JPS63200084A - レ−ザドツプラ速度計 - Google Patents
レ−ザドツプラ速度計Info
- Publication number
- JPS63200084A JPS63200084A JP3269487A JP3269487A JPS63200084A JP S63200084 A JPS63200084 A JP S63200084A JP 3269487 A JP3269487 A JP 3269487A JP 3269487 A JP3269487 A JP 3269487A JP S63200084 A JPS63200084 A JP S63200084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- doppler
- optical fiber
- moving object
- fiber cable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、光のドツプラ効果を利用して鉄鋼非鉄金属
等製造ラインの移動物体の速度を非接触で測定するレー
ザドツプラ速度計に関するものである。
等製造ラインの移動物体の速度を非接触で測定するレー
ザドツプラ速度計に関するものである。
一般に、移動物体の速度?光のドツプラ効果を利用して
測定するには、第2図に示すような構成のレーザドツプ
ラ速度計が用いられていた。第2図は例えば三菱m機技
報Vo1.5B ・No、 7 ・1984第34頁〜
第38頁に記載の光ファイバセン廿−レーザ干渉計−に
示これ九従来のレーザドツプラ速度計の構成図であシ0
図において(11は移動物体、(21けレーザ、C3)
けレーザ光f2分割するビームスプリッタ、 (4a
)、 (4b)はビームスプリッタ31で2分割された
レーザ光を送信光学系(5a)。
測定するには、第2図に示すような構成のレーザドツプ
ラ速度計が用いられていた。第2図は例えば三菱m機技
報Vo1.5B ・No、 7 ・1984第34頁〜
第38頁に記載の光ファイバセン廿−レーザ干渉計−に
示これ九従来のレーザドツプラ速度計の構成図であシ0
図において(11は移動物体、(21けレーザ、C3)
けレーザ光f2分割するビームスプリッタ、 (4a
)、 (4b)はビームスプリッタ31で2分割された
レーザ光を送信光学系(5a)。
(sb) Kmび(コア径50μm程度のマルチモード
4イブの光ファイバケーブル、 (40)は後述する
受信光学系の受信光を伏込するコア径100μm以上の
大口径マルチモードタイプの光ファイバケーブル、(6
)は移動物体(11から散乱された光會受信するための
受信光学系、(71は受信光f電気信号に変換する光検
出器、 IglFi増幅器、(9)は周波数追跡器。
4イブの光ファイバケーブル、 (40)は後述する
受信光学系の受信光を伏込するコア径100μm以上の
大口径マルチモードタイプの光ファイバケーブル、(6
)は移動物体(11から散乱された光會受信するための
受信光学系、(71は受信光f電気信号に変換する光検
出器、 IglFi増幅器、(9)は周波数追跡器。
01は速度演算器である。
謝2図に示すごとく、移1k11物体(1)にレーザ(
2)から発信したレーザ光をビームスプリッタ(3νで
2分割し、各々の光を光ファイバケーブル(4a)#(
4t))と送信光学系(5a)、 (51))で、互い
に反対方向から移動物体(1)上に交差させて照射する
と、各々の送光ビームに対応した移動物体(1)の散乱
光の波長は、移動物体(1)の速度Vに応じて、いわゆ
る正負のドツプラシフトを起こす。この2つの正負のド
ツプラシフ)?受けた散乱光を受信光学系(6)で受信
し、光ファイバケーブル(4C)で光検出器(7)に導
び′#電気信号に変換すると、この電気信号の中には、
受信光の強さに比例する直流信号と第(1)式に示すト
°ツプラ絢波数fdの交流信号(以下ドツプラ信号とい
う)が存在中る。
2)から発信したレーザ光をビームスプリッタ(3νで
