JPS62203003A - 凸非球面形状測定装置 - Google Patents
凸非球面形状測定装置Info
- Publication number
- JPS62203003A JPS62203003A JP61045581A JP4558186A JPS62203003A JP S62203003 A JPS62203003 A JP S62203003A JP 61045581 A JP61045581 A JP 61045581A JP 4558186 A JP4558186 A JP 4558186A JP S62203003 A JPS62203003 A JP S62203003A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- convex
- reflected
- aspherical surface
- half mirror
- Prior art date
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、反射型ノ゛−ンプレートを用いて、凸非球面
の形状を測定する凸非球面形状測定装置に関するもので
ある。
の形状を測定する凸非球面形状測定装置に関するもので
ある。
従来の技術
以下、第２図に基ずいて凸非球面形状測定の従来技術に
ついて説明する。
ついて説明する。
まず、第２図に示すように矢印Ａから入射するレーザ一
平面波が、ハーフミラ−２１で透過光さ反射光とに２等
分される。そして、その透過光は、ハーフミラ−２２を
透過後、凸レンズ２３を透過し、被測凸非球面２４で反
射し、再び凸レンズ２３を透過し、ハーフミラ−２２で
反射し、凸レンズ２５の方向に進む。
平面波が、ハーフミラ−２１で透過光さ反射光とに２等
分される。そして、その透過光は、ハーフミラ−２２を
透過後、凸レンズ２３を透過し、被測凸非球面２４で反
射し、再び凸レンズ２３を透過し、ハーフミラ−２２で
反射し、凸レンズ２５の方向に進む。
一方、ハーフミラ−２１で反射した光はミラー２６ 、
２７で反射し、ホログラム２８で回折し、ハーフミラ−
２２を透過し、凸レンズ２５に至る。ここで、ホログラ
ム２８の位置は、被測凸非球面２４の凸レンズ２３に関
する像位置と共役な位置とする。この時、凸レンズ２５
に至った光は、凸レンズ２５を透過し、ピンホール２９
を経て、ホログラム２８の回折光と、被測凸非球面２４
の凸レンズ２３に関する像を形成する光とは干渉する。
２７で反射し、ホログラム２８で回折し、ハーフミラ−
２２を透過し、凸レンズ２５に至る。ここで、ホログラ
ム２８の位置は、被測凸非球面２４の凸レンズ２３に関
する像位置と共役な位置とする。この時、凸レンズ２５
に至った光は、凸レンズ２５を透過し、ピンホール２９
を経て、ホログラム２８の回折光と、被測凸非球面２４
の凸レンズ２３に関する像を形成する光とは干渉する。
その干渉縞を測定することにより、被測凸非球面の形状
を知ることができる。
を知ることができる。
なお、このような技術を紹介するものとして、Ｐ１９８
２〜１９９２ ）等がある。
２〜１９９２ ）等がある。
発明が解決しようとする問題点
しかし、第２図に示した様な構成では、ハーフミラ−２
枚、ミラー２枚と干渉計の構成要素が多く、そのためミ
ラー、ハーフミラ−の形状誤差、アライメント誤差を取
り除くことが非常に困難だった。また、透過型ホログラ
ムを用いるため、光の利用効率が低く、干渉縞形状のコ
ントラストの低下を招と、測定形状の認識誤差の原因と
なっていた。
枚、ミラー２枚と干渉計の構成要素が多く、そのためミ
ラー、ハーフミラ−の形状誤差、アライメント誤差を取
り除くことが非常に困難だった。また、透過型ホログラ
ムを用いるため、光の利用効率が低く、干渉縞形状のコ
ントラストの低下を招と、測定形状の認識誤差の原因と
なっていた。
本発明は、上記従来技術の欠点に°監み、ミラー系の誤
差要因を減らし、光の利用効率を高くし、被測凸非球面
の測定形状を高精度に認識できることを目的とする。
差要因を減らし、光の利用効率を高くし、被測凸非球面
の測定形状を高精度に認識できることを目的とする。
問題点を解決するだめの手段
本発明はレーサー光源より出射された平面波を透過光と
反射光きに分けるハーフミラ−と、前記ハーフミラ−で
等分された位置に設けられ、前記ハーフミラ−の透過光
と反射光とを入射する同一形状の第１．第２の凸レンズ
