JPS63201521A - 光学式エンコーダ - Google Patents
光学式エンコーダInfo
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- JPS63201521A JPS63201521A JP3540887A JP3540887A JPS63201521A JP S63201521 A JPS63201521 A JP S63201521A JP 3540887 A JP3540887 A JP 3540887A JP 3540887 A JP3540887 A JP 3540887A JP S63201521 A JPS63201521 A JP S63201521A
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- JP
- Japan
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- intervals
- pits
- bits
- optical disc
- optical
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、物体の角変位を検出するために実施すること
がでさる光学式エンコーダ用光ディスクに関する。
がでさる光学式エンコーダ用光ディスクに関する。
背景技術
角変位位置を検出すべき物体に光ディスクを取付け、こ
の光ディスクのトラックに形成されたピットを検出する
ようにした構成は、たとえば′ｖｆ間昭ＧＯ−３３０１
２に示されている。
の光ディスクのトラックに形成されたピットを検出する
ようにした構成は、たとえば′ｖｆ間昭ＧＯ−３３０１
２に示されている。
発明が解決すべき問題点
このような先行技術では、ピットを正確に検出するため
に、そのトラックの幅方向にレーザ光を位置制御するト
ラッキングサーボ装置を不可欠とする。このようなトラ
ッキングサーボ機構は、構成が複雑であり、保守の観点
から好ましくない。
に、そのトラックの幅方向にレーザ光を位置制御するト
ラッキングサーボ装置を不可欠とする。このようなトラ
ッキングサーボ機構は、構成が複雑であり、保守の観点
から好ましくない。
本発明の構成は、光ディスクのピットをトラッキングサ
ーボ機構などのような複雑な構成を必要とすることなし
に、簡単な構成で正確に検出することができるようにし
た光学式エンコーダ用光ディスクを提供することである
。
ーボ機構などのような複雑な構成を必要とすることなし
に、簡単な構成で正確に検出することができるようにし
た光学式エンコーダ用光ディスクを提供することである
。
問題点を解決するための手段
本発明は、周方向に間隔をあけて、複数のピット群を形
成し、各ピット群は、半径方向に間隔をあけて整列して
形成された複数個のピッＦを有することを特徴とする光
学式エンコーダ用光デイスクである。
成し、各ピット群は、半径方向に間隔をあけて整列して
形成された複数個のピッＦを有することを特徴とする光
学式エンコーダ用光デイスクである。
作 用
本発明に従えば、複数のピット群が周方向に間隔をあけ
て形成されており、したがってこれらのピット群に含ま
れるピットを検出して、光ディスクの角変位位置および
角変位方向を検出することができる。
て形成されており、したがってこれらのピット群に含ま
れるピットを検出して、光ディスクの角変位位置および
角変位方向を検出することができる。
各ビット群を構成する複数のビットは、半径方向に間隔
をあけて整列して形成されている。したがってビットに
レーザ光を照射し、その反射光を受光する検出手段が半
径方向にずれていても、光ディスクの周方向の位置およ
び角変位方向を確実に検出することができる。したがっ
て、先行技術に関連して述べたトラッキングサーボ機構
を必要とせず、構成が簡単になる。
をあけて整列して形成されている。したがってビットに
レーザ光を照射し、その反射光を受光する検出手段が半
径方向にずれていても、光ディスクの周方向の位置およ
び角変位方向を確実に検出することができる。したがっ
て、先行技術に関連して述べたトラッキングサーボ機構
を必要とせず、構成が簡単になる。
実施例
第１図は、本発明の一実施例の断面図である。
産業用ロボツＹの作業端などを駆動するモータ１の出力
軸２には、光ディスク３が固定される。この光ディスク
３の表面は、検出手段４によって検出される。