2分割し、各々の光を光ファイバケーブル(4a)#(
4t))と送信光学系(5a)、 (51))で、互い
に反対方向から移動物体(1)上に交差させて照射する
と、各々の送光ビームに対応した移動物体(1)の散乱
光の波長は、移動物体(1)の速度Vに応じて、いわゆ
る正負のドツプラシフトを起こす。この2つの正負のド
ツプラシフ)?受けた散乱光を受信光学系(6)で受信
し、光ファイバケーブル(4C)で光検出器(7)に導
び′#電気信号に変換すると、この電気信号の中には、
受信光の強さに比例する直流信号と第(1)式に示すト
°ツプラ絢波数fdの交流信号(以下ドツプラ信号とい
う)が存在中る。
ここに
V:移動物体の速度
λ:レーザ光の波長
ψ:2つの送光ビームの交差角
光検出器(71で電気信号に変換されたドツプラ信号は
微弱なため増幅器(8)で増幅された後1周波数追跡器
(9)でドツプラ周波数fd f計測し、jlEn+式
によシ速度演算器a・で速度演算することによシ移動物
体(1)の速度vt求めることができる。このことは公
昶の事実である。
微弱なため増幅器(8)で増幅された後1周波数追跡器
(9)でドツプラ周波数fd f計測し、jlEn+式
によシ速度演算器a・で速度演算することによシ移動物
体(1)の速度vt求めることができる。このことは公
昶の事実である。
第3図は、送信光学系(5a)、 (5b)からの2条
のビームの交差部を示す図であ99図中りはビーム径、
Δθはビーム拡がシ、A点、B点、C点は2条のビーム
の交差点を示すもので、それぞれ。
のビームの交差部を示す図であ99図中りはビーム径、
Δθはビーム拡がシ、A点、B点、C点は2条のビーム
の交差点を示すもので、それぞれ。
ビームの下限、中央、上限の交差点會示す。
送信光学系(sa)、 (5b)でビームウェストを
構成するようレーザビームは平行光になされるが。
構成するようレーザビームは平行光になされるが。
光ファイバケーブル(aa)、 (4b)としてコア径
50μm程度のマルチモード4イブを使用しているため
、光ファイバケーブル(41!L)# (ab)から出
たレーザ光は、50μmの径をもつ有限な面光源であシ
かつ約200mrad程度のビーム拡がシをもつため、
送信光学系(sa)、 (5b)の照射ビームは完全に
平行光とはならず、ビーム拡が夛Δθは数□rad以上
となる。
50μm程度のマルチモード4イブを使用しているため
、光ファイバケーブル(41!L)# (ab)から出
たレーザ光は、50μmの径をもつ有限な面光源であシ
かつ約200mrad程度のビーム拡がシをもつため、
送信光学系(sa)、 (5b)の照射ビームは完全に
平行光とはならず、ビーム拡が夛Δθは数□rad以上
となる。
tは、送信光学系(5a)、 (5b)から移動物体
+11までの測定距離、2・Δtけ、 2条のビームの
交差点A、C間の距離、ψはB点でのビーム交差角。
+11までの測定距離、2・Δtけ、 2条のビームの
交差点A、C間の距離、ψはB点でのビーム交差角。
ψ1はA点でのビーム交差角、ψ2は0点でのビーム交
差角である。
差角である。
レーザドツプラ速度計では、2条のビーム各々のドツプ
ラシフトを受けた散乱光を受信してドツプラ信号を得る
ため、移動物体(1+は第3図のビーム交差部(A、O
点間)になけねばならない。
ラシフトを受けた散乱光を受信してドツプラ信号を得る
ため、移動物体(1+は第3図のビーム交差部(A、O
点間)になけねばならない。
通常、移動物体(11の走行ラインP(以下パスライン
という)が2条のビームの交差点B?通クシ2条ビーム
交差する中心線に蚕直になるように送信光学系(5a)
、 (5b) 1−配置し、このときの幽定距畦to管
基準距離とし、速度演算器a・の速度計側値v’ ?
移動物体(1)の速度Vに等しくなるように校正する。
という)が2条のビームの交差点B?通クシ2条ビーム
交差する中心線に蚕直になるように送信光学系(5a)
、 (5b) 1−配置し、このときの幽定距畦to管
基準距離とし、速度演算器a・の速度計側値v’ ?
