JPS63186484A - 反応性物質除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、ハロゲンの如き反応性物質の除去装置に関す
る。

Ｂ、従来の技術 ハロゲン混合ガスを使用する例えば希ガス−ハロゲンエ
キシマレーザでは、第４図のように、レーザチャンバＬ
Ｃ内のハロゲン混合ガスＬＧを電磁弁Ｖを介して真空ポ
ンプＰで吸引し、吸着フィルタＦＩでハロゲンを吸着除
去してから外部に排気している。この吸着フィルタＦＩ
には反応性吸着材を用いているので、吸着材の全てが反
応したら吸着機能がなくなるため交換する必要がある。

従来は、レーザチャンバＬＣ内に充填されたガスの交換
回数からフィルタＦＩの交換時期を判断していた。なお
、第４図中、Ｇはガス供給装置である。

Ｃ０発明が解決しようとする問題点 このため、交換時期の判断が難しく、吸着機能が残って
いるのに交換したり、吸着機能がないまま使用しつづけ
たりしていた。また、フィルタによるハロゲン除去能力
以上の流量や濃度のハロゲンガスが流れたときにもそれ
を知ることができなかった。

本発明の目的は、フィルタの交換時期等を適切に知るこ
とのできるハロゲンの如き反応性物質の除去装置を提供
することにある。

Ｄ１問題点を解決するための手段 一実施例を示す第１図により本発明を説明すると、本発
明に係る反応性物質（ハロゲン）除去装置は、吸着材３
がハロゲンを吸着する際の発熱反応による温度変化を検
知する温度センサ４を設けてなる。

Ｅ０作用 ハロゲンが吸着材３に吸着されると発熱するが、吸着材
３の吸着機能が失われると反応せず発熱しない。この温
度の変化を温度センサ４で監視することにより、吸着材
３にハロゲン吸着機能があるのか、あるいは除去能力以
上のハロゲン流量が通過しているか等を的確に知ること
ができる。

Ｆ、実施例 エキシマレーザ装置のハロゲンガスフィルタＦＩを示す
第１図により本発明の一実施例を説明する。

フィルタ容器１の両端にガス流入口１ａとガス流出口１
ｂとが設けられ、容器１内には、モール状の金属等から
成る粒子フィルタ２ａ、２ｂに挟まれて、ハロゲンと反
応性の高い粒子状の活性炭。

ソーダラムネ、ゼオライト等の吸着材３が収容されてい
る。ガス流出口１ｂ側の吸着材３の端部には、熱電対、
抵抗温度計、サーミスタ等から成り温度に相応した電気
信号を出力する温度センサ４が設けられている。バイメ
タルや形状記憶合金等のように温度で接点を開閉するよ
うな温度センサも使用できる。温度センサ４の出力は図
示しない警報ランプや警報ブザー等に接続されている。

なお、温度センサ４にはＮｉコーティングやテフロンコ
ーティングを施し、ハロゲンガス雰囲気中でも十分使用
できるようにする。

以上の実施例の動作を説明する。

矢印ＸおよびＹで示すようにガス流入口１ａからガス流
出口１ｂに向けてハロゲン混合ガスを流すと、ハロゲン
が吸着材３に吸着し発熱反応する。ガス流量が０．１Ω
／ｍｉｎ程度以下の少量ならば発熱範囲が狭いから、レ
ーザチャンバ内のハロゲン混合ガスを交換する度に、発
熱する領域がガス流出側に徐々に移行する。すなわち、
一旦反応した吸着材はハロゲンを吸着しないので、ハロ
ゲンを吸着して反応する発熱領域がガス流出側に移行す
る。何回かレーザチャンバ内のハロゲン混合ガスを交換
すると、発熱領域が温度センサ４が設置された領域に到
達し、温度センサ４が発熱温度に相応した信号を出力す
る。この出力信号により警報ランプを点灯したり、警報
ブザーを鳴動させると的確に吸着材の交換時期を知るこ
とができる。温度センサ４の出力により温度を表示して
交換時期を知らせても良い、また、センサ出力に応答し
て吸着材３に再生ガスを流して再生したり、自動的に吸
着材を交換するようにしても良い。

なお、第２図のように、温度センサ４を容器１の外側に
設置しても良い。この場合、温度センサに耐ハロゲン処
理を施す必要がない。

第３図は１本発明に係るハロゲン除去装置を希ガス−ハ
ロゲンエキシマレーザ装置に用いた場合の概略構成図で
ある。

ガス供給装［ＧからレーザチャンバＬＣに充填されたハ
ロゲン混合ガスは、真空ポンプＰにより電磁弁Ｖを介し
てハロゲンフィルタＦＩに導かれ、ここでハロゲンを除
去してから排気される。

上述したように複数回にわたるハロゲンガス抜気作業に
よりフィルタＦＩを通過したハロゲンガスの積算流量が
所定値に達すると、吸着材３のガス流出側端部でハロゲ
ンが吸着されて発熱する。温度センサ４は温度変化を示
す信号を出力し、これによりコントローラＣは吸着材３
が使用限界にきたと判定し電磁弁Ｖを閉じハロゲンガス
の排出を停止する。これと同時に操作者に吸着材３が交
換時期であることを警報ランプ等により報知する。

また、ハロゲンガス流量が一時的に増大し吸着材３の吸
着能力を上回ると、積算流量が所定値以下も温度センサ
近傍で発熱反応が生じるから、温度センサ４からの出力
を受けたコントローラＣにより電磁弁Ｖが閉じられ、未
吸着のハロゲンガスが排出されるのが防止される。

なお、以上では温度センサを吸着材のガス流出側端部に
設は温度上昇時に吸着材の交換時期、あるいは能力以上
のハロゲンガスが流れたことを検知したが、ガス流入側
に設け、＠度が低下したことにより交換時期等を検出し
ても良い。また、エキシマレーザに用いるハロゲン混合
ガスのハロゲン除去に限らず、ガス状又は液状の反応性
物質を除去する種々のフィルタに適用できる。

Ｇ０発明の効果 本発明によれば、吸着材の発熱温度を温度センサにより
検出して吸着材の交換時期等を検出するようにしたので
、吸着材を有効に使用でき、未吸着の反応性物質を排出
するおそれもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は変形
例を示す断面図、第３図は第１図に示した装置をエキシ
マレーザ装置に適用した場合の概略構成図、第４図は従
来例を示し第３図に相当する図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）反応性物質を吸着して発熱反応する吸着材を有する
   反応性物質除去装置において、 前記発熱反応による温度変化を検知する温度センサを設
   けたことを特徴とする反応性物質除去装置。 ２）前記反応性物質がハロゲンであることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の反応性物質除去装置。