JPS6319745U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6319745U JPS6319745U JP10926486U JP10926486U JPS6319745U JP S6319745 U JPS6319745 U JP S6319745U JP 10926486 U JP10926486 U JP 10926486U JP 10926486 U JP10926486 U JP 10926486U JP S6319745 U JPS6319745 U JP S6319745U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- coil
- power
- ion source
- plasma
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のイオン源動作用結
線図である。 １……高用周波電源、４……マツチング回路、
５……真空容器、６……マイル、７……加速電極
、８……電子抑制電極、９……加速電源、１０…
…電子抑制電源。
線図である。 １……高用周波電源、４……マツチング回路、
５……真空容器、６……マイル、７……加速電極
、８……電子抑制電極、９……加速電源、１０…
…電子抑制電源。
Claims (1)
- プラズマを生成する容器の内側、もしくは外側
にコイルを配置し、このコイルに高周波電力を供
給してオン種となるガスをプラズマ化するイオン
源において、電力を供給する高周波電源を商用周
波側で絶縁し、電源全体をほぼ加速電極の電位で
動作させたことを特徴とする高周波イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10926486U JPS6319745U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10926486U JPS6319745U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6319745U true JPS6319745U (ja) | 1988-02-09 |
Family
ID=30987200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10926486U Pending JPS6319745U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6319745U (ja) |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP10926486U patent/JPS6319745U/ja active Pending
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