JPS63207185A - 圧電アクチユエ−タ - Google Patents
圧電アクチユエ−タInfo
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- JPS63207185A JPS63207185A JP62039969A JP3996987A JPS63207185A JP S63207185 A JPS63207185 A JP S63207185A JP 62039969 A JP62039969 A JP 62039969A JP 3996987 A JP3996987 A JP 3996987A JP S63207185 A JPS63207185 A JP S63207185A
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- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M47/00—Fuel-injection apparatus operated cyclically with fuel-injection valves actuated by fluid pressure
- F02M47/02—Fuel-injection apparatus operated cyclically with fuel-injection valves actuated by fluid pressure of accumulator-injector type, i.e. having fuel pressure of accumulator tending to open, and fuel pressure in other chamber tending to close, injection valves and having means for periodically releasing that closing pressure
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/501—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane parallel to the stacking direction, e.g. polygonal or trapezoidal in side view
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
[産業上の利用分野]
本発明は、圧電アクチュエータに関し、詳しくは板状の
圧電単体を複数枚積層した積層型圧電体からなる圧電ア
クチュエータに関する。
圧電単体を複数枚積層した積層型圧電体からなる圧電ア
クチュエータに関する。
[従来の技術]
近年、圧電単体は、その伸長作用の高い応答性に着目し
、アクチュエータとして、高速応答性が要求される分野
で広く用いられている。こうしたアクチュエータは、一
般に、第5図に示すような板状の圧電単体1を電極板3
を介して複数枚積層した積層型圧電体5を備える構成で
おる。(例えば特開昭60−39878号公報、特開昭
60−39879号公報等)。この積層型圧電体5には
第6図に示すように電極板3がひとつ置きに夫々結線さ
れて、図示しない電線の陽極、陰極に接続され、しかも
第5図に示すように、その積層型圧電体5の積層方向の
一端5aはアクチュエータのハウジング等に固定されて
いる。こうした構成により、夫々の圧電単体1に電荷が
付与されて圧電単体1が伸縮すると、積層型圧電体5の
他端5bが可動し、機械的変位を得ることができる。
、アクチュエータとして、高速応答性が要求される分野
で広く用いられている。こうしたアクチュエータは、一
般に、第5図に示すような板状の圧電単体1を電極板3
を介して複数枚積層した積層型圧電体5を備える構成で
おる。(例えば特開昭60−39878号公報、特開昭
60−39879号公報等)。この積層型圧電体5には
第6図に示すように電極板3がひとつ置きに夫々結線さ
れて、図示しない電線の陽極、陰極に接続され、しかも
第5図に示すように、その積層型圧電体5の積層方向の
一端5aはアクチュエータのハウジング等に固定されて
いる。こうした構成により、夫々の圧電単体1に電荷が
付与されて圧電単体1が伸縮すると、積層型圧電体5の
他端5bが可動し、機械的変位を得ることができる。
なお、この種の積層型圧電単体5では、従来、各々の圧
電単体1が第6図に示すように同一形状、同一底面積を
有していた。
電単体1が第6図に示すように同一形状、同一底面積を
有していた。
[発明が解決しようとする問題点1
しかしながら、上記従来例の圧電アクチュエータは、以
下に示す問題点を有し、より一層の改善が望まれていた
。
下に示す問題点を有し、より一層の改善が望まれていた
。
即ち、圧電アクチュエータの駆動時、各々の圧電単体1
にはその圧電単体1より他端5b側にある圧電単体1の
荷重が資性荷重として働くが、この圧電アクチュエータ
を負荷及び変位量が大きい大型で且つ高速応答性を必要
とする、例えば自動車の燃料噴射弁等に用いるべく、駆
動周波数を高く、積層体長を長くすると、その固定され
た一端5a付近にある圧電単体1に過大な慣性荷重が働
き、これら固定端5a付近の圧電単体1が損傷するとい
った問題点が発生した。
にはその圧電単体1より他端5b側にある圧電単体1の
荷重が資性荷重として働くが、この圧電アクチュエータ
を負荷及び変位量が大きい大型で且つ高速応答性を必要
とする、例えば自動車の燃料噴射弁等に用いるべく、駆
動周波数を高く、積層体長を長くすると、その固定され
た一端5a付近にある圧電単体1に過大な慣性荷重が働
き、これら固定端5a付近の圧電単体1が損傷するとい
った問題点が発生した。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、負荷及
び変位量が大きい大型で且つ高速応答性を必要とする圧
電アクチュエータであっても固定端付近の圧電単体が損
傷することのない圧電アクチュエータを提供することを
目的としている。
び変位量が大きい大型で且つ高速応答性を必要とする圧
電アクチュエータであっても固定端付近の圧電単体が損
傷することのない圧電アクチュエータを提供することを
目的としている。
発明の構成
[問題点を解決するための手段]
かかる目的を達成すべく、本発明は問題点を解決するた
めの手段として次の構成をとった。即ち、本発明は、 板状の圧電単体を複数枚積層して形成され該積層方向の
一端が固定された積層型圧電体を備え、該積層型圧電体
に電圧を印加することにより上記積層型圧電体の他端を
移動させて機械的変位を得る圧電アクチュエータにおい
て、 上記積層型圧電体の移動可能な端部にある圧電単体底面
積を、上記積層型圧電体の固定された端部にある圧電単
体の底面積より小ざくすると共に、上記積層型圧電体の
各々の圧電単体の底面積を、該圧電単体と上記固定され
た端部側で隣り合う圧電単体の底面積以下にしてなるこ
とを特徴とする圧電アクチュエータを要旨としている。
めの手段として次の構成をとった。即ち、本発明は、 板状の圧電単体を複数枚積層して形成され該積層方向の
一端が固定された積層型圧電体を備え、該積層型圧電体
に電圧を印加することにより上記積層型圧電体の他端を
移動させて機械的変位を得る圧電アクチュエータにおい
て、 上記積層型圧電体の移動可能な端部にある圧電単体底面
積を、上記積層型圧電体の固定された端部にある圧電単
体の底面積より小ざくすると共に、上記積層型圧電体の
各々の圧電単体の底面積を、該圧電単体と上記固定され
た端部側で隣り合う圧電単体の底面積以下にしてなるこ
とを特徴とする圧電アクチュエータを要旨としている。
ここで、圧電単体とは、電圧を加えることにより力学的
な歪みを発生する性質を有した結晶体であればどのよう
なものでもよく、例えばPZTを積層してなるセラミッ
クス等の圧電セラミックス、ポリマー系圧電材料、水晶
等がそうである。
な歪みを発生する性質を有した結晶体であればどのよう
なものでもよく、例えばPZTを積層してなるセラミッ
クス等の圧電セラミックス、ポリマー系圧電材料、水晶
等がそうである。
また[積層型圧電体の移動可能な端部にある圧電単体底
面積を、上記積層型圧電体の固定された端部にある圧電
単体の底面積より小さくすると共に、積層型圧電体の各
々の圧電単体の底面積を、該圧電単体と上記固定された
端部側で隣り合う圧電単体の底面積以下にする」とは、
例えば、積層型圧電体の固定された端部にある圧電単体
から移動可能な端部にある圧電単体まで、その底面積を
連続的に減少させるよう構成してもよく、あるいは、段
階的に減少させるよう構成してもよい。
面積を、上記積層型圧電体の固定された端部にある圧電
単体の底面積より小さくすると共に、積層型圧電体の各
