JPH06100500B2 - 分光測定装置 - Google Patents
分光測定装置Info
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- JPH06100500B2 JPH06100500B2 JP60140014A JP14001485A JPH06100500B2 JP H06100500 B2 JPH06100500 B2 JP H06100500B2 JP 60140014 A JP60140014 A JP 60140014A JP 14001485 A JP14001485 A JP 14001485A JP H06100500 B2 JPH06100500 B2 JP H06100500B2
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- diffraction grating
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Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、広波長領域にわたる分光測定を行なう測定機
器に適用される分光測定装置に関する。
器に適用される分光測定装置に関する。
（ロ）従来技術とその問題点 近年、光通信技術の発展に伴ない、各種の光素子の特性
テスト等のために、広波長領域にわたる分光測定に対す
る需要が増大している。
テスト等のために、広波長領域にわたる分光測定に対す
る需要が増大している。
ところで、広波長領域にわたる分光測定においては、分
散素子である回折格子の回折効率特性や検出器の波長感
度特性からくる制限のため、複数の回折格子と複数の検
出器とを使用する必要があると考えられる。
散素子である回折格子の回折効率特性や検出器の波長感
度特性からくる制限のため、複数の回折格子と複数の検
出器とを使用する必要があると考えられる。
一般に回折格子は、第４図に示すように、広波長領域の
全域にわたって均一で良好な回折効率特性を示すもので
はなく、ブレイズ波長の両サイドにおいて効率の低下を
示すものである。したがって、１枚の回折格子によって
測定しうる波長範囲は、その回折格子の効率特性によっ
て制限を受け、広範囲の波長範囲（λ1〜λ3）の測定を
行なおうとすれば、短波長領域（λ1〜λ2）で効率のよ
い回折格子と、隣接する長波長領域（λ2〜λ3）におい
て効率のよい回折格子との合計２枚の回折格子が必要と
なる。
全域にわたって均一で良好な回折効率特性を示すもので
はなく、ブレイズ波長の両サイドにおいて効率の低下を
示すものである。したがって、１枚の回折格子によって
測定しうる波長範囲は、その回折格子の効率特性によっ
て制限を受け、広範囲の波長範囲（λ1〜λ3）の測定を
行なおうとすれば、短波長領域（λ1〜λ2）で効率のよ
い回折格子と、隣接する長波長領域（λ2〜λ3）におい
て効率のよい回折格子との合計２枚の回折格子が必要と
なる。
検出器についても同様であり、測定すべき波長範囲のう
ちの各波長領域においてそれぞれ波長感度の良好な検出
器を使用する必要がある。すなわち、短波長領域（λ1
〜λ2）では該領域で良好な波長感度を有する検出器
を、隣接する長波長領域（λ2〜λ3）では該領域で良好
な波長感度を有する検出器を、それぞれ使用する必要が
ある。
ちの各波長領域においてそれぞれ波長感度の良好な検出
器を使用する必要がある。すなわち、短波長領域（λ1
〜λ2）では該領域で良好な波長感度を有する検出器
を、隣接する長波長領域（λ2〜λ3）では該領域で良好
な波長感度を有する検出器を、それぞれ使用する必要が
ある。
さて、従来、各種の分光分析器に適用されている分光測
定装置は、比較的狭い波長範囲における分光測定を前提
としたものであって、（Ａ）単一の回折格子と単一の検
出器を使用するもののほかには、（Ｂ）２枚の回折格子
を切り換えて使用するものの、単一の検出器を使用する
もの、（Ｃ））１枚の回折格子と２個の検出器とを２個
用い、両検出器を手動切換するようにしたものがある。
これらの装置はいずれも、単一の回折格子、もしくは単
