JPH0256824B2 - - Google Patents

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JPH0256824B2
JPH0256824B2 JP58109244A JP10924483A JPH0256824B2 JP H0256824 B2 JPH0256824 B2 JP H0256824B2 JP 58109244 A JP58109244 A JP 58109244A JP 10924483 A JP10924483 A JP 10924483A JP H0256824 B2 JPH0256824 B2 JP H0256824B2
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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は積層型圧電体、特にアクチユエータと
して用いうる温度依存性の少ないタイプの積層型
圧電体に係る。
従来の背景 セラミツク圧電体が電圧を断続して印加するこ
とによつて変位することは知られており、この変
位を利用してアクチユエータ機能を満足させるた
めには、セラミツク圧電体を複数個積層し、その
変位量を大きくすればよい。しかし、こうした積
層型圧電体を用いてアクチユエータを作製し、
種々実験を行なつたところ、圧電体の変位量が温
度上昇とともに減少し、アクチユエータの燃料噴
射量も減少するという不都合が生じた。
そこで、本発明者らは、変位量が温度に依存し
ない積層型圧電体を得るために、圧電体の組成を
種々変えて検討したが、圧電体の変位が温度に依
存しないものは見い出されず、温度上昇に伴なつ
て変位量が増加するものと減少するものとに分類
できることがわかつた。又、温度変化に依存した
圧電体の変位量の増加率または減少率はほぼ一定
で、直線的な変化であることも見られた。
発明の目的 本発明は、以上の如き問題点に鑑み、圧電体の
変位量の特性が温度変化により変化するのを解消
または低減した積層型圧電体を提供することを目
的とする。
発明の構成 そして、上記目的を達成するために、本発明に
よる積層型圧電体では、それを構成する圧電単体
に、温度変化に関して変位量が増加関数的に変化
するものと減少関数的に変化するものとを組み合
わせて用いる。この組み合わせを適当に選択する
ことによつて積層型圧電体全体の変位量の温度依
存変化は解消または低減し、アクチユエータの燃
料噴射量の温度依存変化という問題も解決でき
る。
以下、実施例を用いて詳述する。
実施例 セラミツク圧電体を製造する。所定の組成に調
整した生の原料(PbO、TiO2、ZrO2等)あるい
は予め合成した原料(PbTiO3、PbZrO3、等)を
混合した後、約800〜900℃で1〜5時間仮焼す
る。しかる後、シート成形またはプレス成形によ
つて板状あるいは棒状の成形体を作成する。これ
を1150℃〜1250℃で1〜5時間焼成した後、研摩
あるいはスライスして圧電単体を得る。第1図は
こうして作成した圧電単体に電極を形成し、それ
らを接着して一体化した後分極させて作つた積層
体に所定電圧を印加したときの変位量の温度に関
するグラフである。直線aはxPb(Ni1/3Nb2/3
O3−yPbTiO3−zPbZrO3(ただしx+y+z=
1)系の圧電体の特性線で、温度上昇とともに圧
電体の変位量が減少している。直線bは
〔xPbTiO3−yPbZrO3〕+αNb2O5(ただし、x+
y=1、αはxPbTiO3−yPbZrO3に対する重量
比)系の圧電体の特性線で、温度上昇とともに圧
電体の変位量が増加している。
第2図は、こうして作成した圧電単体を組合せ
て製造した本発明の実施例である積層型圧電体A
を示す。この積層型圧電体Aは、直径約15mm、厚
さ約0.5mmの円板状のセラミツク圧電単体101,
102を複数個積層した長さ約40mmの円柱形であ
る。第2図中、砂地で示したセラミツク圧電単体
101は第1図の直線aの特性を示す前記組成の
もの、一方、無地で示したセラミツク圧電単体1
02は第1図の直線bの特性を示す前記組成のも
のである。この2種類の圧電単体101,102
は第1図の直線a,bの傾き絶対値の逆数で用い
るとよい。すなわち、この実施例では、直線aの
傾きは−43/150、直線bの傾きは11/150であるか
ら、その絶対値の逆数の比は150/43:150/11≒
1:4となる。従つて、圧電単体101を1個に
対して圧電単体102を4個用い、かつ圧電単体
101は均一に分散して配置する。
こうした圧電単体の組み付けは次のようにして
行なつた。第3図は圧電単体101,102に銀
ペーストで電極を形成した様子を示す。圧電単体
101,102の円形の主要面に直径約13mmの円
形に銀ペーストを被着して主電極2とすると共
に、銀ペーストを幅約3mmで円周面の一部にまで
延長して側面電極3を形成する。銀ペーストの厚
さは約5〜15マイクロトートルである。こうして
電極を形成した圧電単体101,102は多数積
層されると、銀ペーストの接着作用でお互いに接
着され、一体的なものとなる。積層の仕方は同じ
向きの側面電極3が1個おきに整列する如くす
る。こうして整列した側面電極3を第4図に示す
如くリード線4で順に電気的に接続すれば、複数
の圧電単体101,102は電気的に並列接続さ
れる。実際には、第2図に戻ると、リード線では
なく約100メツシユのステンレス製金網41を用
い、その縦線の一部をはずして側面電極3と銀ペ
ースト(図示せず)で接続する。又、金網41の
横線と縦線が接触だけで交わると抵抗が大きいの
で、金網41の一部42に銀ペーストまたは半田
を付着する。そして、外部へのリード線43はこ
の部位42から取り出す。この接続方式であれ
ば、作動時の圧電体の変位を十分に吸収し、リー
ド線4が側面電極3から剥離したり、セラミツク
圧電体101,102に亀裂が入つたりすること
を防止できる。
こうして得られた本発明の実施例の積層型圧電
体Aに500Vの電圧を印加し、変位量を測定し、
その温度依存性を調べたところ、第1図の直線c
のように変位の温度依存性はほとんど見られなく