移動物体(1)の速度Vに等しくなるように校正する。
この場合移動物体(1)のパスラインPが平行移動して
も、A点、0点を越えなければ、ドツプラ信号が得られ
移動物体(11の速度Vの計測が可能となる。すなわち
、ビーム交差部の長さ2・Δtが、移動物体+11の速
度計測可能な許容パスラインPK動範囲を示す。
も、A点、0点を越えなければ、ドツプラ信号が得られ
移動物体(11の速度Vの計測が可能となる。すなわち
、ビーム交差部の長さ2・Δtが、移動物体+11の速
度計測可能な許容パスラインPK動範囲を示す。
$ 11 物体(11のパスラインPが、3点1する場
合は、ビーム交差角はψであるためドツプラlid波数
fdは速度v[対して、第(1)式で与えられる。しか
しながら、パスラインPが変験してA点を通る場合、ビ
ーム拡がシΔθによシビーム交差角ψ1はψ1=ψ+2
・Δθとなるため、ドツプラ周波数fd1は次式で与え
られる。
合は、ビーム交差角はψであるためドツプラlid波数
fdは速度v[対して、第(1)式で与えられる。しか
しながら、パスラインPが変験してA点を通る場合、ビ
ーム拡がシΔθによシビーム交差角ψ1はψ1=ψ+2
・Δθとなるため、ドツプラ周波数fd1は次式で与え
られる。
ニー・虐(9’十Δθ)・・・・・・・・−・・・・・
(2)A 2 同様にパスラインPが変動して0点を通る場合。
(2)A 2 同様にパスラインPが変動して0点を通る場合。
ビーム交差角ψ2はψ2=ψ−2Δθ となるためドツ
プラ馳波数fd2は次式で与えられる。
プラ馳波数fd2は次式で与えられる。
第(1+式〜第(31式から明らかなように、移動物体
fi+がパスラインP変かを起こすと、移動物体(1)
の速度Vに対して得られるドツプラ周波数は異った値と
なυ、ドツプラ筒波数から移動物体(11の速度Vを算
出する速度演算器aOの速度計側値V/は誤差を含むこ
ととなる。
fi+がパスラインP変かを起こすと、移動物体(1)
の速度Vに対して得られるドツプラ周波数は異った値と
なυ、ドツプラ筒波数から移動物体(11の速度Vを算
出する速度演算器aOの速度計側値V/は誤差を含むこ
ととなる。
今、パスラインPが、A点からC,atで変動したとき
の測定誤差率εけ、躯(11式〜第(31式からパスラ
インがB点を通ったときのドツプラ周波数fdを基皐と
して次式に与えられる。
の測定誤差率εけ、躯(11式〜第(31式からパスラ
インがB点を通ったときのドツプラ周波数fdを基皐と
して次式に与えられる。
ビーム交差部の長さ2・Δtは、 ビーム径りとビーム
交差角ψからほぼ次式で近似できる。
交差角ψからほぼ次式で近似できる。
従って、パスラインPの単位距障変勧当シの測定誤差δ
は、 第+4!、第(5)式から次式で与えられる。
は、 第+4!、第(5)式から次式で与えられる。
δ =□
2・Δt
辿常、ビーム拡がシΔθは数mrad程度、 ビーム交
差角ψは、10°以下に設計されるので。
差角ψは、10°以下に設計されるので。
幽ΔθζΔθ、■((L)#1となシ、第(61式は次
式で近似される。
式で近似される。
raa
例えば、ビーム拡がシΔθを3 、ビーム径りを40
としたときの測定誤差δは。
としたときの測定誤差δは。
H
となシ、パスラインP変動1R*当シ約−0,15(%
)の測定誤差となる。ここで第(81式の符号の(へ)
は。
)の測定誤差となる。ここで第(81式の符号の(へ)
は。
パスラインPが測定圧htとして長(なる方向に変動し
たときに負の測定誤差を与えることを示すものであシ、
測定距離変動にほぼ比例した測定誤差を与える。
たときに負の測定誤差を与えることを示すものであシ、
測定距離変動にほぼ比例した測定誤差を与える。
第3図のB点を通るパスラインPを基糸としてこのとき
の測定圧#I1.oからのパスライン変動−?Δtp
とすると、速度演算器aOの速度計側値V′は1次式で
与えられる。
の測定圧#I1.oからのパスライン変動−?Δtp
とすると、速度演算器aOの速度計側値V′は1次式で
与えられる。
v’=v(1+δ・Δtp) ・・・・・・・・
・・・・・・・ (91パスライン変動慮Δtpは、測
定圧Htが基準距$ toより長くなる方向を←)とし
0反対に短くなる方向を←)とする。
・・・・・・・ (91パスライン変動慮Δtpは、測
