JPS63200904A - 主軸ヘツドバランス装置 - Google Patents

主軸ヘツドバランス装置

Info

Publication number
JPS63200904A
JPS63200904A JP3068387A JP3068387A JPS63200904A JP S63200904 A JPS63200904 A JP S63200904A JP 3068387 A JP3068387 A JP 3068387A JP 3068387 A JP3068387 A JP 3068387A JP S63200904 A JPS63200904 A JP S63200904A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spindle head
drive motor
load
output
switching element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3068387A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0637002B2 (ja
Inventor
Toshio Moro
俊夫 毛呂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP62030683A priority Critical patent/JPH0637002B2/ja
Publication of JPS63200904A publication Critical patent/JPS63200904A/ja
Publication of JPH0637002B2 publication Critical patent/JPH0637002B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/001Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine
    • B23Q11/0028Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine by actively reacting to a change of the configuration of the machine
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/26Fluid-pressure drives

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Drilling And Boring (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、工作機械、放電加工装置その他の類似の加工
機械における主軸ヘッドの重量バランスを制御する装置
に関する。
[従来の技術] 従来、例えば金型製作用の立形ヘッドを有する工作機械
の場合、その駆動部である例えばDCモータ部の負荷電
流を低減させるために、一般的には第4図に示すような
バランスウェイト方式がとられている。バランスウェイ
ト方式の効果には主につぎの2つがあり、その1つは駆
動モータの負荷電流を低減できるためモータの発熱によ
るボールネジ等の熱膨張を抑制できること、さらに駆動
増幅器の制御範囲の中立点近傍に負荷時における動作点
を設定し主軸ヘッドの制御性を改善できることなど駆動
部側の改善効果である。他の1つはボールネジおよびそ
のベアリング等への負荷荷重を低減できるため寿命改善
を計ることができ、さらに機構設計(形状、大きさ等)
が容易になるなど設計上のメリットがあることである。
次にこれらの点について説明する。
第4図において、1は主軸ヘッド、2は主軸、3aは主
軸2の下端に取付けられた加工工具で、最も使用頻度の
高い平均的なものを示し、3bは使用可能な最大重量を
もつ工具の場合を示す。この主軸ヘッド1はコラム4の
側面にスライドベアリング5を介して上下摺動自在に装
着され、主軸ヘッド1の側面より突設したナツト部材6
にボールネジ7を螺合し、このボールネジ7をDCモー
タ等の駆動モータ8により回転させて主軸ヘッド1を上
下動させるようになっている。この場合において、主軸
ヘッド1の重量バランスをとるためにボールネジ7の反
対側においてバランスウェイト9がワイヤロープまたは
チェーン10と複数個の滑車11を介して主軸ヘッド1
に連結されている。バランスウェイト9の重量は通常、
主軸ヘッド1と最も使用頻度の高い平均的な工具3aの
荷重を合計した値に設定される。
しかして、主軸ヘッド1の位置制御は、ボールネジ7に
ロータリエンコーダ12を連結し、このロータリエンコ
ーダ12により検出されたボールネジ7の回転角度数を
前段増幅部13に入力し、指令値との偏位量を駆動増幅
部14により増幅しその出力を駆動モータ8に制御電圧
として印加することにより行う。
