JPS63202096U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の一実施例を適用したカー
トリツジヒータの断面図、第２図は第１図の部
の詳細説明図、第３図ａ，ｂはそれぞれ本考案に
おけるカートリツジヒータの簡略平面図及び簡略
側面図、第４図は従来装置の一例を適用した横型
半導体製造装置用のカートリツジヒータの断面図
、第５図は第４図のＶ部の詳細説明図、第６図は
カートリツジヒータを横型半導体製造装置に用い
た場合の簡略断面図である。 １……ヒータコイル、２……断熱材、３……ヒ
ータケース、４……従来型組合せピース、８……
本考案組合せピース、９……つなぎ線、１０……
吊り下げピース固定用ボルト、１１……ヒータコ
イル吊り下げ側ピース、１２……ヒータケース固
定側ピース。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 横型半導体製造装置に使用されるカートリツジ
   ヒータのヒータコイル１の外周を断熱材２で被い
   、この断熱材２にヒータコイル１を従来型組合せ
   ピース４で取付けると共に、断熱材２の外周をヒ
   ータケース３で被つた構造の装置において、ヒー
   タコイル１上部の１列または複数列に並んだ多数
   個所を、ヒータコイル吊り下げ側ピース１１と、
   吊り下げピース固定用ボルト１０を有するヒータ
   ケース固定側ピース１２とをつなぎ線９でつない
   で形成された本考案組合せピース８により支える
   と共に、これらの本考案組合せピース８を吊り下
   げピース固定用ボルト１０でヒータケース３に取
   り付けてなる横型半導体製造装置用カートリツジ
   ヒータのヒータコイル取付け装置。