JPS63191111A - 光結合器 - Google Patents

光結合器

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JPS63191111A
JPS63191111A JP2229187A JP2229187A JPS63191111A JP S63191111 A JPS63191111 A JP S63191111A JP 2229187 A JP2229187 A JP 2229187A JP 2229187 A JP2229187 A JP 2229187A JP S63191111 A JPS63191111 A JP S63191111A
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JP
Japan
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light
optical waveguide
waveguide
layer
receiving element
Prior art date
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Application number
JP2229187A
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English (en)
Inventor
Senta Suzuki
扇太 鈴木
Kosuke Katsura
浩輔 桂
Norio Nishi
功雄 西
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NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Publication of JPS63191111A publication Critical patent/JPS63191111A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、基板上の光導波路の導波光と受光素子との光
結合器に関するものである。
［従来の技術］ 従来の技術を、第２図および第３図を用いて説明する。
第２図はグレーティングカブラを用いた光導波路と受光
素子間の結合器の構成図である。１は基板、２は光導波
路下側クラッド層、３は光導波路コア層、７はグレーテ
ィングカプラ部、８は受光素子である。光導波路コア層
３を図中矢印の方向に導波した光はグレーティングカプ
ラ部７により光導波路上方に放射され、受光素子８と結
合する。第２図のような構成の光結合器は効率向上のた
めにはグレーティング長を長くする必要があること、光
が基板１側へも放射されることから結合効率の点で問題
があった。
第３図は、微小反射鏡を用いた光導波路と受光素子間の
結合器の構成図である。１は基板、２は光°導波路下側
クララド層、４は光導波路上側クラッド層、３は光導波
路コア層、９はガラスブロックで製作した微小反射鏡、
８は受光素子である。光導波路コア層３を導波してきた
光は、光導波路コア層３の端面から出射し、基板と４５
°の角度を有している微小反射鏡９で上方に反射し受光
素子８と結合する。第３図のような構成の結合器では、
反射鏡を個別に作製しているため、反射鏡の加工および
取付は位置合せなどが難しく、また導波路端面からの戻
り光が生じるという問題があった。
［発明が解決しようとする問題点コ 本発明の目的は、上記のような問題点を解消し、光が基
板側に放射することなく、また導波路端面からの戻り光
が生じることなく、受光素子への結合効率が高く、位置
合せ等の組立工程が不要な導波路と受光素子の間の光結
合器を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ かかる目的を達成するために、本発明は、光導波路と受
光素子とを有する光結合器において、光導波路のコア層
よりも深く形成した左右非対称の７字溝の斜面のうち、
導波光が出射する斜面でない他の斜面に反射層が設けら
れていることを特徴とする。
［作　用］ 本発明の光結合器は、光が基板側に放射したり、また導
波路端面からの戻り光が生じることがないので受光素子
との結合効率が向上する。
［実施例］ 以下に、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例の光結合器の断面図である。
図中、１は基板、２は光導波路下側クラッド層、３は光
導波路コア層、４は光導波路上側クラッド層、５は導波
光出射斜面、６は高い反射率を有する層を設けである斜
面、８は受光素子である。
本実施例においては、基板１はシリコンウェハを用い、
光導波路下側クラッド層２は熱酸化により５ｉ０２を４
μｍ形成した。光導波路コア層３はコーニング社製の多
成分ガラス、例えばコーニング７０５９、光導波路上側
クラッド層４はＳｉＯ□を用いてそれぞれスパッタ法で
１．２μｍ、２μｍ形成した。
光導波路下側クラッド層２の屈折率は１．４６、光導波
路コア層３の屈折率は１．５３である。
本実施例では、光導波路コア層よりも深い左右非対称の
ｖ字溝を設けた。光導波路出射斜面５は光結合器の効率
が低下しないように伝搬光が全反射しない角度に設定し
、基板に対する導波光出射斜面５の角度は高反射率層６
と基板１との角度よりも大きくした。
ここで、非対称Ｖ字溝は、機械加工で形成し、導波光出
射斜面５は角度６０°、高反射率層６は角度３５°、深
さ６μｍであり、高反射率層６は、金を蒸着して形成し
た。７字溝形成は、他の反応性イオンビームエツチング
法等も適用することが可能である。
本実施例の動作を以下に説明する。
光導波路コア層３を図中矢印の方向に伝搬してきた光は
、７字溝の出射斜面５に達し、出射斜面５は伝搬光が全
反射しない角度に設定しであるので、光は出射斜面５か
ら屈曲しながら出射し、高反射率層６に到る。高反射率
層６において光は反射され、基板に対して垂直方向に放
射して受光素子８と結合する。
このようにして、本実施例の光結合器は、光が基板側に
放射することがなくなり、導波路出射端面で戻り光を生
じることがないので受光素子との結合効率は低下しない
。更に光導波路と７字溝とが一体的に構成されているの
で、光結合器は小型化できる。
屈折率が異なる材料で光導波路を形成した場合において
も、７字溝の斜面の角度を適当に選ぶことにより、受光
素子に対して垂直方向に光を放射させることが可能であ
る。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の光結合器は、光が基板側
に放射したり、また導波路端面からの戻り光が生じるこ
とがないので受光素子との結合効率が向上する。
更に、本発明の光結合器は、光導波路と光反射用７字溝
が一体的に形成されているため反射鏡の位置合せなどの
工程が不要となり、かつ結合効率が高くなり小型となる
。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明実施例の光結合器の断面図、第２図およ
び第３図はそれぞれ従来の光結合器の断面図である。 １・・・基板、 ２・・・光導波路下側クラッド層、 ３・・・光導波路コア層、 ４・・・光導波路上側クラッド層、 ５・・・導波光出射斜面、 ６・・・高反射率層、 ７・・・グレーティングカップラ部、 ８・・・受光素子、 ９・・・微小反射鏡。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光導波路と受光素子とを有する光結合器において、該光
    導波路のコア層よりも深く形成した左右非対称のＶ字溝
    の斜面のうち、導波光が出射する斜面でない他の斜面に
    反射層が設けられていることを特徴とする光結合器。
JP2229187A 1987-02-04 1987-02-04 光結合器 Pending JPS63191111A (ja)

