JPS6321379A - スクリユ式真空ポンプ - Google Patents
スクリユ式真空ポンプInfo
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- JPS6321379A JPS6321379A JP16444186A JP16444186A JPS6321379A JP S6321379 A JPS6321379 A JP S6321379A JP 16444186 A JP16444186 A JP 16444186A JP 16444186 A JP16444186 A JP 16444186A JP S6321379 A JPS6321379 A JP S6321379A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- relief hole
- discharge port
- pressure
- tooth groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/10—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by changing the positions of the inlet or outlet openings with respect to the working chamber
- F04C28/16—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by changing the positions of the inlet or outlet openings with respect to the working chamber using lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、スクリュロータを用いたスクリュ式真空ポン
プに関するものである。
プに関するものである。
（従来の技術）
従来、スクリュロータを用いたスクリュ式真空ポンプか
使用されている。ところが、そのいずれらが内部圧力比
（以下πｉという。）を変えることができない形式のも
ので、大気圧状態の起動時から到達真空度に至るまでの
運転状態において、一定のπｉで運転が行われている。
使用されている。ところが、そのいずれらが内部圧力比
（以下πｉという。）を変えることができない形式のも
ので、大気圧状態の起動時から到達真空度に至るまでの
運転状態において、一定のπｉで運転が行われている。
そして、このようなπｉ一定のスクリュ式真空ポンプの
動力特性の理論解析結果の一例を示すと第４図（横軸：
吸込圧力Ｐ（Ｔｏｒｒ）、縦軸、動力Ｎ（ｋｗ））のよ
うになる。なお、この理論解析結果は、真空引きするガ
スの比熱比にを、１．４（理想気体）とした場合のもの
である。
動力特性の理論解析結果の一例を示すと第４図（横軸：
吸込圧力Ｐ（Ｔｏｒｒ）、縦軸、動力Ｎ（ｋｗ））のよ
うになる。なお、この理論解析結果は、真空引きするガ
スの比熱比にを、１．４（理想気体）とした場合のもの
である。
この第４図より、−上記真空ポンプを運転した場合の動
力は、例えばπ１−１０の場合は起動時の動力が最大で
、真空度がＬがるにつれて動力は減少していき、πｉ＝
３．２の場合は、起動時から到達真空度に達するまで動
力は一定である。逆に、π１−２の場合には、起動時の
動力が最小であり、真空度が」−がるにつれて動力は増
加してゆく。
力は、例えばπ１−１０の場合は起動時の動力が最大で
、真空度がＬがるにつれて動力は減少していき、πｉ＝
３．２の場合は、起動時から到達真空度に達するまで動
力は一定である。逆に、π１−２の場合には、起動時の
動力が最小であり、真空度が」−がるにつれて動力は増
加してゆく。
また、π１−３２の動力特性線とπ１＝１０゜５．０，
２．０の各場合にお１する動力特性線との交点での吸込
圧力は、１３９，１９７，２９２（単位Ｔｏｒｒ）であ
る。
２．０の各場合にお１する動力特性線との交点での吸込
圧力は、１３９，１９７，２９２（単位Ｔｏｒｒ）であ
る。
（発明が解決しようとする問題点）
第４図より、例えば吸込圧カｈ月３９Ｔｏｒｒ以下の状
態で使用する場合には、πｉ＝３．２よりπ１＝ＩＯの
場合の方が動力が小さくなり有利である。しかし、π１
−１０の場合には、点Ｃで示すように使用点での動力は
小さいにも拘わらず、点ａで示すように起動時の動力が
大きいために、大容量のモータが必要となる。また起動
