
の撮影画面におけるＡ−Ａ’線上の明るさの変化を示す
図、第３図（ａ）（ｂ）及び第４図は本発明の動作説明
図である。 −１は光源、２は被検査物、３はテレビカメラである。
Claims (1)
- （１）被検査物の表面に対して斜方向から光を照射する
光源と、前記光源による照明下で被検査物の濃淡画像を
撮影するテレビカメラとを設け、前記テレビカメラにて
得られた濃淡画像について検査領域を設定すると共に、
該検査領域内に光の照射方向とは直角な複数のラインを
設定し、光源に一番近いラインについての光量のモード
値を最大値、一番遠いラインについての光量のモード値
を最小値として検査領域内の光量の傾きを算出し、該光
量の傾きを用いて最大値のラインと最小値のラインとの
間に存在するラインについての光量の推定モード値を求
めて、各ラインの推定モード値と検査領域内に設定され
た各ドットの光量との差を算出し、その差が所定のスラ
イス値を越えるドットの総数の大小により被検査物の良
否判定を行うことを特徴とする濃淡画像処理方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62016890A JPH0771285B2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 濃淡画像処理方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62016890A JPH0771285B2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 濃淡画像処理方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63185182A true JPS63185182A (ja) | 1988-07-30 |
| JPH0771285B2 JPH0771285B2 (ja) | 1995-07-31 |
Family
ID=11928758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62016890A Expired - Lifetime JPH0771285B2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 濃淡画像処理方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0771285B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0576004A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-26 | Koji Eto | トリガー信号発生装置及び該装置を備えた高速ビデオカメラ |
| US5482998A (en) * | 1991-06-18 | 1996-01-09 | Basf Aktiengesellschaft | Thermoplastic molding materials based on partly aromatic copolyamides and polyolefins |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5788298U (ja) * | 1980-11-18 | 1982-05-31 | ||
| JPS6051382A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-22 | Fanuc Ltd | 画像のウインドウ処理方式 |
| JPS61187637A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-21 | Hitachi Ltd | 外観検査装置 |
-
1987
- 1987-01-27 JP JP62016890A patent/JPH0771285B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5788298U (ja) * | 1980-11-18 | 1982-05-31 | ||
| JPS6051382A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-22 | Fanuc Ltd | 画像のウインドウ処理方式 |
| JPS61187637A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-21 | Hitachi Ltd | 外観検査装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5482998A (en) * | 1991-06-18 | 1996-01-09 | Basf Aktiengesellschaft | Thermoplastic molding materials based on partly aromatic copolyamides and polyolefins |
| JPH0576004A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-26 | Koji Eto | トリガー信号発生装置及び該装置を備えた高速ビデオカメラ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0771285B2 (ja) | 1995-07-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |