JPS63214604A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

Info

Publication number
JPS63214604A
JPS63214604A JP62048519A JP4851987A JPS63214604A JP S63214604 A JPS63214604 A JP S63214604A JP 62048519 A JP62048519 A JP 62048519A JP 4851987 A JP4851987 A JP 4851987A JP S63214604 A JPS63214604 A JP S63214604A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
light
optical fiber
detection device
position detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62048519A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH083403B2 (ja
Inventor
Yasuji Hattori
服部 保次
Susumu Inoue
享 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP4851987A priority Critical patent/JPH083403B2/ja
Priority to CA000543994A priority patent/CA1295476C/en
Priority to US07/085,598 priority patent/US4882497A/en
Priority to EP87111831A priority patent/EP0256539A3/en
Priority to AU76894/87A priority patent/AU585728B2/en
Priority to KR1019870008958A priority patent/KR900005642B1/ko
Publication of JPS63214604A publication Critical patent/JPS63214604A/ja
Publication of JPH083403B2 publication Critical patent/JPH083403B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、位置検出装置に関するものであり、更に詳述
するならば、光ファイバの側面に光照射して光ファイバ
の外縁部を通過する光によ二て生じる回折縞の間隔によ
り観測面の位置を検出する装置に関するものである。
従来の技術 光ファイバの側方観測像を利用した装置の代表的なもの
として、光ファイバの融着接続機がある。
単一モードファイバではコア径が10μm程度と小さい
ので、光ファイバの偏心量(ファイバ外径中心とコア中
心との偏心距離)を考慮して接続する必要がある。
第4図に、光ファイバの接続用位置検出装置の構成を示
す。図示の装置は、端面が対向する2つの光ファイバ2
及び2′の端部側面を照明する光源1を備えている。光
ファイバを挟んで光源1に対向するようにテレビカメラ
4が配置されている。
テレビカメラ4の出力は、カメラコントロールユニット
5の入力に接続されている。カメラコントロールユニッ
ト5の出力は、モニタテレビ60人力に接続されている
以上のように構成される光フアイバ接続用位置検出装置
は、次のように動作する。
光源1により照明された2つの光ファイバの端部側面を
、テレビカメラ4で撮像する。撮影された画像は、カメ
ラコントロールユニット5を介してモニタテレビ6で画
像表示される。表示された画像情報に基づいて、光ファ
イバ2及び2°のコア部3及び3′の中心軸が一致する
ように、2つの光ファイバの相対位置を調整する。こう
した位置調整は、光学系の切換え等により少なくとも相
異なる2つの方向(同一直線上にない)、好ましくは直
交する2つの観測方向についてなされる。
一般に、光ファイバの側方よりコア部の観測を行う場合
、光フアイバ表面のレンズ効果により、測定された“み
かけ”の偏心量(“みかけ“のコア中心とファイバ外径
の中心との偏心距離)は真の偏心量(真のコア中心とフ
ァイバ外径の中心との偏心距離)と異なる。従って、測
定された“みかけ”の偏心量に基づいて計算により真の
偏心量を求めるには、すなわちコアの中心位置を検出す
るには、あらかじめ補正係数を求めておく必要があるが
、こうした補正係数は光ファイバの側方像の観測面の位
置に依存する。すなわち、観測面の位置を精度良く測定
することが真の偏心量を求める前提条件となる。
従来、ステッピングモーフ駆動ステージに搭載した光フ
ァイバを光源とテレビカメラを結ぶ方向に移動させ、そ
のパルス信号を計数しである原点からの光ファイバの移
動量を測定して、間接的に光ファイバの測方像の観測面
の位置を検出していた。しかしながら、従来の位置検出
方法ではステージのバックラッシュ等により精度が十分
でないという問題があった。さらに、光ファイバの中心
を原点とした座標系で観測面の位置を直接求めることが
できないという問題があった。
発明が解決しようとする問題点 以上のように、従来の光フアイバ接続用位置検出装置で
は、光ファイバの側方像の観測面位置を精度良く検出す
ることができないという問題があった。
そこで、本発明は、光ファイバの側方像の観測面位置を
非接触方式で精度良く観測する位置検出装置を提供せん
とするものである。
問題点を解決するための手段 すなわち、本発明によるならば、実質的に単一波長から
なる光を放射する点光源と、該点光源に対向して該点光
源から離れて配置された光検出手段と、該光検出手段と
前記点光源とを結ぶ光軸に垂直に筒状の被検体を位置付
ける保持手段とを備え、前記光検出手段により前記被検
体の外縁部を通過する光線の回折縞の間隔を測定して、
前記光検出手段が観測する被検体の観測面の位置を検出
することを特徴とする位置検出装置が提供される。
本発明の好ましい態様によれば、前記被検体は、光ファ
イバである。
また、本発明の好ましい実施態様によれば、前記点光源
は、発光ダイオードからなる。さらにもう1つの態様に
よれば、前記点光源は、白色光源と、該光源が発光する
特定の単一波長光のみを透過するバンドパスフィルタと
、該透過光が通過する小孔を有する部材とからなる。ま
た、好ましくは、前記光検出手段は、撮像手段である。
作用 以上のように、本発明の位置検出装置では、光源として
比較的単色性の強い点光源を用いているので、筒状の被
検体の測方像の輝度分布において筒状の被検体の外縁部
に回折縞が観測される。前記光検出手段と前記点光源と
を結ぶ光軸に垂直で且つ筒状の被検体の軸に直角な方向
での回折光の強度分布の例を第2図に示す。
回折縞のピーク位置をPl、P2、P3・・・・、P、
及びPビ、p 2*、 p3*、・・・・、P、、Iで
表示し、PiとPl、P2とP3、・・・・、P7−1
とP、、の間隔をZ5、Z2、・・・・、Zn−1で表
示し、さらにP、*とP2″、P2*とP31.111
6、P −+” トP−”(D間QヲZ l”、Z2申
、・・・・、Zh−1′とすれば、Zl、、Z2、・・
・・、Zn−1及びZl*、22′、・・・、Z7−ビ
は観測面の位置PL’″と筒状の被検体の中心位置P、
との距離δに依存する。従って、Zl、Z2、・・・・
、Zh−1及びZl“、Z 2IN・・・・、ムーーと
距離δの関係を予めかしめ求めておけば、観測されたZ
l、Z2、・・・・Zn−1及びZ−122′、・・・
、2.−一より距離δを算出することができ、すなわち