一の検出器の特性から制限を受け、充分に広い波長範囲
をカバーすることができず、到底、近年の広波長領域の
分光測定に対する要望に応えられなかった。
定装置は、比較的狭い波長範囲における分光測定を前提
としたものであって、（Ａ）単一の回折格子と単一の検
出器を使用するもののほかには、（Ｂ）２枚の回折格子
を切り換えて使用するものの、単一の検出器を使用する
もの、（Ｃ））１枚の回折格子と２個の検出器とを２個
用い、両検出器を手動切換するようにしたものがある。
これらの装置はいずれも、単一の回折格子、もしくは単
一の検出器の特性から制限を受け、充分に広い波長範囲
をカバーすることができず、到底、近年の広波長領域の
分光測定に対する要望に応えられなかった。
これに対しては、もちろん、複数の回折格子と複数の検
出器とを備えた装置が考えられるのであるが、単に複数
の回折格子、検出器を設けただけで広波長領域にわたる
分光測定装置ができるわけではなく、測定波長の各領域
毎に回折格子や検出器を切り換えるための機構等、各種
の機構を設ける必要があって、これらの機構が円滑に動
作するものでなければ、測定すべき全波長領域での連続
的な測定ができなかったり、入射測定光に対して回折格
子や検出器が相対的に位置ずれして測定精度が低下した
りする問題を生じる。
出器とを備えた装置が考えられるのであるが、単に複数
の回折格子、検出器を設けただけで広波長領域にわたる
分光測定装置ができるわけではなく、測定波長の各領域
毎に回折格子や検出器を切り換えるための機構等、各種
の機構を設ける必要があって、これらの機構が円滑に動
作するものでなければ、測定すべき全波長領域での連続
的な測定ができなかったり、入射測定光に対して回折格
子や検出器が相対的に位置ずれして測定精度が低下した
りする問題を生じる。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであっ
て、広波長領域にわたる分光測定を精度よく連続的かつ
自動的に行なえるようにすることを目的とする。
て、広波長領域にわたる分光測定を精度よく連続的かつ
自動的に行なえるようにすることを目的とする。
（ハ）問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するために、格子面が互い
に面一の状態で連なりかつ長短互いに異なる波長領域で
良好な回折効率を有するとともにさらにそれぞれが格子
定数を同一とする２種の回折格子と、これらの回折格子
が所定の回転角度にあるときに該回折格子をその格子面
の広がり方向に沿ってスライド変位させ入射測定光に対
して位置を入れ替える入れ替え駆動機構と、前記各回折
格子の回折効率にそれぞれ対応する波長領域で良好な波
長感度を有する２個の検出器と、前記回折格子の回折光
の光路を高速で切り換えて該回折光を両検出器に交互に
導く光路切換手段と、回折格子の入れ替え動作に同期し
て前記検出器の検出出力を切り換えるスイッチ手段とを
備えたことを特徴とする分光測定装置を構成したもので
ある。
に面一の状態で連なりかつ長短互いに異なる波長領域で
良好な回折効率を有するとともにさらにそれぞれが格子
定数を同一とする２種の回折格子と、これらの回折格子
が所定の回転角度にあるときに該回折格子をその格子面
の広がり方向に沿ってスライド変位させ入射測定光に対
して位置を入れ替える入れ替え駆動機構と、前記各回折
格子の回折効率にそれぞれ対応する波長領域で良好な波
長感度を有する２個の検出器と、前記回折格子の回折光
の光路を高速で切り換えて該回折光を両検出器に交互に
導く光路切換手段と、回折格子の入れ替え動作に同期し
て前記検出器の検出出力を切り換えるスイッチ手段とを
備えたことを特徴とする分光測定装置を構成したもので
ある。
（ニ）作用 上記の構成によれば、短波長領域においては該領域で良
好な特性を有する一方の回折格子および一方の検出器が
分光測定に関与し、回折格子の回転角度が所定角度を越
えると、入れ替え駆動機構の駆動により回折格子が測定
光に対して入れ替わるとともに、スイッチ手段が切り換
わり、長波長領域においては該領域で良好な特性を有す
る他方の回折格子および他方の検出器が分光測定に関与
することになる。
