JPS631959A - 放射線透過画像演算処理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「発明の目的」 ステムに関する。

においでは、例えば、雇像管の管面に載置した被検体に
対して放射線発生装置ＩＪ　）の敢ｑ・ｊ線を照射し、
該被検体を透過したＭ射線を１ｌＩ４像管が受けて撮像
することににす、被検体の内部状ｆぷを透過画像として
入手し、この透過画像を画像処理装置で画像データとし
て演算処理している１゜ムにおいては、被検体が積層＋
Ｍ　造１ご形成されているとしても、被検体の透過画像
は放射線が透過する被検体の厚さ方向にお（プる放射線
の透過度によって形成されるため、透過画像は各層の重
なりである単なる１１１度コントラストとして形成され
、層の重なりの有無を判断できる程度であり、被検体内
の所定の深さに積層されている各層の内部状態の画像の
みを抽出することはできないという問題がある。

従って、このような被検体内の各層の内部状態の画像を
得るには、従来、被検体を破壊しなければならなかった
。更に、従来、被検体の透過画像をｊｑるのに、Ｘ線断
層装置を使用することが必要であるため、装置全体が大
規模となり、簡単に使用できないとともに非経済的であ
るという問題もある。

本発明は、上記に鑑みなされたもので、その日狸システ
ムを提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） かかる問題の解決にあたり、本発明は、第１図にて例示
するごとく、放射線を発〈１づる放射線発生手段１と、
この放射線発生手段１から第１及び第２の入射角にて被
検体２を通しｈ’ｌ　ＤＪ線をそれぞれ受けたとき被検
体２のｖｔＩ記第１及び第２の入射角にそれぞれ対応す
る第１及び第２の透過像を撤影する搬像手段３と、放射
線発生手段１から撤影手段３への放射線の入射角が前１
１１シ第１及び第２の入射角となるように放射線発生手
段１ど踊影手段３との間の相対的位置関係を選択的に調
整する調整手段４と、前記第１透過像に相当する第１画
像を前記第２透過像に相当する第２画像に向けて移動さ
せて前記第１画像の一部分がこれに対応する前記第２画
像の部分と一致するように位置合せする画像位置合せ手
段５と、この画像位問合せ手段５による位置合せ後の第
１及び第２の画像間の画像域ｎを行う画像減算手段６と
を備えたことにある。

被検体の第１および第２の透過像のＺ’７いに対応ずろ
部分が一致するように第１および第２の透過像４１１′
１首合せし、この位置合せされた透過像を相互に画像減
算し、これにより前記所定部分が存在する深さの被検体
の内部画像または該深さの部分の画像を除いて内部画像
を抽出している。

（実施例） Ｊス下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

Ｊ、ｆ最初に、第２図ないし第９図を参照して本発明の
一実施例について説明する。

第２図〜第４図において、符号１ｏは撮像装置を示して
おり、この撮像装置１０は、その両側壁１１．１２の各
上端中央部にて各支持機構２０゜３０により囮像管１３
の管面１３ａの中心Ｏを基環とし第２図にて図示左右方
向へ傾動可能に両支１！ｉ壁Ｗ１．Ｗ２に支持されてい
る。支持機構２０は、補助板２１と、支持ロッド２２と
、ベアリング２３とにより構成されており、補助板２１
は躍像帽ＩＯの側壁１１の上端中央部に固着されている
。支持ロッド２２は、撤像管１３の管面１３ａの中心Ｏ
を通り両側壁１１．１２に直交する水平線上に位置し、
その内端にて補助板２１に固着され、−方、その外端に
てベアリング２３により回動自在に軸支されている。な
お、ベアリング２３は支持壁Ｗ１に固着されている。

−方、支持機１１１３０は、補助板３１と、支持ロッド
３２と、ベアリング３３とにより構成されており、補助
板３１は撮像装置１０の側壁１２の上端中央部に補助板
２１に対向して固着されている。

支持ロッド３２は、支持ロッド２２と同様に前記水平線
上に位置し、その内側にて補助板３１に固着され、−方
、その外側にてベアリング２／ｌ（支持壁Ｗ２に固着さ
れている。）により回動自在に軸支されている。Ｘ線発
生装置４０は、第２図及び第３図に示すごとく、撮像＠
１３の直上にて、その間口４１を撮像管１３の管面１３
ａに向（プて支持されており、このＸ線発生装置４０は
、その操作時に管面１３ａに向けて放射状にＸ線を発生
する。

