JPS63201530A - フロ−センサ - Google Patents
フロ−センサInfo
- Publication number
- JPS63201530A JPS63201530A JP62034914A JP3491487A JPS63201530A JP S63201530 A JPS63201530 A JP S63201530A JP 62034914 A JP62034914 A JP 62034914A JP 3491487 A JP3491487 A JP 3491487A JP S63201530 A JPS63201530 A JP S63201530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- circular plate
- flow sensor
- flow
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明は熱式フロー七ンサの流量検知部であるセンサチ
ップのマウント構造に関する。
ップのマウント構造に関する。
〈発明の背景〉
従来、熱式フローセンサはセンサチップをキャンタイプ
のパッケージ等にマウントした後、ワイヤによってチッ
プとリードを接続し、フローセンサトシている。キャン
タイプのパッケージは種類も豊富で大量生産も可能であ
るが、反面フローセンサに用いた場合はキャンの部分或
はリードの部分がセンサの風上側上側及び風下側の流体
の流れを乱し、チップ本来の流速成は方向特性が得られ
ない等の問題がある。またチップ自体の形状によっても
同様にチップの風上側及び風下側の流体の流れを乱し、
本来の正確な流速成は方向特性が得られない等の問題が
ある。
のパッケージ等にマウントした後、ワイヤによってチッ
プとリードを接続し、フローセンサトシている。キャン
タイプのパッケージは種類も豊富で大量生産も可能であ
るが、反面フローセンサに用いた場合はキャンの部分或
はリードの部分がセンサの風上側上側及び風下側の流体
の流れを乱し、チップ本来の流速成は方向特性が得られ
ない等の問題がある。またチップ自体の形状によっても
同様にチップの風上側及び風下側の流体の流れを乱し、
本来の正確な流速成は方向特性が得られない等の問題が
ある。
〈発明の目的〉
本発明は板上のような問題点を有効に解決するものであ
り、フローセンサチップを介して流体の流速成は方向特
性が安定に得られる熱式フローセンサを提供することを
目的とするものである。
り、フローセンサチップを介して流体の流速成は方向特
性が安定に得られる熱式フローセンサを提供することを
目的とするものである。
〈実施例〉
第１図（Ａ）及び（Ｂ）は本発明の１実施例を示すフロ
ーセンサの模式断面図及び平面図である。フローセンサ
チップｌの上部表面とチップマウント用円形板２の上部
表面が同一平面になるように円杉板２にチップ嵌入用貫
通孔が設けられている。
ーセンサの模式断面図及び平面図である。フローセンサ
チップｌの上部表面とチップマウント用円形板２の上部
表面が同一平面になるように円杉板２にチップ嵌入用貫
通孔が設けられている。
貫通孔はチップ１の形状に即して成形されたチップ嵌入
部とチップからワイヤを取り出す配線部を有する。チッ
プ１の下面からチップ１と円形板２の下面に設け、ＪＩ
Ｊ−ド３をワイヤーによって貫通孔の配線部を介して接
続している。チップ１は貫通孔のチップ嵌入部で固定さ
れている。また、リード３の取付位置は円形板２の円周
の内方に位置している。円形板２は？ローセンサチップ
１の支持板としての機能も兼備している。
部とチップからワイヤを取り出す配線部を有する。チッ
プ１の下面からチップ１と円形板２の下面に設け、ＪＩ
Ｊ−ド３をワイヤーによって貫通孔の配線部を介して接
続している。チップ１は貫通孔のチップ嵌入部で固定さ
れている。また、リード３の取付位置は円形板２の円周
の内方に位置している。円形板２は？ローセンサチップ
１の支持板としての機能も兼備している。
以上のようにチップ１を円形板２にマウントした構造と
することによって、第１図（Ａ）に示した円形板２の上
面の領域（Ｉ）での流体の流れ（図中に矢印で示す）と
円形板２の下面の領域（ＩＩ）での流体の流れを完全に
分離して領域（１）の流体の流れのみを円形板２の上面
へ通過させ、領域（ＩＩ）の流体の流れは円形板２の下
面を通過させるようにする。円形板２の整流効果により
、流体の流れがセンサチップ１を通過後も領域（Ｉ）及
び（ＩＩ）の流体の流れは巻き上がり等の起こしたシ或
は各々他方の領域に混入することなく円形板２及びチッ
プ１の上の流体の流れは常に安定な状態が持続される。
することによって、第１図（Ａ）に示した円形板２の上
面の領域（Ｉ）での流体の流れ（図中に矢印で示す）と
