JPS63201517A - 非接触型の道路プロフィル測定装置 - Google Patents

非接触型の道路プロフィル測定装置

Info

Publication number
JPS63201517A
JPS63201517A JP63027861A JP2786188A JPS63201517A JP S63201517 A JPS63201517 A JP S63201517A JP 63027861 A JP63027861 A JP 63027861A JP 2786188 A JP2786188 A JP 2786188A JP S63201517 A JPS63201517 A JP S63201517A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
distance
measuring device
measuring
under test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63027861A
Other languages
English (en)
Inventor
カーチス エム・ウオーカー
ゴードン アール・ブラウン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
K J ROU ENGINEERS Inc
Original Assignee
K J ROU ENGINEERS Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by K J ROU ENGINEERS Inc filed Critical K J ROU ENGINEERS Inc
Publication of JPS63201517A publication Critical patent/JPS63201517A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C7/00Tracing profiles
    • G01C7/02Tracing profiles of land surfaces
    • G01C7/04Tracing profiles of land surfaces involving a vehicle which moves along the profile to be traced
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Road Repair (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は距離測定装置に関するものであり、更に具体的
には非接触式の表面プロフィル測定装置に関する.更に
具体的には、本発明は、車両を通常の走行速度にて道路
表面を運転する際に、基準となる車両フレームからこの
車両の下にある道路表面もしくはこの車両の上方にある
橋等までの距離を測定する装置に関する。
[従来の技術] 本出願人に譲渡された米国特許第4456829号には
、道路の表面上を通過しつつある基準となる車両フレー
ムからその道路表面までの距離のような、相対的に動い
ている表面までの距離を測定する電子光学装置を開示し
てある.この装置は、垂直に下方へ、道路表面上に矩形
の光束を投影するための光送信器を含む. 回転走査器
は拡散的に反射される映像を順次受信し、矩形の十字線
を通してこのような映像を光検出器に反射するための円
周状に配列された側限を含む。参照光束は、道路映像を
反射する側限により、参照検出器上に厘次反射される.
道路表面までの距離は、この道路映像の入射時刻を参照
検出器上で参照反射が起きる時刻と比較することにより
、この道路映像が走査器に入射する角度の関数として決
定される.模範的であり、好適な道路表面測定装置では
、道路表面プロフィルは、その車両の車輪に連結された
エンコーダ等により示される車両移動の連続的な増分値
単位でサンプルされ且つ記憶される。
前記の特許中に開示された装置は商業ベースにのり成功
を収めたが、まだ多くの点で改良が望ましい.例えば、
回転走査器と駆動モータなどの動く部材の必要性を排除
することが望ましい。
更にまたこの特許の装置中の複数の光源と検出器は、製
造時及び使用時に機械的な調節をしなければならない場
合は、複雑さを増し費用がかかる。
[発明が解決しようとする課題コ 従って本発明の目的は、動く部材を有せず、調節を実質
的に減少若しくは排除した上記性格の測定装置を提供す
ることにある。
本発明の更に概略の目的は組立て及び使用に際し経済性
、信頼性及び精度を向上し、特に道路プロフィルの測定
に実用性のある非接触型距離測定装置を提供することに
ある。本発明の更に具体的な目的は道路表面などのよう
な比較的動いている表面のプロフィルを測定する進んだ
電子光学走査器と装置とを提供することにある。
[課題を解決するための手段] 概略を述べると、本発明による装置は供試表面に光束の
焦点を合せるための光源と投影装置とを含む.供試表面
から拡散的に反射した光エネルギは、光に感応するデバ
イスすなわち光感応検出器で受信され且つ集束される.
