JPS6319014B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6319014B2 JPS6319014B2 JP56079334A JP7933481A JPS6319014B2 JP S6319014 B2 JPS6319014 B2 JP S6319014B2 JP 56079334 A JP56079334 A JP 56079334A JP 7933481 A JP7933481 A JP 7933481A JP S6319014 B2 JPS6319014 B2 JP S6319014B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum container
- heat insulating
- insulating layer
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空装置に係り、特に真空容器の外側
を加熱または冷却のための保温層で覆つた真空装
置に関する。
を加熱または冷却のための保温層で覆つた真空装
置に関する。
近年の真空技術の発展はめざましく、容易に良
質の超高真空が得られる様になつてきた。しか
し、この良質の超高真空を得るためには、真空装
置製作の段階で厳密なもれ試験を実施して、大気
より真空容器中にもれが生じていないことを確認
することが必須条件である。また、真空容器をベ
ーキングにより加熱してその内壁面から真空容器
中へ放出されるガスを減少させることや、極低温
で使用する真空装置では、真空容器の外側を断熱
層で覆うことも一般的に行なわれている。この様
に真空容器は加熱または冷却して使用されること
が多いが、以下の説明は加熱の場合について行
う。
質の超高真空が得られる様になつてきた。しか
し、この良質の超高真空を得るためには、真空装
置製作の段階で厳密なもれ試験を実施して、大気
より真空容器中にもれが生じていないことを確認
することが必須条件である。また、真空容器をベ
ーキングにより加熱してその内壁面から真空容器
中へ放出されるガスを減少させることや、極低温
で使用する真空装置では、真空容器の外側を断熱
層で覆うことも一般的に行なわれている。この様
に真空容器は加熱または冷却して使用されること
が多いが、以下の説明は加熱の場合について行
う。
第１図は、従来から行なわれている真空装置の
もれ検出方法を示すものである。
もれ検出方法を示すものである。
真空容器１の外壁には電熱ヒータ等の加熱体２
が設置され、この加熱体２は加熱源５に接続され
ている。真空容器１は保温のために断熱材からな
る保温層３で覆われている。もれ試験を実施する
に際しては、真空容器１内を真空排気系４によつ
て排気すると共に、真空容器１にもれ検出器６
と、もれ検出器６の感度を較正するための、もれ
量が既知の標準リーク７とをそれぞれ接続し、さ
らに全体または一部に覆い８をかけ、この覆い８
内に試験ガスを供給するための試験ガス源９を設
置する。なお、もれ検出器６は特定のガス、つま
り試験ガスについて反応するもので、試験ガスと
しては通常、大気中の組成分が少ないヘリウムガ
スが使用される。
が設置され、この加熱体２は加熱源５に接続され
ている。真空容器１は保温のために断熱材からな
る保温層３で覆われている。もれ試験を実施する
に際しては、真空容器１内を真空排気系４によつ
て排気すると共に、真空容器１にもれ検出器６
と、もれ検出器６の感度を較正するための、もれ
量が既知の標準リーク７とをそれぞれ接続し、さ
らに全体または一部に覆い８をかけ、この覆い８
内に試験ガスを供給するための試験ガス源９を設
置する。なお、もれ検出器６は特定のガス、つま
り試験ガスについて反応するもので、試験ガスと
しては通常、大気中の組成分が少ないヘリウムガ
スが使用される。
一方、真空容器１のベーキングは、温度が低い
場合（約200〜300℃）には、加熱体と保温層が一
体となつたものを使用して加熱し、ベーキング終
了後はこれを取外している。また、特に良質の超
高真空を必要とする場合には、高温（約350〜500
℃）での加熱が必要となるため、保温層も隙間の
ないものを用い、施工もしつかり行なつておかな
いと、真空容器を高温に加熱することが困難であ
り、また隙間から昇温した空気が逃げてしまう
等、好ましくない。したがつて、高温でベーキン
グする必要がある場合は、真空容器を保温層で充
分に覆いつくすことになる。
場合（約200〜300℃）には、加熱体と保温層が一
体となつたものを使用して加熱し、ベーキング終