好な特性を有する一方の回折格子および一方の検出器が
分光測定に関与し、回折格子の回転角度が所定角度を越
えると、入れ替え駆動機構の駆動により回折格子が測定
光に対して入れ替わるとともに、スイッチ手段が切り換
わり、長波長領域においては該領域で良好な特性を有す
る他方の回折格子および他方の検出器が分光測定に関与
することになる。
また、それぞれの回折格子が格子面が互いに面一の状態
で連なる構成により短波長から長波長にかけての全域に
わたって連続的に分光測定が行え、かつそれら回折格子
が格子定数を同一とする構成によりそれぞれの回折格子
の回転速度は同一とできる。
で連なる構成により短波長から長波長にかけての全域に
わたって連続的に分光測定が行え、かつそれら回折格子
が格子定数を同一とする構成によりそれぞれの回折格子
の回転速度は同一とできる。
（ホ）実施例 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は、本発明の実施例に係る分光測定装置の構成図
であって、該分光測定装置は、第１および第２の２種の
回折格子1,2と、これらの回折格子1,2を所定位置で回転
させる回転駆動機構３と、両回折格子1,2の位置を互い
に入れ替える入れ替え駆動機構４と、第１および第２の
２個の検出器5,6と、これらの検出器5,6への光路を切り
換える光路切換手段７と、両検出器5,6の検出出力を選
択的に送出する本体回路８とを備え、前記本体回路８に
は、両検出器5,6の検出出力を切り換えるスイッチ手段
９が設けられている。
であって、該分光測定装置は、第１および第２の２種の
回折格子1,2と、これらの回折格子1,2を所定位置で回転
させる回転駆動機構３と、両回折格子1,2の位置を互い
に入れ替える入れ替え駆動機構４と、第１および第２の
２個の検出器5,6と、これらの検出器5,6への光路を切り
換える光路切換手段７と、両検出器5,6の検出出力を選
択的に送出する本体回路８とを備え、前記本体回路８に
は、両検出器5,6の検出出力を切り換えるスイッチ手段
９が設けられている。
前記両回折格子1,2への光路前段には、入口スリット10
と、球面もしくは放物面の反射鏡11とが設けられ、測定
光は入口スリット10と反射鏡11とを介し平行光として両
回折格子1,2のいずれかに入射するようになっている。
各回折格子1,2は、互いに隣接した波長領域において良
好な効率特性を有するものである。すなわち、第１の回
折格子１は、短波長領域（λ1〜λ2＋Δλ3）で良好な
効率特性を有し、第２の回折格子２は、前記短波長領域
と一部重なり合う長波長領域（λ2−Δλ2〜λ3）で良
好な効率特性を有する。両回折格子1,2は格子面が互い
に面一となった状態で連なっている。また、両回折格子
1,2は、格子定数を互いに同一とし、ブレイズ波長のみ
をが異なる。なお、両回折格子1,2は、別途製作した２
枚の回折格子を突き合わせ接合したものであってもよい
し、単一の基板上に２種の格子面を形成したものでもよ
い。
と、球面もしくは放物面の反射鏡11とが設けられ、測定
光は入口スリット10と反射鏡11とを介し平行光として両
回折格子1,2のいずれかに入射するようになっている。
各回折格子1,2は、互いに隣接した波長領域において良
好な効率特性を有するものである。すなわち、第１の回
折格子１は、短波長領域（λ1〜λ2＋Δλ3）で良好な
効率特性を有し、第２の回折格子２は、前記短波長領域
と一部重なり合う長波長領域（λ2−Δλ2〜λ3）で良
好な効率特性を有する。両回折格子1,2は格子面が互い
に面一となった状態で連なっている。また、両回折格子
1,2は、格子定数を互いに同一とし、ブレイズ波長のみ
をが異なる。なお、両回折格子1,2は、別途製作した２
枚の回折格子を突き合わせ接合したものであってもよい
し、単一の基板上に２種の格子面を形成したものでもよ
い。
両回折格子1,2は、サインバー機構のような回転駆動機
構３の駆動により、測定光が入射する所定位置において
回転するとともに、所定の回転角度位置に達すると入れ
替え駆動機構４の駆動により、格子面の広がり方向でか
つ格子溝と直交する方向にスライド変位して、入射測定
光に対して位置が入れ替わるようになっている。なお、