々の圧電単体の底面積を、該圧電単体と上記固定された
端部側で隣り合う圧電単体の底面積以下にする」とは、
例えば、積層型圧電体の固定された端部にある圧電単体
から移動可能な端部にある圧電単体まで、その底面積を
連続的に減少させるよう構成してもよく、あるいは、段
階的に減少させるよう構成してもよい。
[作用]
以上の如く構成した本発明の圧電アクチュエータでは、
移動可能な端部側におる圧電単体の底面積が、固定され
た端部側にある圧電単体の底面積より小さくなる。この
ため、移動可能な端部側にある圧電単体の@量は、従来
例の円筒型の積層型圧電体と較べて小さいから、例え積
層型圧電体が高速で駆動されたとしても、固定された端
部付近にある圧電単体にかかる慣性荷重は、過大なもの
とならない。従って、これら固定された端部付近にある
圧電単体が損傷することはない。
移動可能な端部側におる圧電単体の底面積が、固定され
た端部側にある圧電単体の底面積より小さくなる。この
ため、移動可能な端部側にある圧電単体の@量は、従来
例の円筒型の積層型圧電体と較べて小さいから、例え積
層型圧電体が高速で駆動されたとしても、固定された端
部付近にある圧電単体にかかる慣性荷重は、過大なもの
とならない。従って、これら固定された端部付近にある
圧電単体が損傷することはない。
[実施例コ
以下、本発明の実施例を図面と共に説明する。
第1図は本発明の第1実施例としての圧電アクチュエー
タの断面図、第2図(a>はその圧電アクチュエータの
一構成要素である積層型圧電体の一部分を示す上面図、
第2図(b)はその正面図、第2図(C>はその下面図
でおる。
タの断面図、第2図(a>はその圧電アクチュエータの
一構成要素である積層型圧電体の一部分を示す上面図、
第2図(b)はその正面図、第2図(C>はその下面図
でおる。
第1図に示すように、圧電アクチュエータ11はアクチ
ュエータハウジング13とキャップ15とにより外形を
形成している。アクチュエータハウジング3の側面には
、図示しない駆動回路から電圧が印加される2本の電極
端子17.18がハーメチックシール17a、18aを
介して嵌挿されている。さらにキャップ15の中心部に
は、後述する可動ピストンを収納するためのシリンダ穴
19が形成されている。
ュエータハウジング13とキャップ15とにより外形を
形成している。アクチュエータハウジング3の側面には
、図示しない駆動回路から電圧が印加される2本の電極
端子17.18がハーメチックシール17a、18aを
介して嵌挿されている。さらにキャップ15の中心部に
は、後述する可動ピストンを収納するためのシリンダ穴
19が形成されている。
アクチュエータハウジング13の内部には、積層型圧電
体21が設けられている。この積層型圧電体21は、P
ZTよりなる圧電単体23を電極板25を介して複数枚
積層して構成されたもので、その積層方向の上端21a
はアクチュエータハウジング13の内側端面13aに固
定され、またその下端21bは可動部材31を介してシ
リンダ穴19に収納された可動ピストン33に当接され
ている。この積層型圧電体21における各々の圧電単体
23は、円盤形状をしたもので、上端21a側にある圧
電単体23aから下端21b側にある圧電単体23bま
でそれぞれの径が連続的に減少するような大きさを有し
ている。一方、圧電単体23の間に挟持された電極板2
5は、第2図に示すように、円盤形状の電極板25aと
電極板25の端面に固着された端面電極25bとから構
成されたもので、1つ置きに端面電極25bが180°
その位相がずれて揃うように積層されている。
体21が設けられている。この積層型圧電体21は、P
ZTよりなる圧電単体23を電極板25を介して複数枚
積層して構成されたもので、その積層方向の上端21a
はアクチュエータハウジング13の内側端面13aに固
定され、またその下端21bは可動部材31を介してシ
リンダ穴19に収納された可動ピストン33に当接され
ている。この積層型圧電体21における各々の圧電単体
23は、円盤形状をしたもので、上端21a側にある圧
電単体23aから下端21b側にある圧電単体23bま
でそれぞれの径が連続的に減少するような大きさを有し
ている。一方、圧電単体23の間に挟持された電極板2
5は、第2図に示すように、円盤形状の電極板25aと
電極板25の端面に固着された端面電極25bとから構
成されたもので、1つ置きに端面電極25bが180°
その位相がずれて揃うように積層されている。