この光感応検出器は、この検出表面に集束した反射光の
直交する位置座標(orthogonal posit
ion coordinates)の関数として、一対
の出力信号を発生する。供試表面までの距離はこの2つ
の出力信号の関数、具体的には上記出力信号間の差と上
記出力信号の和との比の関数として決定される。
本発明の好適実施例においては、光源は発振器に結合さ
れたIRダイオードを含み、このダイオードの出力は、
従って、発振器の出力周波数で変調されている。 この
光感応検出器の出力信号は、具体的には出力の和信号と
差信号であるが、発振器に接続されダイオード駆動信号
と同期して復調される。このような同期復調は、光感応
検出器の出力信号をr波することと組合わされて、周囲
光とその他の環境要因に起因する誤差を排除するのに役
立つ、このようなアイソレーションを更に高めるために
、供試表面からの反射光は赤外線フィルタを通して光感
応検出器に焦点を合せる。
道路表面測定のための本発明の好適具体例では、光源と
光感応検出器は、車両フレーム上に間隔をあけて取付け
られ、基準となる測定フレームを形成する。光源は車両
フレーム下の公称距離に焦点を合せ、光感応検出器は、
前記公称距離に中心を合せた測定窓縁の中における道路
表面からの反射光を受信するようになっている。そして
この公称距離からの道路表面のオフセットは、光感応検
出器の出力信号の差と和の間の比、道路表面までの公称
距離、車両フレーム上の光源と光感応検出器の間の間隔
、及び表面までの公称距離における入射光と反射光との
間の反射角度の組合わせ関数として決定される。
[実施例] 第1図は本発明による距離測定装置の好適実施例10を
説明しており、基準16の水平フレームを形成する車両
(図示しない)のフレームに、囲壁14内に光源として
の発光ダイオード(LED ) 12を含む0発光ダイ
オード12からの光エネルギは、窓20を通してレンズ
18により、基準のフレーム16からの公称距離Hにあ
る道路表面に集束する。光感応検出器22は囲壁24内
にあり、基準16となる車両フレーム上で、レンズ18
の垂直軸から公称距離したけ離隔した位置に取付けられ
ている。道路表面で拡散的に反射した発光ダイオード1
2からの光エネルギは、窓26を通して受信され、光に
向き合った検出器22の表面上に、レンズ28により集
束される。
赤外線フィルタ30は囲壁24により支持され、窓26
とレンズ28との間に配置されている。検出器22とレ
ンズ28の中実軸は公称距離t1において角度aにてレ
ンズ18の軸と交錯する0発光ダイオード12と光検出
器22はセンサ電子回路32へ接続されている。
本発明による道路表面測定を説明する実施例では、発光
ダイオード12は800nmのピーク波長を有する10
0111W IRダイオードを含む、レンズ18は同様
に85+amの焦点距離とfh、8の口径を有する。光
感応検出器22はニューシャーシー、ミドルセックスの
ハママツコーポレーションから発売の一次元測定用の2
軸2側面型(dual−axis−duo−later
al)のPSD−31352検出器を含む、この装置の
基本的な構成は、半導体ホトダイオードの片側に形成し
た均一な抵抗層の縁部に形成されている対向する対にな
った電極を含む、その表面層はP−N接合を形成し、光
電効果を示す、直流電圧÷Vがこの半導体基板に印加さ
れると、対向する端子間に、光感応検出器の平坦な光感
応表面に集束する光点の直交位置座標の各関数として出
力電流が発生する0本発明の説明用実施例では、公称距
離Hは305 m (12インチで)あり、測定窓りは
±76園(±3インチ)であり、そして角度aは20”
〜45°の間でよいが実質的には45°である。距離は
L=H*tan(a)である、光感応検出器22に集束
した光点の位HpはP=(A−8)/(A+8)で与え
られ、もちろんこのPは供試表面からの距離の測定値で
ある。第1図の公称距離■からの変位X !、tX=(
P*K1)/(K2+P*K3)テ与えられることがわ
かる。ここでに1 = (L2・uZ )々、K2=F
*5in(a) 、に3=CO3(a)であり、Fはレ
ンズ28(第1図)の中心から光感応検出器()オドセ
ル)22までの作像距離(illlaQlli dis
tance)である、基準16から供試表面までの距離
はトxで与えられる。
第2A図及び第2B図は、道路表面プロフィル測定用の
本発明が好適に応用されたときの供試表面からの距離の
測定値である表面プロフィルXの決定と記憶用のセンサ
回路32を説明している0発振器34は矩形波出力を有
し、この矩形波出力は増幅器36を介して印加されて発
光ダイオード12を予め決められた固定の発振器出力周
波数にて駆動する。
発振器34の出力周波数は厳密なものではなく、本質的
には発光ダイオード12の応答能力によって決まる、上
記に示した本発明の実施例における発振器の出力周波数
は8にHzである。光感応検出器の出力電流I^とI8
は対応する増幅器38.40を介して高域P波器42.
