JPS63215902A - 物体の位置検出装置 - Google Patents
物体の位置検出装置Info
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- JPS63215902A JPS63215902A JP3168088A JP3168088A JPS63215902A JP S63215902 A JPS63215902 A JP S63215902A JP 3168088 A JP3168088 A JP 3168088A JP 3168088 A JP3168088 A JP 3168088A JP S63215902 A JPS63215902 A JP S63215902A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は物体の位置検出装置に関するものであり、特
に、既知物体又は対象物の位置検出ホログラフィ−技術
に関し、検査試料がある定められた空間的パラメータ内
に存在するものには限定されない。
に、既知物体又は対象物の位置検出ホログラフィ−技術
に関し、検査試料がある定められた空間的パラメータ内
に存在するものには限定されない。
（技術背景）
出願係統中の英国特許出願第８７．１７７４１号（出願
番号第２１９４３５３号）に対象物位置検出装置が開示
されており、この場合の対象物は等間隔配置の３つのワ
イヤーである。
番号第２１９４３５３号）に対象物位置検出装置が開示
されており、この場合の対象物は等間隔配置の３つのワ
イヤーである。
添付図面第１図に示すように、英国特許出願筒８７．１
７７４１号の第６図のものと等価な装置、即ちレーザー
２０、ビームスプリッタ−２２、ミラー２４、一対のレ
ンズ２５．２６、規準ミラー即ちコリメーター２８およ
びホログラム記録プレート３０から構成される装置を用
いて３つのワイヤーのホログラフィ−記録が行なわれる
。
７７４１号の第６図のものと等価な装置、即ちレーザー
２０、ビームスプリッタ−２２、ミラー２４、一対のレ
ンズ２５．２６、規準ミラー即ちコリメーター２８およ
びホログラム記録プレート３０から構成される装置を用
いて３つのワイヤーのホログラフィ−記録が行なわれる
。
レーザー２０はクリプトンレーザーであり、波長６４７
ｎｍのコヒーレント放射線を発生する。ビームスプリッ
タ−２２は上記コヒーレント放射線を２つの経路に分割
する。ビームスプリッタ−２２を通過して放射線９０％
を含む第１経路はミラー２４で反射されて凹レンズ２６
に向けられる。
ｎｍのコヒーレント放射線を発生する。ビームスプリッ
タ−２２は上記コヒーレント放射線を２つの経路に分割
する。ビームスプリッタ−２２を通過して放射線９０％
を含む第１経路はミラー２４で反射されて凹レンズ２６
に向けられる。
この凹レンズ２６は光線を発散させて３つのワイヤー１
０．１２および１４から１組を成す対象物を照明する。
０．１２および１４から１組を成す対象物を照明する。
放射線１０％を含む第２経路は参照ビームを形成し、凹
レンズ２５を通過した後、その発散光線は凹面規準ミラ
ー２８を介して平行光線としてプレート３０に向けられ
る。照明対象物からの発射光線と参照ビームとの干渉に
より該対象物、即ち３つのワイヤー１０．１２および１
４のホログラフィ−影像がプレート３０の記録エマルジ
ョン中に形成される。
レンズ２５を通過した後、その発散光線は凹面規準ミラ
ー２８を介して平行光線としてプレート３０に向けられ
る。照明対象物からの発射光線と参照ビームとの干渉に
より該対象物、即ち３つのワイヤー１０．１２および１
４のホログラフィ−影像がプレート３０の記録エマルジ
ョン中に形成される。
第１図から解るように、ビームスプリッタ−２２と３つ
のワイヤー１０．１２および１４群間の信号ビーム経路
はレンズ２４およびミラー２６を含む一方、該ビームス
プリッタ−２２とプレート３０間の参照ビーム経路はレ
ンズ２５およびミラー２８を含む。正確な結果を得よう
とするならば、いずれの構成も振動しないようにして影
像のぼけ、したがって当該対象物の位置検出誤差を生起
しないようにすることが重要なことである。
のワイヤー１０．１２および１４群間の信号ビーム経路
はレンズ２４およびミラー２６を含む一方、該ビームス
プリッタ−２２とプレート３０間の参照ビーム経路はレ
ンズ２５およびミラー２８を含む。正確な結果を得よう
とするならば、いずれの構成も振動しないようにして影
像のぼけ、したがって当該対象物の位置検出誤差を生起
しないようにすることが重要なことである。
（目的）
この発明の目的は対象物の位置検出において種々の問題
を惹起する不要な振動発生を低減することにある。
を惹起する不要な振動発生を低減することにある。
この発明によれば、対象物の位置検出装置が提供される
。即ち、検査対象物のホログラフィ−影像が写真プレー
ト３０に記録され、参照および信号ビームは分割される
ことなくかつ該参照ビームの反射手段および対象物配置
用ホルダーは詳細に後述するように次の関係、ｌＬ＋