なお、電極板25の大きさも、圧電単体23と同様に上
端21a側から連続的にその径が下端21b側まで減少
するよう定められている。また各々の端面電極25bは
、第2図(b)に示すように、一つ置きにリード線35
.37で結線され、リード線35.37を介して夫々電
極端子17.18に接続されている。
端21a側から連続的にその径が下端21b側まで減少
するよう定められている。また各々の端面電極25bは
、第2図(b)に示すように、一つ置きにリード線35
.37で結線され、リード線35.37を介して夫々電
極端子17.18に接続されている。
そして上記可動部材31とキャップ15との間には、皿
バネ39が可動ピストン33に挿入状態で設けられてお
り、該皿バネ39により積層型圧電体21に初期荷重が
付与される。また可動ピストン31にはゴム製のオーリ
ング41が配設されており、シリンダ穴1つとピストン
31との活動部分の密封性を高めている。
バネ39が可動ピストン33に挿入状態で設けられてお
り、該皿バネ39により積層型圧電体21に初期荷重が
付与される。また可動ピストン31にはゴム製のオーリ
ング41が配設されており、シリンダ穴1つとピストン
31との活動部分の密封性を高めている。
なお、各々の圧電単体23の径に関する減少割合は、可
動ピストン33の重量、皿バネ39による初期荷重、圧
電単体23の比重、応答性の設計目標、等から圧電単体
23の耐久性を考慮して定められる。
動ピストン33の重量、皿バネ39による初期荷重、圧
電単体23の比重、応答性の設計目標、等から圧電単体
23の耐久性を考慮して定められる。
以上の如く構成した圧電アクチュエータ11では、電極
端子17に負の電圧、電極端子18に正の電圧が印加さ
れると、各々の圧電単体23に電圧が付与され、圧電単
体23の圧電特性により積層型圧電体21が伸縮し、可
動ピストン33が第1図の上下方向に可動する。
端子17に負の電圧、電極端子18に正の電圧が印加さ
れると、各々の圧電単体23に電圧が付与され、圧電単
体23の圧電特性により積層型圧電体21が伸縮し、可
動ピストン33が第1図の上下方向に可動する。
次に、本実施例の圧電アクチュエータ11を好適に使用
したディーゼル機関の燃料噴射弁について第3図の断面
図にて説明する。
したディーゼル機関の燃料噴射弁について第3図の断面
図にて説明する。
第3図に示すように燃料噴射弁50は、本圧電アクチュ
エータ11、圧電アクチュエータ11と燃料流入口52
とを組み付けた燃料噴射弁本体54、この燃料噴射弁本
体54にノズルホルダ56によりスペーサ58を介して
固定されるノズル60等を備えている。
エータ11、圧電アクチュエータ11と燃料流入口52
とを組み付けた燃料噴射弁本体54、この燃料噴射弁本
体54にノズルホルダ56によりスペーサ58を介して
固定されるノズル60等を備えている。
燃料噴射弁本体54、スペーサ58、ノズル60内には
互いに直列に配置された制御ロッド62、加圧ピン64
及びニードル66が活動可能に挿入される。制御ロッド
62の上方には燃料室68が形成され、この燃料室68
には図示しない燃料ポンプにより加圧された燃料が燃料
流入口52を介して供給される。従って燃料室68内の
燃料圧が制御ロッド62の上面に作用する。ニードル6
6は円錐状をなす受圧面70を有し、この受圧面70の
周りにニードル加圧室72が形成される。ニードル加圧
室72は一方では燃料通路74を介して燃料室68に連
結され、他方ではニードル66の周りに形成された環状
の燃料通路76を介して、ノズル60の先端に形成され
たノズル孔78に連結される。また燃料噴射弁本体50
内に加圧ピン64を下方に向けて付勢する付勢ばね80
が挿入され、ニードル66はこの付勢ばね80によって
も下方に押圧される。制御ロッド62はその中間部に円
錐状をなす受圧面82を有し、この受圧面82の周りに
制御ロッド加圧室84が形成される。
互いに直列に配置された制御ロッド62、加圧ピン64
及びニードル66が活動可能に挿入される。制御ロッド
62の上方には燃料室68が形成され、この燃料室68
には図示しない燃料ポンプにより加圧された燃料が燃料
流入口52を介して供給される。従って燃料室68内の
燃料圧が制御ロッド62の上面に作用する。ニードル6
6は円錐状をなす受圧面70を有し、この受圧面70の
周りにニードル加圧室72が形成される。ニードル加圧
室72は一方では燃料通路74を介して燃料室68に連