44へそれぞれ出力される。この実施例では、高域ろ波
器42.44は遮断周波数が600Hzの通常のRCP
波器を含む、高域F波器42.44の出力AとBは、接
続されている抵抗を介して差動増幅器46の対応する入
力へ印加される。この増幅器は光感応検出器の出力信号
間の差A−8を示す出力をバッファ48に出力する。同
様に、高域P波器42.44の出力は接続されている抵
抗を介して増幅器50の反転入力の加算接続点へ印加さ
れる。この増幅器は、検出器出力信号間の和A+Bを示
す出力をバッファ52に出力する。バッファ48.50
は発振器34の出力から制御入力を受信する各同期復調
器54.56に印加される。同期復調器54.56の出
力は対応する低域r波器58.60を介して除算器62
の入力へ印加される。従って、この除算器62の出力P
は差信号と和信号の比、すなわち(A−8)/(A+B
)を示す。
光源の発光ダイオード12を変調することは、光感応検
出器の出力信号の同期復調することと結合され、更には
電子的な高域沢波器42.44と低域ろ波器58.60
と赤外線P波器30(第1図)と組合わされ、測定用電
子回路を周囲光及びその他の環境要因から隔離するのに
役立つ。
除算器62(第2A図)の出力Pは掛算定数に1を有す
る第1の増幅器64及び掛算定数に3を有する第2の増
幅器66へ印加される。増幅器66の出力は差動増幅器
68の反転入力へ印加され、この差動増幅器68の反転
入力は定数に2に対応するレベルに設定された分圧器等
に接続されている。増幅器64.68の出力は除算器7
0の各入力へ印加され、従ってこの除算器10が(P*
K1)/(K2+P−に3)の関数として出力Xを発生
する。除算器70の出力Xは、道路表面上を走行する車
両の走行距離の増分の関数として、道路表面プロフィル
を記憶するための記録機72に加えられる。 この走行
距離は、車両の車輪に結合されたエンコーダ等の車両位
置変換器74により示される。 記録機72はまた定数
日を示す入力を受信して供試表面までの距離を(H+X
)の関数とじて直接的に、もしくは信号Xを単独に記録
することにより間接的に記録してもよい。本発明の好適
実施例において、除算器62.70と増幅器64.66
.68を、適宜にプログラムされたデジタルマイクロプ
ロセッサにより具体化し、このディジタルマイクロプロ
セッサは信号Pを受信するためのアナログ・ディジタル
変換器を含む。
【図面の簡単な説明】
第1図は供試表面からの距離を測定するために、組合わ
されて作動する本発明による電子光学装置の概略図であ
り、第2A図及び第28図は共に第1図にブロック形に
て図示したセンサ電子回路の現在考えられる好適実施例
の回路図である。 12、 、 、発光ダイオード(LED)、 14.−
 。 囲壁、 16. 、 、基準、 20. 、 、窓、 
18. 、 。 レンズ、 2251.光感応検出器、 24. 、 、
囲壁、 26. 、 、窓、 28. 、 、レンズ、
 30. 、 。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)供試表面の一部を照光するために供試表面に光束
    を導く第1の装置(12、18、20)と、検出表面を
    有する光感応検出器(22)を含む第2の装置(22及
    び26〜30)と、供試表面により反射された上記第1
    の装置からの光を受光すると共に反射された光を該検出
    表面に導くための装置(26、28)と、該検出手段の
    出力信号の関数として供試表面までの公称距離(H)を
    決定する第3の装置とを含む供試表面までの距離を測定
    する非接触型の道路プロフィル測定装置において、 該光感応検出器(22)は該検出表面上に入射する反射
    光の位置座標を示す出力信号(A、B)を出力すること
    を特徴とする供試表面までの距離を測定する該非接触型
    の道路プロフィル測定装置。
  2. (2)該光感応検出器(22)が、該検出表面上に入射
    する上記反射光の直交位置座標の関数として、一対の該
    出力信号(A、B)を出力することを特徴とする前記特
    許請求の範囲第1項記載の測定装置。
  3. (3)該第3の装置(32)は、該出力信号間の差(A
    −B)の該出力信号の和(A+B)に対する比(P)の
    関数として、該公称距離(H)を決定するための装置を
    含むことを特徴とする前記特許請求の範囲第2項記載の
    測定装置。
  4. (4)供試表面から公称距離(H)だけ隔てられた基準
    フレームを形成するための該第1及び第2の装置の取付
    装置(14、16、24)を含み、測定窓(W)内にあ
    り該公称距離(H)からの供試表面のずれ(X)を測定
    することを特徴とする前記特許請求の範囲第3項記載の
    測定装置。
  5. (5)該第1及び第2の装置は該取付け装置(14、1
    6、24)により距離(L)だけ隔てられていて、該第
    3の装置(32)は、 K1は(L^2+H^2)^1^/^2に等しい定数、
    K2はF・sin(a)に等しい定数、 K3はcos(a)に等しい定数 aは該第1の装置が向く方向と該第2の装置が向く方向
    とが公称距離(H)においてなす角度、Fは作像距離と
    し、 X=(P*K1)/(K2+P*K3) の関数として該距離(X)を決定するための手段を含む
    ことを特徴とする前記特許請求の範囲第4項記載の測定
    装置。