Ｌｚｌ＜Ｌｃを満足するようにされる。
。即ち、検査対象物のホログラフィ−影像が写真プレー
ト３０に記録され、参照および信号ビームは分割される
ことなくかつ該参照ビームの反射手段および対象物配置
用ホルダーは詳細に後述するように次の関係、ｌＬ＋
Ｌｚｌ＜Ｌｃを満足するようにされる。
本発明を一実施例を示す添付の第２図とともに説明する
。
。
（実施例）
第２図は対象物の位置検出等を行うにあたり、当該検査
対象物のホログラフィ−影像を生成する装置の好ましい
実施例の概略構成図である。
対象物のホログラフィ−影像を生成する装置の好ましい
実施例の概略構成図である。
本発明の原理は次の関係に基づく：
＋ Ｌ、−Ｌ２１＜Ｌに
こで、Ｌ、およびＬ２はそれぞれ参照経路および信号経
路の長さであり、Ｌｃは干渉を生起し得る経路長差であ
る。当該装置において、上記関係式を満足するようにす
ることが出来れば、第１図に示すようなビームスプリッ
タ−を介して分割経路を得るようにした装置における不
具合を除去することができる。
路の長さであり、Ｌｃは干渉を生起し得る経路長差であ
る。当該装置において、上記関係式を満足するようにす
ることが出来れば、第１図に示すようなビームスプリッ
タ−を介して分割経路を得るようにした装置における不
具合を除去することができる。
第２図において、装置２５はレーザー４０、両凸レンズ
４２、規準ミラーまたはコリメーター４４、ホログラフ
ィ−記録プレート４６および対象物５０装着用の支持手
段４８から構成される。信号および参照の同経路が両凸
レンズ４２を通過することに注目する必要がある。レン
ズ４２を通過した参照ビームは規準ミラー４４によって
反射されてホログラフィ−記録プレート４６に向けられ
る。信号経路は対象物を照明してその信号又は物体ビー
ムと参照ビームとの干渉によってホログラフィ−記録プ
レート４６上に対象物５０の３次元ホログラムを形成す
る。
４２、規準ミラーまたはコリメーター４４、ホログラフ
ィ−記録プレート４６および対象物５０装着用の支持手
段４８から構成される。信号および参照の同経路が両凸
レンズ４２を通過することに注目する必要がある。レン
ズ４２を通過した参照ビームは規準ミラー４４によって
反射されてホログラフィ−記録プレート４６に向けられ
る。信号経路は対象物を照明してその信号又は物体ビー
ムと参照ビームとの干渉によってホログラフィ−記録プ
レート４６上に対象物５０の３次元ホログラムを形成す
る。
レーザー４０は好ましくはクリプトンレーザーとされ、
波長６４７ｍｎのコヒーレント放射線を発生するもので
ある。
波長６４７ｍｎのコヒーレント放射線を発生するもので
ある。
参照経路および信号経路が上述した要件を満足すれば、
ホログラフィ−記録プレート４６上に形成される影像は
破壊されず、即ち鮮明かつエツジのぼやけが存在しない
。
ホログラフィ−記録プレート４６上に形成される影像は
破壊されず、即ち鮮明かつエツジのぼやけが存在しない
。
プレート４６に使用される記録エマルジョンは散乱レベ
ルが最小のものとする必要がある。最近の記録媒体技術
の発展によりホログラムを記録する媒体として重クロム
酸ゼラチンまたは疎水性重合体コンパウンドのいずれか
とするのが好ましい。
ルが最小のものとする必要がある。最近の記録媒体技術
の発展によりホログラムを記録する媒体として重クロム
酸ゼラチンまたは疎水性重合体コンパウンドのいずれか
とするのが好ましい。
上記装置においては、参照および信号の同経路に共通に
ただ１つのレンズと１つのミラーを使用するのみであり
、当該装置全体は第１図に示されるように各経路に別々
にレンズおよびミラーを使用する装置におけるよりも振
動の影響がはるかに少ない。したがって、第２図に示さ
れる装置によれば、構成部材数を少なくしてその製作コ
ストを安価なものにして良好なホログラフィ−影像を得
ることが出来る。
ただ１つのレンズと１つのミラーを使用するのみであり
、当該装置全体は第１図に示されるように各経路に別々
にレンズおよびミラーを使用する装置におけるよりも振
動の影響がはるかに少ない。したがって、第２図に示さ
れる装置によれば、構成部材数を少なくしてその製作コ
ストを安価なものにして良好なホログラフィ−影像を得
ることが出来る。
更に、英国特許出願第２１９４３５３号明細書に開示さ
れる方法にしたがって対象物の位置検出に使用するなら
ば、良好なホログラフィ−影像が得られ、よって該対象
物の形態における傷とか小さなずれ等をより精確に検出
することが出来る。
れる方法にしたがって対象物の位置検出に使用するなら
ば、良好なホログラフィ−影像が得られ、よって該対象
物の形態における傷とか小さなずれ等をより精確に検出
することが出来る。
第１図は従来のホログラフィ−を用いた位置検出装置の
原理を示す図、 第２歯は本発明の装置の概略構成説明図である。 １０．１２．１４・・・検査対象物又は物体、２０・・
レーザー、２２・・・ビームスプリッタ−１２４・・・
ミラー、 ２５．２６・・・レンズ、２８・・・規準
ミラー、 ３０・・・ホログラフィ−影像記録プレート、４０・・