駆動ｌＩｌ構５０は、第２図及び第３図に示１ごと（、
（Ｊ字状に形成した連結部材５１と、駆動軸５２を備え
ており、連結部材５１Ｇ、ｔ、（の両腕部５１　ａ、５
１ａ間に、搬像装置１０の底壁中央から一ト万へ突出す
る連結片′１４を相対的に移動可能に嵌装しビン５３に
Ｊ、り連結片１４に連結されている。かかる場合、ビン
５３は、第２図及び第３図に示づことく、イの両端にて
連結部材５１の両腕部５１ａ　、５１ａに嵌着されてお
り、ビン５３の中間部位は、連Ｆｌ′１Ｊ１−１／′Ｉ
に上下方向に穿設した長穴１４ａ内に−１−下動自在に
遊嵌されている。駆動軸５２は水平状に位置してその一
端にてベアリング５４により回転自在に軸支されており
、この駆＃Ｊ軸ｂ２の細端はカップリング５５により減
速機５６の出力軸に連結されている。また、駆動軸５２
の中間部イ０には雄ねじ部５２ａが形成されており、こ
のＨｌねじ部り２８は、連結部材５１の基部に形成した
雌ねじ穴５１ｂに螺合されて、その回転により連結部材
５１を軸方向（第２図にて図示］「右方向）に移動させ
る。減速機５６は所定の減速比にてモータ５７にＪ、り
駆動さけてその出力軸〈即ら、駆動軸５）２）を回転さ
ける。ｌ、ｊお、モータ４５は適宜な操作手段の操作に
」、すＩｓ動停止り−るようになつ−Ｃいる。

次に本発明の電気Ｈ路構成に−〕い（説明すると、Δ−
Ｄ変換器６０が、閉像管１３に′接続されて、この撮像
管１３から生じる顕像信号（！ｊ゛イジタル信号に変換
する。かかる場合、昭陸管１３は、その管面１３ａ十に
載量した試料Ｓ（第２図及び第３図参照）を通しＸ線発
生装置４０かｌうＸ線を受１にどき、管面１３ａの傾動
角に対１ｉ、１する試￥ＡＳの内部状態を透過像どじで
１最像しこれを撤像伯号として発生−４る。ディジタル
−ｌンピｌ−９７０は、そのＲＯＭに予め記憶したコン
ビ−Ｉ−タブし１グラムを第６図のフローヂ１Ｆ−１−
に従いＡ−Ｉ）変換器６０及びキーボード９０との協＋
１１【こＪ、り実７ｊシ、かかる実行中において、ブラ
ウン釣゛Ｆ３０（ＬＺ−ｈ、ＣＲＴ　８０という）その
表示面８０ａ（第９図参照）にて表示さけるに必要な演
尊処理を（”ｊ　１．ｒう。

本実施例において、試料Ｓは、第７図及び第８図に示す
ごとく、第１層Ｓａ、Ｄ’！２層ε３１Ｉ及び第３−７
＝ 層３ｃの重合描込（例えば、パワ１−ランジスタ）を右
しており、第１及び第２の層Ｓａ　、Ｓｂ間の接合面１
−１及び第２及び第３の層Ｓｂ　、３ｃ間の接合面（−
２（ま共に半田イ］けにより処理されているものとＭる
。

Ｊズ上のように構成した本実施例において、試料Ｓの各
接合面１−．１．１２の状態を観察するために、本発明
シスシムを作動状態にお【ノば、ディジタルコンピュー
タ７０が第６図のフローチ１１−トに従い］ノビ１−タ
ブログラムをステップ１００にて実行開始し、ステップ
１００ａにて同期信号を発生し、かつステップ１０１に
てｒＮＯＪとの判別を繰返す。かかる状態にて、減速機
５６を第３図にて図示時計方向へ回転させるべくモータ
５７を駆動すれば、連結部材５１が駆動軸５２０回転の
もどに第２図にて図示左方へ同駆動軸５２に治って移動
し、１ｆｒ３像装置１０がビン５３を連結片１４の長穴
１４ａに治って上動さしつつ両支持軸２２．３２を軸と
して第２図にで図示左方へ傾動し、撮像管１３が管面１
３ａの中心Ｏを基準とし試料Ｓと共に第７図に示すごと
く傾動する。

しかして、撮像管１３の管面１３　ａ　ｉニー文−Ｉ　
Ｊ−る法線Ｐ（中心０を通る）が、ｔ１準鉛直線Ｑとの
関連にてなす傾動角Ｏ（第７図参照）が所定角θ０に達
するまで撮像管１３が傾動したどき、Ｉ−タ５７の停止
により減速機５６の回転を停止１さｌｉ、Ｘ線発住装冒
／ＩＯからＸ線を放用状に発〈１さく！れば、このＸ線
が試料Ｓの各接合面Ｌ１．ｌ：”の各部分の状態に応じ
た透過度合に−Ｃ試料ＳをｊＡメｉＪ　Ｌ、−（撮像管
１３の管面１３ａに入Ｃ１’Ｊする。つい（・、撮像管
１３が、所定角θ０に対応覆る試１１３Ｉ′−ウの両接
合而Ｌ１．Ｌ２の重合状態（以１；、第′１Φ合状態と
いう）を第１透過像として撮像しこの１ｌｉａ像結宋４
第１擾像信号として発生し、Δ−［〕変（φ器６０が同
第１撮像信号を第１デイジタル仁号ＩＪ変換しｊイジタ
ルコンビ：Ｊ−夕７０に付与する１、・」ると、ディジ
タルコンピュータ７０がステツノ１０１にてＡ−Ｄ変換
器６０からの第１デイジタル１、；号に基づきｒ　Ｙ　
ＩＥ　Ｓ　Ｊと判別し、次のスＩツゾ１０１ａにて同第
１デイジタル信号の内容を第１画像デ−タとして一時的
に記憶する。