と、前記第１の凸レンズの出射光を被測凸非球面で反射
させ、前記第２の凸レンズの出射光を反射型のゾーンプ
レートで反射させ、前記被測凸非球面の反射光が前記第
１の凸レンズを通った後の光と前記反射型のゾーンプレ
ートの反射光光が前記第２のレンズを通った後の光とを
重ねる手段と、その光の重ね合わせにより生じる干渉縞
を観測する観測手段とを設けることにより、上記目的を
達成するものである。
反射光きに分けるハーフミラ−と、前記ハーフミラ−で
等分された位置に設けられ、前記ハーフミラ−の透過光
と反射光とを入射する同一形状の第１．第２の凸レンズ
と、前記第１の凸レンズの出射光を被測凸非球面で反射
させ、前記第２の凸レンズの出射光を反射型のゾーンプ
レートで反射させ、前記被測凸非球面の反射光が前記第
１の凸レンズを通った後の光と前記反射型のゾーンプレ
ートの反射光光が前記第２のレンズを通った後の光とを
重ねる手段と、その光の重ね合わせにより生じる干渉縞
を観測する観測手段とを設けることにより、上記目的を
達成するものである。
作 用
本発明は上記構成のように、ハーフミラ−を１枚用いる
だけで、また反射型のゾーンプレートを用いることによ
り、ミラー系のアライメント誤差、形状誤差を大巾に軽
減し、また光の利用効率が高くなり、干渉縞のコントラ
ストが向上し、干渉縞の読取り誤差要因が軽減され、高
精度で凸非球面を測定することができる。
だけで、また反射型のゾーンプレートを用いることによ
り、ミラー系のアライメント誤差、形状誤差を大巾に軽
減し、また光の利用効率が高くなり、干渉縞のコントラ
ストが向上し、干渉縞の読取り誤差要因が軽減され、高
精度で凸非球面を測定することができる。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例における凸非球面形状測定装
置の要部概念図である。
置の要部概念図である。
第１図において、１はレーザー光源２からのレーザー光
を平面波とするコリメーターレンズ、３はコリメーター
レンズ１を介して入射するレーザー光の平面波を透過光
と反射光とに分けるハーフミラ−１４，５はその透過光
と反射光とが入射する同一形状の凸レンズ、６は被測凸
非球面、７は反射型のゾーンプレート、８は凸レンズ４
，５からの球面波をハーフミラ−３を介して結像させる
結像レンズ、９は結像レンズ８により生じる干渉縞によ
り被測凸非球面６の形状を見る観測面である。
を平面波とするコリメーターレンズ、３はコリメーター
レンズ１を介して入射するレーザー光の平面波を透過光
と反射光とに分けるハーフミラ−１４，５はその透過光
と反射光とが入射する同一形状の凸レンズ、６は被測凸
非球面、７は反射型のゾーンプレート、８は凸レンズ４
，５からの球面波をハーフミラ−３を介して結像させる
結像レンズ、９は結像レンズ８により生じる干渉縞によ
り被測凸非球面６の形状を見る観測面である。
上記構成において、以下その動作を説明する。
ます、レーサー光源２より発したレーザー光は、コリメ
ータレンズｌで平面波となり、ハーフミラ−３で反射光
吉透過光の２つに分かれる。ハーフミラ−３の反射光は
凸レンズ４を通り、被測凸非球面６で反射後、再び凸レ
ンズ４を通り、ハーフミラ−３を介して結像レンズ８に
より干渉縞の観測面９に至る。
ータレンズｌで平面波となり、ハーフミラ−３で反射光
吉透過光の２つに分かれる。ハーフミラ−３の反射光は
凸レンズ４を通り、被測凸非球面６で反射後、再び凸レ
ンズ４を通り、ハーフミラ−３を介して結像レンズ８に
より干渉縞の観測面９に至る。
一方、ハーフミラ−３を通過し、凸レンズ５に至った光
は、反射型のゾーンプレート７で回折し、その光は再度
凸レンズ５を通り、ハーフミラ−３で反射後、結像レン
ズ８を介して干渉縞の観察面に至る。ここで、凸レンズ
４，５は全く同じ形状をしていて、凸レンズ４及び５の
距離がハーフミラ−３から互いに等しいようにし、また
反射型のゾーンプレート７による回折光が被測凸非球面
・ｌの反射光と等しくなるように反射型のゾーンプレー
ト７を作成することにより、干渉縞の観測面９には被測
凸非球面６の本来の形状からのずれの分だけの干渉縞が
観察できる。
は、反射型のゾーンプレート７で回折し、その光は再度
凸レンズ５を通り、ハーフミラ−３で反射後、結像レン
ズ８を介して干渉縞の観察面に至る。ここで、凸レンズ
４，５は全く同じ形状をしていて、凸レンズ４及び５の