定圧Htが基準距$ toより長くなる方向を←)とし
0反対に短くなる方向を←)とする。
一般的に、鉄鋼ライン等の移lcI′l物体(1)のパ
スラインPけ1通板時の板のバIツキによシ数關〜数1
0m変動する。従って、送信光学系(5a)、(5b)
と移動物体(11間の測定距離が変化することとなシ。
スラインPけ1通板時の板のバIツキによシ数關〜数1
0m変動する。従って、送信光学系(5a)、(5b)
と移動物体(11間の測定距離が変化することとなシ。
速度計側値に誤差ケ生ずる。
上記従来のレーザドツプラ速度計は、送信光学系(5a
)+ (5b)の照射ビームのビーム拡がシΔθによシ
移動物体(1)のパスライン変動に伴なう測定距離の基
臨距離toからの変動菫Δzpにほぼ比例し、た速度計
測誤差を生ずるという問題を治していた。
)+ (5b)の照射ビームのビーム拡がシΔθによシ
移動物体(1)のパスライン変動に伴なう測定距離の基
臨距離toからの変動菫Δzpにほぼ比例し、た速度計
測誤差を生ずるという問題を治していた。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、測定距離変動に伴なう速度計測誤差を低減したレ
ーザドツプラ速度計を得ることを目的とするものである
。
ので、測定距離変動に伴なう速度計測誤差を低減したレ
ーザドツプラ速度計を得ることを目的とするものである
。
この発明に係わるレーザドツプラ速度計は、送信用光フ
ァイバケーブル(4a)、 (4b>として、コア径6
μm程度のシングルモードタイプの光ファイバケーブル
を使用し、上記光ファイノくケーブルの後にコリメーよ
レンズを設けたものである。
ァイバケーブル(4a)、 (4b>として、コア径6
μm程度のシングルモードタイプの光ファイバケーブル
を使用し、上記光ファイノくケーブルの後にコリメーよ
レンズを設けたものである。
この発8)4VCおいては、上記コア径6μm程度のシ
ングルモードタイプの光ファイバケーブルで。
ングルモードタイプの光ファイバケーブルで。
レーザ(2)から発信されたレーザ光を伝送するため。
シングルモードタイプの光ファイバケーブルから出たレ
ーザ光は、約6μm と点光源とみなせ、コリメータレ
ンズの焦点の位置に光ファイバケーブルのレーザ出射口
を合わせhば、コリメータレンズ?出たレーザビームの
ビーム拡がシΔθは非常に小さくなシ、従って、照射ビ
ーム拡がシΔθの大きさにより生ずるa++j定距離定
距離変体−う速度計測誤差を低減している。
ーザ光は、約6μm と点光源とみなせ、コリメータレ
ンズの焦点の位置に光ファイバケーブルのレーザ出射口
を合わせhば、コリメータレンズ?出たレーザビームの
ビーム拡がシΔθは非常に小さくなシ、従って、照射ビ
ーム拡がシΔθの大きさにより生ずるa++j定距離定
距離変体−う速度計測誤差を低減している。
第1図は、この発明による一実施例を示すレーザドツプ
ラ速度計の構成図であシ、以下図面に従い説明する。
ラ速度計の構成図であシ、以下図面に従い説明する。
図中fll、 +21. (4C) 、 +61〜α
1は上記従来と同じ本のである。αυはレーザ(2)か
ら発信されたレーザ光ケ伝送するコア径6μm程度のノ
ングルモード光ファイバケーブル、α2は上記シングル
モード光ファイバケーブル(111の端末、αJは上記
端末α2から出次レーザ光を平行にするための焦点距離
f (UE)をもつコリメータレンズ、 Q41はコ
リメータレンズα3からのレーザビームを2分割するハ
ーフミラ−1αりはハーフミラ−Iの反射光の方向を変
えるミラーである。
1は上記従来と同じ本のである。αυはレーザ(2)か
ら発信されたレーザ光ケ伝送するコア径6μm程度のノ
ングルモード光ファイバケーブル、α2は上記シングル
モード光ファイバケーブル(111の端末、αJは上記
端末α2から出次レーザ光を平行にするための焦点距離
f (UE)をもつコリメータレンズ、 Q41はコ
リメータレンズα3からのレーザビームを2分割するハ
ーフミラ−1αりはハーフミラ−Iの反射光の方向を変
えるミラーである。
以上の構成のレーザドツプラ速度計において。
レーザ(2)から発信されたレーザ光は、シングルモー
ド光ファイバケーブルall[よシ端末a’a″l!!