了後はこれを取外している。また、特に良質の超
高真空を必要とする場合には、高温（約350〜500
℃）での加熱が必要となるため、保温層も隙間の
ないものを用い、施工もしつかり行なつておかな
いと、真空容器を高温に加熱することが困難であ
り、また隙間から昇温した空気が逃げてしまう
等、好ましくない。したがつて、高温でベーキン
グする必要がある場合は、真空容器を保温層で充
分に覆いつくすことになる。
第２図は、この様に真空容器を保温層で充分に
覆つた真空装置の一例を示す要部拡大断面図であ
る。なお図中、第１図と同一符号は同一物または
相当物を示し、１０は保温層外被を示す。
覆つた真空装置の一例を示す要部拡大断面図であ
る。なお図中、第１図と同一符号は同一物または
相当物を示し、１０は保温層外被を示す。
真空容器１の一部に図示の様な欠陥１１がある
場合、大気側Ａより真空容器１内、つまり真空側
Ｖへのもれが生じる。このもれ量を把握するため
には、真空容器１の外側に存在する空気を試験ガ
スにて充分に置換し、真空容器１中にもれる試験
ガス量を前記もれ検出器６で測定する必要があ
る。しかし、真空容器１の外側は前述の如く充分
に施行されている保温層３および保温層外被１０
によつて覆われているため、試験ガスはこれらに
より阻止されて真空容器１の外壁まで達すること
が困難で、欠陥１１附近の空気を試験ガスに充分
に置換することができなかつた。このため、実際
には大きなもれが生じているにもかかわらず、も
れ検出器６での測定値ではあたかも小さなもれし
かない様な誤つた結果を招き、品質管理上問題が
生じている。そこで、製作途中において、もれ試
験前の加熱では保温層を仮のもので組んだり、あ
るいは昇温の条件等の制約から最終製品と同一の
充分な保温層を施こし、これをもれ試験時には解
体し、試験終了後、再度保温層を施こす等の作業
を行なわなければならず、製作工程、経済性の面
からも好ましくない。
場合、大気側Ａより真空容器１内、つまり真空側
Ｖへのもれが生じる。このもれ量を把握するため
には、真空容器１の外側に存在する空気を試験ガ
スにて充分に置換し、真空容器１中にもれる試験
ガス量を前記もれ検出器６で測定する必要があ
る。しかし、真空容器１の外側は前述の如く充分
に施行されている保温層３および保温層外被１０
によつて覆われているため、試験ガスはこれらに
より阻止されて真空容器１の外壁まで達すること
が困難で、欠陥１１附近の空気を試験ガスに充分
に置換することができなかつた。このため、実際
には大きなもれが生じているにもかかわらず、も
れ検出器６での測定値ではあたかも小さなもれし
かない様な誤つた結果を招き、品質管理上問題が
生じている。そこで、製作途中において、もれ試
験前の加熱では保温層を仮のもので組んだり、あ
るいは昇温の条件等の制約から最終製品と同一の
充分な保温層を施こし、これをもれ試験時には解
体し、試験終了後、再度保温層を施こす等の作業
を行なわなければならず、製作工程、経済性の面
からも好ましくない。
本発明は上述の点に鑑み成されたもので、その
目的とするところは、保温層を解体することなく
高精度のもれ試験が可能で、しかも製作が容易な
真空装置を提供するにある。
目的とするところは、保温層を解体することなく
高精度のもれ試験が可能で、しかも製作が容易な
真空装置を提供するにある。
本発明は真空容器と保温層との間に加熱体を設
置することにより生じる空間に、保温層の外側に
存在する気体を導くパイプを、その一端を保温層
の外側に引出して設置すると共に、前記空間内に
位置するパイプ部分に複数個の孔を設けることに
より、所期の目的を達成するようになしたもので
ある。
置することにより生じる空間に、保温層の外側に
存在する気体を導くパイプを、その一端を保温層
の外側に引出して設置すると共に、前記空間内に
位置するパイプ部分に複数個の孔を設けることに
より、所期の目的を達成するようになしたもので
ある。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
第３図は本発明の一実施例に係る真空装置の要
部拡大断面図である。
部拡大断面図である。
この実施例が第２図に示した従来例と異なる点
は、通気パイプ１２を設置したことである。真空
容器１の外壁と保温層３の間には、加熱体２がと
びとびに設置されており、部分的に空間が残つて
いるのが普通である。そこで、本実施例では、こ
の空間を利用して適当な寸法の通気パイプ１２を
設置し、その一端を保温層３および保温層外被１
０を通して引出しておく。また、通気パイプ１２