然る後、ステップ１０２にてｒＮＯＪとの判別を繰返し
ている間に、減速機５６を第３図にて図示反時計方向へ
回転させるべくモータ５７を駆動すれば、連結部材５１
が駆動軸５２の回転のもとに第２図にて図示右方へ同駆
動軸５２に沿って移動し、影像装置１０がビン５３を連
結片１４の長穴１４ａに沿って下動させた後上動させつ
つ両支持軸２２．３２を軸として第２図にて図示右方へ
傾動し、撮像管１３が管面１３ａの中心０を基準とし試
料Ｓと共に第８図に示すごとく傾動する。

しかして、法線Ｐがなす傾動角θ（第８図参照）が所定
角−β０に達するまで撮像管１３が傾動したとき、モー
タ５７の停止により減速機５６の回転を停止さゼ、Ｘ線
発生装置４０からＸ線を放射状に発生させれば、このＸ
線が試料Ｓの各接合面Ｌ１．Ｌ２の各部分の状態に応じ
た透過度合にて試Ｉｓを透過して撮像管１３の管面１３
ａに入射する。ついで、撮像管１３が、所定角−００に
対応する試料Ｓの両接合面１１．１２の重合状態（以下
、第２重合状態という）を第２透過像として搬像しこの
撤像結果を第２泥像信月として発生し、Ａ−Ｄ変換器６
０が同第２撮像信号を第２デイジタル信号に変換しディ
ジタルコンビ１−夕７０に付与する。すると、ディジタ
ル丁＝１ンピ」−タフ０がステップ１０２にてｒＹＥｓ
Ｊと判別し、次のステップ１０２ａにて同第２デイジタ
ル信号の内容を第２画像データとして一時的に記憶する
。

ここにおいて、上述した両ステップ１０１ａ。

１０２ａにおける各記憶内容の相関性について第７図及
び第８図を参照して説明する。、上述したように、第７
図に示すごとく撮像管１３及び試料Ｓがθ−θ０だけ傾
動した状態においてＸ線発生装置４０がＸ線を放射状に
発生した場合に、単一のＸＩＲが試料Ｓの両接合面Ｌ　
１　、　ｌ　２　上ノ各点Ａ　。

Ｂを透過し管面１３ａ上の点Ｃに垂ｎに入射するものと
すれば、これら両点Ａ、Ｂは痛伸管１３により完全な重
合点に相当する透過像としてＭ像される。

一方、上述したように、第８図に示１ごとく撮伸管１３
及び試料Ｓがθ−−θ０だけ傾動した状態においてＸ線
発生装置４０がＸ線を放射状に発生した場合に、第７図
にて示した両接合面上の各点Ａ、Ｂを透過する各Ｘ線Ｒ
１，Ｒ２は、相互に相違するとともにＸ線Ｒとも共に相
違して管面１３ａ上の点Ｃとは異なる別々の各点Ｃ１，
Ｃ２にそれぞれ入射する。このことは、θ＝θ０からθ
−−θ０への変化時に、両点Ａ、Ｂが管面１３ａ上の中
心０を基準として第７図及び第８図上にて共に描く各軌
跡とＸ線の進行方向との関係を幾何学的に考察すれば、
容易に理解されるところである。

このようなことから、上述した両接合面Ｌ　１　。

１２の第１重合状態を表わす第１透過像が、接合面Ｌ１
の状態に相当する透過像部分αとの接合面Ｌ２の状態に
相当する透過像部分βとの重合により構成されているも
のとすると、上述した両接合面Ｌ１．Ｌ２の第２重合状
態を表わす第２透過像においては、両透過像部分α１．
β１（それぞれ各透過像部分α、βに対応する）が管面
１３ａ上にて相互に位置ずれを生じるとともに両透過像
部分α、βともそれぞれ位置ずれを生じることが理解さ
れる。従って、両透過像部分α、α１間の位置ずれ量も
再透過像部分β、β１間のそれとは異なることが理解さ
れる。このことは、両ステップ１０１ａ　、１０２ａに
おける各記憶内容の相関性が上述の位置ずれとの関係で
特定されることを意味する。

ステップ１０２ａにおける演算後コンピュータプログラ
ムがステップ１０３に進むと、ディジタルコンピュータ
７０が、ステップ１０１ａにおける第１画像データ及び
ステップ１０２ａにおける第２画像データを並列画像デ
ータとして合成しこの合成結果を映像信号として発生す
る。かかる場合、前記第１画像データが、上述した両透
過像部分α、βに対応するデータにより構成され、−方
、前記第２画像データが、上述した両透過像部分α１、
β１に対応するデータにより構成されているものとする
。また、両透過像部分α、Ｃ１は試料Ｓの接合面Ｌ１内
における同一ボイドに対応し、−１４＝ −７ミ両透過像部分β、β１は試料Ｓの接合面Ｌ２内に
おける同一ボイドに対応するものとする。