なつた。
上記構成の圧電体Aは第5図a,b,cに示す
ように(第5図b,cはそれぞれ第5図aの線B
−B、線C−Cで切つて見た断面図である)、樹
脂製ケース10の中に収納されてアクチユエータ
を形成している。即ち、第5図において、11は
耐油性Oリングでケース10と樹脂製押板19と
の間の隙間を燃料が通るのを防いでいる。12は
逆止弁で、燃料を一方向にだけ流るようにしてあ
る。13はバネで、ノズル14をノズルホルダー
16に密着している。17は取り付けカバーであ
り、ケース10にネジどめしてある。18は台座
である。尚、ケース10と、台座18と、ノズル
ホルダー16とはノツクピン等(図示せず)によ
り相対的な位置移動が出来ないようにしてある。
15は燃料(ガソリン、軽油等)の入口である。
入口15からの通路はケース10の内部を通つて
逆止弁12に至る。また、圧電体Aのリード線4
3は第5図cに示すように、電極棒20に接続し
て外部電源(図示せず)に接続するようにしてあ
る。
次に、このセラミツク圧電体Aをアクチユエー
タとして用いた時の作動について第5図を用いて
簡単に説明する。燃料は入口15からアクチユエ
ータ内に燃料ポンプ(図示せず)により圧送さ
れ、逆止弁12を通り押板19と台座18及びノ
ズルホルダー16により形成された空間を満た
す。この状態で外部の電極棒20を通してセラミ
ツク圧電体Aに電圧を印加すると、第2図に示し
たようにセラミツク圧電体Aは軸方向に伸びる。
ところが、セラミツク圧電体Aの上方はケース1
0により固定されているので、この変位は下方に
向かつて伸びる。そうすると、押板19と台座1
8との隙間が減少し、燃料の圧力が急に上昇し、
ノズル14は下方に動き、ノズル14とノズルホ
ルダー16により生じた隙間を通つて燃料が噴出
される。燃料の圧力が下がるとノズル14がバネ
13の作用により上方にもどりノズルホルダー1
6との隙間を閉じる。次に、セラミツク圧電体A
の電圧印加を止めると、セラミツク圧電体Aは上
方にちぢみ、押板19と台座18及びノズルホル
ダー16により形成された空間の圧力が下がるた
め、新たな燃料が逆止弁12を通つてこの部分に
供給される。このようにして作製したアクチユエ
ータはガソリン噴射用インジエクタ、デイーゼル
エンジンのインジエクタ等に使用するものであ
る。尚、本実施例でセラミツク圧電単体101,
102を多数積層する理由は、約0.5mm当り約
500Vと高い電圧を印加しているため、セラミツ
ク圧電単体101,102の厚さを厚くすると印
加電圧をさらに大きくしなければならないのと同
時に空気の絶縁破壊を起こしやすくなるという問
題点等も生じてくるからである。そこで、本実施
例では、セラミツク圧電単体101,102の厚
さは0.5mmとしてこれを多数積層する構造とした。
こうして作製したアクチユエータを用いて200
Hzのパルス電圧を印加して軽油の噴射実験を行な
つた。噴射量の温度依存性を調べたところ、第6
図の直線cの如く、殆んど温度依存なく一定の噴
射量を示した。従つて、これを車に搭載すれば、
外気温によつて噴射量が変動することがなくな
り、燃料噴射量の制御が容易になると考えられ
る。
比較のために、第1図の直線aに示す特性を持
つセラミツク圧電単体101のみを用いて、以上
の例と同様の積層型圧電体Aを作成し、同様にし
てアクチユエータに組み込み、軽油の噴射量を温
度を変えて測定した。その結果第6図の直線aの
ように、温度上昇とともに軽油噴射量は減少し
た。これは圧電体の変位量が温度上昇とともに減
少することに基づくものである。
尚、本発明は前述の実施例に限定されることは
ない。例えば、温度上昇とともに変位量が減少す
る圧電体としてxPb(Co1/3Nb2/3)O3−yPbTiO3
−zPbZrO3系他、温度上昇ととも変位量が増加す
る圧電体としてxPb(Bi1/3Nb2/3)O3−yPbTiO3
−zPbZrO3系他、を用いてもよい。更には、セラ
ミツク圧電体に限ることなくセラミツク・樹脂の
複合体による圧電体でもよい。又、積層における
圧電単体の配置は任意である。但し、誘電損失に
よる発生熱量の相違を考慮すると前記実施例にお
けるように分散配置することが好ましい。セラミ
ツク圧電単体からの電極の取り出し方、並列接続
の仕方も任意であり、要するにセラミツク圧電体
の出力としての変位を吸収できる構造であればよ
い。
発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明に依
り、温度が変化しても電圧印加時出力としての変
位量が変化しないか極く小さい積層型圧電体が提
供され、アクチユエータに組み込んでもその機能
が安定である。
【図面の簡単な説明】
第1図は積層型圧電体の変位量の温度に関する
グラフ、第2図は本発明の実施例の積層型圧電体
の側面図、第3図は圧電単体の電極構造を示すた
めの正面図、右側面図、および背面図、第4図は
実施例の積層型圧電体の電気配線図、第5図はア
クチユエータの平面図、および縦断面図、第6図
はアクチユエータの軽油噴射量の温度に関するグ
ラフである。 101,102……セラミツク圧電単体、2…
…主電極、3……側面電極、4,41,42,4
3……配線;A……積層型圧電体。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 温度変化に関して圧電単体の電圧印加時出力
    としての変位量が増加関数的に変化する圧電単体
    と減少関数的に変化する圧電単体とを組み合わせ
    て積層して成ることを特徴とする積層型圧電体。
JP58109244A 1983-06-20 1983-06-20 積層型圧電体 Granted JPS601877A (ja)

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Families Citing this family (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4629039A (en) * 1985-01-17 1986-12-16 Nippondenso Co., Ltd Vehicle braking control apparatus