  6. (6)該第3の装置(32)は、該光束を予め決めた周
    波数で変調するための光束変調装置(34、36)と、
    該光束変調装置に結合され該和(A+B)と該差(A−
    B)を該予め決めた周波数で同期復調する装置(54、
    56)とを含むことを特徴とする前記特許請求の範囲第
    3項から第5項のいずれかに記載の測定装置。
  7. (7)該第1の装置(12、18、20)はIR光源(
    12)を含み、第2の装置(22及び26〜30)は、
    該光源(12)のIR波長にて光を該検出装置(22)
    上に導くと共に周囲光を該検出装置から遮断するための
    IR濾波器(30)を含むことを特徴とする前記特許請
    求の範囲第1項から第6項のいずれかに記載の測定装置
JP63027861A 1987-02-12 1988-02-10 非接触型の道路プロフィル測定装置 Pending JPS63201517A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/013960 1987-02-12
US07/013,960 US4786815A (en) 1987-02-12 1987-02-12 Non-contact sensor with particular utility for measurement of road profile

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63201517A true JPS63201517A (ja) 1988-08-19

Family

ID=21762748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63027861A Pending JPS63201517A (ja) 1987-02-12 1988-02-10 非接触型の道路プロフィル測定装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4786815A (ja)
EP (1) EP0278269A3 (ja)
JP (1) JPS63201517A (ja)
CA (1) CA1282145C (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0735522A (ja) * 1993-07-23 1995-02-07 Nippon Doro Kodan レーザーを利用した舗装路面横断プロフィル測定方法

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0789059B2 (ja) * 1987-01-14 1995-09-27 株式会社日立製作所 視覚センサシステム
JPH0690032B2 (ja) * 1987-08-06 1994-11-14 日本電気株式会社 距離画像取得装置
US4899296A (en) * 1987-11-13 1990-02-06 Khattak Anwar S Pavement distress survey system
US4958306A (en) * 1988-01-06 1990-09-18 Pacific Northwest Research & Development, Inc. Pavement inspection apparatus
US5206699A (en) * 1988-05-06 1993-04-27 Gersan Establishment Sensing a narrow frequency band of radiation and gemstones
GB8826224D0 (en) * 1988-11-09 1988-12-14 Gersan Anstalt Sensing shape of object
US5052854A (en) * 1990-04-19 1991-10-01 Sfo Enterprises Highway guidance vehicle systems
JPH0711420B2 (ja) * 1990-05-23 1995-02-08 日本電気株式会社 距離画像取得方法及び装置
US5294210A (en) * 1992-06-19 1994-03-15 Jerome Lemelson Automated pothole sensing and filling apparatus
US5376796A (en) * 1992-11-25 1994-12-27 Adac Laboratories, Inc. Proximity detector for body contouring system of a medical camera
US5362962A (en) * 1993-04-16 1994-11-08 Edison Welding Institute Method and apparatus for measuring pipeline corrosion
US5864394A (en) * 1994-06-20 1999-01-26 Kla-Tencor Corporation Surface inspection system
US5530550A (en) * 1994-12-21 1996-06-25 Tencor Instruments Optical wafer positioning system