で導かれる。端末azの端面は約6μmの点光源とみな
せその端面からレーザ光は約20(jmrad程度のビ
ーム拡が9で射出されている。上記端末α2から距離f
(、)の所にコリメータレンズα3が配置され、レー
ザ光?平行ビームにしている。
ド光ファイバケーブルall[よシ端末a’a″l!!
で導かれる。端末azの端面は約6μmの点光源とみな
せその端面からレーザ光は約20(jmrad程度のビ
ーム拡が9で射出されている。上記端末α2から距離f
(、)の所にコリメータレンズα3が配置され、レー
ザ光?平行ビームにしている。
コリメータレンズ0の出力ビームは、ハーフミラ−α4
で2分割され、ハーフミラ−α瘤の透過光とハーフミラ
−Iの反射光はミラーaりf経由してそれぞれ移動物体
(1)上に互いに交差角ψでもって交差するようになっ
ている。
で2分割され、ハーフミラ−α瘤の透過光とハーフミラ
−Iの反射光はミラーaりf経由してそれぞれ移動物体
(1)上に互いに交差角ψでもって交差するようになっ
ている。
コア径6μm程度のシングルモード光ファイバケーブル
a11で導かれ之レーザ光は、端末(13の端面では約
6μm程度の点光源となっているため、端末α2の端面
からコリメータレンズαjの距離ヲコリメータレンズa
3の焦点距離f (n)に合わせることによシ、コリメ
ーiレンズ0の出力レーザビームのビーム拡がシΔθが
Q、 3 y@ rad以下にすることができ、従来例
で問題となったビーム拡がシΔθに依存して生ずる測定
距離変動に伴なう速度計測誤差を1/10以下に低減し
たレーザドツプラ速度計となる。
a11で導かれ之レーザ光は、端末(13の端面では約
6μm程度の点光源となっているため、端末α2の端面
からコリメータレンズαjの距離ヲコリメータレンズa
3の焦点距離f (n)に合わせることによシ、コリメ
ーiレンズ0の出力レーザビームのビーム拡がシΔθが
Q、 3 y@ rad以下にすることができ、従来例
で問題となったビーム拡がシΔθに依存して生ずる測定
距離変動に伴なう速度計測誤差を1/10以下に低減し
たレーザドツプラ速度計となる。
以上のように、この発明によれば、レーザ(2)から発
信したレーザ光をコア径6μm程度のシングルモード光
ファイバケーブルαυでzml末αzVcsキ。
信したレーザ光をコア径6μm程度のシングルモード光
ファイバケーブルαυでzml末αzVcsキ。
端末(13の端面からコリメータレンズα31までの距
離をコリメータレンズ0の焦点距離f(III)に合わ
せることで、コリメータレンズ(l:1の出力レーザビ
ームのビーム拡がシΔθを0.3mradにすることか
でき、ビーム拡がシΔθの大きさに依存して生ずる?1
l11定距離変動に伴なう速度計測誤差を低減したレー
ザドツプラ速度計が提供できる。
離をコリメータレンズ0の焦点距離f(III)に合わ
せることで、コリメータレンズ(l:1の出力レーザビ
ームのビーム拡がシΔθを0.3mradにすることか
でき、ビーム拡がシΔθの大きさに依存して生ずる?1
l11定距離変動に伴なう速度計測誤差を低減したレー
ザドツプラ速度計が提供できる。
第1図はこの発明の一実施夕IIを示すレーザドツプラ
速度計の構成図、第2図は従来のレーザドツプラ速度計
の構成図、第3図は送信光学系のビ−ム交差部を示す図
である。 区1中、aυはシングルモード光ファイバケーブル。 α2は端末、α3はコリメータレンズ、α4はハーフミ
ラ−0aりはミラーである。 なお0図中同一符号は同一または相当部分を示す。
速度計の構成図、第2図は従来のレーザドツプラ速度計
の構成図、第3図は送信光学系のビ−ム交差部を示す図
である。 区1中、aυはシングルモード光ファイバケーブル。 α2は端末、α3はコリメータレンズ、α4はハーフミ
ラ−0aりはミラーである。 なお0図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (2)
- (1)特定の波長を出力するレーザと、上記レーザのレ
ーザ光を伝送するシングルモード光ファイバケーブルと
、上記シングルモード光ファイバケーブルの端末から出
射したレーザ光を平行ビームにするためのコリメータレ
ンズと、上記コリメータレンズの出力レーザビームを2
分割するハーフミラーと、上記ハーフミラーで2分割さ
れた各々のレーザビームの方向を変えて移動物体上に互
いに反対方向から交差させて照射し得るミラーと、上記
二つの照射ビームの各々について移動物体の速度に応じ
てドップラシフトを起した散乱光を一緒に受信する受信
光学系と、上記受信光学系で受信したドップラ信号を含
む散乱光を伝送する光ファイバケーブルと、上記伝送さ
れた散乱光を電気変換する光検出器と、上記光検出器の
出力を増幅する増幅器と、上記増幅された信号からドッ
プラ周波数を検出する周波数追跡器と、上記周波数追跡
器の出力信号であるドップラ周波数から移動物体の速度
を演算する速度演算器とを備えたレーザドップラ速度計
。 - (2)シングルモード光ファイバケーブル端末の端面と
コリメータレンズとの距離をコリメータレンズの焦点距
離に合うように調整するようにした特許請求の範囲第(