JPS61205100A (ja) * 1985-03-08 1986-09-11 Murata Mfg Co Ltd 圧電発音体
US4885498A (en) * 1985-06-19 1989-12-05 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Stacked type piezoelectric actuator
DE3533085A1 (de) * 1985-09-17 1987-03-26 Bosch Gmbh Robert Zumessventil zur dosierung von fluessigkeiten oder gasen
DE3533975A1 (de) * 1985-09-24 1987-03-26 Bosch Gmbh Robert Zumessventil zur dosierung von fluessigkeiten oder gasen
US4742365A (en) * 1986-04-23 1988-05-03 Am International, Inc. Ink jet apparatus
US4803763A (en) * 1986-08-28 1989-02-14 Nippon Soken, Inc. Method of making a laminated piezoelectric transducer
JPS6372381A (ja) * 1986-09-17 1988-04-02 株式会社日本自動車部品総合研究所 容量性負荷の駆動方法
JPS63207185A (ja) * 1987-02-23 1988-08-26 Toyota Motor Corp 圧電アクチユエ−タ
US5126617A (en) * 1987-11-09 1992-06-30 Texas Instruments Incorporated Cylinder pressure sensor for an internal combustion engine
US5059850A (en) * 1989-02-14 1991-10-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Temperature compensation member composed of shape memory effect alloy for an actuator driven by a piezo-electric element
JP2518703B2 (ja) * 1989-11-02 1996-07-31 堺化学工業株式会社 積層型複合圧電体およびその製造方法
US5281885A (en) * 1989-11-14 1994-01-25 Hitachi Metals, Ltd. High-temperature stacked-type displacement device
US5126618A (en) * 1990-03-06 1992-06-30 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Longitudinal-effect type laminar piezoelectric/electrostrictive driver, and printing actuator using the driver
JP2699619B2 (ja) * 1990-06-27 1998-01-19 日本電気株式会社 電歪効果素子
US5089741A (en) * 1990-07-19 1992-02-18 Atochem North America, Inc. Piezofilm impact detector with pyro effect elimination
US5059857A (en) * 1990-09-28 1991-10-22 Caterpillar Inc. Integral connector for a piezoelectric solid state motor stack
US5148076A (en) * 1991-04-09 1992-09-15 Honeywell Inc. Apparatus for thermal tuning of path length control drivers
DE4113667A1 (de) * 1991-04-26 1992-11-05 Fraunhofer Ges Forschung Piezo-stellantrieb
US5300852A (en) * 1991-10-04 1994-04-05 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Piezoelectric ceramic laminate device
JPH06132579A (ja) * 1992-09-01 1994-05-13 Canon Inc 変位素子及びそれを用いたプローブ、同プローブを有する機器
IL106296A0 (en) * 1993-07-09 1993-12-28 Nanomotion Ltd Ceramic motor
US5616980A (en) * 1993-07-09 1997-04-01 Nanomotion Ltd. Ceramic motor
US5682076A (en) * 1993-08-03 1997-10-28 Nanomotion Ltd. Ceramic disc-drive actuator
DE4411569C1 (de) * 1994-04-02 1995-07-20 Itw Dynatec Gmbh Klebetechnik Auftragskopf zur dosierten Abgabe von strömenden Medien
JP3432001B2 (ja) * 1994-06-27 2003-07-28 キヤノン株式会社 振動波装置
DE19540155C2 (de) * 1995-10-27 2000-07-13 Daimler Chrysler Ag Servoventil für eine Einspritzdüse