ところで、工具3aが当初設定した荷重より大きく変化
する場合、例えば放電加工装置の電極等では非回転加工
が一般的に行われているため電極1本当り数百gfから
数百kgfに至るまで変化する場合があり、このような
場合たとえ位置指令値がゼロであっても、駆動モータ8
の懸垂荷重は最初V(kgf)であったものがW’  
(kgf)にバランスするため位置偏位がロータリエン
コーダ12により検出されそれがフィードバックされて
増幅されるため、駆動増幅部14の動作点が負荷電流I
 へ移って静止することになる。これは次式で表現する
ことができる。
VoK   φ K    ・ ΔZ A   D/A ただし、W′ :実負荷(懸垂荷重) T:駆動モータの出力トルク P :ボールネジのリード ■o:駆動モータ印加電圧 R:電機子抵抗 KT:トルク定数 KA:AMP増幅係数 K  :ディジタル/アナログ変換率 D/A ΔZ:位置偏位量 この位置偏位量ΔZは上式から懸垂荷重W′に比例する
ため、駆動増幅部14の負荷動作点が中立点より大きく
偏位し制御範囲にかたよりが生じることになる。このた
め安定した制御が得られなくなる欠点が生じる。この対
策として、前段増幅部13にバイアス電流調節部13a
を設けて、主軸ヘッド1の停止時、ロータリエンコーダ
12からのフィードバック信号がゼロとなり、見かけ上
動作意が中立点にくるように駆動モータ8にバイアス電
流をかけている。しかし、この場合でも駆動モータ8に
は常時電流が流れることになり、例えばその負荷電流が
モータの定格値に近いような場合は、加工中過負荷とな
り、モータコイルの焼損、異常発熱等のトラブルを誘発
することになる。
このように工具重量が大きく変化する場合、設計上最小
工具荷重と最大工具荷重の中間点を想定して前記バイア
ス電流を設定するため、実際の使用時には+あるいは一
城へ動作点が移動し、前記の説明のように駆動増幅部の
制御範囲の中立点から離れた点が負荷時における動作中
立点となる。
次に、主軸ヘッド1に駆動モータ8により上下送りする
懸垂荷重W′眩と同等のバランスウェイト9をワイヤロ
ープ10で連結し吊下げれば、ボールネジ7およびその
ボールネジ7を回転支持する軸受部(図示せず)に対す
る負荷は極めて軽微なものとなり、上下運動時に作用す
る抵抗は前記軸受部及びスライドベアリング5の摺動抵
抗のみとなる。このためボールネジ7のサイズ、ベアリ
ング類の耐荷重容量を小さくするか、あるいは寿命を延
ばすことができる。しかしこの場合も前記と同様、最小
工具荷重と最大工具荷重では主軸ヘッド1とバランスウ
ェイト9との間に相対的な荷重差が生じ、ボールネジ7
には下向きあるいは上向きのスラスト荷重が作用するこ
とになり、したがって、そのうちの最大アンバランス荷
重が設計基準値となる。
ところで、一般の工作機械の主軸ヘッドでは主に一定送
りが加工中の動作モードであり、位置決め等の段取り作
業においても速度の高低はあるものの定速送りが基本で
ある。しかし、放電加工装置の主軸ヘッドは位置決めや
段取り作業時の定速送り以外に、「極間サーボ」と称す
るワークと工具間の放電間隙を加工中宮に一定に保持す
る機能を有し、この極間サーボの応答性が加工性能に大
きく影響するものである。これは、工具とワークが短絡
した場合は急速開離して正常な間隙へ移行する必要があ
り、また極間がいわゆるオープン状態では急速接近させ
る必要がある。これらの時々刻々と変化する間隙の変化
に対応して、主軸ヘッドの駆動系の応答性を向上させ加
工能率を上げることが加工性能(速度)を改善すること
となるものである。このように非常に短い間隙内で主軸
ヘッドが相対的接近および開離により上下運動を繰返す
場合、ワイヤロープ10とバランスウェイト9により設
定される1次モードの機械共振の影響を受け、前記応答
性の改善が制限されることになる。実際問題としてこの
応答性は放電加工の場合、数Hz〜数十Hzの範囲が必
要となるが、ノ(ランスウェイトの1次共振周波数もこ
の範囲に入る場合が多い。これは設計上ワイヤロープの
サイズを大きくして前記1次共振周波数を高くとること
が、滑車11の大きさ、曲率半径等の点で困難となるケ
ースが多いためと、駆動モータ8からみた駆動系とした
場合、懸垂荷重はゼロに近くはなるものの振動系では次
式に示すように、質量増加のため逆に機械共振周波数が
約1/、/=7と低下するためである。
ただし、K:機械剛性 g:重力加速度 W′ :懸垂荷重 WB :バランスウェイトの重量 [発明が解決しようとする問題点1 以上のように、従来の主軸ヘッドのバランスウェイト方
式には次のような問題点を有することになる。
■ 工具あるいは電極の重量が変化した場合、駆動増幅
部の制御中立点が大きく変動し、安定した制御特性が得
られない。
■ 駆動系としてみるとバランスウェイトの質量分だけ
質量増加となり機械共振周波数が影響し、応答性の改善
には限界がある。
本発明は、これら従来の問題点を解決するためになされ
たもので、従来のようなウェイトによるバランス方式で