後、点Ｃに至るまでに、点ａからπｊ−１０とπｉ＝３
．２の両軸力特性線の交点すまでの間でπｉ＝３．２の
場合に比べて大きな動力が必要になる等の問題がある。
態で使用する場合には、πｉ＝３．２よりπ１＝ＩＯの
場合の方が動力が小さくなり有利である。しかし、π１
−１０の場合には、点Ｃで示すように使用点での動力は
小さいにも拘わらず、点ａで示すように起動時の動力が
大きいために、大容量のモータが必要となる。また起動
後、点Ｃに至るまでに、点ａからπｊ−１０とπｉ＝３
．２の両軸力特性線の交点すまでの間でπｉ＝３．２の
場合に比べて大きな動力が必要になる等の問題がある。
本発明は、」−紀従来の問題点に鑑みてなされたもので
、起動時から使用点に至るまで小さい動力で運転できる
スクリコ式真空ポンプを提供しようとするものである。
、起動時から使用点に至るまで小さい動力で運転できる
スクリコ式真空ポンプを提供しようとするものである。
（問題点を解決するための手段）
−上記問題点を解決′４−るたｄ）に、本発明は、スク
リュロータを用いたスクリコ式真空ポンプにおいて、ロ
ータ室壁部を貫通し、吐出ポートに開１−１する前の閉
込み状態にあるスクリュロータの歯溝部を吐出口に連通
させる逃し孔と、この逃し孔に閉鎖可能に設（また弁体
と、この弁体を適宜大きさの力でロータ室側に付勢して
、この力より上記歯溝部内の圧力が弱いときには弁体に
逃し孔を閉鎖させ、逆のときには逃し孔を開放させる加
圧手段とからなる逃し弁を設（１て形成した。
リュロータを用いたスクリコ式真空ポンプにおいて、ロ
ータ室壁部を貫通し、吐出ポートに開１−１する前の閉
込み状態にあるスクリュロータの歯溝部を吐出口に連通
させる逃し孔と、この逃し孔に閉鎖可能に設（また弁体
と、この弁体を適宜大きさの力でロータ室側に付勢して
、この力より上記歯溝部内の圧力が弱いときには弁体に
逃し孔を閉鎖させ、逆のときには逃し孔を開放させる加
圧手段とからなる逃し弁を設（１て形成した。
（実施例）
次に、本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。
第１図は、本発明に係るスクリコ式真空ポンプｌを示し
、一方が吸込ポート２から吸込「１３に、他方が吐出ポ
ート４から吐出口５に開口したケ〜ンング６のロータ室
７内に、互いに噛み合う雌雄一対のスクリュロータ８を
回転可能に収納しである。
、一方が吸込ポート２から吸込「１３に、他方が吐出ポ
ート４から吐出口５に開口したケ〜ンング６のロータ室
７内に、互いに噛み合う雌雄一対のスクリュロータ８を
回転可能に収納しである。
また、吐出ポート４に開口する前の閉込み状態（スクリ
ュロータ８の歯とロータ室壁面とにより囲まれ、吸込ポ
ート２および吐出ポート４には連通していない状態）に
あるスクリュロータ８の歯溝部に面したロータ室壁部を
貫通して逃し孔１０を穿設し、閉込み状態にある」二記
歯溝部と吐出口５とを連通させることができるようにす
るとともに、逃し孔１０を閉鎖することができる弁体１
１を設けである。さらに吐出口５に、吐出流路を塞ぐこ
となくばね支え用リブ１２を形成して、これにコイルば
ねＩ３を装着し、このコイルばね１３により弁体１１を
ロータ室７側へ押し付けて、弁体１１により逃し孔ｌＯ
を塞がせるようにした逃し弁９が形成しである。ここで
このばね力は、例えば第４図中す点で示す吸込圧力Ｐ＝
１３９Ｔｏｒｒ。
ュロータ８の歯とロータ室壁面とにより囲まれ、吸込ポ
ート２および吐出ポート４には連通していない状態）に
あるスクリュロータ８の歯溝部に面したロータ室壁部を
貫通して逃し孔１０を穿設し、閉込み状態にある」二記
歯溝部と吐出口５とを連通させることができるようにす
るとともに、逃し孔１０を閉鎖することができる弁体１
１を設けである。さらに吐出口５に、吐出流路を塞ぐこ
となくばね支え用リブ１２を形成して、これにコイルば
ねＩ３を装着し、このコイルばね１３により弁体１１を
ロータ室７側へ押し付けて、弁体１１により逃し孔ｌＯ
を塞がせるようにした逃し弁９が形成しである。ここで
このばね力は、例えば第４図中す点で示す吸込圧力Ｐ＝
１３９Ｔｏｒｒ。
πｉ＝３．２の場合における吐出直前圧力により弁体１
１が吐出口５側へ押される力とバランスする大きさにし
である。そして、第２図に示すように、ポンプ起動直後
（図中、起動時をＡ点で示しである。）の吸込圧力Ｐが
大きい状態では上記ばね力はロータ室内の圧力に負けて
、弁体１１が吐出口５側へ移動して、逃し孔ｌＯを開放
し、ロータ室７内に閉込んだガスを上記吐出ポート４に