上述のごとくディジタル二］ンビコータ７０から映像信
号が生じると、ＣＲＴ８０がディジタルコンビコータ７
０からのステップ１００ａにおける同期信号との関連に
より前記映像信号に応じ第１透過像（即ち、両透過像部
分α、β）及び第２透過像（即ち、両透過像部分α１．
β１）を第９図に示ηごとく表示面８０ａにて並列表示
する。

このような状態において、操作者が、ＣＲＴ８０の表示
内容を児ながら、キーボード９０の操作のもとに、第１
透過像を第２透過像に向けて水平移動させて透過像部分
βを透過像部分β１に位置合せするに必要な位置合せ操
作信号をキーボード９０から発生させる。

するど、ディジタルコンピュータ７０が、ステップ１０
／′Ｉにて、キーボード９０から位置合せ操作信号を受
けて同位置合は操作信号の内容を位置合せデータどして
作成し映像信号として発生する。

ついで、ＣＲＴ８０がディジタルコンピュータ７０から
の同期信号及び映像信号に応じ表示面８０ａ上にて第１
表示透過像を第２表示透過像に向は水平移動させて透過
像部分βを透過像部分β１に一致させる。かかる場合、
上述のごとく両透過像部分β、β１間の位置ずれ量が両
溝′Ａ像部分α。

α１間の位置ずれ酊と相違していたことから、両透過像
部分β、β１が一致したどき透過像部分αが第９図にて
破線により示すごとく透過像部分α１との間に三ケ月状
に位置ずれを生じる。なお、以上のような位置合せはデ
ィジタル［−１ンビＪ−タフ０による両スデップ１０４
．１０Ｅｉの循環演算下にて行なわれる。

しかして、かかる位置合せ完ｒにより４−−ボード９０
からの位置合せ操作信号の発）１が停止Ｊると、ディジ
タルコンピュータ７０がスーｒツブ１０５にてｒＹＥｓ
ｊと判別し、コンビ−１−タブログラムをステップ１０
６に進める１、するど、第２透過像を表わす第２画像デ
ータが、１−）４ミのように位置合せした第１透過像を
表わづ第１画像データから減紳されて、両透過像部分β
、β］にそれぞれ対応する区画像データ部分の差が零に
なるとともに、両透過像部分α、α１にイれぞれ対応す
る各画像データ部分の差が一対の三ケ月透過（ｇｌｍｌ
。

第２（第９図参照）に対応する第１減算画像データとし
て得られる。

然る後、ディジタル」ンビュータ７０がステップ１０７
にて同第１減粋画像データを一時的に記憶する。

こ１ンビユータプログラムがステップ１０８に進みディ
ジタル−１ンピユータ７０がステップ１０３における場
合と同様に映像信号を生じると、ＣＲＴ８０が一上述と
同様にして第１及び第２の透過像を表示面８０ａにて並
列表示する。かかる状態にて、操作者が、ＣＲＴ８０の
表示内容を見ながら、キーボード９０の操作のもとに、
第１透過像を第２透過像に向（Ｊて水平移動させて透過
像部分αを透過像部分α１に位置合せするに必要な位置
合せ操作信号をキーボード９０から発生させる。

すると、ディジタルコンピュータ７０が、ステップ１０
９にて、キーボード９０から位置合せ操作信号を受けて
同位置合せ操ｒ［信号の内容を位置合せデ゛−夕として
作成し映像イハ月とｌ）で発生Ｊ−る。

ついで、ＣＲＴ８０がディジタル」ンビＩ−タフ０から
の同期信号及び映像信号に応じ表示面８０ａにて第１表
示透過像を第２表示透過像に向（）水平移動さけて透過
像部分αを透過像部分α１に一致さける。かかる場合、
上述のごとく両ｉ３過像部分α、α１間の位置ずれ量が
両透過像部分β、β１間の位置ずれ量と相違していたこ
とから、両透過像部分α、α１が一致したとき透過像部
分βが透過像部分β１との間にて上）ボとは逆の１）向
に三ケ月状に位置ずれを生じる。なお、以りのような位
置合ぜはディジタルコンビ１−タフ０による両スデップ
１１０，１０９の循環演鋒トに−（’　ｔｉなわれる。

しかして、かかる位置合せ完了にＪ、す１−ボード９０
からの位置合Ｖ操作信号の光）１か停止すると、ディジ
タルコンビ１−夕７０がスＪツ／１１０にてｒＹＥｓｊ
と判別し、」ンピー１−タゾ１−１グラムをステップ１
１１に進める。げイーと、第２透過像を表わす第２画像
データが、上述のように位置合せした第１透過像を表わ
す第１画像ブタ−から減算されて、再透過像部分α、α
１にそれぞれ対応する各画像データ部分の差が、零にな
るとともに、再透過像部分β、β１にそれぞれ対応する
各画像データ部分の差が、上述した第１減算画像データ
の場合と実質的に同様に、−対の三ケ月透過像Ｍ１．Ｍ
２に対応する第２減算画像データとして得られる。然る
後、ディジタルコンピュータ７０がステップ１１２にて
同第２減算画像データを一時的に記憶する。

