JPS6320454A - 蒸着装置 - Google Patents

蒸着装置

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Publication number
JPS6320454A
JPS6320454A JP16374586A JP16374586A JPS6320454A JP S6320454 A JPS6320454 A JP S6320454A JP 16374586 A JP16374586 A JP 16374586A JP 16374586 A JP16374586 A JP 16374586A JP S6320454 A JPS6320454 A JP S6320454A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vapor deposition
evaporation
deposition material
crucible
electron beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16374586A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomihisa Takahata
高畑　富久
Shin Masuda
伸 増田
Kazuo Kanamori
金森　和雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Engineering Corp
Original Assignee
NKK Corp
Nippon Kokan Ltd
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Publication date
Application filed by NKK Corp, Nippon Kokan Ltd filed Critical NKK Corp
Priority to JP16374586A priority Critical patent/JPS6320454A/ja
Publication of JPS6320454A publication Critical patent/JPS6320454A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は蒸着装置に関するものである・〔従来の技術
〕 従来蒸着処理室でルツボに入れられた蒸着材料を、電子
銃からの電子ビームを電子銃に組込まれた揺動コイルに
より、Ｘ軸、Ｙ軸の２軸に揺動させ、ルツボ表面から均
一に蒸発させ被処理材に蒸着することが行なわれている
。
〔発明の解決しようとする問題点〕
しかし従来、ルツボが熱変形により破損する事故がしば
しばあっ九。また、ルツがの耐熱性が低いのでルツボ全
体を冷却してやる必要があシ、電子ビームにより入射さ
れた熱エネルギーがルツボを通って、冷却によりうばわ
れてしまい、熱効率が悪かつ九。
この発明は上記のような問題点を解消できるようにした
蒸着装置全提供することを目的とするものである。
〔問題点全解決するための手段２作用〕蒸着処理室に円
筒形に成形し次蒸着材料を駆動装置により回転可能に設
けると共に電子銃からの電子ビームを上記蒸着材料の軸
方向に揺動させる。
こうして、蒸着材料をルツボに入れることなく蒸着させ
るのでルツ？の破損事故は無くなり、また熱効率が向上
する。電子銃のビーム揺動が単一軸方向のみとなシ構造
が簡単になる。
〔実施例〕
本発明の一実施例を鋼帯Ｓに連続的に蒸着する場合につ
いて、第１図、第２図により説明する。
蒸着処理室１に予備室２がｆ−）パルプ３を介して接続
されている。図中１０は、パイ≠シャフト１１０周夛に
円筒状に成形された蒸着材料である。
ノ［：：１ 蒸着処理室ｌには、電動機Ｊ４により且転駆動される冷
却軸１３が設けられ、この冷却軸１３にはめられ九蒸着
材料ＩＱを回転するようになっている。また蒸着処理室
１に電子銃λ６が設けられ、電子ビーム１ｒＦｉ偏向磁
界１８により蒸着材料１０に向けられると共に、電子ビ
ームは蒸着材料１０の軸方向に揺動されるようになって
いる。
こうして、蒸着材料は、蒸着材料の回転と電子ビームの
軸方向揺動とによって、表面から一様に局部蒸発され、
良好な蒸着全行うことができる。
また蒸着材料を殆んど完全に蒸発きせることかできる。
また蒸着材料、予備室、電動機、ｒ−）パルプ等を複数
配貨し、交互に切換えることで連続蒸着が可能でおる。
第１図、第２図で、ビーム偏向磁界を１８から１９に切
換え、蒸着材料１０から２０へ蒸発を切換える。蒸発の
終了した残りの蒸着材料１０は、ｒ−）パルプを通って
ふたたび、予備室にもどされる。ダートパルプを閉じ、
蒸着材を新しいものと取換え、ｒ−トパルツを開け、蒸
着処理室内に装入されて、切換準備が完了する。
このようにして、連続蒸着を行なうことができる。
この方式によれば必要に応じて冷却軸のみを冷却すれば
よくルツボを使う場合に比べ冷却必要面積が少なくなる
ので、冷却により蒸着処理室から持出される熱エネルギ
ーが少なくてすみ、電子ビームにより入射され比熱の大
部分が蒸発に使われるので熱効率が向上する。
〔発明の効果〕
この発明は上記のようなもので、ルツボを用いない構成
であるのでルツボの破損事故が皆無になることは勿論、
蒸発の熱効率も向上し、電子銃のビーム揺動コイルが回
転軸方向の１つだけですみ、構造が簡単になシ、信頼性
も向上する。
蒸発は、線蒸発であり、ルツがのよりに面蒸発による蒸
発むらがなく良好な蒸着を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明製電の一実施例を示す縦断面図、第２図
は第１図のｎ−ｎ線矢視図である。 １・・・蒸着処理室、１０．２０・・・円筒形蒸着材料
、１６・・・電子銃、１７・・・電子ビーム。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 蒸着処理室に円筒形に成形した蒸着材料を駆動装置によ
    り回転可能に設けると共に、電子銃からの電子ビームを
    上記蒸着材料の軸方向に揺動させるように設けてなる蒸
    着装置。
JP16374586A 1986-07-14 1986-07-14 蒸着装置 Pending JPS6320454A (ja)

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JP16374586A JPS6320454A (ja) 1986-07-14 1986-07-14 蒸着装置

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JP16374586A JPS6320454A (ja) 1986-07-14 1986-07-14 蒸着装置

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JPS6320454A true JPS6320454A (ja) 1988-01-28

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0284575A (ja) * 1988-08-30 1990-03-26 Teijin Ltd 表面変性全芳香族ポリアミド繊維

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6059064A (ja) * 1983-08-20 1985-04-05 ライボルト・アクチエンゲゼルシャフト 基材上に真空蒸着法で薄層を製造する際に蒸発装置の局部的蒸発パワーを制御するための方法及び装置
JPS60194067A (ja) * 1984-03-16 1985-10-02 Agency Of Ind Science & Technol 硬質膜の形成方法

Patent Citations (2)

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JPS6059064A (ja) * 1983-08-20 1985-04-05 ライボルト・アクチエンゲゼルシャフト 基材上に真空蒸着法で薄層を製造する際に蒸発装置の局部的蒸発パワーを制御するための方法及び装置
JPS60194067A (ja) * 1984-03-16 1985-10-02 Agency Of Ind Science & Technol 硬質膜の形成方法

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