JPS63202707A - 精密レンズマウンチングアセンブリ、精密レンズセルアセンブリを製造する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光学素子の組立装置、換言すれば該素子を一
緒にユニットアセンブリに組立てる装置に関する。

従来の技術 光学設計者に対しては、半導体製品製作用の写真平版装
置のような用途のためには常に一層正確かつ強力なレン
ズ系を開発することが要求される。これらのレンズ系は
、使用、保存及び輸送の際の多数の環境条件下で極めて
高いレベルの性能を維持することが所望される。更に、
これらは容易、迅速かつ正確に組立てられねばならない
。従って、問題点は連光な光学的設計を開発するだけで
なく、また初期の設計に対して精確に維持されかつ廉価
に完成される最終アセンブリにレンズを組立てることに
ある。

レンズは一般にレンズのための環状支持体として役立つ
レンズセル内に固定される。典型的には、大抵のレンズ
はクリップ、フランジ、ねじ付保持リング、接着剤、刻
み目付リップ又はねじのような機械的装置でレンズセル
内に保持゛される。このような装置は周囲温度に曝され
ると、熱膨張及び収縮の効果が不可避的にレンズの応力
変化を生じる、例えば場合によってはセル内部のそのマ
ウント内の素子の移動を生せしめることのある、素子に
対する締付は負荷の非対称的変化、又は透過波面の歪を
生ぜしめるレンズガラス内部の好ましくない歪として現
われる応力変化を惹起する。

レンズはまた光学アセンブリユニットを構成するように
、組合せられねばならない。このようなアセンブリは、
固有の軸方向及び半径方向アライメントを確保するよう
に、狭い許容範囲内でレンズを保持すべきであり、かつ
製作コストを最小にするために容易かつ正確に組立てら
れねばならない。

またレンズアセンブリは、一連のレンズを保持する機械
的一体構造であるレンズバレル内に組合せられることも
ある。該レンズバレルはレンズを相互に対して軸方向及
び半径方向で位置決めし、かつレンズアセンブリをその
一部分を成す系と対面させるために使用される。レンズ
素子はバレル壁のＩＤによって半径方向で位置決メされ
る。レンズ素子のＯＤはバレル壁のＩＤをフィツトさせ
るための基底となる。レンズ素子の軸方向位置は組立中
にレンズ座を切削することによって得られる。その後、
レンズ素子を接着剤、保持リング等によシ座に固定する
ことができる。

このようなバレルにマウントされたレンズアセンブリハ
、バレル及び／又はレンズに対して熱的に生ぜしめられ
る応力に曝されるという欠点を有し、このような応力の
影響を最小にするため、特にマルチレンズのためには特
殊な材料を必要とし、かつ加工が困難であり、かつ加工
後には組立て中にレンズ素子の相対的位置の調整に関し
て全く融通性がない。

発明が解決しようとする問題点 従って、本発明の課題は、呼称の作動温度範囲に戻され
る場合、大きな温度偏位の影響を受けない少量の外的材
料から製作されたレンズセル内のマウ、ント、及び原光
学設計的要求を満足する光学系を迅速、容易かつ正確に
組立てるために使用することができる上記レンズセルを
提供することによって、先行技術の前記欠点を排除又は
改善することであった。

問題点を解決するための手段 所望の結果を達成するために、本発明は新規のレンズセ
ル内に結合されたレンズから成る新規かつ改良された装
置を提供する。

本発明によれば、レンズセルを取付ケたレンズセルを精
密空気ベアリング旋盤スピンドルに取付けられた真空チ
ャック上に配置する。チャック座を、それに着座される
べきレンズと同じ曲率半径を有するように適当に加工す
る。この操作は２９の目的、すなわちレンズの頂点に対
して研削工具の座標位置を確保すること及びレンズとチ
ャックの間に真空シールを維持するためにガラス着座表
面に好ましい金属を提供することのために役立つ。

真空チャックとは反対側のレンズ表面上に設定された高
精度トータル・インジケータ・リーディング（ＴＩＲ）
型グーノは、曲面を仮定して、適用される最小チャック
真空力を持ってチャック座上のレンズを適当に操作する
ことにより最小ＴＩＲに設定することができる。この操
作は、外側のレンズ曲率半径、ひいてはレンズの光軸を
真空チャックの回転軸線上に置く。セル表面、すなわち
回転軸線に対して垂直なセル表面及びレンズセルの外径
は、夫々スピンドル回転軸線に対して精確に垂直方向及
び同ぐ的に加工することができる。この位置は、レンズ
セルアセンブリを積重ねかつ相互に固定した場合、レン
ズ間の距離を・決定する、レンズ頂点から回転軸線に対
して垂直なセルの表面までの相対位置である。レンズの
光軸の正確なアライメントは、全てのレンズの外径を等
しくしかつレンズの光軸を中心として同心的にすること
により達成される。

次いで、加工したセルをレンズを取付けた状態で、退避
波面の評価試験を行いながら、積重ねかつ精密■形ブロ
ック内に保持する。所望の透過波面が、選択したセルの
軸方向、半径方向又は回転運動によシ達成されると、セ
ルを取降し、次いで順次に結合させて、以下に記載する
ように固定アセンブリを形成する。

第１のセルを、その着座表面から突出する２９以上の合
せビンで位置決めする。次いで、次のセルをビンの周囲
の゛間隙孔で位置決めする。

■形ブロックはセル、ひいてはレンズの中心を規定する
。合せビンとセルの間の界面にグラスチック製接着セメ
ントを充填し、セメントが漏れかつ下のセルに接着する
のを阻止するためにセル間のシールを行う。この操作は
１回毎に全部のアセンブリが一緒に接着剤／ビン結合さ
れるまで行う。こうして固定の、正確に位置決めされた
最終的レンズアセンブリが形成される。

上記には、以下に記載する本発明の詳細な説明を理解し
やすくするため、及び当該技術分野に対する本発明の寄
与をよシ認識しゃすくするために、本発明の比較的重要
な特徴をむしろ一般的に概略を述べて来た。しかし、以
下に記載しかつ特許請求の範囲に記載した対象を形成す
る本発明の付加的な特徴がもちろん存在する。

当業者にとっては、前記開示の基礎とした技術思想を、
本発明の若干の目的を実施するために別のアセンブリの
設計の基礎として利用できることは、自明のことである
。従って重要なことは、特許請求の範囲は、本発明の思
想及び範囲から逸脱しない同等のアセンブリも包含する
ものと見なされるべきことである。

実施例 図示及び説明のために、本発明の若干の実施例を選択し
た。該実施例につき、本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明に基づき構成されたレンズセル８５，
８６及び８７の１つの群の分解図を示す。個々のレンズ
セル例えば８５は一般に環状リングであし、該リングの
内部に光学素子例えばレンズ３６が配置されている。

周囲温度変化に応じて寸法が変化することは、いかなる
ものであれ固体材料の１つの特性である。若干の材料は
他のものよりも強度に温度変化に応じた寸法変化を生じ
る、すなわちこれらは異なった温度膨張率を有する。異
なった膨張率を有する材料に結合された任意の材料は、
温度偏位過程で結合点に応力を生じる。このような応力
は材料に永久歪又は寸法変化をもたらすことがあシかつ
一方の材料の他方の材料に対する配向を変化させること
がある。このような寸法又は配向変化は、光学的距離、
アライメント及びウェッジが狭い許容範囲内に維持され
るべき光学系においては障害となり得る。

第１図に示した本発明の実施例では、３つの片持ち式た
わみ機構が設けられており、該たわみ機構にレンズが結
合されている。たわみ機構２２．２３及び２４の構造及
び作用は、以下に第２〜５図を参照して説明する。