軸２には、光ディスク３が固定される。この光ディスク
３の表面は、検出手段４によって検出される。
第２図は、光ディスク３の一部の平面図である。
光ディスク３の軸線は、参照符５で示されており、この
軸Ｒ５は、出力軸２の軸線に一致している。
軸Ｒ５は、出力軸２の軸線に一致している。
尤ディスク３の半径方向に沿うｌｌ＠Ｗｌを有する領域
６には、袖＃ｉ５を中心とする複数論のトラックＴ１〜
Ｔｍが形成され、このトラックＴ１〜Ｔ−は、紬８５を
中心とする同心の仮想円であり、半径方向に相互にずれ
ている。トラックＴ１〜Ｔ１１１には、周方向に等間隔
をあけて複数のビットＰ１〜Ｐｍが形成される。Ｍ域６
に形成される各トラックＴ１〜Ｔ−ごとのビットＰ１〜
Ｐ＋ｏを、合計ｍ個のビット群と称することにする。角
度θ１を成す半径ｌｌＡ３．９間に亘って、ビットＰ１
〜Ｐ鎗が周方向に延びる。角度θ２を成す半径＠８とも
う１つの半径線１０との間には、ビットＰ１〜Ｐωが形
成されていない、領域６の幅Ｗ１は、たとえば０．７１
ｍ１６であり、ディスク３の半径はたとえば５ｃｍであ
る。角度θ１は角度θ２と等しくでもよい。光ディスク
３は、ポリカーボネート製の基体と、その表面に形成さ
れたアルミニウム層とを有し、このアルミニウム層上に
は、ビットＰ１〜Ｐ ＋ｎが形成され、アルミニウム層
の上には透明な保護膜が形成される。
６には、袖＃ｉ５を中心とする複数論のトラックＴ１〜
Ｔｍが形成され、このトラックＴ１〜Ｔ−は、紬８５を
中心とする同心の仮想円であり、半径方向に相互にずれ
ている。トラックＴ１〜Ｔ１１１には、周方向に等間隔
をあけて複数のビットＰ１〜Ｐｍが形成される。Ｍ域６
に形成される各トラックＴ１〜Ｔ−ごとのビットＰ１〜
Ｐ＋ｏを、合計ｍ個のビット群と称することにする。角
度θ１を成す半径ｌｌＡ３．９間に亘って、ビットＰ１
〜Ｐ鎗が周方向に延びる。角度θ２を成す半径＠８とも
う１つの半径線１０との間には、ビットＰ１〜Ｐωが形
成されていない、領域６の幅Ｗ１は、たとえば０．７１
ｍ１６であり、ディスク３の半径はたとえば５ｃｍであ
る。角度θ１は角度θ２と等しくでもよい。光ディスク
３は、ポリカーボネート製の基体と、その表面に形成さ
れたアルミニウム層とを有し、このアルミニウム層上に
は、ビットＰ１〜Ｐ ＋ｎが形成され、アルミニウム層
の上には透明な保護膜が形成される。
ｔＲ３図１よ、ピッ）Ｐｉ、Ｐ２などの拡大平面図であ
る。、１つのトラック、たとえばＴｌ上のピッ） Ｐ
１ 、Ｐ ２の相互間の間隔ノ１は２μｍ、であり、各
ビットＰ１の周方向の長さ！２はたとえば２μ印であり
、これらのビットＰ１の半径方向の幅ｄ１は０．５μω
である。半径方向に隣接するピッ）Ｐｌ、Ｐ２の相互間
の間隔ｄ２は、たとえば１μ鴎である。後述のレーザ光
が゛、光ディスク３の表面に照射されるときに形成され
るスポット１２の径ｄ３は、たとえば１．４〜２μｍで
ある。残余のトラックＴ２〜Ｔ＋−のビットＰ２〜Ｐｉ
＋もまｒ：、同様に構成される。レーザ光のスポット１
２の径ｄ３ は、ディスク３の半径方向に隣接するビ
ットＰ１〜Ｐｍの少なくとも１つを検出することができ
る値に選ばれ、たとえば＠３図のようにスポット１２が
ピッ）Ｐｉ、Ｐ２の間に亘って位置し、これらのビット
Ｐｉ、Ｐ２が検出される。
る。、１つのトラック、たとえばＴｌ上のピッ） Ｐ
１ 、Ｐ ２の相互間の間隔ノ１は２μｍ、であり、各
ビットＰ１の周方向の長さ！２はたとえば２μ印であり
、これらのビットＰ１の半径方向の幅ｄ１は０．５μω
である。半径方向に隣接するピッ）Ｐｌ、Ｐ２の相互間
の間隔ｄ２は、たとえば１μ鴎である。後述のレーザ光
が゛、光ディスク３の表面に照射されるときに形成され
るスポット１２の径ｄ３は、たとえば１．４〜２μｍで
ある。残余のトラックＴ２〜Ｔ＋−のビットＰ２〜Ｐｉ
＋もまｒ：、同様に構成される。レーザ光のスポット１
２の径ｄ３ は、ディスク３の半径方向に隣接するビ
ットＰ１〜Ｐｍの少なくとも１つを検出することができ
る値に選ばれ、たとえば＠３図のようにスポット１２が
ピッ）Ｐｉ、Ｐ２の間に亘って位置し、これらのビット
Ｐｉ、Ｐ２が検出される。
再び第１図を参照して、半導体レーザ光源１３からのレ
ーザ光は、半透明反射鏡１４からレンズ１５を介して光
ディスク３に照射され、スポット１２を形成する。光デ
ィスク３からのレーザ光の反射光は、レンズ１５から反
射鏡１４およびレンズ１６を経て受光素子１７．１８に
よって受光される。受光素子１７．１８は、光ディスク