・レーザー、４２・・・両凸レンズ、４４・・・凹面ミ
ラー、 ４６・・・ホログラフィ−影像記録プレート、４８・・
・対象物ホルダー、５０・・・検査対象物。 特許出願人 ホルトロニツタ・テクノロジイズ・リミテ
ッド
原理を示す図、 第２歯は本発明の装置の概略構成説明図である。 １０．１２．１４・・・検査対象物又は物体、２０・・
レーザー、２２・・・ビームスプリッタ−１２４・・・
ミラー、 ２５．２６・・・レンズ、２８・・・規準
ミラー、 ３０・・・ホログラフィ−影像記録プレート、４０・・
・レーザー、４２・・・両凸レンズ、４４・・・凹面ミ
ラー、 ４６・・・ホログラフィ−影像記録プレート、４８・・
・対象物ホルダー、５０・・・検査対象物。 特許出願人 ホルトロニツタ・テクノロジイズ・リミテ
ッド
Claims (5)
- （１）参照ビームおよび信号ビームを用いて写真プレー
トに検査対象物のホログラフイー影像を記録して該対象
物位置を検出する装置において、上記参照ビームは分割
することなくかつ該参照ビームの反射手段および上記対
象物を配置するホルダーを位置決めして次の関係式： ｜Ｌ＿１−Ｌ＿２｜＜Ｌ＿Ｃ ここで、Ｌ＿１およびＬ＿２はそれぞれ参照経路および
信号経路の長さ、Ｌ＿Ｃは干渉を生じ得る経路長差であ
る、 を満足するようにしたことを特徴とする物体の位置検出
装置。 - （２）参照および信号ビームの両者をそれぞれ反射手段
およびホルダーに向かわしめる前に両凸レンズを通過さ
せる、特許請求の範囲第１項記載の装置。 - （３）参照および信号ビームがクリプトンレーザーによ
り発生される特許請求の範囲第１項又は第２項記載の装
置。 - （４）クリプトンレーザーが波長６４７ｍｎのコヒーレ
ント放射線を発生する特許請求の範囲第３項記載の装置
。 - （５）反射手段が規準ミラーである特許請求の範囲第１
項〜第４項のいずれかに記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB87.03228 | 1987-02-12 | ||
| GB878703228A GB8703228D0 (en) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | Positional detection of objects |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63215902A true JPS63215902A (ja) | 1988-09-08 |
Family
ID=10612176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3168088A Pending JPS63215902A (ja) | 1987-02-12 | 1988-02-10 | 物体の位置検出装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0278714A3 (ja) |
| JP (1) | JPS63215902A (ja) |
| GB (2) | GB8703228D0 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10239468A1 (de) * | 2002-08-28 | 2004-03-11 | Sick Ag | Objekterfassung |
| EP2206021B1 (en) | 2007-10-30 | 2015-01-28 | New York University | Tracking and characterizing particles with holographic video microscopy |
| US8315821B2 (en) | 2009-01-13 | 2012-11-20 | New York University | Packing properties of particulate compositions |
| EP2387708B1 (en) * | 2009-01-16 | 2019-05-01 | New York University | Automated real-time particle characterization and three-dimensional velocimetry with holographic video microscopy |
| CN102436170B (zh) * | 2011-10-26 | 2013-10-16 | 哈尔滨工业大学 | 一种提高再现图像分辨率的正交偏振全息记录方法 |
| EP3105638B1 (en) | 2014-02-12 | 2020-07-22 | New York University | Fast feature identification for holographic tracking and characterization of colloidal particles |