また、レンズセル８５はその上部に精密加工表面１３〜
１８を有する。これらの加工表面は、レンズセル８６の
底部の精密加工表面に合致するように配置されている。

第１図には６つの精密加工表面１３〜１８が示されてい
るが、これらは３つ過剰の任意の数であってもよい。こ
の形式によれば、セルは相対的に小さな角度、例えば６
つの精密加工表面が設けられている場合には６０’回転
させることができる。任意のセルを相対的に回転させる
ことによし、セル内部に収容された一連のレンズから発
する波面を選択的に変化させることができる。波面を調
整する方法については、第１０図及び第１１図を参照し
てなお十分に説、明する。

以上に第８図及び第９図を参照して説明するように、精
密加工表面１３〜１８は、セル８５内に収容されたレン
ズ３６の光軸に対して垂直な面内にある。更に、該面か
らレンズ３６の頂点までの距離は既知である。この形式
で、隣接したセル内のレンズの頂点を、レンズセルの精
密加工中に確定することができる。

また、レンズセル８５の外径３５は、該セル内に収容さ
れたレンズ３６に対して精密加工されている。外径３５
はレンズ３６の光軸を中心に対称的である。更に、アセ
ンブリ内の全てのレンズセルの外径が同心円筒状である
場合には、このようなアセンブリ内のレンズセル内に収
容された全てのレンズの光軸は同心的である。このよう
なシンメトリ−を達成する装置及び方法は、第８図及び
第９図を参照して以下に詳細に説明する。円周方向通路
９５は、セルをレンズアセンブリに積重ねる際に１つの
セルの他のセルに対して移動させるために、以下の第１
６図に示す装置と関連して役立つ。

孔３０−３４及び１０−１２は、接着剤ピン結合技術で
セル８５．８６及び８７を一緒に結合してすなわちセル
の固定アセンブリユニットを形成するために役立つ。第
１図に示されているように、孔３１．３３及び３５は合
せピン１０〜１２に合せられている。この適合は、例え
ばねじ孔３１．３３及び３５にねじ込まれる合せピン１
０−１２に雄ねじを設けることにより行うことができる
。セル８６及び８７を貫通する孔は、セル８６及び８７
をセル８５上に積重ねた際に、セルの上面から突出する
合せビンエ○〜１２を受入れるように配置されている。

次いで、合せピン１０〜］、２とセル８６及び８７内の
相応する孔との間に接着剤（図示せず）を充填し、セル
８５．８６及び８７の接着剤結合を行う。この技術につ
いては、第１０図を参照して以下によシ十分に説明する
。

第２Ａ図は本発明によるたわみ林・構の１実施例を示す
。

たわみ機構２２はレンズセル８５の内側壁と一体である
。レンズ座２９は、たわみ機構２２から半径方向内向き
に延びかつそれに取付けられている。レンズ座２９はそ
れに形成されたトラフ３８を有し、該トラフは第３図を
参照して以下に説明するような接着剤の受けとして役立
ちかつ特殊な接着剤層厚さを規定する。

たわみ機構２２は、例えばレンズ８５の壁内にスロット
４２をワイヤ電子放出加工又はフライス削りよシ形成さ
れる。このようなスロット４２は半径方向でレンズセル
８５の内側壁内の深さ“ｄ″に配置されている。スロッ
ト４２はレンズ座２９の一方端部から始シかつレンズセ
ル８５の中心のまわりに長さ“ａ”の弧を描く。

上 出来１つだたわみ機構２２の幅は“Ｗ“で示されている
。

第２Ｂ図は、レンズ３６をたわみ機構２２に結着する形
式を示す。接着剤、例えば３Ｍ社かう市販のＥＣ１８３
８は、レンズ３６をレンズ座２９に接着するためにトラ
フ内に充填される。

トラフは以下に記載するような温度偏位中に生じる応力
に耐えるセメントの接着剤層を特定する寸法を有する。

これらの接着剤は、レンズ３６を座２９に接着した際に
、過剰の接着剤が座２９から溢れ出かつフィレットを形
成することのないようにトラフ内に充填される。従って
、座表面３９の曲率半径は、接着されるレンズ３６の曲
率半径に適合することができるように留意すべきである
。大きな半径のレンズに関しては、レンズ３６の曲率半
径と座表面３９との間の合致はそれ程重要でなくなシか
つレンズ曲率に対する接線を形成する接着剤層の中心と
一定の角度を有するように加工することができる。

レンズ３６は以下の形式でレンズセル８５に接着される
。接着剤４０を座２９のトラフ３８内に入れる。この操
作を第１図のたわみ機構２２の夫々のために実施する。

次いで、レンズ３６をセル内に配置し、かつ過剰の接着
剤４０がトラフ３８からレンズ３６と座表面３９との間
を半径方向外側に押出されるようにレンズ座２９に押付
ける。レンズ３６を任意の常法で、レンズ３６の外周が
レンズセル８５の内周と実質的に同心的になるように心
合せする。この組立は、周囲基準温度、有利には該アセ
ンブリを操作する温度で実施する。

次に第２Ａ図及び第２Ｂ図を参照して、たわみ機構２２
の動作を説明する。周囲温度サイクルが昇降すると、レ
ンズセル８５の相対的直径及びレンズ３６の直径は変化
する。例として、レンズセル８５の膨張率がレンズ３６
のそれよりも著しく大きい場合を考察する。温度が基準
温度から上昇すると、レンズセル８５は膨張しかつレン
ズセル８５の内径は大きくなる。同時にレンズ３６、ひ
いてはその外径は大きくなるが、但しレンズセル８５と
同じ程度には増大しない。たわみ機構が存在しない先行
技術の構成においては、レンズはレンズ座に対して相対
的運動を行い、ひいては応力が発生することにより接着
剤結合部がずれ又は破壊される。第２Ａ図及び第２Ｂ図
に示した本発明の実施例においては、レンズ座２９はレ
ンズ３６に対して実質的に固定位置に残る。レンズセル
８５の内径はレンズ３６から遠ざかる方向に膨張するの
で、たわみ機構２２のアーム２５は曲げられる。すなわ
ち、アーム２５はたわみ機構のスロット幅ｆが増大する
ように運動する。温度が低下しかつ基準温度で安定化す
ると、たわみ機構２２はその初めの配置に戻シかつレン
ズ３６は、レンズセル２２内に心合せされられた、その
初めの位置に残る。いかなる時でも、たわみアーム２５
、レンズ２６又は接着剤層４０は、それらの夫々の材料
の許容応力限界に達しない。

逆に、周囲温度が基準温度よりも低下すると、レンズセ
ル８５の直径は収縮し、またレンズ３６も収縮するが、
但しレンズセル８５よりも収縮度は小さい。従って、た
わみ機構アーム２５は、たわみ機構スロット幅ｆが縮少
するように曲る。温度が上昇する場合と同様に、レンズ
座２９はレンズ３６に対するその立体的配向を維持しか
つ接着剤層４０の結合性は維持される。

このようにして温度が基準温度に戻ると、レンズ３６は
レンズセル８５に対して、それが製作された際と同じ配
向を取る。

たわみ機構が運動すると、矢印４３で示されているよう
に、接着剤層４ｏに小さなねじシ応力が発生する。接着
剤層４ｏは、この応力によって変形もしくは破壊され得
ない程の十分な大きさの領域を有する。更に、接着剤層
４ｏの形状及び位置は４７１部の付近で透過された波面
の歪を惹起することは逐い。

第３図は、第２Ａ図及び第２Ｂ図のたわみ機構の別の実
施例を示す。第３図の実施例においては、たわみアーム
２５は２９の幅Ｗ１及びＷ２を有する。Ｗｌは第２Ａ図
を参照して説明した形式で形成されたたわみアーム２５
の幅である。