３の周方向にずれた位置におけるピッ）Ｐ１〜ＰＩｆｌ
に対応した光を受光し、これに上って光ディスク３の回
転時に受光素子１７．１８からの出力には、位相差を生
じる。受光素子１７．１８からの出力は、増幅回路１９
．２０によって増幅され、角変位方向ｒ＋＋別回路２１
に与えられる。角変位方向判別回路２１は、受光素子１
７．１８の出力の位相差に対応して、光ディスク３の角
変位の方向を判別する。角変位方向判別回路２１は、光
ディスク３が一方向に角変位したことを検出したとき、
ライン２２を介して受光素子１７の出力をアツブグツン
カウンタ２３に与えて、カウンタ２３をアップカウント
して計数させる。尤ディスク３が逆方向に角変位してい
るときは、ライン２４から受光素子１７の出力を導出し
、これによってカウンタ２３は、カウントダウンして計
数を行なう。カウンタ２３の計数値は、光ディスク３の
角変位位置に対応している。
ーザ光は、半透明反射鏡１４からレンズ１５を介して光
ディスク３に照射され、スポット１２を形成する。光デ
ィスク３からのレーザ光の反射光は、レンズ１５から反
射鏡１４およびレンズ１６を経て受光素子１７．１８に
よって受光される。受光素子１７．１８は、光ディスク
３の周方向にずれた位置におけるピッ）Ｐ１〜ＰＩｆｌ
に対応した光を受光し、これに上って光ディスク３の回
転時に受光素子１７．１８からの出力には、位相差を生
じる。受光素子１７．１８からの出力は、増幅回路１９
．２０によって増幅され、角変位方向ｒ＋＋別回路２１
に与えられる。角変位方向判別回路２１は、受光素子１
７．１８の出力の位相差に対応して、光ディスク３の角
変位の方向を判別する。角変位方向判別回路２１は、光
ディスク３が一方向に角変位したことを検出したとき、
ライン２２を介して受光素子１７の出力をアツブグツン
カウンタ２３に与えて、カウンタ２３をアップカウント
して計数させる。尤ディスク３が逆方向に角変位してい
るときは、ライン２４から受光素子１７の出力を導出し
、これによってカウンタ２３は、カウントダウンして計
数を行なう。カウンタ２３の計数値は、光ディスク３の
角変位位置に対応している。
光ディスク３のビットＰ１は、トラックＴ１上に前述の
ように複数形成されて、１つのビット群を形成し、また
同様にして各トラック Ｔ２〜Ｔｗａに沿って、複数の
ピッ）Ｐ２〜ＰＩ１１がそれぞれ形成されて、各トラッ
クＴ２〜Ｔｍごとにピット群が形成される。これらのピ
ット群のピッ）ＰＩ〜Ｐ＋ｏは、角度θ１にわたり、半
径方向に間隔ｄ２をあけて整列して形成されている。し
たがって、レーザ光のスポット１２が半径方向にずれて
も、そのスポット１２が領域６内にある限り、ピッ）Ｐ
１〜Ｐ−の少なくとも１つを検出することができる。そ
のため、検出手段４のレーザ光のスポット１２の位置を
、ディスク３の半径方向に変位させるための前述の先行
技術に関連して述べた、いわゆるＦラッキングサーボ機
構を本発明では必要としない、これによって枯或が簡略
化される。
ように複数形成されて、１つのビット群を形成し、また
同様にして各トラック Ｔ２〜Ｔｗａに沿って、複数の
ピッ）Ｐ２〜ＰＩ１１がそれぞれ形成されて、各トラッ
クＴ２〜Ｔｍごとにピット群が形成される。これらのピ
ット群のピッ）ＰＩ〜Ｐ＋ｏは、角度θ１にわたり、半
径方向に間隔ｄ２をあけて整列して形成されている。し
たがって、レーザ光のスポット１２が半径方向にずれて
も、そのスポット１２が領域６内にある限り、ピッ）Ｐ
１〜Ｐ−の少なくとも１つを検出することができる。そ
のため、検出手段４のレーザ光のスポット１２の位置を
、ディスク３の半径方向に変位させるための前述の先行
技術に関連して述べた、いわゆるＦラッキングサーボ機
構を本発明では必要としない、これによって枯或が簡略
化される。
ｆｆ１４図は、本発明の他の実施例の断面図である。
前述の実施例の対応する部分には、同一の参照符を付す
。ここで用いられる光ディスク２６は、第５図に示され
ている。ｆｌｆ域６には、前述の実施例と同様に）ラン
クＴ１〜Ｔ論において、ビットＰ１〜Ｐ−が形成される
。この実施例ではさらに、領域６の半径方向にずれた位
置で、もう１つのいわゆるインデックス用の領域２７に
おいてトラックＳ１〜Ｓｎが形成され、これらの各トラ
ック８１〜Ｓｎには、ビットＱ１〜Ｑ１が形成される。
。ここで用いられる光ディスク２６は、第５図に示され
ている。ｆｌｆ域６には、前述の実施例と同様に）ラン
クＴ１〜Ｔ論において、ビットＰ１〜Ｐ−が形成される