の前記空間内に位置する部分には適当数の孔１３
を設ける。
は、通気パイプ１２を設置したことである。真空
容器１の外壁と保温層３の間には、加熱体２がと
びとびに設置されており、部分的に空間が残つて
いるのが普通である。そこで、本実施例では、こ
の空間を利用して適当な寸法の通気パイプ１２を
設置し、その一端を保温層３および保温層外被１
０を通して引出しておく。また、通気パイプ１２
の前記空間内に位置する部分には適当数の孔１３
を設ける。
したがつて、もれ試験時、この真空装置に第１
図に示した試験設備を設置して、覆い８内に試験
ガスを充満させれば、試験ガスは通気パイプ１２
を通して真空容器１外壁と保温層３の間の空間に
導入され、この空間を充満することになるため、
充分精度のよいもれ試験を行なうことができる。
図に示した試験設備を設置して、覆い８内に試験
ガスを充満させれば、試験ガスは通気パイプ１２
を通して真空容器１外壁と保温層３の間の空間に
導入され、この空間を充満することになるため、
充分精度のよいもれ試験を行なうことができる。
なお、前述の如く試験ガスとしては一般に空気
より軽いヘリウムガスが用いられるので、この通
気パイプ１２は真空容器１の最下部に設置するの
が効果的である。
より軽いヘリウムガスが用いられるので、この通
気パイプ１２は真空容器１の最下部に設置するの
が効果的である。
また、第４図は本発明の他の実施例に係る真空
装置の要部拡大断面図である。
装置の要部拡大断面図である。
真空容器１には、その目的に応じてボルト１４
等でフランジ１５を締結し、これに開閉可能なポ
ートを設けるのが一般的である。したがつて、こ
のフランジ部は取外すことを前提として設計され
ており、当然、この部分を覆う保温層３Ａも分解
可能になつている。そこで、本実施例では、真空
容器１外壁と保温層３の間に設置した通気パイプ
１２の一端を、前記分解可能な保温層３Ａのすぐ
内側に位置させたものである。
等でフランジ１５を締結し、これに開閉可能なポ
ートを設けるのが一般的である。したがつて、こ
のフランジ部は取外すことを前提として設計され
ており、当然、この部分を覆う保温層３Ａも分解
可能になつている。そこで、本実施例では、真空
容器１外壁と保温層３の間に設置した通気パイプ
１２の一端を、前記分解可能な保温層３Ａのすぐ
内側に位置させたものである。
したがつて、もれ試験時には、分解可能な保温
層３Ａを取外すことにより、前述した第３図の実
施例と同様に充分精度のよいもれ試験を行なうこ
とができ、さらに加熱時には、分解可能な保温層
３Ａを取付けて通気パイプ１２の一端を保温層３
の外側に存在する大気から遮断することにより、
通気パイプ１２を通しての大気の対流現象を防
ぎ、効率のよい加熱を行なうことができると共
に、常時は通気パイプ１２の一端が保温層３の外
側に突出していないので、美観上からも好まし
い。
層３Ａを取外すことにより、前述した第３図の実
施例と同様に充分精度のよいもれ試験を行なうこ
とができ、さらに加熱時には、分解可能な保温層
３Ａを取付けて通気パイプ１２の一端を保温層３
の外側に存在する大気から遮断することにより、
通気パイプ１２を通しての大気の対流現象を防
ぎ、効率のよい加熱を行なうことができると共
に、常時は通気パイプ１２の一端が保温層３の外
側に突出していないので、美観上からも好まし
い。
以上説明した本発明の真空装置によれば、真空
容器と保温層との間に加熱体を設置することによ
り生じる空間に、保温層の外側に存在する気体を
導くパイプを、その一端を保温層の外側に引出し
て設置すると共に、前記空間内に位置するパイプ
部分に複数個の孔を設けたものであるから、もれ
試験時、試験ガスは通気パイプを通して真空容器
と保温層の間の空間に導入され、この空間を充満
することになるため、保温層を解体することなく
高精度のもれ試験を行なうことが可能で真空装置
の品質向上を計り得ると共に、製作が容易である
という効果がある。
容器と保温層との間に加熱体を設置することによ
り生じる空間に、保温層の外側に存在する気体を
導くパイプを、その一端を保温層の外側に引出し
て設置すると共に、前記空間内に位置するパイプ
部分に複数個の孔を設けたものであるから、もれ
試験時、試験ガスは通気パイプを通して真空容器
と保温層の間の空間に導入され、この空間を充満
することになるため、保温層を解体することなく
高精度のもれ試験を行なうことが可能で真空装置
の品質向上を計り得ると共に、製作が容易である
という効果がある。
第１図は真空装置のもれ試験方法を実施するた
めの試験設備を示す概略構成図、第２図は従来の