はなく機械力によるバランス方式でかつ加工工具(電極
を含む。以下、同じ。)の重量変化に応じてバランス力
を自動的に調節し得るようにした主軸ヘッドのバランス
装置を得ることを目的とする。
[問題点を解決するための手段] 本発明に係る主軸ヘッドバランス装置は、従来のバラン
スウェイトに代えて流体圧シリンダ装置を用い、該シリ
ンダ装置のピストンと主軸ヘッドとを閉ループを形成す
るワイヤロープで連結し、シリンダ装置には供給圧力を
制御する制御弁を設け、主軸ヘッドの位置はその位置検
出器からの検出値と指令値とを減算する誤差カウンタの
出力に基づいて該主軸ヘッドの駆動モータを制御するよ
うに構成し、さらに前記主軸ヘッドの停止時においての
み導通状態となるスイッチング素子を設け、該スイッチ
ング素子を介して前記誤差カウンタの出力に応じて前記
制御弁に対し圧力を制御するように動作するホールド回
路を設けてなるものである。
[作 用] 本発明による主軸ヘッドバランス装置では、主軸ヘッド
の停止時においてのみ導通状態となるスイッチング素子
により誤差カウンタの出力に応じてホールド回路がシリ
ンダ装置の圧力を制御するように構成したので、主軸ヘ
ッドの重量変化に対し制御弁を通じてシリンダ装置の供
給圧力を調節するため、主軸ヘッドの動作点は常に駆動
制御部の中立点となる。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第1図は本発明の実施例の概略構成図である。
なお、図において、第4図と同一符号は同一または相当
部を示すものである。
この実施例では、前記のバランスウェイトに代えてエア
シリンダ装置16を用いた例を示している。このエアシ
リンダ装置16のシリンダ17は一端が大気に開放され
ており、コラム4に強固に固定されている。そして、シ
リンダ17内に摺動自在に嵌合されたピストン18には
ロッド19゜20が連接され、これらロッド19,20
の各端にワイヤロープ10の各端を連結し、さらにワイ
ヤロープ10の他端は複数の滑車11を経由して主軸ヘ
ッド1のナツト部材6に連結して閉ループを形成せしめ
る。
シリンダ装置16のコンプレッサ22を供給源とする空
気圧系にはシリンダ17内の圧力P (MPa)を制御
するためのダイヤフラム制御弁24が接続されている。
つまり、シリンダ17内の圧力Pはダイヤフラム制御弁
24の出力圧として制御され、その出力は、 F−P争A ただし、F:バランス力 A:ピストンの受圧面積 となり、設計上このバランス力Fは主軸ヘッド1と加工
工具3aの合計荷重Wと一致させる。したがって、主軸
ヘッド1の駆動モータ8には主軸ヘッド1の上下運動に
必要な加速度を発生するトルクと、スライドベアリング
5および滑車11等の摺動抵抗に打勝つトルクの合計ト
ルクが要求されるだけとなる。
主軸ヘッド1の移動は前段増幅部13および駆動増幅部
14を主体とする制御回路によって駆動モータ8を制御
するが、その制御に際しては主軸ヘッド1の位置を直線
形位置検出器25であるリニアスケールによって検出し
、その検出された位置信号を誤差カウンタ26ヘフイー
ドバツクスル。
誤差カウンタ26ではフィードバックされた位置信号を
初めに設定された指令値から減算する。誤差カウンタ2
6の出力、すなわちドループ量は次のデジタルアナログ
変換器27を経由して、前段増幅器13および駆動増幅
器14を通って駆動モータ8に対し制御電圧として印加
され、これによって主軸ヘッド1の位置制御を行う。
さらに、誤差カウンタ26には主軸ヘッド1の停止時に
おいてのみ導通状態となるスイッチング素子28が接続
されている。つまり、このスイッチング素子28はデジ
タルアナログ変換器27の出力電圧をホールド回路30
に対しオン・オフするためのもので、スイッチング素子
28は誤差カウンタ26の出力がHレベルでかつ指令値
がLレベルの時にのみオン状態となる。したがって、主
軸ヘッド1の運動中はスイッチング素子28はオフとな
るが、ホールド回路3oは前に送られた信号でホールド
されており、その出力電圧は常時電空圧変換器31へ供
給されている。そして、電空圧変換器31はホールド回
路3oの制御電圧に基づきダイヤフラム制御弁24に対
し所定の空気圧とするように制御する。
次に、上記のように構成された実施例の作用について詳
述する。
主軸ヘッド1の停止時において、位置指令値がゼロの場
合、主軸ヘッド1および工具3aの合計荷重W (N)
による懸垂のため、ボールネジ7には逆転トルクが作用
し、主軸ヘッド1は駆動モータ8の出力トルクとバラン
スするところまで降下することとなる。つまり、位置偏
位量Δ2が発生し、この偏位量はリニアスケール25に
より検出され誤差カウンタ26ヘフイードバツクされる
そして、この偏位量の誤差出力信号が増幅され駆動モー
タ8に電圧印加として作用し、バランスするわけである
。しかし、このまま放置しておくと従来例で説明したよ
うな動作点が駆動増幅器14の中立点より外れる、ある
いは駆動モータ8に位置偏位量ΔZに見合った電流が常
時流れるなどの不具合が生じるものである。