両回折格子1,2を回転およびスライド自在に支持する支
持部の具体的構造については後述する。
構３の駆動により、測定光が入射する所定位置において
回転するとともに、所定の回転角度位置に達すると入れ
替え駆動機構４の駆動により、格子面の広がり方向でか
つ格子溝と直交する方向にスライド変位して、入射測定
光に対して位置が入れ替わるようになっている。なお、
両回折格子1,2を回転およびスライド自在に支持する支
持部の具体的構造については後述する。
両回折格子1,2の光路後段には、反射斜鏡12と出口スリ
ット13とが設けられ、回折格子1,2による回折光は、前
記反射鏡11で再び反射されたのち、反射斜鏡12と出口ス
リット13を介し検出器5,6側に入射するようになってい
る。
ット13とが設けられ、回折格子1,2による回折光は、前
記反射鏡11で再び反射されたのち、反射斜鏡12と出口ス
リット13を介し検出器5,6側に入射するようになってい
る。
第１および第２の検出器5,6は、前記各回折格子1,2の効
率特性にそれぞれ対応する波長感度を有するものであっ
て、第１の検出器５は、短波長領域（λ1〜λ2＋Δ
λ3）で良好な波長感度を有し、第２の検出器６は、前
記短波長領域と一部重なり合う長波長領域（λ2−Δλ2
〜λ3）で良好な波長感度を有する。これら両検出器5,6
の光路前段には、レンズ14と、前記光路切換手段７とが
設けられ、各検出器5,6には、出口スリット13を通過し
た回折光がレンズ14および光路切換手段７を介して集光
入射するようになっている。前記光路切換手段７は、表
面が鏡面となった回転チョッパであって、回折光の光路
を斜めに横切る姿勢で高速回転する。光路切換手段７を
通過した回折光は、第１の検出器５に集光し、光路切換
手段７で光路が切り換えられた回折光は第２の検出器６
に集光する。
率特性にそれぞれ対応する波長感度を有するものであっ
て、第１の検出器５は、短波長領域（λ1〜λ2＋Δ
λ3）で良好な波長感度を有し、第２の検出器６は、前
記短波長領域と一部重なり合う長波長領域（λ2−Δλ2
〜λ3）で良好な波長感度を有する。これら両検出器5,6
の光路前段には、レンズ14と、前記光路切換手段７とが
設けられ、各検出器5,6には、出口スリット13を通過し
た回折光がレンズ14および光路切換手段７を介して集光
入射するようになっている。前記光路切換手段７は、表
面が鏡面となった回転チョッパであって、回折光の光路
を斜めに横切る姿勢で高速回転する。光路切換手段７を
通過した回折光は、第１の検出器５に集光し、光路切換
手段７で光路が切り換えられた回折光は第２の検出器６
に集光する。
両検出器5,6の検出出力が入力する本体回路８は、第２
図のブロック図に示すように、各検出器5,6の検出出力
をそれぞれ増幅する第１および第２の増幅器15,16と、
両増幅器15,16の増幅出力のうち一方の出力（この実施
例では第２増幅器16の出力）の位相をずらすフェーズシ
フタ17と、このフェーズシフタ17の出力と他方の第１増
幅器15の出力とを導入するスイッチ手段９と、スイッチ
手段９の出力を増幅する後段増幅器18とを備えている。
後段増幅器18の出力は、同期整流したのち、スペクトル
表示を行なう表示器もしくは記録装置（いずれも図示せ
ず）に送られる。前記フェーズシフタ17の動作によっ
て、第１と第２の両増幅器15,16の出力の位相が揃えら
れる。また、前記スイッチ手段９は、両回折格子1,2の
入れ替え動作に同期して切り換わるようになっており、
第１の回折格子１が測定光入射位置にあるときは第１検
出器５の検出出力を送出し、第２の回折格子２が測定光
入射位置にあるときは第２検出器６の検出出力を送出す
るようになっている。このスイッチ手段９の切換動作
は、具体的には、回折格子1,2の回転駆動機構３に付設
された信号発生部3aからの信号により行なわれる。
図のブロック図に示すように、各検出器5,6の検出出力
をそれぞれ増幅する第１および第２の増幅器15,16と、
両増幅器15,16の増幅出力のうち一方の出力（この実施
例では第２増幅器16の出力）の位相をずらすフェーズシ
フタ17と、このフェーズシフタ17の出力と他方の第１増