距離がハーフミラ−３から互いに等しいようにし、また
反射型のゾーンプレート７による回折光が被測凸非球面
・ｌの反射光と等しくなるように反射型のゾーンプレー
ト７を作成することにより、干渉縞の観測面９には被測
凸非球面６の本来の形状からのずれの分だけの干渉縞が
観察できる。
発明の効果
以上の様に本発明では、ハーフミラ−１枚を用いるだけ
で、他に一切のミラー系を用いず、ミラ−系のアライメ
ント誤差、形状誤差を大巾ｌこ軽減し、かつ、反射型の
ゾーンプレートを用いることにより、光の利用効率が高
くなり、干渉縞のコントラストが向上し、干渉縞の読取
り誤差要因が軽減され、高精度で凸非球面を測定するこ
きがでと、その効果は大きい。
で、他に一切のミラー系を用いず、ミラ−系のアライメ
ント誤差、形状誤差を大巾ｌこ軽減し、かつ、反射型の
ゾーンプレートを用いることにより、光の利用効率が高
くなり、干渉縞のコントラストが向上し、干渉縞の読取
り誤差要因が軽減され、高精度で凸非球面を測定するこ
きがでと、その効果は大きい。
第１図は本発明の一実施例における凸非球面形状測定装
置の要部概念図、第２図は従来の凸非球面形状測定装置
の要部概念図である。 １・・コリメーターレンズ、２・ レーザー光源、３・
・・ハーフミラ−１４，５・・・凸レンズ、６・・・被
測凸非球面、７・・・反射型のゾーンプレート、８・・
・結像レンズ、９・・・観測面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はか１名Ｍｌ
図 ”ｆ Ｔ ｖ−ｈ町のｗｙ口
置の要部概念図、第２図は従来の凸非球面形状測定装置
の要部概念図である。 １・・コリメーターレンズ、２・ レーザー光源、３・
・・ハーフミラ−１４，５・・・凸レンズ、６・・・被
測凸非球面、７・・・反射型のゾーンプレート、８・・
・結像レンズ、９・・・観測面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はか１名Ｍｌ
図 ”ｆ Ｔ ｖ−ｈ町のｗｙ口
Claims (1)
- レーザー光源より出射された平面波を透過光と反射光と
に分けるハーフミラーと、前記ハーフミラーで等分され
た位置に設けられ、前記ハーフミラーの透過光と反射光
とを入射する同一形状の第１、第２の凸レンズと、前記
第１の凸レンズの出射光を被測凸非球面で反射させ、前
記第２の凸レンズの出射光を反射型のゾーンプレートで
反射させ、前記被測凸非球面の反射光が前記第１の凸レ
ンズを通った後の光と前記反射型のゾーンプレートの反
射光光が前記第２のレンズを通った後の光とを重ねる手
段と、その光の重ね合わせにより生じる干渉縞を観測す
る観測手段とを具備する凸非球面形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61045581A JPS62203003A (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | 凸非球面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61045581A JPS62203003A (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | 凸非球面形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62203003A true JPS62203003A (ja) | 1987-09-07 |
Family
ID=12723313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61045581A Pending JPS62203003A (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | 凸非球面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62203003A (ja) |
-
1986
- 1986-03-03 JP JP61045581A patent/JPS62203003A/ja active Pending
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