結され、他方ではニードル66の周りに形成された環状
の燃料通路76を介して、ノズル60の先端に形成され
たノズル孔78に連結される。また燃料噴射弁本体50
内に加圧ピン64を下方に向けて付勢する付勢ばね80
が挿入され、ニードル66はこの付勢ばね80によって
も下方に押圧される。制御ロッド62はその中間部に円
錐状をなす受圧面82を有し、この受圧面82の周りに
制御ロッド加圧室84が形成される。
制御ロッド加圧室84はシリンダ形状をし、圧電アクチ
ュエータ11の可動ピストン33により加減圧される。
ュエータ11の可動ピストン33により加減圧される。
制御ロンド加圧室84内の燃料、即ち制御油が加圧され
ていない場合にはニードル66には制御ロッド62の上
面に作用する下向きの力と、付勢ばね80による下向き
の力と、ニードル66の受圧面70に作用する上向きの
力が加わる。このとき下向きの力の総和が上向きの力よ
りも若干大きくなるように制御ロッド62の径、付勢ば
ね80のばね力およびニードル66の受圧面70の面積
が設定されている。従って通常ニードル66には下向き
の力が作用しており、斯くして通常ニードル66はノズ
ル孔78を閉鎖している。
ていない場合にはニードル66には制御ロッド62の上
面に作用する下向きの力と、付勢ばね80による下向き
の力と、ニードル66の受圧面70に作用する上向きの
力が加わる。このとき下向きの力の総和が上向きの力よ
りも若干大きくなるように制御ロッド62の径、付勢ば
ね80のばね力およびニードル66の受圧面70の面積
が設定されている。従って通常ニードル66には下向き
の力が作用しており、斯くして通常ニードル66はノズ
ル孔78を閉鎖している。
次いで圧電アクチュエータ11に電圧が印加されると積
層型圧電体21が伸びるために可動ピストン33が左方
に移動し、その結果制御ロンド加圧室84内の制御油圧
が上昇する。このとき制御ロジド62の受圧面82に上
向きの力が作用するために制御ロッド62が上昇し、斯
くしてニードル66が上昇するためにノズル孔78から
燃料が噴射される。
層型圧電体21が伸びるために可動ピストン33が左方
に移動し、その結果制御ロンド加圧室84内の制御油圧
が上昇する。このとき制御ロジド62の受圧面82に上
向きの力が作用するために制御ロッド62が上昇し、斯
くしてニードル66が上昇するためにノズル孔78から
燃料が噴射される。
一方、圧電アクチュエータ11への電圧の印加が停止せ
しめられると積層型圧電体21は縮み、その結果制御ロ
ンド加圧室84内の制御油圧が低下するために制御ロッ
ド62およびニードル66が下降して燃料噴射が停止せ
しめられる。
しめられると積層型圧電体21は縮み、その結果制御ロ
ンド加圧室84内の制御油圧が低下するために制御ロッ
ド62およびニードル66が下降して燃料噴射が停止せ
しめられる。
以上詳述してきたように本実施例の圧電アクチュエータ
11では、各々の圧電単体23が、その径に関し、その
固定された端面21aのところにある圧電単体23aが
最も大きく、その可動端面21b側に近づくにつれ徐々
に減少し、その可動端面21bのところにある圧電単体
23bが最も小ざくなるようなされており、積層型圧電
体21の可動端面21bのところにある圧電単体23b
の底面積は固定端面21aにある圧電単体の底面積より
小さく、しかも各々の圧電単体23の底面積は、その圧
電単体23の固定端面21a側の圧電単体の底面積より
小さい。このため、移動可能な端面21b側に近い圧電
単体23の重量は、従来例の円筒型のものと比較して小
さなものとなり、例え積層型圧電体21が高速で駆動さ
れても固定された端面21a付近の圧電単体23にかか
る・層性荷重が過大とならない。従って、これら固定さ
れた端面21a付近の圧電単体23が損傷することがな
い。また、既述したように可動端面21b側の圧電単体
23の底面積が小さいため、圧電アクチュエータ11の
小型、軽量化と共に、積層型圧電体21の容積が小さく
なった力消費電力の低下を図ることができる。
11では、各々の圧電単体23が、その径に関し、その
固定された端面21aのところにある圧電単体23aが
最も大きく、その可動端面21b側に近づくにつれ徐々
に減少し、その可動端面21bのところにある圧電単体
23bが最も小ざくなるようなされており、積層型圧電
体21の可動端面21bのところにある圧電単体23b
の底面積は固定端面21aにある圧電単体の底面積より