。この実施例ではさらに、領域６の半径方向にずれた位
置で、もう１つのいわゆるインデックス用の領域２７に
おいてトラックＳ１〜Ｓｎが形成され、これらの各トラ
ック８１〜Ｓｎには、ビットＱ１〜Ｑ１が形成される。
ビットＱ１〜Ｑ１は、領域６におけるビットＰ１〜Ｐｕ
の周方向の角度θ１の範囲内にある。ビットＱ１〜Ｑｎ
は、周方向に間隔をあけてビットＰ１〜Ｐ１よりも少な
い数だけ形成されており、これらのピッ）Ｑｌ〜Ｑｎは
、半径方向に等間隔をあけて配列されている。
の周方向の角度θ１の範囲内にある。ビットＱ１〜Ｑｎ
は、周方向に間隔をあけてビットＰ１〜Ｐ１よりも少な
い数だけ形成されており、これらのピッ）Ｑｌ〜Ｑｎは
、半径方向に等間隔をあけて配列されている。
半導体レーザ光源１３からのレーザ光は、半透明反射ｌ
ｆｔ２８ｈ−ラ反射ｔｎ２９、半透１１Ｊ］反ＪＩＨＩ
ｔ３１およびレンズ３２を経て、領域２７上に前述のス
ポット１２と同様にして照射されるａｍ域２７からの反
射光は、レンズ３２、半透明反射鏡３１、レンＸ′３３
を経て受光素子３４．３５に受光される。受光素子３４
．３５は、光ディスク２６の周方向に異なる位置の反射
光をそれぞれ受光し、それらの出力は位相差を有する。
ｆｔ２８ｈ−ラ反射ｔｎ２９、半透１１Ｊ］反ＪＩＨＩ
ｔ３１およびレンズ３２を経て、領域２７上に前述のス
ポット１２と同様にして照射されるａｍ域２７からの反
射光は、レンズ３２、半透明反射鏡３１、レンＸ′３３
を経て受光素子３４．３５に受光される。受光素子３４
．３５は、光ディスク２６の周方向に異なる位置の反射
光をそれぞれ受光し、それらの出力は位相差を有する。
受光素子３４，３５の出力は、増幅回路３６．３７を経
て角変位方向判別回路３８に与えられる。アップダウン
カウンタ３９は、前述の７ツプダウンカウンタ２３と同
様にして受光素子３４の出力を計数し、これによって光
ディスク２６の角変位位置を判別することがでさる。な
お、半導体レーザ光源１３と、受光素子３４．３５と、
角変位方向ｔｑ別回路３８と、カウンタ３９とは、バッ
テリによって常時電力付努されて動作するようにしても
よく、これによって残余の構成の停電が発生してもカウ
ンタ３９のストア内容は保持される。
て角変位方向判別回路３８に与えられる。アップダウン
カウンタ３９は、前述の７ツプダウンカウンタ２３と同
様にして受光素子３４の出力を計数し、これによって光
ディスク２６の角変位位置を判別することがでさる。な
お、半導体レーザ光源１３と、受光素子３４．３５と、
角変位方向ｔｑ別回路３８と、カウンタ３９とは、バッ
テリによって常時電力付努されて動作するようにしても
よく、これによって残余の構成の停電が発生してもカウ
ンタ３９のストア内容は保持される。
停７ｒｉ復帰後などの電源投入時には、モータ１によっ
て光ディスク２６を僅かに角変位して、受光素子３４．
３５によって領域２７におけるビットＱ１〜Ｑｎを初め
て検出したとき、初期化回路４１は、カウンタ３９の出
力に基づいて光ディスク２６の角変位位置を演算し、カ
ウンタ２３にセットする。その後における光ディスク２
６の角変位位置は、ビットＰ１〜ＰＩＩｌの検出による
カウンタ２３の計数によって高精度で検出することがで
きる。カウンタ３９の計数値は、比較的小さな値であり
、したがってバッテリ４０による消費電力を低減するこ
とが可能であり、こうして光ディスク２６の絶対位置を
常に検出することが可能となる。
て光ディスク２６を僅かに角変位して、受光素子３４．
３５によって領域２７におけるビットＱ１〜Ｑｎを初め
て検出したとき、初期化回路４１は、カウンタ３９の出
力に基づいて光ディスク２６の角変位位置を演算し、カ
ウンタ２３にセットする。その後における光ディスク２
６の角変位位置は、ビットＰ１〜ＰＩＩｌの検出による
カウンタ２３の計数によって高精度で検出することがで
きる。カウンタ３９の計数値は、比較的小さな値であり
、したがってバッテリ４０による消費電力を低減するこ
とが可能であり、こうして光ディスク２６の絶対位置を
常に検出することが可能となる。
このような第４図およびｔＩＳ５図に示された実施例で
もまた、ＩＪｔ域２７では、トラック８１〜Ｓ ｕごと
のピッ）Ｑｌ〜Ｑ ｎのピット群は、半径方向に間隔を
あけて整列して形成されているので、レンズ３２からの
レーザ光が、領域２７内にある限り、半径方向にずれて
も、ディスク２６の周方向の角変位位置を検出する二と