円形板２の下面の領域（ＩＩ）での流体の流れを完全に
分離して領域（１）の流体の流れのみを円形板２の上面
へ通過させ、領域（ＩＩ）の流体の流れは円形板２の下
面を通過させるようにする。円形板２の整流効果により
、流体の流れがセンサチップ１を通過後も領域（Ｉ）及
び（ＩＩ）の流体の流れは巻き上がり等の起こしたシ或
は各々他方の領域に混入することなく円形板２及びチッ
プ１の上の流体の流れは常に安定な状態が持続される。
フローセンサチップ１はガラス等の絶縁基板上に発熱抵
抗体又は発熱用トランジスタから成る発熱部と測温抵抗
体又は測温用トランジスタから成る温度検出部を並設し
た構造を基本とし、流体の流れによって発熱部で奪われ
る熱を温度検出部で検出して流体の流量又は流速を求め
るものである。また発熱部を中央部に載置しその周囲で
例えば４等分された円周上位置に温度検出部を配置し流
体の流れ方向によって生ずる発熱部の温度分布をこの温
度検出部で検出することにより流体の方向を求めること
もできる。
抗体又は発熱用トランジスタから成る発熱部と測温抵抗
体又は測温用トランジスタから成る温度検出部を並設し
た構造を基本とし、流体の流れによって発熱部で奪われ
る熱を温度検出部で検出して流体の流量又は流速を求め
るものである。また発熱部を中央部に載置しその周囲で
例えば４等分された円周上位置に温度検出部を配置し流
体の流れ方向によって生ずる発熱部の温度分布をこの温
度検出部で検出することにより流体の方向を求めること
もできる。
フローセンサチップ１を円形板２にマウントする場合に
は、フローセンサチップ１の絶縁基板面を上方向にして
発熱部と温度検出部を搭載した面を下方向（円形板内方
）になるようにフローセンサチップ１を円形板２の貫通
孔へ嵌入する。フローセンサチップ１は絶縁基板上表面
に沿って流れる流体の流量、流速又は流方向のうち必要
なものを下面に搭載されている発熱部と温度検知部で検
出し検出データをワイヤ及びリード３を介して侶号処理
回路へ伝達する。発熱部と温度検知部が搭載されている
絶縁基板面を流体中へ配置する場合にはこの面が平担化
されるように保護膜等を被覆して円形板と同一平面に設
定することが望ましい。
は、フローセンサチップ１の絶縁基板面を上方向にして
発熱部と温度検出部を搭載した面を下方向（円形板内方
）になるようにフローセンサチップ１を円形板２の貫通
孔へ嵌入する。フローセンサチップ１は絶縁基板上表面
に沿って流れる流体の流量、流速又は流方向のうち必要
なものを下面に搭載されている発熱部と温度検知部で検
出し検出データをワイヤ及びリード３を介して侶号処理
回路へ伝達する。発熱部と温度検知部が搭載されている
絶縁基板面を流体中へ配置する場合にはこの面が平担化
されるように保護膜等を被覆して円形板と同一平面に設
定することが望ましい。
以上述べたようにチップ１を円形板２にマウントした構
造とすることにより整流効果が得られ、チップｌ上での
流体の流れを乱すことなく安定な流れの状態が実現でき
チップ本来の流量法速成は方向特性検知機能が安定に発
揮される。
造とすることにより整流効果が得られ、チップｌ上での
流体の流れを乱すことなく安定な流れの状態が実現でき
チップ本来の流量法速成は方向特性検知機能が安定に発
揮される。
尚、チップ１の形状は正方形に限らずどのような形状に
おいても整流効果が得ら九、本来の特性が安定に得られ
る。また第１図に示した円形板２にチップ１をマウント
する構造に限らず、第２図（Ａ） （Ｂ）に他の実施例
として示すように予めキャンタイプのパッケージ４にマ
ウントされたチップ１においても円形板２を付設しチッ
プ１の上品と同一平面になるように円形板２を装着固定
することによって、第１図に示すフローセンサと同様な
整流効果が得られ、本来の特性を得ることができる。
おいても整流効果が得ら九、本来の特性が安定に得られ
る。また第１図に示した円形板２にチップ１をマウント
する構造に限らず、第２図（Ａ） （Ｂ）に他の実施例
として示すように予めキャンタイプのパッケージ４にマ
ウントされたチップ１においても円形板２を付設しチッ
プ１の上品と同一平面になるように円形板２を装着固定
することによって、第１図に示すフローセンサと同様な
整流効果が得られ、本来の特性を得ることができる。
〈発明の効果〉
以上詳述したように本発明の熱式フローセンサは次のよ
うな実用上極めて有利な利点を有する。
うな実用上極めて有利な利点を有する。
（１）チップを円形板にマウントすることによって、フ
ローセンサに整流効果を持たせ、流速成は方向の測定精
度を向上させることができる。
ローセンサに整流効果を持たせ、流速成は方向の測定精
度を向上させることができる。
（２）チップの形状によらず整流効果が得られる。