小さく、しかも各々の圧電単体23の底面積は、その圧
電単体23の固定端面21a側の圧電単体の底面積より
小さい。このため、移動可能な端面21b側に近い圧電
単体23の重量は、従来例の円筒型のものと比較して小
さなものとなり、例え積層型圧電体21が高速で駆動さ
れても固定された端面21a付近の圧電単体23にかか
る・層性荷重が過大とならない。従って、これら固定さ
れた端面21a付近の圧電単体23が損傷することがな
い。また、既述したように可動端面21b側の圧電単体
23の底面積が小さいため、圧電アクチュエータ11の
小型、軽量化と共に、積層型圧電体21の容積が小さく
なった力消費電力の低下を図ることができる。
また、既述したように固定端面21a付近の圧電単体2
3にかかる慣性荷重が小さいため、同一応答性を確保す
る設計とした場合、その小さくなった分固定端面21a
付近の圧電単体23の底面積を小さくすることができ、
上記した小型、軽量、低消費電力化をより促進すること
ができる。
3にかかる慣性荷重が小さいため、同一応答性を確保す
る設計とした場合、その小さくなった分固定端面21a
付近の圧電単体23の底面積を小さくすることができ、
上記した小型、軽量、低消費電力化をより促進すること
ができる。
次に本発明の第2実施例を説明する。
本実施例と既述した第1実施例との相違点は、積層型圧
電体の形状にあり、他の構成は同じものである。即ち、
本実施例の積層型圧電体は、第4図の断面図に示すよう
に、移動可能な端部91側に近づくにつれ圧電単体93
の径を段階的に減少するよう構成されている。このため
、本実施例の圧電アクチュエータは、既述した第1実施
例と同様に固定端部95付近の圧電単体93の損傷を防
止することができると共に小型、軽量、低消費電力化を
図ることができ、しかも圧電単体93の径の変化が段階
的であるため、製造が容易である。
電体の形状にあり、他の構成は同じものである。即ち、
本実施例の積層型圧電体は、第4図の断面図に示すよう
に、移動可能な端部91側に近づくにつれ圧電単体93
の径を段階的に減少するよう構成されている。このため
、本実施例の圧電アクチュエータは、既述した第1実施
例と同様に固定端部95付近の圧電単体93の損傷を防
止することができると共に小型、軽量、低消費電力化を
図ることができ、しかも圧電単体93の径の変化が段階
的であるため、製造が容易である。
なお、圧電単体の径の変化している部分97には応力(
単位面積当りの荷重)が集中するため、本実施例ではそ
の部分97の圧電単体93の板厚を他の部分よりも厚く
することにより該応力集中による圧電単体の損傷を防止
している。
単位面積当りの荷重)が集中するため、本実施例ではそ
の部分97の圧電単体93の板厚を他の部分よりも厚く
することにより該応力集中による圧電単体の損傷を防止
している。
以上、本発明の実施例を詳述してきたが、本発明は、上
記実施例に何等限定されるものではなく、本発明の要旨
を逸脱しない範囲で種々なる態様となり得る。
記実施例に何等限定されるものではなく、本発明の要旨
を逸脱しない範囲で種々なる態様となり得る。
λ更例四里
以上詳述してきたように本発明の圧電アクチュエータは
、積層型圧電体の移動可能な端部にある圧電単体の底面
積を積層型圧電体の固定された端部にある圧電単体の底
面積より小さくすると共に、積層型圧電体の各々の圧電
単体の底面積を該圧電単体と上記固定された端部側で隣
り合う圧電単体の底面積以下にするようなされている。
、積層型圧電体の移動可能な端部にある圧電単体の底面
積を積層型圧電体の固定された端部にある圧電単体の底
面積より小さくすると共に、積層型圧電体の各々の圧電
単体の底面積を該圧電単体と上記固定された端部側で隣
り合う圧電単体の底面積以下にするようなされている。
このために、例え圧電単体が高速で駆動されても上記固
定された端部付近の圧電単体にかかる閂性荷重が過大と
ならず、これら固定された端部付近の圧電単体の損傷を
防止することができる。また小型、軽量、低消費電力化
を図ることができる。
定された端部付近の圧電単体にかかる閂性荷重が過大と
ならず、これら固定された端部付近の圧電単体の損傷を
防止することができる。また小型、軽量、低消費電力化
を図ることができる。
第1図は本発明の第1実施例としての圧電アクチュエー
タの断面図、第2図(a)は上記圧電アクチュエータの
構成要素である積層型圧電体の一部分を示す上面図、第
2図(b)はその正面図、第2図(C)はその下面図、