ができ、在米のトラッキングサーボ機構を必要としない
。
もまた、ＩＪｔ域２７では、トラック８１〜Ｓ ｕごと
のピッ）Ｑｌ〜Ｑ ｎのピット群は、半径方向に間隔を
あけて整列して形成されているので、レンズ３２からの
レーザ光が、領域２７内にある限り、半径方向にずれて
も、ディスク２６の周方向の角変位位置を検出する二と
ができ、在米のトラッキングサーボ機構を必要としない
。
ピットＰ１〜Ｐ鶴、Ｑ１〜Ｑ ｎは、ディスク３．２６
を固転しつつ、レーザ光などでビットを刻設する製造を
容易に行なうことができ、生産性が優れでいる。もしも
仮に、トラッキングサーボ機構を必要としないようにす
るために、ビットをディスク３．２６の半径方向に＃Ｉ
艮く形成することも考えられる（たとえば特開昭５９−
１．６０７１６）が、そのようなビットを形成するため
には、光ディスク３．２６の回転を停止したままで、レ
ーザ光などを用いてビットを半径方向に延びるように個
別的に形成しなければならず、生産性が極めて悪い。
を固転しつつ、レーザ光などでビットを刻設する製造を
容易に行なうことができ、生産性が優れでいる。もしも
仮に、トラッキングサーボ機構を必要としないようにす
るために、ビットをディスク３．２６の半径方向に＃Ｉ
艮く形成することも考えられる（たとえば特開昭５９−
１．６０７１６）が、そのようなビットを形成するため
には、光ディスク３．２６の回転を停止したままで、レ
ーザ光などを用いてビットを半径方向に延びるように個
別的に形成しなければならず、生産性が極めて悪い。
上述の実施例は、この問題を解決する。
第４図および第５図の実施例１こおいて、レンズ１５、
３２を駆動するフォーカスサーボ機構４２は、共ｍする
ことができる。
３２を駆動するフォーカスサーボ機構４２は、共ｍする
ことができる。
効 果
以上のように本発明によれば、複数のビット群を周方向
に間隔をあけて形成し、各ピット群は半径方向に間隔を
あけて整列して形成された複数のビットを有しているの
で、それらのビットを検出するにあたり、在米のトラッ
キングサーボ機構を必ノとせず、したがって簡単な構成
で、しかも高＄ｉＬ７！）：で角変位位置および角変位
方向をｔｒＪ別する二とができるようになる。
に間隔をあけて形成し、各ピット群は半径方向に間隔を
あけて整列して形成された複数のビットを有しているの
で、それらのビットを検出するにあたり、在米のトラッ
キングサーボ機構を必ノとせず、したがって簡単な構成
で、しかも高＄ｉＬ７！）：で角変位位置および角変位
方向をｔｒＪ別する二とができるようになる。
第１図は本発明の一実施例の断面図、ｍ２図は第１図に
示された光ディスク３の一部の平面図、第３図はピッ）
Ｐｉ、Ｐ２付近の拡大平面図、第４図は本発明の他の実
施例の断面図、１５図は第・１図に示された実施例の光
ディスク２６の一部の平面図である。 ２・・・出力軸、３，２６・・・光ディスク、４・・・
検出手段、６，２７・・・領域、１３・・・半導体レー
ザ光源、１７．１８，３４．３５・・・受光素子、２１
．３８・・・角変位方向判別回路、２３．３９・・・ア
ップグランカウンタ、４０・・・バッテリ、４１・・・
初期化回路、Ｔ１−Ｔｍ、 Ｓ １−８ｎ−）ラック、
Ｐ １− Ｐ ＋ｎ、Ｑ’１〜Ｑ ＋＋・・・ビット 代理人 弁理士 四教 圭一部 第２図 第 ３図
示された光ディスク３の一部の平面図、第３図はピッ）
Ｐｉ、Ｐ２付近の拡大平面図、第４図は本発明の他の実
施例の断面図、１５図は第・１図に示された実施例の光
ディスク２６の一部の平面図である。 ２・・・出力軸、３，２６・・・光ディスク、４・・・
検出手段、６，２７・・・領域、１３・・・半導体レー
ザ光源、１７．１８，３４．３５・・・受光素子、２１
．３８・・・角変位方向判別回路、２３．３９・・・ア
ップグランカウンタ、４０・・・バッテリ、４１・・・
初期化回路、Ｔ１−Ｔｍ、 Ｓ １−８ｎ−）ラック、
Ｐ １− Ｐ ＋ｎ、Ｑ’１〜Ｑ ＋＋・・・ビット 代理人 弁理士 四教 圭一部 第２図 第 ３図
Claims (1)
- 周方向に間隔をあけて、複数のピット群を形成し、各ピ
ット群は、半径方向に間隔をあけて整列して形成された
複数個のピットを有することを特徴とする光学式エンコ