幅器15の出力とを導入するスイッチ手段９と、スイッチ
手段９の出力を増幅する後段増幅器18とを備えている。
後段増幅器18の出力は、同期整流したのち、スペクトル
表示を行なう表示器もしくは記録装置（いずれも図示せ
ず）に送られる。前記フェーズシフタ17の動作によっ
て、第１と第２の両増幅器15,16の出力の位相が揃えら
れる。また、前記スイッチ手段９は、両回折格子1,2の
入れ替え動作に同期して切り換わるようになっており、
第１の回折格子１が測定光入射位置にあるときは第１検
出器５の検出出力を送出し、第２の回折格子２が測定光
入射位置にあるときは第２検出器６の検出出力を送出す
るようになっている。このスイッチ手段９の切換動作
は、具体的には、回折格子1,2の回転駆動機構３に付設
された信号発生部3aからの信号により行なわれる。
第３図は回折格子1,2の支持部の構造を示す斜視図であ
って、同図に示すように、支持部は、サインバー19と一
体に所定の回転軸心Ｐ周りに回転するフレーム20と、該
フレーム20の前面部にガイド21,21により回転軸心Ｐと
直交する方向にスライド自在に支持されたスライドベー
ス22と、スライドベース22に取り付けられピニオン23が
噛合するラック24とからなり、前記スライドベース22の
前面部に２枚の回折格子1,2が取着されている。ピニオ
ン23は回転軸心Ｐ上にあって入れ替え駆動機構４の駆動
により回転し、フレーム20の回転に何等影響を与えるこ
となく、スライドベース22をスライド変位させて回折格
子1,2の位置を互いに入れ替えるようになっている。両
回折格子1,2は、このような支持部に支持されているた
め、測定光入射位置での回転と、格子面の広がり方向に
沿ったスライド変位とを各別に行ないうる。
って、同図に示すように、支持部は、サインバー19と一
体に所定の回転軸心Ｐ周りに回転するフレーム20と、該
フレーム20の前面部にガイド21,21により回転軸心Ｐと
直交する方向にスライド自在に支持されたスライドベー
ス22と、スライドベース22に取り付けられピニオン23が
噛合するラック24とからなり、前記スライドベース22の
前面部に２枚の回折格子1,2が取着されている。ピニオ
ン23は回転軸心Ｐ上にあって入れ替え駆動機構４の駆動
により回転し、フレーム20の回転に何等影響を与えるこ
となく、スライドベース22をスライド変位させて回折格
子1,2の位置を互いに入れ替えるようになっている。両
回折格子1,2は、このような支持部に支持されているた
め、測定光入射位置での回転と、格子面の広がり方向に
沿ったスライド変位とを各別に行ないうる。
上記の構成において、今、波長領域の短波長側（λ1〜
λ2）から分光測定を行なうとすれば、その場合は、第
１の回折格子１が測定光入射位置にあって、本体回路内
８では、スイッチ手段９が第１の検出器５側に接続して
いる。そのため、測定光は第１の回折格子１で分散回折
され、その回折光は光路切換手段７を介して両検出器5,
6に入射する。各検出器5,6からはそれぞれ光電出力が出
るが、その後段のスイッチ手段９が第１の検出器５側に
切り換わっているため、第１の検出器５の検出出力のみ
が本体回路８から送出される。したがって、短波長領域
では、測定光が第１の回折格子１で回折され、その回折
光が第１の検出器５で検出されることとなる。
λ2）から分光測定を行なうとすれば、その場合は、第
１の回折格子１が測定光入射位置にあって、本体回路内
８では、スイッチ手段９が第１の検出器５側に接続して
いる。そのため、測定光は第１の回折格子１で分散回折
され、その回折光は光路切換手段７を介して両検出器5,
6に入射する。各検出器5,6からはそれぞれ光電出力が出
るが、その後段のスイッチ手段９が第１の検出器５側に
切り換わっているため、第１の検出器５の検出出力のみ
が本体回路８から送出される。したがって、短波長領域
では、測定光が第１の回折格子１で回折され、その回折
光が第１の検出器５で検出されることとなる。
この状態で両回折格子1,2が回転駆動機構３の駆動によ
り長波長の回折光を送り出す角度位置へと回転し、その
回転角度が所定の値（λ2−Δλ2）となると、入れ替え
駆動機構４が起動し、これによって両回折格子1,2がス