観測面位置を検出することが可能となる。
実施例 以下添付図面を参照して、本発明の位置検出装置の実施
例を説明する。
第1図は、本発明の位置検出装置の1実施例の構成概略
図である。図示の装置は、光源1を備えている。光源と
して、ハロゲンランプのような白色光源、あるいは高輝
度な光を発光する発光ダイオード(LED)等を用いる
ことができる。光源1の出射光は、特定の波長光のみを
透過させるバンドパスフィルタ7に入射する。バンドパ
スフィルタ7を透過した光は、ピンホール板8が有する
小孔を通過して光ファイバ2の端部の側面部を照明する
。光ファイバ2の側方像は、テレビカメラ4により撮像
される。光源1とカメラ4を結ぶ光軸が光ファイバ2の
中心軸を含む平面に垂直になるように、カメラ4は配置
されている。テレビカメラ4の出力は、カメラコントロ
ールユニット5の人力に接続されている。カメラコント
ロールユニット5の出力は、モニタテレビ6の人力に接
続されている。
以上のように構成される本発明の位置検出装置は、次の
ように動作する。
例えばハロゲンランプのような白色光源1を出射した光
は、バンドパスフィルタ7を透過し、ピンホール板8の
小孔を通過して、比較的単色光に近い点放射光に変換さ
れる。なお、光源として発光ダイオードを使用する場合
は、バンドパスフィルタ7及び小孔を有する部材8を備
える必要はない。点放射光で光ファイバ2の端部の側面
部を照明しながら、テレビカメラ4で光ファイバ2の側
方像を撮像する。撮影された画像は、カメラコントロー
ルユニット5を介してモニタテレビ6で画面表示される
。光ファイバ2の中心軸がテレビモニタテレビ6の輝度
測定線AA’に直交するように、図示を省略した保持手
段によって光ファイバ2は保持されている。
本発明に基づき、外径125μmの光ファイバを、3Q
cm離間した位置より発光ダイオードで照明して、60
倍の対物レンズを装着したITVカメラで光ファイバの
側方像を観測した。その1例を第1図のモニタテレビ6
の画面部分に描き、また、第2図のグラフに示した。第
2図のグラフにおいて、縦軸が輝度を示し、横軸が、テ
レビモニタテレビ6の輝度測定線AA’に沿った位置を
示し、原点が輝度測定線AA’の上端に相当する。
かくして、回折縞が最も明瞭に観測されるZl(P+と
P2の間隔)と距離δとの関係を求めた。
、第3図に示すように、Zl と距離δとの関係は一義
的な関係であり、Zlの測定値よりδの値すなわち観測
面の位置を精度良く検出可能であることがわかった。
本実施例では、精密ステージに載置した光ファイバを光
源とテレビカメラを結ぶ光軸方向に移動させて、その移
動量を0.1μm読みのリニアスケールの値を読み取っ
て距離δの測定を行った。
発明の詳細 な説明したように、本発明の位置検出装置によれば、単
一波長光を放射する点光源によって光ファイバの外縁部
に生じる回折縞の間隔を測定することにより、光ファイ
バの側方像の観測面位置を精度良く検出することができ
る。この結果、光ファイバの側方像を観測して、コアの
中心位置を精度良く測定することができる。したがって
、本発明の位置検出装置は、光ファイバの融着接続機等
の広い分野にわたって活用することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の位置検出装置の1実施例の構成概略
図であり、 第2図は、第1図のモニタテレビの輝度測定線における
輝度分布を示す図であり、 第3図は、観測面と光ファイバの中心面との距離(δ)
と、回折縞のピーク位置の間隔(Zl)との関係を示す
グラフであり、 第4図は、従来の光フアイバ融着接続機のモニタ系の構
成概略図である。 (主な参照番号) 1・・光源、 2,2゛ ・・光ファイバ、3.3゛ 
・・コア、  4・・テレビカメラ、5・−カメラコン
トロールユニット、 6・・モニタテレビ、 7・・バンドパスフィルタ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)実質的に単一波長からなる光を放射する点光源と
    、該点光源に対向して該点光源から離れて配置された光
    検出手段と、該光検出手段と前記点光源とを結ぶ光軸に
    垂直に筒状の被検体を位置付ける保持手段とを備え、前
    記光検出手段により前記被検体の外縁部を通過する光線
    の回折縞の間隔を測定して、前記光検出手段が観測する
    被検体の観測面の位置を検出することを特徴とする位置
    検出装置。 (2)前記被検体は、光ファイバであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の位置検出装置。 (3)前記点光源は、発光ダイオードであることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項又は第2項記載(4)前記
    点光源は、白色光源と、該白色光源が発光する特定の単
    一波長光のみを透過するバンドパスフィルタと、該透過
    光が通過する小孔を有する部材とからなることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項又は第2項記載の位置検出装
    置。 (5)前記光検出手段は、撮像手段であることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項から第4項までのいずれか1
    項記載の位置検出装置。
JP4851987A 1986-08-15 1987-03-03 位置検出装置 Expired - Fee Related JPH083403B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4851987A JPH083403B2 (ja) 1987-03-03 1987-03-03 位置検出装置
CA000543994A CA1295476C (en) 1986-08-15 1987-08-07 Method and apparatus of measuring outer diameter and structure of optical fiber
US07/085,598 US4882497A (en) 1986-08-15 1987-08-14 Method and apparatus of measuring outer diameter and structure of optical fiber
EP87111831A EP0256539A3 (en) 1986-08-15 1987-08-14 Method and apparatus of measuring outer diameter and structure of optical fiber
AU76894/87A AU585728B2 (en) 1986-08-15 1987-08-14 Method and apparatus of measuring outer diameter and structure of optical fiber
KR1019870008958A KR900005642B1 (ko) 1986-08-15 1987-08-14 광파이버 구조 및 외경측정의 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4851987A JPH083403B2 (ja) 1987-03-03 1987-03-03 位置検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63214604A true JPS63214604A (ja) 1988-09-07
JPH083403B2 JPH083403B2 (ja) 1996-01-17