しかしながら、Ｗ２はＷｌよりも狭い幅を有しかつ例え
ばたわみアーム２５の狭幅区分４１を切削することによ
り形成される。たわみアーム２５の狭幅区分４１は、レ
ンズ座２９の縁部から距離“ａ＃だけたわみアーム２５
の長手方向に沿って延びている。この狭幅区分４１の目
的は、第２Ｂ図に示した接着剤層４０が受入る応力を一
層減少させることである。し／メセル２２がレンズ３６
に対して相対的に膨張すると、たわみアーム２５は曲シ
かつ僅かなねじり応力がし／ズ座３９の接着剤層４ｏに
生ぜしめられる。

この応力は第２Ｂ図に矢印４３で示されているものと同
じである。゛第３図のたわみアーム２５の狭幅区分４１
は、レンズ座２９を有するたわみアームの区分を該区分
を除いたたわみアーム２５の部分に対して相対的に回転
させることによシねしり応力を減少させ、ひいては軸方
向でのたわみアーム２５の剛性が維持された上で実質的
に座表面３９に対するレンズ３６の配向が維持される。

第４図には、たわみ機構のもう１つの実施例が横断面で
示されている。このたわみ機構５２は、例えば次のよう
にして製作される。まず、レンズ座２９のいずれか一方
の側に、レンズセル８５の壁に距離ｔ１を有する半径方
向スロットを加工する。このような半径方向スロットは
ヰ養で示されている。次いで、２９の軸方向スロット４
８及び５０を設ける。１つの軸方向スロツ）５０は、レ
ンズセル８５の内径と、半径方向スロット４４の端面と
の間の中心部に設ける。

この軸方向スロットはレンズセル８５の底カラ出発し、
レンズセル８５の内径に対して平行に走り、かつレンズ
セルの上面から距離ｔ２の範囲内まで延びている。第２
の軸方向スロットは第１のスロットに対して平行であし
、半径方向スロット４４の端部及びレンズセルの上面か
ら出発し、かつレンズセルの底から距離ｔ３の範囲内ま
で延びている。

第４図のたわみ機構５２の動作は、第２Ａ図及び第２Ｂ
図のたわみ機構２２に関して説明した動作と同じである
。周囲温度が変化すると、たわみ機構５２はレンズ３６
及びレンズセル２０の異なった熱膨張率を補償するため
にレンズセル２Ｑに対して内側又は外側に運動する。こ
の形式で、レンズセル／レンズアセンブリが温度偏位に
引続き予め決められた基準温度に戻ると、レンズ座表面
３９に対するレンズ３６の配向に変化は生じない。

第５Ａ−５Ｃ図には、本発明に基づくたわみ機構２２の
別の実施例が示される。この実施例では、たわみアーム
２５とレンズ３６の外周との間に周方向ボッＰ部４５が
形成されている。

レンズ３６とレンズセル８５の内周との間の間隙を維持
するために突出ランＰ３７を設けることができる。第５
Ｂ図は、第５Ａ図に示した突出ランｒを有しないたわみ
アーム２５の横断面図を示す。レンズ３６をたわみアー
ム２５に接着するには、レンズを任意の常法でたわみア
ーム内の孔３５に隣接して保持する。次いで、受口４３
に注入装置（図示せず）を挿入しかつチキソトロープ又
は粘性のセメントを、レンズ３６とたわみアーム２５の
間に化メン）ｙｌ？ンビ部が形成されるように孔３５を
通して注入する。

第５Ｃ図に示すように、突出ランＰ３７が設けられてい
る場合にも、類似した手順を取る。孔３５を通して注入
されたチキソトロープセメントは、突出ランド３７とレ
ンズ３６との間にボンド部４５を形成する。２７１部４
５の”ｂ″として示された厚さは第５Ｂ図におけるレン
ズ３６とたわみアーム２５、又は第３Ｃ図におけるレン
ズ３６と突出ランドの間の間隙によって規定されること
は、当業者にとっては自明のことである。

第５Ｂ図及び第５Ｃ図のたわみ機構２２の動作は、第２
Ａ図及び第２Ｂ図のたわみ機構２２に関して記載した作
動を同じである。

第５Ｂ図及び第５Ｃ図のたわみ機構２２におけるボンド
部４５は、夫々基準温度を上回るか又は下回る温度偏位
中には引張力及び圧縮力を受けることに留意すべきであ
る。このことは温度が基準点を越えて上昇すると、レン
ズセル８５はレンズ３６よりも大きな距離まで膨張する
という事実に基づく。第２Ａ図及び第２Ｂ図を参照して
上に説明したと同様に、たわみアーム２５はレンズ３６
に対する２７１部４５を維持するために曲る。しかしな
がら、この屈曲は不完全でありかつ少量の引張力は２７
１部４５内に導入される。逆に、周囲温度が基準温度を
下回ると、レンズセル８５の直径は収縮し、同時にまた
レンズ３６も比較的僅かに収縮する。従つて、該収縮度
はセメントセンド部４５に導入される。温度が上昇する
か又は降下するいずれかの場合、軸方向でのレンズセル
８５に対するレンズ３６の剛性は維持される。

次に、第６図〜第９図を参照して、レンズセルの精密表
面及び外周面を加工するだめの装置及び方法を説明する
。

第６図は、加工する際に、レンズ３６及びレンズセル２
０を保持するために本発明で有効な真空チャック５４を
示す。加工は、レンズ３６を上記形式でレンズセル２０
に組込んだ後に実施される。

真空チャック５４は、図示されていない旋盤のスピンド
ルに取付けられる底６０を有する。

有利には、旋盤スピンドルはエアペア　１Ｊ　７グによ
って支持される。円筒状立上シ管５８が真空チャック５
４の底６０に取付けられかつ回転軸線６４を中心として
配置されている。チャック座５６は立上シ管５８の頂部
にある。

第７図は、保持されたレンズ３６と真空チャツク５４と
の間の相互関係を示す。簡明化のために、第７図はレン
ズ３６だけを示し、レンズが取付けられたレンズセルは
省略されている。

レンズ３６は２９の表面５５及び５７を有し、該表面の
各々は夫々曲率半径Ｒ１及びＲ２を有する。真空チャッ
ク５４上へのレンズ３６の着座及び位置決めを容易にす
るために、チャック座５６をレンズ表面５５と同じ曲率
半径Ｒ１を有するように加工する。このようにして、レ
ンズ３６のレンズ表面５５とチャック座５６とは相互に
合せられる。この構成は、レンズ３６のヘルツの着座応
力を最小にすると同時に以下に第９図を参照して説明す
るようにレンズセルを加工するための座標位置を確保す
る。

第７図に示されているように、レン！３６は平面ではな
い。従って、チャック座５６の曲率の中心は、真空チャ
ック５４の回転軸線上にあるように加工すべきである。

チャック座５６に合わせられたレンズ表面５５を形成す
ることによし、レンズ表面５５の曲率半径６１の中心は
常に真空チャック５４の回転軸線６４上に位置する。回
転軸線６４に対するレンズ表面５７の曲率半径６３の中
心のアライメントは、第８図を参照して以下に説明する
。レンズ３６が平面である場合には、チャック座５６を
真空装５４の回転軸線６４に対して垂直になるように加
工すべきである。

真空チャック５４にレンズ３６及びセル２０ユニツトを
保持するには、真空装置（図示せず）によって通路６２
を通して立上シ管５３内の真空値を高める。低真空が達
成されると、レンズ３６及びセル２０アセンブリは真空
チャック５４に対して保持されるが、但し真空チャック
５４に対して軸方向で相対的に回転させることができる
。このことは第８図を参照して以下に説明するように、
真空チャックの回転軸線６４に対してレンズ３６の光軸
のアライメントを容易にする。・アライメントに引続き
、第９図を参照して以下に説明する形式で、レンズセル
２゜の加工中にレンズ３６及びＶンズセル２ｏアセンブ
リを保持するために真空チャック５４内で高真空を達成
する。