ライドし始め、回転角度が次の所定値（λ2＋Δλ3）と
なったときには、両回折格子1,2の位置が完全に入れ替
わり、測定光入射位置には第２の回折格子２が位置する
ことになる。したがって長波長領域では、第２の回折格
子２が測定光を分散回折し、その回折光が検出器5,6側
に入射する。
り長波長の回折光を送り出す角度位置へと回転し、その
回転角度が所定の値（λ2−Δλ2）となると、入れ替え
駆動機構４が起動し、これによって両回折格子1,2がス
ライドし始め、回転角度が次の所定値（λ2＋Δλ3）と
なったときには、両回折格子1,2の位置が完全に入れ替
わり、測定光入射位置には第２の回折格子２が位置する
ことになる。したがって長波長領域では、第２の回折格
子２が測定光を分散回折し、その回折光が検出器5,6側
に入射する。
一方、両回折格子1,2の回転角度が長短両波長領域に境
界（λ2）に対応する角度位置に達したときには、回転
駆動機構３の信号発生部3aからの信号でスイッチ手段９
が第２の検出器６側に切り換わる。これによって、長波
長領域では第２の検出器６の検出出力が本体回路８から
送出される。したがって、長波長領域では、測定光が第
２の回折格子２で回折され、その回折光が第２の検出器
６で検出されることとなる。
界（λ2）に対応する角度位置に達したときには、回転
駆動機構３の信号発生部3aからの信号でスイッチ手段９
が第２の検出器６側に切り換わる。これによって、長波
長領域では第２の検出器６の検出出力が本体回路８から
送出される。したがって、長波長領域では、測定光が第
２の回折格子２で回折され、その回折光が第２の検出器
６で検出されることとなる。
（ヘ）効果 以上のように、本発明によれば、短波長領域においては
該領域で良好な特性を有する一方の回折格子および一方
の検出器が分光測定に関与し、長波長領域においては該
領域で良好な特性を有する他方の回折格子および他方の
検出器が分光測定に関与するから、測定すべき全波長範
囲にわたる分光測定を特性の良好な回折格子と検出器と
でカバーすることができ、これによって広波長領域での
精確な分光測定が可能となる。
該領域で良好な特性を有する一方の回折格子および一方
の検出器が分光測定に関与し、長波長領域においては該
領域で良好な特性を有する他方の回折格子および他方の
検出器が分光測定に関与するから、測定すべき全波長範
囲にわたる分光測定を特性の良好な回折格子と検出器と
でカバーすることができ、これによって広波長領域での
精確な分光測定が可能となる。
しかも、両回折格子は格子面が互いに連続し、かつその
格子面の広がり方向にスライドして位置が入れ替わるか
ら、一方の回折格子で測定光を回折しながら他方の回折
光での回折に移行し、そのため、波長範囲の途中で測定
を中断することなく、波長範囲の全域にわたって連続的
に分光測定を行なうことができ、また回折格子の入れ替
えによる位置ずれもほとんど生じないため、精度のよい
測定を行なうことができる。
格子面の広がり方向にスライドして位置が入れ替わるか
ら、一方の回折格子で測定光を回折しながら他方の回折
光での回折に移行し、そのため、波長範囲の途中で測定
を中断することなく、波長範囲の全域にわたって連続的
に分光測定を行なうことができ、また回折格子の入れ替
えによる位置ずれもほとんど生じないため、精度のよい
測定を行なうことができる。
さらに、回折格子それぞれが格子定数を同一とする構成
によりそれぞれの回折格子の回転速度を同一とでき、こ
れにより、回折格子の回転駆動機構としては同一のもの
を兼用でき、その結果、全体の構成を簡略化できる。
によりそれぞれの回折格子の回転速度を同一とでき、こ
れにより、回折格子の回転駆動機構としては同一のもの
を兼用でき、その結果、全体の構成を簡略化できる。
第１図は、本発明の一実施例の構成図、第２図はその本
体回路部分のブロック図、第３図は回折格子の支持部の
斜視図、第４図は動作を説明するための特性図である。 1,2……回折格子、３……回転駆動機構、４……入れ替
え駆動機構、5,6……検出器、７……光路切換手段、９
……スイッチ手段。
体回路部分のブロック図、第３図は回折格子の支持部の
斜視図、第４図は動作を説明するための特性図である。 1,2……回折格子、３……回転駆動機構、４……入れ替