然る後、コンピュータプログラムがステップ１１３に進
むと、ディジタルコンピュータ７０が、各ステップ１０
７，１１２にて記憶済みの第１及び第２の減算画像デー
タを並列表示データとして合成し映像信号として発生す
る。すると、ＣＲＴ８０が、ディジタルコンピュータ７
０からの映像信号に応じ、前記同期信号との関連にて、
第１減粋画像データに対応する一対の三ケ月透過＠ｍ１
゜Ｉｌ＋　２及び第２減算画像データに対応する一対の
三ケ月透過像Ｍ１．Ｍ２を第１０図に承りごとく表示面
８０ａにて表示づる。これにより、ＣＲＴ８０の表示内
容に基ぎ、試Ｆ３ＩＳの接合面１−１には、三ケ月透過
像ｍ１又は第２によって特定されるボイドが存在し、−
方、試Ｉ１．　Ｓの接合面Ｌ−２には、三ケ月透過像Ｍ
１又はＭ２によって特定されるボイドが存在する旨、試
料Ｓを破壊することなく適確に観察できる。かかる場合
、各三θ月透過像ｍ１、ｍ　２．Ｍｌ、Ｍ２の幅に相当
覆るＣ　ＲＴ　８０の表示面８０ａ上の画素数が１箇或
いは数箇となるように前記両透過像部分α、α１間の位
置ずれ量及び前記両透過像部分β、β１間の位置ずれ聞
を少なくすべく撮像管１３の傾動角θ−００及びθ−−
Ｏｏを設定しておけば、各三ケ月透過像ｍ１、ｍ　２．
Ｍｌ、Ｍ２の輪郭線の内外にて表示濃度が鋭く変化する
ので、前記各ボイドノ輪郭が明瞭に表示され得ることと
なる。

なお、前記実施例においては、試１’ｉｌ　Ｓの両接合
面Ｌ１．Ｌ２内のボイドの観察にあたり本発明を適用す
る場合について説明したが、これに限らず、本発明によ
れば、両接合面Ｌ１．！　２のクラック、試料Ｓの各層
３ａ　、３ｂ　、３ｃ中のクラック、多層プリント基板
或いは多層厚膜基板における層間の知略箇所、プラスチ
ックパッケージ集積回路中のボイド等を、破壊せずして
その存在位置を別々に適確に把握しつつ観察することが
できる。

また、前記実施例においては、撮像管１３を傾動さゼる
ようにしたが、これに代えて、ｘｍ発生装置４０を移動
させることにより、撮像管１３に対するＸ線発生装置４
０からの入射角を前記第１及び第２の傾動角にそれぞれ
対応する各入射角に調整するようにしてもよい。

次に、第１１図ないし第１４図を参照して、本発明の他
の実施例について説明する。

第１１図は本実施例の放射線透視画像処理シスｊムの全
体構成図である。本システムは、図示しない被検体に対
してＸ線を照射して被検体を透視したＸ線の透視画像を
収集するＸ線透視画像収集装置２０１を有する。該Ｘ線
透視画像収集装置２０１は、図示しないが、被検体に対
してＸ線を照−リ１− ＝２０− 対重るＸ線管および該Ｘ線管から発／ｌ：　Ｌ　Ｃ被検
体を透視したＸ線を受けて被検体の透視画像を搬像する
Ｘｌ１ｌ撮像装置を有するとともに、該Ｘ線透視画像収
集装置２０１は回転機構２１３に１８続され、該回転機
構２１３の制御によりＸ線管およびＸ線搬像装置を回転
または移動し、これにより被検体に対して少なくとも第
１および第２の２方向からＸ線を照射し、これらの２方
向からの被検体の第１および第２の透視画像を得ること
がでさるようになっている。なお、Ｘ線管およびＸ線搬
像装置を回転または移動させる代りに、被検体を回転ま
たは移動させてもよいし、更にＸ線管のみ回転または移
動させてもよいし、また更に被検体とＸ線搬像装置を回
転または移動さけてもよい。すなわち、被検体に対して
少なくとも２１ノ向からの透視画像が得られればよい。

また、この場合、Ｘ線発生点とｘｓｉ；＋撮像面との間
の距離に比べて、被検体の厚さｄおよび被検体と撮像面
との間の距１１１１１が十分小さいことが重要である。

上述したように回転機構２１３の制御によりＸ線透視画
像収集装置２０１から１ｑられる透視画像のうち、Ｘ線
層像面に垂直な方向の第１の透視画像０とこの垂直方向
に対し“Ｃ角度θ傾斜した方向の第２の透視画像０θと
がＸ線透視画像収集装置１？０１で収集され、それぞれ
第１の画像メ七り２０３と第２の画像メ−［す２０５と
に記憶される。