1)項のレーザドップラ速度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3269487A JPS63200084A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | レ−ザドツプラ速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3269487A JPS63200084A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | レ−ザドツプラ速度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200084A true JPS63200084A (ja) | 1988-08-18 |
Family
ID=12365964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3269487A Pending JPS63200084A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | レ−ザドツプラ速度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63200084A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60102563A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザドツプラ−速度計 |
| JPS61130887A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-18 | Canon Inc | レ−ザ−ドツプラ−速度計 |
-
1987
- 1987-02-16 JP JP3269487A patent/JPS63200084A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60102563A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザドツプラ−速度計 |
| JPS61130887A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-18 | Canon Inc | レ−ザ−ドツプラ−速度計 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3279116B2 (ja) | レーザドップラ流速計 | |
| CN113566710A (zh) | 具有光学开关的测距系统 | |
| CN101825432B (zh) | 双波长光纤干涉大量程高分辨率位移测量系统 | |
| US4938595A (en) | Diffraction photoelectric displacement measuring device | |
| JP2755757B2 (ja) | 変位及び角度の測定方法 | |
| JPS63111489A (ja) | 基準位置から動いている再帰反射ターゲットの変位を測定する装置 | |
| JPH09325005A (ja) | 偏位を測定するための装置 | |
| CN106949842B (zh) | 二维位移测量装置及测量方法 | |
| US5394240A (en) | High-accuracy air refractometer utilizing two nonlinear optical crystal producing 1st and 2nd second-harmonic-waves | |
| US20080094608A1 (en) | Laser velocimetry system | |
| CN102706462A (zh) | 光纤型多楔块费索波长计 | |
| JPS63200084A (ja) | レ−ザドツプラ速度計 | |
| JPS6183911A (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| CN107560555A (zh) | 激光干涉游标卡尺 | |
| CN223940215U (zh) | 一种光强补偿式位移传感器 | |
| RU2158416C1 (ru) | Устройство для определения размеров деталей | |
| SU1448908A1 (ru) | Способ определени оптических характеристик атмосферы | |
| EP0851210B1 (en) | Non-contact strain meter | |
| SU1397732A1 (ru) | Устройство дл измерени тонких стенок стекл нных труб | |
| SU844592A1 (ru) | Устройство дл измерени напр женийВ СТЕКлЕ | |
| RU2160450C1 (ru) | Оптический измеритель скорости, длины и направления движения | |
| JPS62156563A (ja) | 速度および距離測定装置 | |
| SU1051430A1 (ru) | Волоконно-оптический датчик скорости | |
| SU1076739A1 (ru) | Преобразователь линейного перемещени | |
| JPH0355797B2 (ja) |