（３） チップを直接チップ支持板兼円形板にマウン
トするので工程数を増やすことなく整流効果が得られ量
産性に富む。
トするので工程数を増やすことなく整流効果が得られ量
産性に富む。
第１図（Ａ）、 （Ｂ）は本発明の１実施例を示す熱式
フローセンサの模式断面図及び平面図である。 第２図（Ａ）、 （Ｂ）は本発明の池の実施例を示す熱
式フローセンサの模式断面図及び平面図である。 １・・・フローセンサチップ、 ２・・・円形板、
３・・・リード、 ４・・・パッケージ。 代理人 弁理士 杉 山 毅 至（他１名）第１図 （，４） 第２図
フローセンサの模式断面図及び平面図である。 第２図（Ａ）、 （Ｂ）は本発明の池の実施例を示す熱
式フローセンサの模式断面図及び平面図である。 １・・・フローセンサチップ、 ２・・・円形板、
３・・・リード、 ４・・・パッケージ。 代理人 弁理士 杉 山 毅 至（他１名）第１図 （，４） 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、発熱抵抗体と測温抵抗体の組あるいは発熱用トラン
ジスタと測温用トランジスタの組を用いた流量、流速ま
たは／及び流方向を検知する熱式フローセンサチップを
円形板にマウントしたことを特徴とするフローセンサ。 ２、上記熱式フローセンサチップを上記円形板に嵌入し
て上記熱式フローセンサの表面を上記円形板の表面上で
同一平面に平坦化した特許請求の範囲第１項記載のフロ
ーセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034914A JPS63201530A (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | フロ−センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034914A JPS63201530A (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | フロ−センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201530A true JPS63201530A (ja) | 1988-08-19 |
Family
ID=12427481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62034914A Pending JPS63201530A (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | フロ−センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63201530A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001309224A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-11-02 | Sony Corp | 入力装置および入力装置を有する電子機器 |
| KR20030003208A (ko) * | 2002-12-13 | 2003-01-09 | (주)니즈 | 실리콘기판에 집적된 미세가공기술을 이용한 디지털대기환경 측정장치 |
| WO2021111952A1 (ja) * | 2019-12-06 | 2021-06-10 | Koa株式会社 | 流量センサ |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP62034914A patent/JPS63201530A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001309224A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-11-02 | Sony Corp | 入力装置および入力装置を有する電子機器 |
| KR20030003208A (ko) * | 2002-12-13 | 2003-01-09 | (주)니즈 | 실리콘기판에 집적된 미세가공기술을 이용한 디지털대기환경 측정장치 |
| WO2021111952A1 (ja) * | 2019-12-06 | 2021-06-10 | Koa株式会社 | 流量センサ |
| JP2021089249A (ja) * | 2019-12-06 | 2021-06-10 | Koa株式会社 | 流量センサ |
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