至る前の逃し孔９より吐出口５側へ吐出させ、すなわち
、πｉ二３．２の運転を行うようにしである。
１が吐出口５側へ押される力とバランスする大きさにし
である。そして、第２図に示すように、ポンプ起動直後
（図中、起動時をＡ点で示しである。）の吸込圧力Ｐが
大きい状態では上記ばね力はロータ室内の圧力に負けて
、弁体１１が吐出口５側へ移動して、逃し孔ｌＯを開放
し、ロータ室７内に閉込んだガスを上記吐出ポート４に
至る前の逃し孔９より吐出口５側へ吐出させ、すなわち
、πｉ二３．２の運転を行うようにしである。
さらに、運転を続けると吸込圧力Ｐは下がり、すなわち
真空度が上昇し、やがて１３９ Ｔｏｒｒに達する。そ
して、この時点（図中、点Ｂで示しである。）で、ロー
タ室７内の圧力よりばね力が勝り、弁体１１は逃し孔ｌ
Ｏ上に押付けられ、これを塞いで、ロータ室７内に閉込
んだガスは吐出ポート４より吐出されるようになり、π
ｊ＝ＩＯでの運転を続けて使用点（図中、点Ｃで示しで
ある。）に達する。
真空度が上昇し、やがて１３９ Ｔｏｒｒに達する。そ
して、この時点（図中、点Ｂで示しである。）で、ロー
タ室７内の圧力よりばね力が勝り、弁体１１は逃し孔ｌ
Ｏ上に押付けられ、これを塞いで、ロータ室７内に閉込
んだガスは吐出ポート４より吐出されるようになり、π
ｊ＝ＩＯでの運転を続けて使用点（図中、点Ｃで示しで
ある。）に達する。
このように、例えば１３９Ｔｏｒｒを境にして、吸込圧
力Ｐがこの値より大きいときには、πｉ−３，２となる
一方、この値以下のときにはπ１−１０となり起動時か
ら使用点に至るまで小さい動力で運転を続けられるよう
に形成しである。
力Ｐがこの値より大きいときには、πｉ−３，２となる
一方、この値以下のときにはπ１−１０となり起動時か
ら使用点に至るまで小さい動力で運転を続けられるよう
に形成しである。
その他、第１図中１４は軸封装置を示す。
なお、−上記実施例では逃し孔１０の外側からこれを閉
鎖する弁体１１を用いたものを示したが本発明はこれに
限るものでなく、その他逃し孔１０内にこれを開閉する
弁体を設けたものであってもよい。
鎖する弁体１１を用いたものを示したが本発明はこれに
限るものでなく、その他逃し孔１０内にこれを開閉する
弁体を設けたものであってもよい。
また、弁体１１をロータ室７側へ付勢する手段としては
、コイルばね１３に限らず、その他の弾性体を用いたも
のであってもよい。
、コイルばね１３に限らず、その他の弾性体を用いたも
のであってもよい。
さらに、本発明はこの逃し弁９を１段だけ設けたものに
限るものでなく、複数段設けた真空ポンプも含むもので
あり、例えば、２段に設けた場合には第３図に示すよう
にＢ点よりさらに低圧側のＢ°点で動力特性の改善を図
ることができる。この場合、各段のばね力は、吸込圧力
Ｐがいくらになったときにπｉをいくらにするかにより
、適宜調整することになる。
限るものでなく、複数段設けた真空ポンプも含むもので
あり、例えば、２段に設けた場合には第３図に示すよう
にＢ点よりさらに低圧側のＢ°点で動力特性の改善を図
ることができる。この場合、各段のばね力は、吸込圧力
Ｐがいくらになったときにπｉをいくらにするかにより
、適宜調整することになる。
その他、本発明は、起動時、起動後のπｊを３．２と１
０に限るものでなく、またπｉの変更点を吸込圧力Ｐ＝
１３９Ｔｏｒｒに限るものでもない。
０に限るものでなく、またπｉの変更点を吸込圧力Ｐ＝
１３９Ｔｏｒｒに限るものでもない。
（発明の効果）
以」二の説明より明らかなように、本発明によれは、ス
クリュロータを用いたスクリュ式真空ポンプにおいて、
ロータ室壁部を貫通し、吐出ポートに開口する前の閉込
み状態にあるスクリュロータの歯溝部を吐出口に連通さ
せる逃し孔と、この逃し孔に閉鎖可能に設けた弁体と、
この弁体を適宜大きさの力でロータ室側に付勢して、こ
のカより−上記歯溝部内の圧力が弱いときには弁体に逃
し孔を閉鎖させ、逆のときには逃し孔を開放させる加圧
手段とからなる逃し弁を設けて形成しである。
クリュロータを用いたスクリュ式真空ポンプにおいて、
ロータ室壁部を貫通し、吐出ポートに開口する前の閉込
み状態にあるスクリュロータの歯溝部を吐出口に連通さ
せる逃し孔と、この逃し孔に閉鎖可能に設けた弁体と、
この弁体を適宜大きさの力でロータ室側に付勢して、こ
のカより−上記歯溝部内の圧力が弱いときには弁体に逃
し孔を閉鎖させ、逆のときには逃し孔を開放させる加圧
手段とからなる逃し弁を設けて形成しである。
このたぬ、起動後使用点に至るまでの最高動力値を低く
抑えることができるので、ポンプを駆動するモータの容