第１の画像メ七り２０３に記憶された透視画像０は画像
減算装置２０９に直接供給されるが、第２の画像メしり
２０５に記憶された第２の透視画像ＧＯはアフィン変換
装置２０７を介して画像減算装置２０９に供給され、こ
れにより第２の透視画像０θはジノｌ〜、または必要に
より、すなわち第２の透視画＆ａθの大きさが第１の透
視画像Ｇの大きさと異なる場合には第２の透視画像ＧＯ
の大ぎさを第１の透視画像Ｇの大きさに合せるようにイ
Ｈ：５率の拡大、縮小等を行ない、該第２の透視画（象
Ｇθの所望の画像部分が第１の透視画像Ｇの対応りる画
像部分と一致するように位置合せされてから画像減算装
置２０９に供給されている。

画像減算装置２０９は、第１の画像メモリ２０３から直
接供給される第１の透視画像Ｇど第２の画像メモリ２０
５からアフィン変換に＝　ｉ？’／　２０７を介し−Ｃ
第２の透視画像Ｇｏの所望の画像部分が第１の透視画像
Ｇの対応する画像部分と　１′りさμられて供給される
第２の透視画像０θとの画像減算を行ない、前記−致さ
Ｌられた所望の画像部分が存在Ｊる被検体内の深さまた
は高ざ／の画像部分の消去を行なう。このように画像減
算）装置２０９−ｃ　ｉｒ！ｉｉ像減幹された画像Ｇｓ
ｕｂは画像表示具１〜２１１に供給されて表示される。

なお、この画像表示装置２１１に供給される画像は画像
域（つ（キれた画像Ｇｓｕｂの代りに、該減算画像Ｇ　
５ＩＪＩＩ　、ｎＯ記第１の透視画像Ｇおよび前記アフ
ィン変換ＩＡＩＩ′１２０７の処理を受けた第２の透視
画像Ｇθに上り前記所望の画像部分が存在りる被検体内
の深さの画像部分のみを画像減算装置２０９−７１’゛
抽出し１両像人示装″ｉ？ｆｆ２１１に表示することし
て・きる。また、制御装置２１５は本成銅線透視画像処
理シスｉムの全体の動作をルＩＩ　１２１１する装置で
ある。

前記回転機構２１３は、その訂細イ（−例を第１２図（
ａ）、（ｂ）にぞれぞれ正面図および側面図どし−Ｃ示
り−ように、前記Ｘ線透視画像収集装置２０１を構成す
るＸ線搬像装置２２１の下端部に一体的に固定され、ｘ
ｉｓ像装置２２１とともに第１２図（ａ　）に点線で示
すように揺動する基端部２２３を石ηる。この基端部２
２３の上面は半円弧状に形成され、このＹ円弧状部分の
上面にラックピニオン２２３ａが形成され、このラック
ビーＡン２２３ａに歯車２２５が螺合している。この歯
ｉｆ　２２５はその中心に固定された連結軸２２７を介
して七−タ２２つの回転駆動軸に連結され、これにより
七−夕２２９の回転に応じて回転するようになっている
。−ぞして、七−夕２２９の回転で山中２２５５が回転
すると、この歯車２２５に螺合されているラックピニオ
ン２２３ａを介して２、を端部２２３１１３よびＸ線搬
像装置２２１が第１２ＩＶＩ　（ａ　）に熱線で示すよ
うに該Ｘ線倣像装置２２コの一ト端部の回転中心Ｏを中
心に同図において！ｒイｊ（こ揺動する。ぞし゛（、こ
のＸ線１ｉ７３像装置２２１の揺Φｊ＋動作の結果、図
示しない被検体に対１゛る×＝２４− 線の透視角度が異なり、これにより萌ｉＪ　Ｌ　／ζ被
検体の異なる方向からの透？、ＩＪ画像、す４’Ｌ　ｌ
′１　〕５第′１よ５よび第２の透視画像が得られるよ
・）（。イ、）（いるのである。

／ｒお、＋ｉ７ｊ記１．↓端部２２３の下方には・ン１
．ｌ＋台２Ｊ１１が設けられ、この支持台２３１１（ｌ
　Ｉ’ｒＹすｆ＞Ｉ　ｉＪられた一対の案内レール２３
３上に複数の１１−ラ２３５を介しη前記基端部２２３
が設＋−Ｊ　１７＋　ト＋、、これにより前述したよう
に基端部２２３　Ａ３　Ｊ、ＵＸ線撮像装置２２１が揺
動じ１５７るようにな−）でいる。また、レール２３３
の両端にはリミツ１〜スイツＪ−２３４が設（Ｊられて
いる。また、前記Ｌ−り２２９にはエン−」−ダ２３７
が取り付【）られ、この［ンー］−ダ２３７の出力パル
スを傾き角測定）ｋ首２３９て・測定す゛ることにより
Ｘ線ｌｌ１１像′！Ａｉｉ’！　２２１の（げ１斜角度
、すなりＪう前）ホした透視角度を測定・Ｊることがｒ
：１３るようになつ−Ｃいる３、ぞしく、このｆ６１ｆ
ｔは傾き角測定駅ｆＦｆ　２３９からｍｍ表示器：、’
　４１　ｉ−供給されて表示されるように１．Ｋ　−１
−（いる、１次に、第１３図を参照して本７＋父用線透
視画像処−つ會− 即システムの動作原理について説明する。