真空装置の要部拡大断面図、第３図および第４図
はそれぞれ異なる本発明の各実施例に係る真空装
置の要部拡大図である。 １…真空容器、２…加熱体、３…保温層、３Ａ
…分解可能な保温層、１０…保温層外被、１２…
通気パイプ、１３…孔、１４…フランジ。
めの試験設備を示す概略構成図、第２図は従来の
真空装置の要部拡大断面図、第３図および第４図
はそれぞれ異なる本発明の各実施例に係る真空装
置の要部拡大図である。 １…真空容器、２…加熱体、３…保温層、３Ａ
…分解可能な保温層、１０…保温層外被、１２…
通気パイプ、１３…孔、１４…フランジ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空容器と、該真空容器の外側を覆う断熱材
からなる保温層と、該保温層と真空容器との間に
設置された加熱体とを備えた真空装置において、
前記真空容器と保温層との間に前記加熱体を設置
することにより生じる空間に、前記保温層の外側
に存在する気体を導くパイプを、その一端を前記
保温層の外側に引出して設置すると共に、前記空
間内に位置するパイプ部分に複数個の孔を設けた
ことを特徴とする真空装置。 ２ 前記真空容器の一端に取外し可能なフランジ
を設けると共に、該フランジ部を覆う前記保温層
を取外し可能に設け、かつ、前記パイプの一端を
前記保温層のうちの取外し可能な部分の内側に引
出したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7933481A JPS57194329A (en) | 1981-05-27 | 1981-05-27 | Vacuum device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7933481A JPS57194329A (en) | 1981-05-27 | 1981-05-27 | Vacuum device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57194329A JPS57194329A (en) | 1982-11-29 |
| JPS6319014B2 true JPS6319014B2 (ja) | 1988-04-21 |
Family
ID=13686990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7933481A Granted JPS57194329A (en) | 1981-05-27 | 1981-05-27 | Vacuum device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57194329A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60145343U (ja) * | 1984-03-09 | 1985-09-26 | 日本原子力研究所 | 真空容器 |
| US6886389B1 (en) * | 2003-12-10 | 2005-05-03 | The Boeing Company | Systems and methods for detecting and locating leaks in internal pressure vessels |
| FR2918037B1 (fr) * | 2007-06-29 | 2010-06-11 | Sunaero Helitest | Procede de maintenance d'un reservoir d'aeronef. |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE787966A (fr) * | 1971-08-24 | 1973-02-26 | Remington Arms Co Inc | Mecanisme de verrouillage pour armes a feu |
| JPS5235756U (ja) * | 1975-09-04 | 1977-03-14 |
-
1981
- 1981-05-27 JP JP7933481A patent/JPS57194329A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57194329A (en) | 1982-11-29 |
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