第８図は、真空チャック５４の回転軸６４に対するレン
ズ３６の光軸のアライメントを実施する方法を示す。

チャック５４はチャック底面６０によって旋盤スピンド
ル７０に取付けられた状態で示されている。第７図を参
照して説明したように、チャック底面６０は立上り管５
８に取付けられ、該立上シ管はチャック座５６で終り、
該チャック座上にレンズ３６が着座される。真空チャッ
ク５４の対向側にレンズ３６の表面上にＴＩＲゲー・シ
ロ８が配置されている。第８図に示されているように、
レンズ３６の光軸６６が真空チャック５４の回転軸６４
上に存在しない場合には、ゲージ６８で検出される振れ
を示す計器は、ゼロ以外の値を示す。その際には、ゲー
ジ読取器６９が最小許容可能な振れを示すようになるま
で、チャック座５６に対して相対的にレンズ３６を運動
させることができる。この状態では、レンズ３６の光軸
は第９図に示されているようにスピンＰル回転軸６４、
ひいては真空チャック５４上に位置する。

第９図はまたノ々イト７４、例えば−ダイヤモンｒポイ
ントノ々イト及びノ々イト制御器７６を示す〇チャック
５４の回転軸がレンズ３６の光軸６６と合致すれば、レ
ンズ３６の頂点７９は真空チャック５４の回転軸６４上
に位置することは、当業者にとっては容易に理解され得
ることである。レンズ３６０曲率半径はチャック座５６
の曲率半径に合せられかつし／ｉ３６の頂点７９は真空
チャック５４の回転軸６４上に位置するので、真空チャ
ック５４に対する頂点７９の位置は精確に認識される。

その際、頂点７９は・々イト７４に対して（０，０，０
）の位置を取る。

このようにして、セル２０上の全ての表面を、レンズ３
６の頂点７９及び光軸６６に対して精確に加工すること
ができる。

第１図及び第９図を参照すれば、レンズセル２０の外周
３３をレンズ３６の光軸６６を中心に同心的に加工する
ことができることは自明である。更に、精密加工された
表面１３〜１８は、レンズ３６の光軸に対して垂直に加
工しかつレンズ３６の頂点７９に対して精確に位置決め
することができる。レン□ズセルのアセンブリ中のレン
ズセルの全ては、それらの共通の寸法に加工された外径
を有する。従って、レンズセルを、第１Ｑ図を参照して
説明した形式で重ね合せると、全てのレンズセルの外周
はアセンブリ内のレンズに対する共通の光軸を確保する
ために同心的になる。レンズ頂点からレンズの光軸に対
して垂直なセル表面までの距離は、レンズセルを重ね合
せかつ相互に固定した場合、光学的距離を確保する。

第１０図はレンズアセンブリ９４を示す。レンズセル８
０〜９２は相互に積み重ねられかつそれを透過するよう
に方向付けられた波面は、第１１図を参照して以下に記
載する形式で調整することができる。要約すれば、波面
の光学特性は、レンズアセンブリ９４内のレンズセルの
任意の１つを他のセルに対して回転、並進又は軸線方向
で運動させることにより変化させるこトカできる。レン
ツセルの任意の１つは、球面収差を補正するためにレン
ズアセンブリ内の他のレンズセルに対して軸方向で運動
させることができる。この補正はシム１０４の厚さを変
更するか又は第１８図及び第１９図に示した装置を使用
することにより実施することができる。

コマ収差は以下に第１６図を参照して記載するレンズア
センブリ内の他のレンズセルに対してレンズセルの任意
の１つを並進運動させることにより補正することができ
る。更に、レンズセルの任意の１つを他のセルに対して
回転させることにより、非点収差を補正することができ
る。

１実施例として第１Ｏ図には、−緒に結合された１３個
のセルが示されている。しかしながら、ここに記載する
セル・ツー・セルアライメント及び結合法は任意の複数
のセルに適用可能であることは自明である。次いで、例
えば合せピン１０２、プラスチック接着剤１００及び内
部セルシールを使用してセル８０〜９２を一緒に結合す
る。第１４図及び第１５図は、結合工程中にレンズセル
をそれらの所望の相対位置に保持するために有用である
装置を示す。

第１０図から理解することができるように、レンズアセ
ンブリ９４は、個々の群、例えば８１〜８３．８３〜８
５．８５〜８７．８７〜８９及び８９〜９１のアセンブ
リである。レンズアセンブリ９４は底部レンズセル８ｏ
及びキャップレンズセル９２を有し、これらの間にレン
ズセルの群が配置されている。レンズセルの群は２の倍
数の任意の所望の数のレンズセルから構成することがで
きると理解されるべきである。

レンズセルの夫々の群は、アンカーレンズセル、例えば
８５、個々の複数又は単数のレンズセル、例えば８６及
びトップレンズセル、例えば８７を有する。１つの群内
のトップレンズセルは、別の群をその上に積重ねると、
アンカーレンズセルとして役立つ。例えば、レンズセル
８７は群８５〜８７のトップレンズセルとしてかつ群８
７〜８９のだめのアンカーレンズセルとして役立つ。第
１図を参照して前述したように、２９以上の合せピン１
０２が夫々のアンカーセル、例えば８５内に固定されか
つ群内の何個の単数又は複数のセル及びトップセルを貫
通して延びる。

ピン９６及び１０６は円錐形であるように示されている
。ピン９６及び１０６の円錐形の形状は、セル８１〜９
１の残りのものに対して固有のアライメントを維持して
、それらの夫々の接着剤層から取シ去ることを可能にす
る。このことは、組立て、搬送又は使用する際に損傷を
受けないように、底部レンズセル９２及びキャップレン
ズセル８０を容易に取外すことを可能にする。

第１１図は、第１０図のレンズアセンブリ９ヰの光学的
アライメントを実施する際に有効な装置を示す。この場
合には、レンズアセンブリ９４を、以下に第１２図を参
照してより詳細に説明する精密■形ブロック１０８に配
置する。

精密■形ブロックは、寸法安定な材料、例えば花崗岩か
ら成り、その全長に対して維持される角度θを形成する
２９の面１２０及び１２２を有する。Ｖ形ブロック１０
８の２９の面１２０及び１２２は、アセンブリ９４内の
夫々のセルの外周と面１２０及び１２２との間の接線が
１本の線になるように形成されている。

今や第１１図に戻ると、アセンブリ９４はＶ形ブロック
１０８の２９の面１２０及び１２２と接触するように配
置され、次いで点線１１０及び１１１によって示されて
いるように組立て位置１１４に、図示されていない装置
によって搬送される。■形ブロック１０８はフランジ１
１２及び１１３によって組立て位置１１４に保持される
。

レンズアセンブリ９４は、■形ブロック１゜８から一定
の間隔を置いた位置にある浮遊マウント１１８上に係止
する。該浮遊マウント１１８は、Ｖ形ブロック面１２０
及び１２２に対するレンズアセンブリ９４の横方向の並
進運動及び傾斜を可能にし、それによシレンズアセンブ
リ９４内のレンズセルの外周が丁度面１２ｏ及び１２２
に接触させることができる。このようにして、レンズア
センブリ９４にかかる応力に基づくｖ形ブロック１０８
の歪は生ぜず、ひいてはレンズアセンブリ９４の光軸は
Ｖ形ブロック１０８の長手軸線に対して平行に保持され
る。

第１３図は、第１１図の浮遊マウント１１８を断面図で
示す。フロート１３０はベース１３２によって支持され
ている。加工された通路１４０を介して支持表面１４８
に連通ずる通路１４２に加圧空気が導入される。支持表
面１４８は、フロート１３０上のジャーナル表面１４６
と同じ曲率半径を有するように加工されている。