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Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6473305A (en) * 1987-09-14 1989-03-17 Fujitsu Ltd Photodetector structure
JPH0573610U (ja) * 1992-03-10 1993-10-08 日本航空電子工業株式会社 入出射角を制御した導光装置
JPH07191236A (ja) * 1993-12-27 1995-07-28 Nec Corp 光回路とその製造方法
WO1998035253A1 (en) * 1997-02-07 1998-08-13 Bookham Technology Limited Device for re-directing light from optical waveguide
EP0822430A3 (en) * 1996-07-31 1999-04-28 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Waveguide optical deflector, process for producing the same, and saw blade for use in this process
JP2002131586A (ja) * 2000-10-23 2002-05-09 Nec Corp 光通信モジュールとその製造方法
JP2004085913A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光接続装置
US6934455B2 (en) * 2002-12-24 2005-08-23 Intel Corporation Waveguides with optical monitoring
US7123798B2 (en) 2002-03-29 2006-10-17 Ngk Insulators, Ltd. Optical device and method of producing the same
US7174062B2 (en) 2002-03-29 2007-02-06 Ngk Insulators, Ltd. Optical device and method of manufacturing same
US7195402B2 (en) 2002-12-20 2007-03-27 Ngk Insulators, Ltd. Optical device
US7287915B2 (en) 2003-01-27 2007-10-30 Ngk Insulators, Ltd. Optical device
WO2007125716A1 (ja) 2006-04-26 2007-11-08 Mitsumi Electric Co., Ltd. 光学装置及び光学装置の製造方法
US7308174B2 (en) 2002-12-20 2007-12-11 Ngk Insulators, Ltd. Optical device including a filter member for dividing a portion of signal light
US7321703B2 (en) 2002-12-20 2008-01-22 Ngk Insulators, Ltd. Optical device
US7324729B2 (en) 2003-06-02 2008-01-29 Ngk Insulators, Ltd. Optical device
JP2013235035A (ja) * 2012-05-02 2013-11-21 Sumitomo Bakelite Co Ltd 光導波路、光導波路の製造方法および電子機器
JP2017194720A (ja) * 2017-08-02 2017-10-26 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 光デバイス及び光デバイスの製造方法
US10862266B2 (en) 2018-05-30 2020-12-08 Nichia Corporation Light source device

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6473305A (en) * 1987-09-14 1989-03-17 Fujitsu Ltd Photodetector structure
JPH0573610U (ja) * 1992-03-10 1993-10-08 日本航空電子工業株式会社 入出射角を制御した導光装置
JPH07191236A (ja) * 1993-12-27 1995-07-28 Nec Corp 光回路とその製造方法
EP0822430A3 (en) * 1996-07-31 1999-04-28 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Waveguide optical deflector, process for producing the same, and saw blade for use in this process
US5999670A (en) * 1996-07-31 1999-12-07 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Optical deflector, process for producing the same, and blade for use in production of optical deflector
WO1998035253A1 (en) * 1997-02-07 1998-08-13 Bookham Technology Limited Device for re-directing light from optical waveguide
JP2002131586A (ja) * 2000-10-23 2002-05-09 Nec Corp 光通信モジュールとその製造方法
US7140131B2 (en) 2000-10-23 2006-11-28 Nec Corporation Optical communication module and manufacturing method thereof
US6853776B2 (en) 2000-10-23 2005-02-08 Nec Corporation Optical communication module and manufacturing method thereof
US7123798B2 (en) 2002-03-29 2006-10-17 Ngk Insulators, Ltd. Optical device and method of producing the same
US7174062B2 (en) 2002-03-29 2007-02-06 Ngk Insulators, Ltd. Optical device and method of manufacturing same
JP2004085913A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光接続装置
US7195402B2 (en) 2002-12-20 2007-03-27 Ngk Insulators, Ltd. Optical device
US7308174B2 (en) 2002-12-20 2007-12-11 Ngk Insulators, Ltd. Optical device including a filter member for dividing a portion of signal light
US7321703B2 (en) 2002-12-20 2008-01-22 Ngk Insulators, Ltd. Optical device
US6934455B2 (en) * 2002-12-24 2005-08-23 Intel Corporation Waveguides with optical monitoring
US7287915B2 (en) 2003-01-27 2007-10-30 Ngk Insulators, Ltd. Optical device
US7324729B2 (en) 2003-06-02 2008-01-29 Ngk Insulators, Ltd. Optical device
WO2007125716A1 (ja) 2006-04-26 2007-11-08 Mitsumi Electric Co., Ltd. 光学装置及び光学装置の製造方法
JP2013235035A (ja) * 2012-05-02 2013-11-21 Sumitomo Bakelite Co Ltd 光導波路、光導波路の製造方法および電子機器
JP2017194720A (ja) * 2017-08-02 2017-10-26 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 光デバイス及び光デバイスの製造方法
US10862266B2 (en) 2018-05-30 2020-12-08 Nichia Corporation Light source device

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