本放射線透視画像処理システムは、第１３図において点
線で示す被検体２５１内にＸ線を透視しにくい物質等ぐ
形成されている第１の領域Ａおよび第２・の領域Ｂが積
層されているとした場合、これらの各領域、例えば第１
の領域へが存在する深さの層の内部構造の画像のみを前
記Ｘ線透視画像収集装置２０１が収集した第１および第
２の透視画像ＧおよびＧｏから抽出しようとするもので
ある。

第１３図に示すように、被検体２５１は第１の位ｔＮＰ
１からのＸ線照射により第１の透視方向に透視されてＸ
線撮像面２５３上に第１の透視画像Ｇが形成され、また
第２の位置Ｐ２からのＸ線照射により第２の透視方向に
透視されてＸ＃Ｉ撮像面２５３上に第２の透視画像Ｇθ
が形成される。このように形成される各透視画像Ｇおよ
びＧｏにおいては、被検体２５１に対する透視角度がそ
れぞれ異なるため、被検体内に積層されている第１の領
ｈｉ！Ａおよび第２の領域Ｂの透視画像は図示のように
位置がずれて示される。寸なわｌ、、第１の透視画像Ｇ
においては第２の領域１３　（Ｊ第１の領域への下に完
全に入っているが、第２のｊΔ視画像Ｇθにおいては第
２の領［Ｂは一部が第゛１の領域Ａの下からはみ出るよ
うにずれているの（゛ある。

従って、このように第１の透視画像０および第２の透視
画像ＧＯにおいて、位置がずれ−Ｃいる第１の領域Ａお
よび第２の領域ＢのうＩ〕、−方、例えば第２の透視画
像Ｇｏの第１のダミｔ或Ａを第１の透視画像Ｇの第１の
領域Ａに完全に一致ざけるように第２の透視画像Ｇθを
位置合１４．　Ｆｄ　（ｌ　１だけ移動させて位置合せ
し、この位置合μした第１の透視画像Ｇと第２の透視画
像Ｇθとの画像減算を行なって、減筒画像Ｑｓｕｂを口
出Ｊると、完全に一致している第１の領域への画像（ま
この域外画像から除去され、他の画像はずれた吊に相当
する画像が残存して形成されるのである。ｆｒ　−、Ｃ
１この画像から第１の領域△に相当する深さの層の被検
体の内部画像がどれであるかがわかるのである。これは
、更に詳細には前記第１の透視画像Ｇと、第２の透視画
像Ｇｏを前述したように第１の領域Ａを一致させるよう
に移動した第２の透視画像Ｇθ′と、前記減紳画像Ｇ　
ｓｕｂとに基づいて第１の領ＩＭＡに相当する所定の深
さの層の被検体の内部画像を抽出することができるので
ある。

上述した動作原理および前記禍成に基づき、第１４図に
示すフローヂャートに従って次に作用を説明する。

まず、Ｘ線透視画像収集装置２０１は、Ｘ線撮像面に垂
直な方向からの第１の透視画像Ｇ　（Ｘ　。

■）を収集し、前記第１の画像メモリ２０３に記憶する
。それから、回転機構２１３の制御によりＸ線管とＸ線
撮像管、または被検体を×方向に微小角度△θＸおよび
ｙ方向に微小角度Δθｙ回転しＣ１この方向からの第２
の透視画像Ｇθ（Ｘ。

■）を収集し、第２の画像メモリ２０５に記憶する（ス
テップ３１０）。

ここにおいて被検体内のある深さに積層されているある
パターンが第１の透視画像ＧとしてＸ線撮像面に形成さ
れた時に対して第２の透視画像Ｇ−つＯ− θとして形成された時の該パターンの位置ずれ吊Δ×、
Δｙは、ｘｓｉ＋纏像面２５３から該パターンまでの距
離を７とし、第１の透視画像０と第２の透視画像Ｇθと
の透視角度差を八〇×、△０ｙとすると、次式により算
出される。

△Ｘ−八〇へ・Ｚ Δｙ−Δθｙ・７ 但し、ここでＸ線発生点と×４！撮像面との間の距離に
比例して、被検体の厚さ、被検体とＸ線撮像面との間の
距離が十分小さいものとし、また角度差へ〇Ｘ、Δθｙ
の単位はラジアン（ｒｅｄ）とする。

前述したように第２の画像メモリ２０５に記憶された第
２の透視画像Ｇθ（ｘ　、　ｙ　）は、アフィン変換装
置２０７に供給され、ここで上述しノＣように求められ
た位置ずれ量Δ×、△ｙだけ移動されて位置合せされて
、移動画像Ｇθ（×　−Δ×。