従って、空気流入通路１４０はジャーナル表面１４８と
支持表面１４６との間に層を形成する。

複数の通路１４４が設けられておし、該通路はフロート
を貫通してフロート１３０の上面に形成された同様に複
数の通路１３６内の開口まで延びる。通路１４０に流入
する空気の幾分かは、通路１４４及び開口１３４を通っ
て通路１３６に至る。このようにして、フロート１３０
の上面と、フロートに係止するレンズアセンブリ（図示
せず）の底部セルとの間に空気の層が形成される。従っ
て、レンズアセンブリは浮遊マウント１１８上に浮遊し
かつ無摩擦で横方向に運動させかつ傾斜させることがで
きる。

第１１図に示したようなＶ形ブロック１０８内に保持さ
れたレンズアセンブリを用いて、それを透過するように
方向付けられ九波闇を検査することができる。貫通路は
、底面１１６を貫通するように設けられた通路１２４と
同心的である浮遊マウントの中心を通るように設けられ
ている。この形式で、光線をレンズアセンブリ９４、浮
遊マウント１１８及び底面１１６を透過させ、組立ての
際にレンズアセンブリ９４を検査するために使用される
光線のための通路を提供することができる。図示されて
いないが、検査装置は例えば底面１１４内の通路１２４
の真下に配置された干渉計であってもよい。このように
して、し／ズアセンブリの反光学的設計に合致している
かどうかを波面で試験することができる。補正は必要に
応じて夫々アセンブリ９４内のセルの任意のものの間の
シム１０４の厚さを変更し、セルの任意の１つを他のも
のに対して回転させかつ第１６図及び第１７図を参照し
て以下に記載する装置及び方法を使用することによし、
任意のレンズセルを軸方向運動、回転又は並進運動させ
ることによシ行うことができる。

第９図を参照して説明したように、アセンブリ内のセル
の全ては、外径が同じでアし、かつ各セルの外周がそれ
に収容されたレンズの光軸を中心に同心的であるように
加工されている。

従って、レンズの全ての光軸を整合するために所望され
る重要なことは、各々のレンズセルにそれを■形ブロッ
クの両面１２０及び１２２と丁度接触させるのに十分な
力を作用させることである。

第１６図は、初期の整−合及び試験中にレンズアセンブ
リ中のレンズセルをその固有の相対位置に保持するため
に有効である装置を示す。第１ｏ図に示したように、レ
ンズセル８０〜９２はその外周内に円周方向通路９５を
有する。レンズアセンブリ９４をアセンブリ位置１１４
に設置した後に、反光学的設計の要求を達成するために
１つのレンズの光軸を他の光軸に対して並進運動させる
ことが必要な場合もある。

アセンブリステーションのベース１１６から■形ブロッ
ク１０８の上面までレール１５９及び１６０が延びてい
る。各レール１５９及び１６０に対して、夫々クランプ
支持機構１５７及び１５８が設けられている。これらの
クランプはレール１５９及び１６０を上下摺動自在に支
持しかつ夫々きざみ付ねじによって位置決めされる。各
々のクランプ支持機構１５７及び１５８の端部には、夫
々ミニ並進段１６３及び１６４が設けられており、各並
進段は夫々ねじ１６５及び１６６を使用することにより
並進運動可能である。各ミニ並進段１６３及び１６４に
は、夫々バイヨネット１６１及び１６２が設けられてお
し、該ノζイヨネットは個々のセルの円周方向通路９５
に係合される。夫々レンズアセンブリ９４と■形ブロッ
ク面１１８及び１２０との間でのノ々イヨネット１６１
及び１６２の摺動を容易にするために、チップ１７２及
び１７３はテーパ加工されている。

第１６図のセル並進装置は次のように作動する。任意の
レンズセルをレンツセルの円周方向通路９５内で作用す
るゴム・々ンげによって■形ブロック１０８の２９の面
１１８及び１２０と接触させる。ねじ１６５及び１６６
を選択的にねじ込むか又は緩めることによって、受台１
６３及び１６４並びにノ々イヨネット１６１及び１６２
はセルと■形ブロック面１１８及び１２０との間を運動
する。この操作により、セルはブロック面１１８及び１
２０から遠ざけられる。

その他のセルは■形ブロック面１１８及び１２０となお
接触保持されているので、運動せしめられるセルの光軸
は他のセルの光軸に対して相対的に並進せしめられる。

個々の各セルは、夫夫の端部で夫々ねじ１６９及び１７
０によってブロック１６７及び１６８に固定保持された
弾性・ζノド１フ４によって別のセルに対して所望の相
対位置に保持され゛る。ブロック１６７及び１６８を組
立ステーション１１４に設置する。

第１７図には、選択的レンズ並進技術が示されており、
この場合にはテーパ加工された外周１７９を有するレン
ズセル挿入部材１７５がレンズセル１８０内に嵌合する
。レンズセル挿入部材１７５は、前記方法でその内部に
３つ、のたわみ機構１７６．１７７及び１７８によって
取付けられたレンズ１８５を有する。並進はレンズセル
挿入部材１７５、ひいてはレンズ１８５を所望の方向に
運動させるための３つの孔１８１．１８２及び１８３を
貫通して作用するねじ１８４によって達成される。この
ようにして、レンズ１８５の光軸を、一部分を形成する
レンズアセンブリ内の他のレンツの光軸に対して相対的
に移動させることができる。レンズセル挿入部材１７５
のテーパー加工された外周１７９は、並進中にレンズ１
８５に傾斜が生じるのを阻止するレンズセル挿入部材１
７５への下向きの力を保証する。レンズセル１８０から
半径方向内側に向かって、リップ１７９が延びている。

リップ１７９の上面は、レンズセル挿入部材１７５の底
上の精密加工された表面１９６に適合する精密加工表面
１９５を有する。精密加工表面１９５及び１９６は、レ
ンズアセンブリ内のレンズセル１８０及びレンズセル１
８０の上又は下のレンズセルに対して、レンズセル挿入
部材１７５、ひいてはレンズ１８５の軸方向間隔確定す
る。

個々のセルを夫々の別のセルに対する軸方向で移動させ
るための選択的技術は、第１８図及び第１９図に示され
ている。

第１８図はレンズセル２ｏの上面の孔１８７内に配置さ
れた球１８６を示す。該球１８６は、チー、ａねじ１８
８が押付けられると持上げられる。そうして球が運動す
ると、レンズセル２０の直ぐ上の第２のレンズセル（図
示せず）は押上げられる。し／メセル２０の上面（１０
周［Ｋ１２００の間隔で、上記のような３つの球１８６
及びねじ１８８装置が配置されている。

第１９図は、テーノ加工された片持ちアーム１９２上に
配置された半割法１９０を示す。ねじ１９４がレンズセ
ル２０内に移動すると、該ねじはチーノミ加工された片
持ちアーム１９２及び球１９０を押上げる。レンズセル
２ｏの直ぐ上の第２のレンズセル（図示せず）は、球１
９０が上記のように運動せしめられると、押上げられる
。このような３つの球１９０、アーム１９２及びねじ１
９４装置は、レンズセル２０の上面の周囲に１２００の
間隔で配置されている。

レンズセルを軸線方向で運動させるための第１８図及び
第１９図に示した装置は、１つのレンズセル、ひいては
１つのレンズを、別のものに対して傾斜させるために使
用することができる。この目的は装置内の第１８図の球
１８６又は第１９図の球１９０を別の２９のゼールより
も多く又は少なく運動させることによシ達成することが
できる。

レンズアセンブリ９４を所望の波面が得られるように適
当に調整した後に、ユニット構造が形成されるように、
レンズアセンブリ９４内のレンズセルを接着する。接着
処理を容易にするために、この時点ではレンズアセンブ
リ９４内し、その後再びセル毎に組立ることかできるこ
とに留意されるべきである。この取降し及び組立ては、
調整された波面を維持しながら実施することができる。

第１ｏ図を参照すれば、接着処理は例えばＥＰＯＮ８２
８のようなプラスチックｐ−リングセメント（ｄｏｗｌ
ｉｎｇ　ｃｅｍｅｎｔ　）　１００を合せビン１０２と
セルとの間の界面に注入することにより実施できること
は自明である。

セル間のシール９８はセメント１ｏｏが漏れかつ下のセ
ルを接着するのを阻止する。合せピン１０２を１つのセ
ル、例えばセル８５内に例えば合せピン１０２をセル８
５内のチーノミ孔内【ねじ込むことによシ固定する。そ
の後、合せピンはアンカーセル８５上の１つ以上のセル
８６及び８７内の孔を貫通して延びる。セル８６及び８
７内の孔は、第１１図を参照して記載したようにアセン
ブリ９４の精密アライメントの前には合せビン１０２に
対して粗整合されていることに留意されるべきである。

前記形式で３〜５個のセルを一緒に心合せすることによ
り、レンズアセンブリ９４をセル８５〜８７によって例
示した群のような複数の群で組立てることができる。前
記方法に対する選択性として、セル８０〜９２の全てを
貫通して延びる２９以上の連続的合せビンを使用できる
ことは当業者にとっては自明のことである。

第１４図は、プラスチックｐ−リングセメントを充填す
る際に固定の立体的相対位置にレンズアセンブリ内のセ
ルを保持するために有効である装置を示す。レンズアセ
ンブリ９４はＶ形ブロック１０８の２９の面１１８及び
１２０と接触した状態で示されている。ばね負荷された
ねじ１５０は、第１１図の組立てステーション１１４に
固定されたねじブロック１５２に対して相対的に運動せ
しめられることによ多レンズアセンブリ９４内の個々の
セルに接触する。この形式によれば、レンズ軸を■形ブ
ロック軸線から偏心させんとする、セメント硬化中に発
生する非対称力が排除される。

第１５図は第１４図の装置に対する１つの改良実施例を
示す、この場合には前記力がより一様にレンズアセンブ
リ９４に分配されるように、ねじのチップにフォーク１
５４が取付けられている。

本明細書には、光学素子をユニットアセンブリにマウン
トする光学素子用のマウンティング装置に関して記載し
た。このようなアセンブリは大きな温度偏位に影響され
ずかつ迅速、容易かつ精確に組立てることができる。

前記には、本発明をその有利な実施例を参照して示しか
つ記載したが、本発明の範囲及び思想から逸脱すること
なく形状及び細部を変更することができることは、当業
者にとって容易に理解されることである。従って、本発
明は特許請求の範囲に記載した技術思想及び範囲内で広
範囲に変更され得ると見なされるべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に基づき構成されたレンズセルの１つの
群の分解斜視図、第２Ａ図は本発明に基づき構成された
たわみ機構の１実施例の略示斜視図、第２Ｂ図は第２Ａ
図のたわみ機構の上面図、第３図は第２図のたわみ機構
の別の実施例の斜視図、第４図は本発明に基づき構成さ
れたたわみ機構の別の実施例の、一部分断面した斜視図
、第５Ａ図は本発明に基づき構成されたたわみ機構の別
の実施例の斜視図、第５Ｂ図は突出ランＰを有しない第
５Ａ図のたわみ機構の横断面図、第５Ｃ図は突出ランＰ
を有する第５Ａ図のたわみ機構の横断面図、第６図は本
発明に基づき構成されたレンズセルを製作する際に有効
な真空チャックの斜視図、第７図は第６図に示した真空
チャックに取付けられたレンズを示す断面図、第８図は
レンツセル表面をレンツに対して整合させる際に有効な
装置の略示図、第９図はレンズのレンズセルに対するア
ライメントが完了した後の第８図の装置の略示図、第１
０図はレンズアセンブリを示す、一部分断面した側面図
、第１１図は第１０図のレンズアセンブリを整合する際
に有効な装置の斜視図、第１２図は第１１図の装置で有
効なＶ形ブロックの平面図、第１３図は第１１図の装置
で使用される浮遊マウントの略示断面図、第１４図は接
着剤結合中にレンズアセンブリ内のセルを固有の相対位
置に保持する際に使用される装置を示す平面図、第１５
図は第１４図の装置の別の実施例を示す平面図、第１６
図は第１０図のアセンブリ中の個々のセルの並進を実施
する操作法を示す略示図、第１７図は第１Ｑ図のアセン
ブリ中の個々のセルの並進を実施する操作法を示す略示
図、第１８図はセル相互間の軸方向の運動を実施す、る
操作法を示す略示図及び第１９図はセル相互間の軸方向
運動を実施する操作法を示す略示図である。 １０・・・合せビン、１３〜１８・・・精密加工表面、
２Ｑ・・・レンズセル、２２〜２４・・・たわみ機構、
２５・・・たわみアーム、２９・・・レンズ座、３５・
・・レンズセルの外周、３６・・・レンズ、３７・・・
突出ランｒＸ３ａ・・・トラフ、４Ｑ・・・接着剤層、
４１・・・狭幅区分、５２・・・たわみ機構、５４・・
・真空チャック、８１〜９１・・・レンズセル、９４・
・・レンズアセンブリ。 ＦＩＧ、／ ＦＩＧ、２Ａ ＦＩＧ　、？

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、精密レンズマウンチングアセンブリにおいて、 複数のレンズセルを有し、 上記複数のレンズセルに相当する複数のレンズを有し、 上記レンズセルが内面、外面、上面及び底面を有し、 上記内面、上面及び底面に対して、基準温度で予め決め
   られた立体的相対位置に個々のレンズを保持するために
   、上記複数のレンズセルの各々の内周内にたわみ機構が
   配置されており、 上記たわみ機構が、上記基準温度から遠ざかり再びその
   温度に戻される温度偏位に従い、個々のレンズをその固
   定の立体的相対位置に戻し、 上記複数のレンズセルの外径が相互に対して実質的に等
   しくかつそれらの夫々の個々のレンズの光軸に対して実
   質的に同心的であり、 各レンズセルの上面及び底面が上記個々のレンズの光軸
   に対して実質的に垂直な面上に配置された３つの精密表
   面を有し、 上記複数のレンズセルが上記精密表面に実質的に接触し
   たレンズセルのスタックを形成することを特徴とする精
   密レンズマウンチングアセンブリ。 ２、レンズセルのスタックが、底部レンズセルとキャッ
   プレンズセルと、該底部レンズセルとキャップレンズセ
   ルとの間に配置されたレンズセルの１つ以上の群とから
   成る、特許請求の範囲第１項記載の精密レンズマウンチ
   ングアセンブリ。 ３、前記レンズセルのスタックを前記精密表面と実質的
   に接触させて保持する保持装置を有する、特許請求の範
   囲第２項記載の精密レンズマウンチングアセンブリ。 ４、前記保持装置が、 アンカーレンズセル、１つ以上の個々のレンズセル及び
   トップレンズセルから成るレンズセルの１つ以上の群と
   、 上記アンカーレンズセルの上面に固定された少なくとも
   ２つの合せピンとから成り、 上記の１つ以上の個々のレンズセルが上記合せピンを受
   け入れる貫通孔を有し、 上記トップレンズセルが上記合せピンを受け入れるため
   の貫通孔を有し、 上記トップレンズセルがその上面に、個々のレンズセル
   の次の群を固定するために固定された少なくとも２つの
   合せピンを有し、 上記合せピンが孔の内径よりも小さい外径を有し、 上記合せピンと、個々のレンズセル及びトップレンズセ
   ルを貫通する孔との間に接着剤が配置されており、 上記接着剤が孔から溢れ出るのを阻止するためにシール
   を有する、特許請求の範囲第３項記載の精密レンズマウ
   ンチングアセンブリ。 ５、前記レンズセルのスタック内のアンカーレンズセル
   がその底面に固定された少なくとも２つの底部円錐形合
   せピンを有し、 前記底部レンズセルが上記底部円錐形合せピンを受け入
   れるための貫通孔を有し、 レンズセルのトップ群において、該トップ群の上部レン
   ズセルがその上面に固定された少なくとも２つの上部円
   錐形合せピンを有し、 前記キャップレンズセルが上記円錐形合せピンを受け入
   れるための貫通孔を有し、 前記上部及び底部円錐形合せピンが孔の内径よりも小さ
   い外径を有し、 上記上部及び底部円錐形合せピンと、それぞれ上記キャ
   ップレンズセル及び底部レンズセルを貫通する孔との間
   に接着剤が配置されており、 上記接着剤が孔か溢れ出るのを阻止するためのシールを
   有する、特許請求の範囲第４項記載の精密レンズマウン
   チングアセンブリ。 ６、前記レンズセルの任意のものの間に軸線方向距離を
   調整する距離調整装置を有する、特許請求の範囲第１項
   記載の精密レンズマウンチングアセンブリ。 ７、レンズセル並進装置において、 複数のレンズセルのスタックと、 相互にある角度で配置された２つの平坦な面を有する精
   密Ｖ形ブロックと、 上記レンズセルのスタック又は２つの平坦面に対して全
   く応力を生じしめることなく上記２つの面と接触したレ
   ンズセルのスタックを保持する装置と、 少なくとも１対のバイヨネットとを有し、 かつ 該バイヨネット対が、上記レンズセルの任意の１つを、
   上記レンズセルのスタック内をその他のレンズに対して
   半径方向で移動させるように、上記レンズセルのスタッ
   クの任意の１つと上記Ｖ形ブロックの２つの面との間に
   調節可能に挿入されていることを特徴とするレンズセル
   並進装置。 ８、精密レンズマウンチング装置において、 内面、テーパー加工された外面、上面及び精密加工され
   た底面を有するレンズ挿入部材を有し、 レンズを有し、 上記レンズを、基準温度で、上記内面、上面及び底面に
   対して予め決められた立体的相対位置に保持するために
   上記レンズセル挿入部材の内径内に配置されたたわみ機
   構を有し、 上記たわみ機構がレンズを、上記基準温度からの温度か
   ら遠ざかり、次いでそれに戻る温度変位に基づき固定の
   立体的相対位置に戻し、 レンズセルが内面、外面、上面及び底面を有し、 上記レンズセルが上記上面から底面に延びる少なくとも
   ３つのねじ孔を有し、 上記レンズセル内の３つのねじ孔の相応する３つのねじ
   を有し、 上記レンズセルの内面から半径方向内側に向かって延び
   る精密加工された表面を有し、 上記レンズセル挿入部材のテーパー加工された外径がレ
   ンズセルの内径よりも小さく、上記レンズセル挿入部材
   の精密加工された底面が上記レンズセルの精密加工され
   た表面に係止していることを特徴とする精密レンズマウ
   ンチング装置。 ９、前記距離調節装置がシムから成り、該シムが前記レ
   ンズセルの第１の任意のもの底面と実質的に接触した精
   密上面と、前記レンズセルの第２の任意のものの上面と
   実質的に接触した精密底面とを有する、特許請求の範囲
   第６項記載の精密レンズマウンチングアセンブリ。 １０、前記距離調節装置が、 前記レンズセルの任意のものの外面から半径方向内側に
   向かって延びる少なくとも３つのねじ孔と、上記ねじ孔
   内に延びる少なくとも３つのテーパーねじと、 前記レンズセルの任意の１つの表面上に配置された軸方
   向可動装置とから成り、 上記テーパーねじは上記軸方向可動装置に対抗するため
   にねじ孔内で半径方向で並進運動可能であり、上記軸方
   向可動装置は、上記テーパーねじが半径方向内側に向か
   って運動すると、軸方向に運動する、特許請求の範囲第
   ６項記載の精密レンズマウンチングアセンブリ。 １１、軸方向可動装置が、貫通孔内に配置された球か成
   り、該貫通孔がテーパー加工された孔と交差し、上記球
   がテーパー加工されたねじに係止する、特許請求の範囲
   第１０項記載の精密レンズマウンチングアセンブリ。 １２、前記可動装置が上面、テーパー加工された底面、
   自由端面及び固定端面を有するテーパー加工された片持
   ちビームを有し、 上記テーパー加工された片持ちビームがレンズセルの上
   面と実質的に同一平面にあり、 テーパー加工された底面がねじ孔から半径方向内向きに
   延びるテーパーねじに接触し、 テーパー加工された片持ちビームの固定端部が実質的に
   前記レンズセルの内面にあり、 上記テーパー加工されたビームが上記レンズセルの内面
   から半径方向外向きに延びており、 半球を有し、該半球が上記テーパー加工された片持ちビ
   ームの上面に配置されている、特許請求の範囲第１０項
   記載の精密レンズマウンチングアセンブリ。 １３、前記たわみ機構が、自由端部及び固定端部を有す
   る前記レンズセル内に一体成形された少なくとも３つの
   アーチ形の片持ちアームを有し、該アームの外壁がその
   内径と実質的に同一面にあり、 上記アーチ形の片持ちアームの各々が、それぞれのレン
   ズセル内の個々のレンズを支持するために、上記固定端
   部から離れた位置にレンズ座を有する、特許請求の範囲
   第１項記載の精密レンズマウンチングアセンブリ。 １４、前記レンズ座が前記レンズセル内面から半径方向
   内向きに延びており、 上記レンズ座がその範囲内にトラフを有し、該トラフ内
   に前記個々のレンズを接着保持 するために接着剤が配置されている、特許請求の範囲第
   １３項記載の精密レンズマウンチングアセンブリ。 １５、前記アーチ形の片持ちアーチが、前記レンズ座か
   ら前記固定端部に向かって短い区間延びる狭幅区分を有
   する、特許請求の範囲第１３項記載の精密レンズマウン
   チングアセンブリ。 １６、前記レンズ座が前記レンズセル内面から半径方向
   内向きに延びており、 上記レンズ座がその範囲内にトラフを有し、該トラフ内
   に前記個々のレンズを接着保持するために接着剤が配置
   されている、特許請求の範囲第１５項記載の精密レンズ
   マウンチングアセンブリ。 １７、前記たわみ機構が、前記レンズセルの各々に一体
   成形された関節接続されたたわみ部分を有し、 上記関節接続されたたわみ部分が、レンズセルの前記底
   面に接続されたレンズセルの内面から半径方向内向きに