え駆動機構、5,6……検出器、７……光路切換手段、９
……スイッチ手段。
Claims (1)
- 【請求項１】格子面が互いに面一の状態で連なりかつ長
短互いに異なる波長領域で良好な回折効率を有するとと
もにさらにそれぞれが格子定数を同一とする２種の回折
格子と、これらの回折格子が所定の回転角度にあるとき
に該回折格子をその格子面の広がり方向に沿ってスライ
ド変位させ入射測定光に対して位置を入れ替える入れ替
え駆動機構と、前記各回折格子の回折効率にそれぞれ対
応する波長領域で良好な波長感度を有する２個の検出器
と、前記回折格子の回折光の光路を高速で切り換えて該
回折光を両検出器に交互に導く光路切換手段と、回折格
子の入れ替え動作に同期して前記検出器の検出出力を切
り換えるスイッチ手段とを備えたことを特徴とする分光
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60140014A JPH06100500B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 分光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60140014A JPH06100500B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 分光測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62819A JPS62819A (ja) | 1987-01-06 |
| JPH06100500B2 true JPH06100500B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=15258924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60140014A Expired - Lifetime JPH06100500B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 分光測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06100500B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011197351A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Olympus Corp | 反射型回折格子、及び、それを用いた分光器及びパルス整形器 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4842984A (ja) * | 1971-10-07 | 1973-06-21 | ||
| JPS5924977Y2 (ja) * | 1976-06-30 | 1984-07-23 | 株式会社島津製作所 | 分光光度計 |
| JPS5946362B2 (ja) * | 1978-09-29 | 1984-11-12 | 株式会社島津製作所 | 回折格子 |
| CH665026A5 (de) * | 1983-07-15 | 1988-04-15 | Ritzl Hermann | Spektrometer. |
| JPS6093925A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-25 | Shimadzu Corp | 分光器の回折格子交換装置 |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP60140014A patent/JPH06100500B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62819A (ja) | 1987-01-06 |
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