そこで、本発明の実施例では、前記位置偏位量ΔZをス
イッチング素子28を通じてホールド回路30へ伝達す
る。そして、位置偏位量ΔZと制御電圧との関係は第2
図に示すように比例関係で設計すると都合がよい。第2
図は横軸に位置偏位量Δ2(μm)、縦軸に制御電圧(
mV)をとって示しである。
ホールド回路30は、更新入力データが入力されない限
り前の入力データで出力を維持する回路特性を有するも
のであり、ホールド回路30の出力は電空圧変換器31
の入力制御電圧となり、その入力に比例した出力(空気
圧)が電空圧変換器31によって発生せしめられる。し
たがって、ダイヤフラム制御弁24に入力される空気圧
は上部のダイヤフラム24aに作用し、この結果、コン
プレッサ22からの高圧空気源の入力圧力を圧力バラン
ス的に調節して出力圧力を制御する。この出力空気圧P
(MPa)はピストン18へ作用しバランス力F(F−
P−A)を発生させる。
第3図に制御電圧(mV)を横軸に、バランス力F (
N)を縦軸にとったときの関係を示すが、同図に示すよ
うに、入力制御電圧に対してほぼ直線的な特性をもたせ
ることができる。このバランス力Fがワイヤロープ10
に作用することにより、主軸ヘッド1および工具3aの
合計荷重W檀を吊上げるように作用するため、主軸ヘッ
ド1は上方へ持上げられ移動する。このため位置偏位量
ΔZは小さくなり、駆動モータ8に流れる負荷電流も減
少することになる。また、バランス力Fも位置偏位量を
フィードバックして制御しているため、Δz−0となっ
た時点でスイッチング素子28がオフとなり、ホールド
回路30への入力が無くなるため、その時の圧力Pがシ
リンダ17内に維持されることになる。
このように主軸ヘッド1が停止中にのみ、位置偏位量を
検出してバランス力Fを制御する理由は、正確なバラン
ス力が求められること、および主軸ヘッド1の移動中あ
るいは加工中の運動時における位置測定はバランス力の
真値が不明となることによる。
なお、主軸ヘッド1およびシリンダ17内のピストン1
8間を連結するワイヤロープ10を閉ループに形成する
のは、例えば主軸ヘッドlの急激な上昇のためピストン
18の移動が伴わない場合、ワイヤロープ10が滑車1
1から脱輪してしまうおそれがあること、また激しい上
下運動時にはワイヤロープ10がきつく引張られたり、
弛んだりする現象が繰返されることになるため、ワイヤ
ロープ10自体の共振を誘発させそれによる主軸ヘッド
1の動きに悪影響を及ぼす可能性があることなどのため
、これらの不都合を解消する必要があるからである。こ
れにより駆動モータ8は外乱を受けることなく、加工に
必要な出力トルクの制御がスムースに行われることとな
る。仮に電極交換装置等により途中で工具が別の工具に
交換されその11量が大きく変化してバランスが狂った
としても、主軸ヘッド1の位置をリニアスケール25で
検出し、バランス力Fを制御するため素早くバランスが
とれるとともに駆動モータ8に流れる電流を常に最小に
することができる。さらに、工具が軽くシリンダ装置1
6のバランス力Fが大きくて主軸ヘッド1が子方向へ持
上げられてもその移動はフィードバックされるためバラ
ンス力Fは小さく制御されることは前述のとおりである
[発明の効果] 本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
■ 主軸ヘッドの駆動モータの負荷を大きく低減するこ
とができる。
■ 制御動作点を常に駆動増幅器の中立点に位置させる
ことができるので、駆動増幅器のダイナミックレンジ(
制御範囲)を最大限使用することができ、安定した制御
が可能となる■ ボールネジ、その支持ベアリング等の
主軸ヘッド駆動系の機械的負荷を低減せしめ寿命を大き
く延ばすことができる。また、低負荷容量化のため小型
化が可能である。
■ 工具重量が変化しても、その懸垂重量に対応したバ
ランス力で制御するため、負荷に応じてサーボ系のゼロ
点調整が不要もしくは極に簡単になる。
■ バランス力は重量ではなく機械力で与えられるため
、機械共振数の低下を招くことがなく、かつ、ワイヤロ
ープのたるみ等がないので、高速移動、切換し等にもス
ムースに対応できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の概略構成図、第2図はホール
ド回路の入出力特性図、第3図は本発明装置のバランス
力の特性図、第4図は従来例の概略構成図である。 1・・・主軸ヘッド    3a・・・加工工具4・・
・コラム       8・・・駆動モータ10・・・
ワイヤロープ   13・・・全段増幅部14・・・駆
動増幅部    16・・・シリンダ装置24・・・ダ
イヤフラム制御弁 25・・・位置検出器    26・・・誤差カウンタ
28・・・スイッチング素子 30・・・ホールド回路
31・・・電空圧変換器 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 代理人 弁理士  佐々木 宗 治 第1図 13:J’1WRY%9     2B: スイ−y’