| CN104953458B (zh) * | 2014-03-25 | 2018-12-25 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种光加热补偿镜及其使用方法 |
| ES2913524T3 (es) | 2014-11-12 | 2022-06-02 | Univ New York | Huellas coloidales para materiales blandos usando caracterización holográfica total |
| KR102579248B1 (ko) | 2015-09-18 | 2023-09-15 | 뉴욕 유니버시티 | 정밀 슬러리 내 대형 불순물 입자의 홀로그래픽 검출 및 특성화 |
| US11385157B2 (en) | 2016-02-08 | 2022-07-12 | New York University | Holographic characterization of protein aggregates |
| US10670677B2 (en) | 2016-04-22 | 2020-06-02 | New York University | Multi-slice acceleration for magnetic resonance fingerprinting |
| US11543338B2 (en) | 2019-10-25 | 2023-01-03 | New York University | Holographic characterization of irregular particles |
| US11948302B2 (en) | 2020-03-09 | 2024-04-02 | New York University | Automated holographic video microscopy assay |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3506327A (en) * | 1964-04-23 | 1970-04-14 | Battelle Development Corp | Wavefront reconstruction using a coherent reference beam |
| DE1797477A1 (de) * | 1964-04-23 | 1971-09-09 | Battelle Development Corp | Holographische Verfahren,Vorrichtungen und Erzeugnisse |
| DE1547449A1 (de) * | 1967-01-16 | 1970-02-19 | Siemens Ag | Einrichtung zur holographischen Aufnahme und Wiedergabe von Objekten |
| US3535012A (en) * | 1967-10-20 | 1970-10-20 | Nasa | Recording and reconstructing focused image holograms |
| BE763122A (fr) * | 1970-03-04 | 1971-08-18 | Comp Generale Electricite | Dispositif d'etude des petits ecarts entre au moins deux objets |
| GB1291430A (en) * | 1970-12-15 | 1972-10-04 | Marconi Co Ltd | Improvements in or relating to holograms |
-
1987
- 1987-02-12 GB GB878703228A patent/GB8703228D0/en active Pending
-
1988
- 1988-02-08 EP EP88301030A patent/EP0278714A3/en not_active Withdrawn
- 1988-02-08 GB GB08802839A patent/GB2201010A/en active Pending
- 1988-02-10 JP JP3168088A patent/JPS63215902A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8802839D0 (en) | 1988-03-09 |
| EP0278714A3 (en) | 1990-03-21 |
| EP0278714A2 (en) | 1988-08-17 |
| GB8703228D0 (en) | 1987-03-18 |
| GB2201010A (en) | 1988-08-17 |
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