Family

ID=12805605

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4851987A Expired - Fee Related JPH083403B2 (ja) 1986-08-15 1987-03-03 位置検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH083403B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20170346984A1 (en) * 2016-05-31 2017-11-30 Toshiba Tec Kabushiki Kaisha Scanner apparatus
CN110119060A (zh) * 2018-02-05 2019-08-13 深圳光峰科技股份有限公司 透声幕及其制造方法
CN111964872A (zh) * 2020-07-08 2020-11-20 暨南大学 一种光纤轴向无损在线检测装置和方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20170346984A1 (en) * 2016-05-31 2017-11-30 Toshiba Tec Kabushiki Kaisha Scanner apparatus
CN110119060A (zh) * 2018-02-05 2019-08-13 深圳光峰科技股份有限公司 透声幕及其制造方法
CN110119060B (zh) * 2018-02-05 2021-08-17 深圳光峰科技股份有限公司 透声幕及其制造方法
CN111964872A (zh) * 2020-07-08 2020-11-20 暨南大学 一种光纤轴向无损在线检测装置和方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH083403B2 (ja) 1996-01-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4882497A (en) Method and apparatus of measuring outer diameter and structure of optical fiber
US6307636B1 (en) Method for telemeasuring and telemeter
JPH10311779A (ja) レンズ特性測定装置
JPS6113130A (ja) 光フアイバ集合体の検査装置
JP2000241128A (ja) 面間隔測定方法および装置
JPS63214604A (ja) 位置検出装置
US6924897B2 (en) Point source module and methods of aligning and using the same
CN1146724C (zh) 检测光盘物镜小光斑的装置
JP3162364B2 (ja) 光センサ装置
DE69605404D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung einer verschiebung
JP2521736B2 (ja) 顕微鏡調整検査装置
US4948984A (en) Optical scanning head with objective position measuring and mirrors
JP2519775B2 (ja) 屈折角測定装置
JP2544389B2 (ja) レンズ中心厚測定装置
JPH0275906A (ja) 結像型変位計
JPH0750728Y2 (ja) 顕微鏡
Brenci et al. Fiber optic position sensor array
CN2453432Y (zh) 小光斑物镜的检测仪
JP2004069594A (ja) 偏心量測定機及び偏心量測定方法
JPH08233545A (ja) 穴形状測定方法および測定装置
JPH05157524A (ja) 非接触段差測定方法及びその装置
JP2612887B2 (ja) 光ファイバ端面状態の観察方法
JPH0426685B2 (ja)
JPS63263412A (ja) 非接触変位計
JP2523156B2 (ja) 屈折角測定方法及び屈折率分布測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees