JPS6320428U - - Google Patents

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JPS6320428U
JPS6320428U JP11338386U JP11338386U JPS6320428U JP S6320428 U JPS6320428 U JP S6320428U JP 11338386 U JP11338386 U JP 11338386U JP 11338386 U JP11338386 U JP 11338386U JP S6320428 U JPS6320428 U JP S6320428U
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【図面の簡単な説明】
第１Ａ図乃至第４Ｂ図はいずれも本考案の各実
施例における縦型収納治具の構成を示し、第１Ａ
図は第１実施例の正面斜視図、第１Ｂ図はその切
断平面図、第２Ａ図は第２実施例の正面図、第２
Ｂ図はその切断平面図、第３Ａ図は第３実施例の
正面断面図、第３Ｂ図はその切断平面図、第４Ａ
図は第４実施例の正面図、第４Ｂ図はその切断平
面図である。第５図は従来技術の縦型収納治具の
構成を示す斜視図である。 １０，２０，３０，４０：縦型収納治具、１ａ
，１ｂ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ：
ウエハ、１１，１２：支持板、１３ａ，１３ｂ，
１４，２５，２６，３７〜３９，４６〜４８：ウ
エハ保持溝、１５〜１７，２１ａ〜２１ｄ，２２
ａ〜２２ｄ，２５〜２６，３１〜３４，４１〜４
３：ウエハ支持部材、１８，１９，２３，２４，
３５，３６，４４，４５：ウエハ保持空間。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上下に配設した一対の支持板間に、ウエハ
    保持溝を刻設した複数のウエハ支持部材を直立さ
    せて固設し、該支持部材に挾まれる空間内に多数
    枚のウエハを上下に列設して保持可能に構成した
    縦型収納治具において、前記支持部材に挾まれる
    ウエハ保持空間を複数個形成し、該夫々の保持空
    間内に前記ウエハを支持板外周方向より着脱自在
    に上下に列設可能に構成した事を特徴とする縦型
    収納治具。 (2) 前記ウエハ保持空間に夫々列設した複数の
    ウエハ列が、支持板中心軸線を挾んでその両側に
    位置するように構成した実用新案登録請求の範囲
    第１項記載の縦型収納治具。 (3) 前記ウエハ保持空間に夫々列設した複数の
    ウエハ列のウエハ周縁部が互いに交差する如く、
    支持板中心軸線を挾んで左右交互に装填可能に構
    成した実用新案登録請求の範囲第１項又は第２項
    記載の縦型収納治具。 (4) 少なくとも一の支持部材の両周面側にウエ
    ハ保持溝を刻設し、該支持部材を挾んでその両側
    に複数のウエハ列が配設可能に構成した実用新案
    登録請求の範囲第１項から第３項までのいずれか
    １項記載の縦型収納治具。 (5) 前記ウエハ列が夫々支持板中心軸線側に向
    け僅かに傾斜させて列設可能に構成した実用新案
    登録請求の範囲第１項から第４項までのいずれか
    １項記載の縦型収納治具。
JP11338386U 1986-07-25 1986-07-25 Expired JPH0249709Y2 (ja)

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JPS6320428U true JPS6320428U (ja) 1988-02-10
JPH0249709Y2 JPH0249709Y2 (ja) 1990-12-27

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JP (1) JPH0249709Y2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02114938U (ja) * 1989-03-03 1990-09-14
JP2014060403A (ja) * 2013-09-24 2014-04-03 Kokusai Electric Semiconductor Service Inc 基板保持具及びウェーハ支持方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02114938U (ja) * 1989-03-03 1990-09-14
JP2014060403A (ja) * 2013-09-24 2014-04-03 Kokusai Electric Semiconductor Service Inc 基板保持具及びウェーハ支持方法

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JPH0249709Y2 (ja) 1990-12-27

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