ｙ−Δｙ）が形成され、この移動画像０θ（Ｘ〜Δ×、
ｙ−Δｙ）は画像減算装■２０９に供給される（ステッ
プ３２０）。

、）、た、第１の画像メｔす２０３に記憶されている０
′！１の透視画像Ｇ（ｘ、ｙ）も画像減算装置２０９に
供給され、第１の透視画＠Ｇ　（ｘ　、　ｙ　）と移動
画像Ｇθ〈×　−△ｘ、ｙ−△ｙ）との差画像（’＋５
ｔｌｌｌ　　（ｘ　、　ｙ　）が次式のように算出され
る（スフ　・ン　ｆ　　３　３　０　　）　　、。

０ｓｕｂ　　（ｘ、Ｖ）＝ｌＧ（Ｘ、Ｖ）００（×−△
×、ｙ−△ｙ） この差画像ＧＳＩＪｌ）　　（Ｘ　、　Ｖ　）で除去さ
れた領域が：ｊ’ｌ　１．１．！距ば／の所にある被検
体の内部の領域であり、４−の差画像□ｓｕｂが該領域
以外の領域の微分画像（あり、この微分画像が前記画像
表示装置２１１（、二人示される（スフツブ３４．０　
）　。

／、お、この微分画像の代りに、前記距１ｌＩＩＩ７の
所の被検体の内部の領域の画＠Ｇ７（Ｘ、Ｖ）を表小じ
たい場合には、次式により第１の透視画像Ｇ（Ｘ、Ｖ）
、前記移動画＠Ｇθ〈×−△ｘ、ｙ−△■）および前記
差画像Ｇｓｕｂ　　（ｘ　、　’ｌ　）に基づい（−ｔ
’Ｎ出することができる。

ｃｚ　　（ｘ、ｙ）＝＝Ｇ（ｘ、ｙ）十Ｇ６１（ｘ　−
△ｘ、ｙ　　−ＡＶ　　＞　　−Ｇｓｕｈ　　（ｘ　　
、　　Ｖ　　）なお、上記実施例においては、Ｘ線介牛
点とＸ線握像面との間の距阪１に比較し−Ｃ１被検体の
１９さおよび被検体ど擾像面どの間の距ｌ［が１分小さ
いとしているが、被検体の厚さＪ−３よび被検１ホど１
扉縁面どの間の距姻が無視てパきない場合、＋Ｌ　７＝
は更に高精回のイ◇（Ｐ？含Ｕが必要な場合には史（ご
畠次の補正を行ｔ１うことができるものである３゜［弁
明の効果−１ 以−に説明したように、本発明に」、４′目、［、被検
体の第１および第２の）聞過像のノｊい（、−文・Ｉ　
ｆ’ｔ１＝）る部分が一致するように第１およびり′）
２の透過像をイ１′ｌ置合せし、この位置合Ｕされ１＝
透過像４−相Ｉｊ（こ画像減算しているので、被検体の
所望の深さの内部状態、特に内層部の画像を簡単に抽出
ｊＪろことがひきる。

【図面の簡単な説明】

ムの構成を示す正面図、第３図は第２図のｌｒ’ｌ　’
Ｊ線＝３１− 分の表示画像図、第１１図は本発明の他の実施例に係る
放射線透視画像処即シスデムのブロック図、第１２図（
ａ）、（ｂ）はそれぞれ第１１図の放０＝ｊ線透視画像
処理システムに使用される回転ｉ描の構成を示１Ｊ止面
図および側面図、第１３図は第１１図の散開線透視画像
処理システムの動作原理を説明りるための図、第１４図
は第１１図の放射線ｊ丙視画像処理システムの作用を示
すフローチャー１〜で・ある、。 Ｓ・・・試料　　　　　　　１３・・・躍伸管＝３２− ２０．３０・・・支持機構　　’Ｉ　Ｏ・・・Ｘ線発（
ｌ装量５０・・・駆動機構 ７０・・・ア°イジタル」ンビコータ ９０・・・キーボード ２０１・・・Ｘ線透視画像収集装Ｖ１ ２０３．２０５・・・画像メモリ ２０７・・・アフィン変換装間 ２０９・・・画像減算装置　２１３・・・回１１１．機
４；、Ｈ代理人力ｙｊＪｊ上　三　好イ呆男 第１　図 第２図 第３図 第４図 第７図 第８図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 放射線を発生する放射線発生手段と、この放射線発生手
   段から第１及び第２の入射角にて被検体を通し放射線を
   それぞれ受けたとき前記被検体の前記第１及び第２の入
   射角にそれぞれ対応する第１及び第２の透過像を撮影す
   る撮影手段と、前記放射線発生手段から前記撮影手段へ
   の放射線の入射角が前記第１及び第２の入射角となるよ
   うに前記放射線発生手段と前記撮影手段との間の相対的
   位置関係を選択的に調整する調整手段と、前記第１透過
   像に相当する第１画像を前記第２透過像に相当する第２
   画像に向けて移動させて前記第１画像の一部分がこれに
   対応する前記第２画像の部分と一致するように位置合せ
   する画像位置合せ手段と、この画像位置合せ手段による
   位置合せ後の第１及び第２の画像間の画像減算を行う画
   像減算手段とを備えた放射線透過画像演算処理システム
   。