US5883710A (en) 1994-12-08 1999-03-16 Kla-Tencor Corporation Scanning system for inspecting anomalies on surfaces
US20040057044A1 (en) * 1994-12-08 2004-03-25 Mehrdad Nikoonahad Scanning system for inspecting anamolies on surfaces
US5825482A (en) * 1995-09-29 1998-10-20 Kla-Tencor Corporation Surface inspection system with misregistration error correction and adaptive illumination
US5644141A (en) * 1995-10-12 1997-07-01 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Apparatus and method for high-speed characterization of surfaces
US5812266A (en) * 1995-12-15 1998-09-22 Hewlett-Packard Company Non-contact position sensor
US5886787A (en) * 1995-12-15 1999-03-23 Hewlett-Packard Company Displacement sensor and method for producing target feature thereof
JP4306800B2 (ja) * 1996-06-04 2009-08-05 ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション 表面検査用光学走査システム
US5815272A (en) * 1996-10-23 1998-09-29 Harding; Kevin G. Filter for laser gaging system
US6459492B1 (en) 1997-03-14 2002-10-01 Agilent Technologies, Inc. Non-contact position sensor
GB9719514D0 (en) * 1997-09-12 1997-11-19 Thames Water Utilities Non-contact measuring apparatus
ATE375585T1 (de) * 2003-03-14 2007-10-15 Liwas Aps Einrichtung zur detektion eines strassenoberflächenzustands
US7394553B2 (en) * 2004-02-11 2008-07-01 Ensco, Inc. Integrated measurement device
FR2895498B1 (fr) * 2005-12-23 2008-07-25 Michelin Soc Tech Procede de mesure du profil en trois dimensions d'un sol et dispositif pour sa mise en oeuvre
US20090076722A1 (en) * 2007-09-14 2009-03-19 John Darlington Road profiler and method therefor
CN101812824B (zh) * 2010-04-19 2012-01-04 华东交通大学 基于影像云纹法的路面平整度检测装置及检测方法
US20120203428A1 (en) * 2011-02-08 2012-08-09 Honda Motor Co., Ltd Road profile scanning method and vehicle using side facing sensors
KR101509696B1 (ko) * 2013-03-15 2015-04-06 기아자동차 주식회사 자동차의 사이드슬립 검사장치 및 검사방법
JP2016045063A (ja) * 2014-08-22 2016-04-04 株式会社日立製作所 路面性状測定装置、及び路面性状測定方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5118564A (ja) * 1974-08-06 1976-02-14 Sokkisha Romenototsujidokeisokushisutemu
JPS59158029A (ja) * 1983-02-28 1984-09-07 松下電工株式会社 反射型光電スイツチ
JPS6036908A (ja) * 1983-06-22 1985-02-26 エヌ・ヴイ−・オプテイ−シエ インダストリ−“ドウ アウド デイルフト” 三角測量原理に基づく測定法を用いる、物体表面上の点と基準レベルとの間の距離を非接触的に測定するための測量方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2617797A1 (de) * 1976-04-23 1977-11-03 Wolfgang Dipl Phys Dr I Schulz Vorrichtung zur optischen messung der position und der bewegung eines objektes