US6016024A (en) * 1996-04-05 2000-01-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric component
JP3271517B2 (ja) * 1996-04-05 2002-04-02 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3266031B2 (ja) * 1996-04-18 2002-03-18 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
US5939819A (en) * 1996-04-18 1999-08-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component and ladder filter
JPH1079639A (ja) * 1996-07-10 1998-03-24 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
TW432730B (en) * 1996-07-12 2001-05-01 Taiheiyo Cement Corp Piezoelectric transformer device
JPH1084244A (ja) * 1996-07-18 1998-03-31 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3271541B2 (ja) * 1996-07-26 2002-04-02 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3577170B2 (ja) * 1996-08-05 2004-10-13 株式会社村田製作所 圧電共振子とその製造方法およびそれを用いた電子部品
JPH10107579A (ja) * 1996-08-06 1998-04-24 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品
JPH10126203A (ja) * 1996-08-27 1998-05-15 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3267171B2 (ja) * 1996-09-12 2002-03-18 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JPH10126202A (ja) * 1996-10-23 1998-05-15 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
WO1998024296A2 (en) * 1996-11-20 1998-06-11 The Regents Of The University Of California Multilaminate piezoelectric high voltage stack
DE19648545B4 (de) 1996-11-25 2009-05-07 Ceramtec Ag Monolithischer Vielschichtaktor mit Außenelektroden
JP3271538B2 (ja) * 1996-11-28 2002-04-02 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
US6097135A (en) 1998-05-27 2000-08-01 Louis J. Desy, Jr. Shaped multilayer ceramic transducers and method for making the same
DE19930585B4 (de) * 1998-08-06 2017-11-09 Epcos Ag Piezoaktor mit verbesserter elektrischer Kontaktierung und Verwendung eines derartigen Piezoaktors
DE19849203A1 (de) 1998-10-26 2000-04-27 Bosch Gmbh Robert Brennstoffeinspritzventil
DE19909106C2 (de) * 1999-03-02 2001-08-23 Siemens Ag Temperaturkompensierte piezoelektrische Aktoreinheit
DE19945933C1 (de) * 1999-09-24 2001-05-17 Epcos Ag Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer Kontaktierung und Verfahren zu dessen Herstellung
JP2002054526A (ja) * 2000-05-31 2002-02-20 Denso Corp インジェクタ用圧電体素子
JP3741027B2 (ja) * 2001-01-10 2006-02-01 株式会社村田製作所 振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置
US6794795B2 (en) 2001-12-19 2004-09-21 Caterpillar Inc Method and apparatus for exciting a piezoelectric material
US6597083B2 (en) 2001-12-19 2003-07-22 Caterpillar Inc. Method and apparatus for compensating for temperature induced deformation of a piezoelectric device
DE10246618B4 (de) * 2002-10-07 2008-09-18 L'orange Gmbh Kraftstoff-Injektor
