JPS6320023U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6320023U JPS6320023U JP1986113767U JP11376786U JPS6320023U JP S6320023 U JPS6320023 U JP S6320023U JP 1986113767 U JP1986113767 U JP 1986113767U JP 11376786 U JP11376786 U JP 11376786U JP S6320023 U JPS6320023 U JP S6320023U
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- JP
- Japan
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- container
- lowest position
- photoresist
- support member
- recess
- Prior art date
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- Granted
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Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Description
第１図は容器支持部材に容器を係合した略断面
図、第２図は容器支持部材の略断面図、第３図は
配置態様図である。 １……密栓、２……吸引管、２′……下端開口
部、３……ホトレジスト液、４……容器、５……
底縁部、６……容器支持部材、６′……凹所、７
……静電容量形近接スイツチ、８……ワード線、
９……制御部。
図、第２図は容器支持部材の略断面図、第３図は
配置態様図である。 １……密栓、２……吸引管、２′……下端開口
部、３……ホトレジスト液、４……容器、５……
底縁部、６……容器支持部材、６′……凹所、７
……静電容量形近接スイツチ、８……ワード線、
９……制御部。
Claims (1)
- ホトレジスト液３を吸引汲み出しを行う吸引管
２の下端開口部２′がとどく容器４の底縁部５を
最下部となるように該容器５を傾斜して係合でき
る容器支持部材６を形成し、その凹所６′の最深
部に近い位置に、前記容器４内の最低位置を指向
し、検出効果が得られる位置に静電容量形近接ス
イツチ７を設置し、その検出信号が得られるよう
にして成ることを特徴とする容器内のホトレジス
ト液量検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986113767U JPH035862Y2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986113767U JPH035862Y2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320023U true JPS6320023U (ja) | 1988-02-09 |
| JPH035862Y2 JPH035862Y2 (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=30995882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986113767U Expired JPH035862Y2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH035862Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-07-24 JP JP1986113767U patent/JPH035862Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH035862Y2 (ja) | 1991-02-14 |