JPS63190U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63190U JPS63190U JP9289686U JP9289686U JPS63190U JP S63190 U JPS63190 U JP S63190U JP 9289686 U JP9289686 U JP 9289686U JP 9289686 U JP9289686 U JP 9289686U JP S63190 U JPS63190 U JP S63190U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump device
- cooler
- turbo
- molecular pump
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるターボ分子
ポンプ装置を示す断面図、第２図はこの考案の他
の実施例によるターボ分子ポンプ装置を示す断面
図、第３図は従来のターボ分子ポンプ装置を示す
断面図である。図において、１は、ロータ翼、２
はステータ翼、３はケーシング、４は電動機回転
子、５は電動機ステータ、６ａ，６ｂは軸受、７
は排気口、９はベース、１０はフレーム、１１ａ
，１１ｂは気体、１２は回転胴、２１は冷却フイ
ン、２２は冷却パイプである。なお、図中、同一
符号は同一又は相当部分を示す。
ポンプ装置を示す断面図、第２図はこの考案の他
の実施例によるターボ分子ポンプ装置を示す断面
図、第３図は従来のターボ分子ポンプ装置を示す
断面図である。図において、１は、ロータ翼、２
はステータ翼、３はケーシング、４は電動機回転
子、５は電動機ステータ、６ａ，６ｂは軸受、７
は排気口、９はベース、１０はフレーム、１１ａ
，１１ｂは気体、１２は回転胴、２１は冷却フイ
ン、２２は冷却パイプである。なお、図中、同一
符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ステータ翼を保持するケーシングの外周に
、冷却器を取りつけたことを特徴とするターボ分
子ポンプ装置。 (2) 冷却器は冷却フアンである実用新案登録請
求の範囲第１項記載のターボ分子ポンプ装置。 (3) 冷却器は冷却パイプである実用新案登録請
求の範囲第１項記載のターボ分子ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9289686U JPS63190U (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9289686U JPS63190U (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63190U true JPS63190U (ja) | 1988-01-05 |
Family
ID=30954994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9289686U Pending JPS63190U (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63190U (ja) |
-
1986
- 1986-06-18 JP JP9289686U patent/JPS63190U/ja active Pending