JPH01121935U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01121935U JPH01121935U JP1720488U JP1720488U JPH01121935U JP H01121935 U JPH01121935 U JP H01121935U JP 1720488 U JP1720488 U JP 1720488U JP 1720488 U JP1720488 U JP 1720488U JP H01121935 U JPH01121935 U JP H01121935U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate support
- semiconductor substrate
- surface side
- layer
- outer layer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例とそれに支持した半
導体基板（ウエーハ）を示す斜視図、第２図ａ〜
ｃはウエーハの倒れ角の修正を説明するための断
面図、第３図は本考案の他の実施例と支持ウエー
ハの斜視図、第４図は従来の半導体基板支持器と
支持ウエーハの斜視図、第５図は第４図のウエー
ハ支持棒と支持ウエーハの縦断面図である。 １，２……ウエーハ支持棒、１ａ，２ａ……内
棒、１ｂ，２ｂ……外棒、３……従来のウエーハ
支持棒、４……ウエーハ支持溝、５……半導体基
板（ウエーハ）。
導体基板（ウエーハ）を示す斜視図、第２図ａ〜
ｃはウエーハの倒れ角の修正を説明するための断
面図、第３図は本考案の他の実施例と支持ウエー
ハの斜視図、第４図は従来の半導体基板支持器と
支持ウエーハの斜視図、第５図は第４図のウエー
ハ支持棒と支持ウエーハの縦断面図である。 １，２……ウエーハ支持棒、１ａ，２ａ……内
棒、１ｂ，２ｂ……外棒、３……従来のウエーハ
支持棒、４……ウエーハ支持溝、５……半導体基
板（ウエーハ）。
Claims (1)
- 支持する半導体基板の縁辺が嵌まる多数の支持
溝が上面側に設けられている複数の基板支持棒が
、平行に置かれてなる半導体基板支持器において
、前記基板支持棒は少くとも上面側において縦方
向に相互ずれ可能とした外層と内層の２層構造を
有し、かつ、前記支持溝は前記外層から内層部に
及ぶ深さに設けられていることを特徴とする半導
体基板支持器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1720488U JPH01121935U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1720488U JPH01121935U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01121935U true JPH01121935U (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=31230777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1720488U Pending JPH01121935U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01121935U (ja) |
-
1988
- 1988-02-10 JP JP1720488U patent/JPH01121935U/ja active Pending