ーダ用光ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035408A JP2647381B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 光学式エンコーダ用光デイスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035408A JP2647381B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 光学式エンコーダ用光デイスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201521A true JPS63201521A (ja) | 1988-08-19 |
| JP2647381B2 JP2647381B2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=12441060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62035408A Expired - Lifetime JP2647381B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 光学式エンコーダ用光デイスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2647381B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01213518A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学式エンコーダ |
| US5076467A (en) * | 1989-06-02 | 1991-12-31 | G-C Dental Industrial Corp. | Dental washer |
| JP2007011031A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Optrex Corp | 表示パネルの端子洗浄装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59224514A (ja) * | 1983-06-03 | 1984-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコ−ダ |
| JPS6070311A (ja) * | 1983-09-27 | 1985-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコ−ダ |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP62035408A patent/JP2647381B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
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| JPS59224514A (ja) * | 1983-06-03 | 1984-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコ−ダ |
| JPS6070311A (ja) * | 1983-09-27 | 1985-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコ−ダ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01213518A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学式エンコーダ |
| US5076467A (en) * | 1989-06-02 | 1991-12-31 | G-C Dental Industrial Corp. | Dental washer |
| JP2007011031A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Optrex Corp | 表示パネルの端子洗浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2647381B2 (ja) | 1997-08-27 |
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