r>り’tJ第2図   第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 加工工具を取付ける主軸ヘッドと、該主軸ヘッドを装着
    しその移動を案内するコラムと、前記主軸ヘッドの駆動
    モータと、前記主軸ヘッドに閉ループを形成するワイヤ
    ロープにより連結されたシリンダ装置と、該シリンダ装
    置に供給される圧力を制御する制御弁と、前記主軸ヘッ
    ドの位置検出器と、該位置検出器により検出された検出
    値とあらかじめ設定された指令値との減算を行う誤差カ
    ウンタと、該誤差カウンタの出力に基づき前記主軸ヘッ
    ドの駆動モータを制御する制御回路と、前記主軸ヘッド
    の停止時においてのみ導通状態となるスイッチング素子
    と、該スイッチング素子を介して前記誤差カウンタの出
    力に応じて前記制御弁に対し圧力を制御するように動作
    するホールド回路とを備えてなることを特徴とする主軸
    ヘッドバランス装置。
JP62030683A 1987-02-14 1987-02-14 主軸ヘツドバランス装置 Expired - Lifetime JPH0637002B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62030683A JPH0637002B2 (ja) 1987-02-14 1987-02-14 主軸ヘツドバランス装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62030683A JPH0637002B2 (ja) 1987-02-14 1987-02-14 主軸ヘツドバランス装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63200904A true JPS63200904A (ja) 1988-08-19
JPH0637002B2 JPH0637002B2 (ja) 1994-05-18

Family

ID=12310487

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62030683A Expired - Lifetime JPH0637002B2 (ja) 1987-02-14 1987-02-14 主軸ヘツドバランス装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0637002B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0636453A1 (fr) * 1993-07-26 1995-02-01 MORANT DEVELOPPEMENT Société à Responsabilité Limitée : Dispositif de sécurité équipant un vérin d'équilibrage d'une charge et fonctionnant à partir d'une information sur la vitesse de déplacement de la tige du vérin
WO2000032343A1 (fr) * 1998-12-02 2000-06-08 Sodick Co., Ltd. Appareil de gravure par etincelage
US6627838B2 (en) 2001-02-05 2003-09-30 Sodick Co., Ltd. Small hole electric discharge machine
EP1375062A1 (en) * 2002-06-21 2004-01-02 Jobs S.p.A. A machine tool
CN116060999A (zh) * 2023-03-07 2023-05-05 长春光华微电子设备工程中心有限公司 一种机床的控制系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6144514A (ja) * 1984-08-07 1986-03-04 Toshiba Mach Co Ltd 重量バランス制御装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6144514A (ja) * 1984-08-07 1986-03-04 Toshiba Mach Co Ltd 重量バランス制御装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0636453A1 (fr) * 1993-07-26 1995-02-01 MORANT DEVELOPPEMENT Société à Responsabilité Limitée : Dispositif de sécurité équipant un vérin d'équilibrage d'une charge et fonctionnant à partir d'une information sur la vitesse de déplacement de la tige du vérin