第3図は上記圧電アクチュエータを好適に使用したディ
ーゼル機関の燃料噴射弁の断面図、第4図は本発明の第
2実施層型圧電体の模式図である。 11・・・圧電アクチュエータ 13・・・アクチュエータハウジング 15・・・キャップ 21・・・積層型圧電体 23・・・圧電単体 33・・・可動ピストン
タの断面図、第2図(a)は上記圧電アクチュエータの
構成要素である積層型圧電体の一部分を示す上面図、第
2図(b)はその正面図、第2図(C)はその下面図、
第3図は上記圧電アクチュエータを好適に使用したディ
ーゼル機関の燃料噴射弁の断面図、第4図は本発明の第
2実施層型圧電体の模式図である。 11・・・圧電アクチュエータ 13・・・アクチュエータハウジング 15・・・キャップ 21・・・積層型圧電体 23・・・圧電単体 33・・・可動ピストン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 板状の圧電単体を複数枚積層して形成され該積層方向
の一端が固定された積層型圧電体を備え、該積層型圧電
体に電圧を印加することにより上記積層型圧電体の他端
を移動させて機械的変位を得る圧電アクチュエータにお
いて、 上記積層型圧電体の移動可能な端部にある圧電単体底面
積を、上記積層型圧電体の固定された端部にある圧電単
体の底面積より小さくすると共に、上記積層型圧電体の
各々の圧電単体の底面積を、該圧電単体と上記固定され
た端部側で隣り合う圧電単体の底面積以下にしてなるこ
とを特徴とする圧電アクチュエータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62039969A JPS63207185A (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 | 圧電アクチユエ−タ |
| US07/141,784 US4814659A (en) | 1987-02-23 | 1988-01-11 | Variable cross-section piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62039969A JPS63207185A (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 | 圧電アクチユエ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63207185A true JPS63207185A (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=12567782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62039969A Pending JPS63207185A (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 | 圧電アクチユエ−タ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4814659A (ja) |
| JP (1) | JPS63207185A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013148394A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Seiko Epson Corp | 圧力センサー |
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-
1987
- 1987-02-23 JP JP62039969A patent/JPS63207185A/ja active Pending
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1988
- 1988-01-11 US US07/141,784 patent/US4814659A/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| US4814659A (en) | 1989-03-21 |
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