   配置された第１のアームを有し、該第１のアームが軸方
   向で実質的に前記上面の継ぎ目まで延びており、 上記継ぎ目から軸方向で実質的に前記底面まで延びる第
   ２のアームが、前記内面と同一面にある外壁を有し、か
   つ 上記継ぎ目から離れた位置に、前記個々のレンズをその
   それぞれのレンズセル内に支持するために、レンズ座が
   上記第２のアームから半径方向内向きに延びている、特
   許請求の範囲第１項記載の精密レンズマウンチングアセ
   ンブリ。 １８、前記レンズ座がその範囲内にトラフを有し、かつ 該トラフ内に、前記個々のレンズを接着保持するために
   接着剤が配置されている、特許請求の範囲第１７項記載
   の精密レンズマウンチングアセンブリ。 １９、前記たわみ機構が、自由端部及び固定端部を有す
   る、前記レンズセル内に一体成形された少なくとも３つ
   のアーチ形の片持ちアームを有し、該アームの外壁が実
   質的に前記内面と同一面にあり、 上記アーチ形の片持ちアームの各々がその固定端部か離
   れた位置に貫通孔を有し、 前記レンズセルが上記アーチ形の片持ちアームの各々の
   孔に相当する半径方向の開口部を有し、 前記個々のレンズを接着保持するために、上記アーチ形
   の片持ちアームと個々のレンズの外周との間に接着剤が
   配置されており、 上記接着剤が実質的にアーチ形の片持ちアーム内の孔に
   配置されている、特許請求の範囲第１項記載の精密レン
   ズマウンチングアセンブリ。 ２０、前記アーチ形の片持ちアームがそれと一体成形さ
   れた突出ランドを有し、 上記突出ランドが上記アーチ形の片持ちアームからその
   固定端部から離れた位置まで半径方向内向きに突出して
   おり、 上記突出ランドを孔が貫通して延びており、かつ上記突
   出ランドと前記レンズとの間に接着剤が配置されている
   、特許請求の範囲第１９項記載の精密レンズマウンチン
   グアセンブリ。 ２１、精密レンズマウンチング装置において、 レンズセルが内面、外面、上面及び底面を有し、 レンズを有し、 上記レンズを基準温度で上記内面、上面及び底面に対し
   て予め決められた立体的相対位置に保持するために、上
   記レンズセルの内面の範囲内にたわみ機構が配置されて
   おり、 上記たわみ機構が上記基準温度から離れ、次いでその温
   度に戻るに従い、上記レンズを上記固定の立体的相対位
   置に戻すことを特徴とする精密レンズマウンチング装置
   。 ２２、前記たわみ機構が、自由端部及び固定端部を有す
   る、前記レンズセル内に一体成形された少なくとも３つ
   のアーチ形の片持ちアームを有し、該アームの外壁が前
   記内面と実質的に同一面にあり、かつ 上記アーチ形の片持ちアームの各々が、それぞれのレン
   ズセルに対して個々のレンズを固定するために前記固定
   端部から離れたレンズ座を有する、特許請求の範囲第２
   １項記載の精密レンズマウンチング装置。 ２３、前記レンズ座が前記レンズセル内面から半径方向
   内向きに延びており、 上記レンズ座がその範囲内にトラフを有し、かつ 該トラフ内に、前記個々のレンズを接着保持するために
   接着剤が配置されている、特許請求の範囲第２２項記載
   の精密レンズマウンチング装置。 ２４、前記アーチ形の片持ちアームが、前記レンズ座か
   ら前記固定端部に向かって短い区間延びる狭幅区分を有
   する、特許請求の範囲第２３項記載の精密レンズマウン
   チング装置。 ２５、前記たわみ機構が前記レンズセル内に一体成形さ
   れた間節接続されたたわみ部分を有し、 上記間節接続されたたわみ部分が、レンズセルの前記底
   面で接続されたレンズセルの前記内径から半径方向内向
   きに配置された第１のアームを有し、該第１のアームが
   軸方向で実質的に前記上面の接続部まで延びており、 軸方向で上記接続部から実質的にその底面まで延びる第
   ２のアームが、上記内径と同一面にある外壁を有し、か
   つ 上記接続部から離れた位置に、前記レンズを前記レンズ
   セルに固定するために、上記第２のアームから半径方向
   内向きにレンズ座が延びている、特許請求の範囲第２１
   項記載の精密レンズマウンチング装置。 ２６、前記レンズ座がその範囲内にトラフを有し、かつ 該トラフ内に、前記個々のレンズを接着保持するために
   接着剤が配置されている、特許請求の範囲第２５項記載
   の精密レンズマウンチング装置。 ２７、前記たわみ機構が、自由端部及び固定端部を有す
   る、前記レンズセル内に一体成形された少なくとも３つ
   のアーチ形の片持ちアームを有し、該アームの外壁が実
   質的に前記内面と同一面にあり、 上記アーチ形の片持ちアームの各々がその固定端部から
   離れた位置に貫通孔を有し、 前記レンズセルが上記アーチ形の片持ちアームの各々の
   孔に相当する半径方向の開口部を有し、 前記個々のレンズを接着保持するために、上記アーチ形
   の片持ちアームと個々のレンズの外周との間に接着剤が
   配置されており、 上記接着剤が実質的にアーチ形の片持ちアーム内の孔に
   配置されている、特許請求の範囲第２１項記載の精密レ
   ンズマウンチング装置。 ２８、前記アーチ形の片持ちアームがそれと一体成形さ
   れた突出ランドを有し、 上記突出ランドが上記アーチ形の片持ちアームからその
   固定端部から離れた位置まで半径方向内向きに突出して
   おり、 上記突出ランドを孔が貫通して延びており、かつ 上記突出ランドと前記レンズとの間に接着剤が配置され
   ている、特許請求の範囲第２７項記載の精密レンズマウ
   ンチング装置。 ２９、精密レンズマウンチングアセンブリを製造する方
   法において、 実質的に環状の形態、上面、底面及び外面を有するレン
   ズセルを用意し、 上記レンズセルの内径にレンズをマウントし、 上記レンズを、上記レンズセルと接触させてレンズの半
   径に合わせられた座を有する真空チャックに取付け、 上記レンズの上に、真空チャックから離してかつ真空チ
   ャックの回転軸から半径方向外側にＴＩＲを配置し、 上記真空チャックを回転させ、 上記振れゲージが実質的にゼロになるまで、レンズを真
   空チャックに対して相対的に移動させ、かつ 上記外径を真空チャックの回転軸と実質的に同心的にな
   るように加工し、上記上面及び底面の各々の３つ以上の
   表面を、該精密表面が真空チャックの回転軸に対して垂
   直な面にありかつレンズの頂点に対して間隔を置いた相
   対位置にあるように加工し、 そうして加工した複数のレンズセルを積重ね、 上記複数のレンズセルを精密Ｖ形ブロックの２つの面と
   接触させ、 上記複数のレンズを透過する波面を検査し、 レンズセルの任意の１つを軸方向の移動、回軸又は並進
   によって補正し、かつ 上記レンズセルを一緒に固定してユニットアセンブリを
   形成することを特徴とする、精密レンズセルアセンブリ
   の製法。 ３０、前記レンズセルを一緒にユニットアセンブリに固
   定する工程が、 底部レンズセルを用意し、 トップレンズセルを用意し、 レンズセルの１つ以上の群を用意し、該レンズセルの１
   つ以上の群を上記底部レンズセルとトップレンズセルと
   の間に接着することより成る、特許請求の範囲第２９項
   記載の精密レンズセルアセンブリの製法。 ３１、１群以上のレンズセルを製作する工程が、 アンカーレンズセルを用意し、 ２つ以上の合わせピンを用意し、 上記２つ以上の合わせピンをアンカーレンズセルの上面
   に固定し、 上記合わせピンを受け入れるための合わせピンよりも大
   きい直径の貫通孔を有する１つ以上の個々のセルを用意
   し、 次の群の個々のレンズセルを固定するために、上記合わ
   せピンを受け入れるための貫通孔を有しかつその上面に
   固定された少なくとも２つの合わせピンを有するトップ
   レンズセルを用意し、 上記個々のレンズセル及びトップレンズセルを貫通する
   合わせピンと孔との間に接着剤を配置し、 孔から上記接着剤が溢れ出るのを阻止するためにシール
   を行う、特許請求の範囲第３０項記載の方法。 ３２、精密レンズセルを製造する方法において、 実質的に環状の形態、上面、底面及び外面を有するレン
   ズセルを用意し、 上記レンズセルの内面にレンズをマウントし、 上記レンズを、上記レンズセルと接触させてレンズの半
   径に合わせられた座を有する真空チャックに取付け、 上記レンズの上に、真空チャックから離してかつ真空チ
   ャックの回転軸から半径方向外側にＴＩＲを配置し、 上記真空チャックを回転させ、 上記振れゲージが実質的にゼロになるまで、レンズを真
   空チャックに対して相対的に移動させ、かつ 上記外面を真空チャックの回転軸と実質的に同心的にな
   るように加工し、上記上面及び底面の各々の３つ以上の
   表面を、該精密表面が真空チャックの回転軸に対して垂
   直な面にありかつレンズの頂点に対して間隔を置いた相
   対位置にあるように加工することを特徴とする、精密レ
   ンズセルの製法。