US20040075368A1 (en) * 2002-10-21 2004-04-22 Lockheed Martin Corporation Piezoelectric micro positioner for large temperature range
JP4401965B2 (ja) * 2003-04-16 2010-01-20 富士通株式会社 圧電アクチュエータを使用したヘッドアセンブリ
DE102004031402A1 (de) * 2004-06-29 2006-02-09 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauteil mit Sollbruchstelle, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils
JP4878133B2 (ja) 2004-09-13 2012-02-15 株式会社デンソー 圧電アクチュエータ
US20090051250A1 (en) * 2007-08-21 2009-02-26 Dushyant Shah Mesh Terminals For Piezoelectric Elements
US20090094277A1 (en) * 2007-10-03 2009-04-09 Ann Mead Corrao Automatic optimization of display layout for mobile devices
DE102009002304A1 (de) * 2009-04-09 2010-10-14 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktors
WO2012099233A1 (ja) * 2011-01-21 2012-07-26 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた圧電アクチュエータ、噴射装置ならびに燃料噴射システム
CN115623852B (zh) * 2022-11-04 2026-04-21 南京航空航天大学 一种抗温变数字压电执行器及其驱动方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1939302A (en) * 1929-04-12 1933-12-12 Edward B Benjamin Apparatus for and art of carburation
US2453595A (en) * 1943-08-27 1948-11-09 Scophony Corp Of America Apparatus for dispensing liquid fuel
CH399021A (de) * 1964-02-19 1966-03-31 Kistler Instrumente Ag Beschleunigungs-Messgerät
CH429228A (de) * 1964-12-10 1967-01-31 Kistler Instrumente Ag Piezoelektrischer Einbaukörper zum Einbau in einen piezoelektrischen Wandler
AT269514B (de) * 1966-07-12 1969-03-25 Piezoelektrischer Meßwandler
US3437849A (en) * 1966-11-21 1969-04-08 Motorola Inc Temperature compensation of electrical devices
US3634787A (en) * 1968-01-23 1972-01-11 Westinghouse Electric Corp Electromechanical tuning apparatus particularly for microelectronic components
DE1751543A1 (de) * 1968-06-15 1970-08-27 Kloeckner Humboldt Deutz Ag Elektrisch steuerbares Einspritzventil
US3673443A (en) * 1970-12-31 1972-06-27 Sundstrand Data Control Pressure transducer with reduced temperature sensitivity
US3854060A (en) * 1973-10-12 1974-12-10 Us Navy Transducer for fm sonar application
JPS5747769A (en) * 1980-09-05 1982-03-18 Murata Manufacturing Co Piezoelectric ceramic composition
DE3037078C2 (de) * 1980-10-01 1982-08-12 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Elektrisch angesteuertes Stellglied
JPS58137317A (ja) * 1982-02-09 1983-08-15 Nec Corp 圧電薄膜複合振動子
US4471256A (en) * 1982-06-14 1984-09-11 Nippon Soken, Inc. Piezoelectric actuator, and valve apparatus having actuator

Also Published As

Publication number Publication date
DE3422935A1 (de) 1984-12-20
JPS601877A (ja) 1985-01-08
US4570098A (en) 1986-02-11
DE3422935C2 (ja) 1992-03-26

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