JPS63195564U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63195564U JPS63195564U JP8604387U JP8604387U JPS63195564U JP S63195564 U JPS63195564 U JP S63195564U JP 8604387 U JP8604387 U JP 8604387U JP 8604387 U JP8604387 U JP 8604387U JP S63195564 U JPS63195564 U JP S63195564U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- lid
- exhaust hole
- sealing member
- seals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による真空シール
装置を示す断面図、第２図は従来の真空シール装
置を示す断面図である。 図中、１は容器、２及び５は排気孔、３はシー
ル、４０は蓋、６は溝である。なお、各図中同一
符号は同一又は相当部分を示す。
装置を示す断面図、第２図は従来の真空シール装
置を示す断面図である。 図中、１は容器、２及び５は排気孔、３はシー
ル、４０は蓋、６は溝である。なお、各図中同一
符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 真空引きする第１の排気孔を有し、一端が開放
された容器と、この容器の一端開口部を密閉する
蓋と、この蓋と上記容器の間を気密に封止する封
止部材とを備えた真空室において、上記容器と上
記蓋のうち一方における上記封止部材よりも外側
に第２の排気孔を設けると共に、この第２の排気
孔を上記封止部材周囲と連通させる溝を設けたこ
とを特徴とする真空シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8604387U JPS63195564U (ja) | 1987-06-02 | 1987-06-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8604387U JPS63195564U (ja) | 1987-06-02 | 1987-06-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63195564U true JPS63195564U (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=30941994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8604387U Pending JPS63195564U (ja) | 1987-06-02 | 1987-06-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63195564U (ja) |
-
1987
- 1987-06-02 JP JP8604387U patent/JPS63195564U/ja active Pending
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