US4373805A (en) * 1979-05-03 1983-02-15 The Singer Company Laser altimeter and probe height sensor
JPS577508A (en) * 1980-06-16 1982-01-14 Seiko Koki Kk Distance detector
JPS57159073A (en) * 1981-03-26 1982-10-01 Minolta Camera Co Ltd Semiconductor position detector
US4456829A (en) * 1981-10-29 1984-06-26 K. J. Law Engineers, Inc. Non-contact sensor, system and method with particular utility for measurement of road profile
DE3222462A1 (de) * 1982-06-15 1983-12-15 KE Morander AB, 44302 Lerum Einrichtung zur bestimmung des realen oder des virtuellen abstandes einer lichtquelle von einer messebene
CH661981A5 (de) * 1984-02-13 1987-08-31 Haenni & Cie Ag Optisches messgeraet zur beruehrungslosen abstandsmessung.
FR2560377B1 (fr) * 1984-02-29 1988-05-13 Commissariat Energie Atomique Dispositif optique de mesure de proximite de surface et son application au releve du profil d'une surface
US4936676A (en) * 1984-11-28 1990-06-26 Honeywell Inc. Surface position sensor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5118564A (ja) * 1974-08-06 1976-02-14 Sokkisha Romenototsujidokeisokushisutemu
JPS59158029A (ja) * 1983-02-28 1984-09-07 松下電工株式会社 反射型光電スイツチ
JPS6036908A (ja) * 1983-06-22 1985-02-26 エヌ・ヴイ−・オプテイ−シエ インダストリ−“ドウ アウド デイルフト” 三角測量原理に基づく測定法を用いる、物体表面上の点と基準レベルとの間の距離を非接触的に測定するための測量方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0735522A (ja) * 1993-07-23 1995-02-07 Nippon Doro Kodan レーザーを利用した舗装路面横断プロフィル測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
CA1282145C (en) 1991-03-26
EP0278269A2 (en) 1988-08-17
EP0278269A3 (en) 1991-04-03
US4786815A (en) 1988-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS63201517A (ja) 非接触型の道路プロフィル測定装置
JPS60243514A (ja) 光電的測定装置
US6388754B1 (en) Shape measuring system and method
EP0599807A1 (en) Position detector
US4913546A (en) Range finder
JPH01202614A (ja) アクティブ測距装置
JPS6326877B2 (ja)
JPS6260646B2 (ja)
JPH0551864B2 (ja)
JP2874795B2 (ja) オリエンテーションフラット検出装置
JPH08122426A (ja) レーザ距離測定装置およびレーザ距離測定方法
JPS6147364B2 (ja)
JPH0324603B2 (ja)
JPS603502A (ja) 非接触式距離測定方法
JP2699953B2 (ja) 微少位置変化検出装置
JPH0285704A (ja) 間隙測定装置
JPH0453527Y2 (ja)
JP2000121332A (ja) 三次元形状測定装置
JP2534177B2 (ja) 光学式変位測定装置
JPH06221853A (ja) 位置検出装置
SU1613857A1 (ru) Устройство дл измерени перемещени объекта
JPS5826325Y2 (ja) 位置検出装置
SU1078289A1 (ru) Цифровой регистратор углового смещени света в атмосфере
JPH0331367B2 (ja)
JPS5862512A (ja) 距離検出装置