量を小さくできる。
抑えることができるので、ポンプを駆動するモータの容
量を小さくできる。
また、吸込圧力の低下に対応して小さい動力で運動でき
るので、全体的に消費動力を節減でき、かつ使用点では
πｊを大きくなるようにしであるので高い到達真空度を
得ろことができる等の効果を奏する。
るので、全体的に消費動力を節減でき、かつ使用点では
πｊを大きくなるようにしであるので高い到達真空度を
得ろことができる等の効果を奏する。
第１図は本発明に係るスクリュ式真空ポンプの一７＝
断面図、第２図は第１図に示すポンプの動力特性線図、
第３図は本発明の他の実施例（逃し弁が２段）の動力特
性線図、第４図はπｉをパラメータとして求めたスクリ
ュ式真空ポンプの動力特性線図である。 １・・・スクリュ式真空ポンプ、４・・・吐出ポート、
５・・・吐出口、７・・・ロータ室、訃・・スクリュロ
ータ、９・・・逃し弁、１０・・・逃し孔、１１・・・
弁体、１３・・・コイルばね。
第３図は本発明の他の実施例（逃し弁が２段）の動力特
性線図、第４図はπｉをパラメータとして求めたスクリ
ュ式真空ポンプの動力特性線図である。 １・・・スクリュ式真空ポンプ、４・・・吐出ポート、
５・・・吐出口、７・・・ロータ室、訃・・スクリュロ
ータ、９・・・逃し弁、１０・・・逃し孔、１１・・・
弁体、１３・・・コイルばね。
Claims (2)
- （１）スクリュロータを用いたスクリュ式真空ポンプに
おいて、ロータ室壁部を貫通し、吐出ポートに開口する
前の閉込み状態にあるスクリュロータの歯溝部を吐出口
に連通させる逃し孔と、この逃し孔に閉鎖可能に設けた
弁体と、この弁体を適宜大きさの力でロータ室側に付勢
して、この力より上記歯溝部内の圧力が弱いときには弁
体に逃し孔を閉鎖させ、逆のときには逃し孔を開放させ
る加圧手段とからなる逃し弁を設けたことを特徴とする
スクリュ式真空ポンプ。 - （２）上記加圧手段がばね手段であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項に記載のスクリュ式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16444186A JPS6321379A (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | スクリユ式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16444186A JPS6321379A (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | スクリユ式真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6321379A true JPS6321379A (ja) | 1988-01-28 |
Family
ID=15793222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16444186A Pending JPS6321379A (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | スクリユ式真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6321379A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010035592A1 (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-01 | 日立アプライアンス株式会社 | スクリュー圧縮機 |
-
1986
- 1986-07-11 JP JP16444186A patent/JPS6321379A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010035592A1 (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-01 | 日立アプライアンス株式会社 | スクリュー圧縮機 |
| CN102165197A (zh) * | 2008-09-26 | 2011-08-24 | 日立空调·家用电器株式会社 | 螺旋压缩机 |
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