FR2708317A1 (fr) * 1993-07-26 1995-02-03 Morant Dev Dispositif de sécurité équipant un vérin d'équilibrage d'une charge et fonctionnant à partir d'une information sur la vitesse de déplacement de la tige de vérin.
WO2000032343A1 (fr) * 1998-12-02 2000-06-08 Sodick Co., Ltd. Appareil de gravure par etincelage
CN1091015C (zh) * 1998-12-02 2002-09-18 沙迪克株式会社 放电加工装置
US6538227B1 (en) 1998-12-02 2003-03-25 Sodick Co., Ltd. Electric discharge machine having a balance device for balancing gravitational force acting on a vertically moveable quill
EP1122016A4 (en) * 1998-12-02 2005-01-19 Sodick Co Ltd DEVICE FOR RADIO EROSIVE EDITING
US6627838B2 (en) 2001-02-05 2003-09-30 Sodick Co., Ltd. Small hole electric discharge machine
EP1375062A1 (en) * 2002-06-21 2004-01-02 Jobs S.p.A. A machine tool
US6902362B2 (en) 2002-06-21 2005-06-07 Jobs S.P.A. Machine tool
CN116060999A (zh) * 2023-03-07 2023-05-05 长春光华微电子设备工程中心有限公司 一种机床的控制系统

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0637002B2 (ja) 1994-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0166987B1 (ko) 자중지지장치
JP3825737B2 (ja) 精密位置決め装置及びこれを用いた加工機
US4417843A (en) Waysless machine tool table
JP4484413B2 (ja) 力制御方式研磨のためのスピンドル組立体
US5449985A (en) Zero-power control type vibration eliminating apparatus
JPS63200904A (ja) 主軸ヘツドバランス装置
US4798985A (en) Linear motor with air-lift bearing unloading
US20050262915A1 (en) Die cushion apparatus
US6881918B2 (en) Electric discharge machining apparatus
US6119917A (en) Wire bonding apparatus and bonding load correction method for the same
US4490944A (en) Pressure-compensated hydraulic positioning system
JP2012125067A (ja) 磁気浮上装置
US4627196A (en) Pressure-compensated hydraulic positioning system
US5425237A (en) Counterbalance system
JPH07295649A (ja) ステージ制御装置
JPH07259801A (ja) エアーサーボシリンダシステム
JP2011125200A (ja) 磁気浮上装置
CN102778904A (zh) 天文望远镜主从摩擦轮间正压力调节的控制方法及其设备
SU1551997A1 (ru) Пневматическое устройство дл измерени линейных размеров
JPH04766B2 (ja)
CN121625000A (zh) 一种基于磁弹协同驱动的恒力浮动打磨装置及其控制方法
JP2741790B2 (ja) バランス装置
JPH0573523B2 (ja)
JP2567169B2 (ja) 差動式電磁アクチュエータ
JPS6144515A (ja) 重量バランス制御装置