JPS63216965A - セラミツク部材の製造方法 - Google Patents

セラミツク部材の製造方法

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Publication number
JPS63216965A
JPS63216965A JP5017987A JP5017987A JPS63216965A JP S63216965 A JPS63216965 A JP S63216965A JP 5017987 A JP5017987 A JP 5017987A JP 5017987 A JP5017987 A JP 5017987A JP S63216965 A JPS63216965 A JP S63216965A
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JP
Japan
Prior art keywords
ceramic member
mold material
ceramic
manufacturing
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP5017987A
Other languages
English (en)
Inventor
Masashi Takahashi
雅士 高橋
Koichi Tajima
多嶋 孝一
Yoshiyasu Ito
義康 伊藤
Motoji Tsubota
基司 坪田
Akinori Nagata
永田 晃則
Yutaka Ishiwatari
裕 石渡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS63216965A publication Critical patent/JPS63216965A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は繰返し高温負荷に耐えるセラミック部材の製造
方法に関する。
(従来の技術) 一般にセラミック部材はセラミック粉末を水、樹脂等の
バインダーと混合して成型し、これを焼結して製造され
る。
焼結法によって製造されたセラミック部材は、周知のよ
うに完成時の寸法精度が悪く、したがってたとえば板状
の部材では所望の板厚を有する薄板を製作することを困
難であり、また完成時の部材の密度、すなわち気孔率も
希望どおりのものは得られないのが普通である。
(発明が解決しようとする問題点) このようにして製作されたセラミック部材を高温下で使
用する場合、たとえばるつぼ材料として繰返し用いるよ
うなときには、使用状態である高温下における膨張と常
温における収縮とを繰返すこととなる。このとき焼結法
によって製作されたセラミック部材は一般に気孔率が小
さく、膨張・収縮を繰返した場合に生ずる歪み応力によ
って早期に破壊する傾向が強かった。
本発明の目的は、繰返し熱応力に対する耐性に優れたセ
ラミック部材を容易に製作することができるセラミック
部材の製造方法を提供することにある。
〔発明の構成〕
(問題点を解決するための手段) 本発明においては、セラミック部材の製造方法として、
所要のセラミック部材の外形に合致した表面形状を有す
る型材を準備し、この型材の表面にセラミック粉末を溶
射して薄膜を形成し、次いで前記型材を除去して所要形
状のセラミック部材を得るようにした。
厚さ、気孔率等を容易に制御することが可能であり、そ
の後型材を除去することによって、加工が容易な型材ど
うりの寸法精度を持つセラミック部材を得ることができ
る。
(実施例) 以下本発明の一実施例を第1図乃至第4図を参照して説
明する。
第1図は1本発明をたとえば金属溶解用るつぼの製造方
法に適用した場合の工程を表す流れ図。
第2図は、第1図の各工程における半製品等の概略を示
す模式図である。
第1図および第2図において、第1工程[型材の作製]
1では、たとえば金属亜鉛(亜鉛合金であってもよい)
材にプレス加工、溶接等周知の加工法を適用して型材1
0を製作する(第2図(a))。
型材10は、特にその内面11が、所要のるつぼの外形
に合致するような寸法精度とされた縁付きの椀状に加工
される。
第2工程[セラミック材の溶射]2では、型材lOの内
面11に酸化ジルコニウム(たとえば安定化ジルコニア
であってキよい)の粉末を溶射法たとえばプラズマ溶射
によって吹付け、酸化ジルコニウムのコーティング層1
2を形成させる(第2図(b))。
第3工程[型材の除去]3では、第2工程2を終了した
半製品を熱処理炉13(第2図(C))に収容し、約1
200Kに加熱するJ型材10は溶解・蒸発してコーテ
ィング層12から取除かれ、熱処理炉13の底部に設け
られた流出口14を経て排出されるので、コーティング
層12のみが残存する。
第4工程[洗浄]4では、第3工程3を終了したコーテ
ィング層12を取出し、たとえば王水15などによる酸
洗いを行なって、溶解後の残滓を取除き清浄にする(第
2図(d))。
第5工程[仕上げ加工]5では、第4工程4を終了した
コーティング層12に、ペーパーによる研磨等の仕上げ
加工を実施して、るつぼ12(第2@(嗜))として完
成させる。
このような製造方法では、型材lOはその材質上加工が
容易であるので、るつぼ12が複雑な形状であっても対
応することが可能であり、さらに型材10を溶解除去す
るための加熱温度は、焼結法でるつぼ12を製作すると
きに用いられる温度よりも低く、勿論焼結時に混入され
るバインダーも必要としないので完成したるつぼ12の
熱収縮量は小さく、寸法精度が良好なものを製作するこ
とができる。
また型材10(亜鉛)の融点は693K、蒸発点は11
79にであって、コーティング層12をなす酸化ジルコ
ニウムの融点2690 Kよりもはるかに低いので、容
易に差別して溶解除去することができる。
さらに第2工程における溶射条件を変えることにより、
完成したるつぼ12の気孔率を制御することが可能であ
り、また形成されるコーティング層12の厚さも容易に
選定することができる。したがって気孔率が大きく(密
度小)且つ薄肉のもの、すなわち繰返し熱負荷に対する
耐性が優れたるつぼ12を製作することができる。
溶射条件による気孔率制御の一例として、第3図に溶射
ガンと型材10間の距離りに対するるつぼ率の関係を示
す、なお両図中、■はプラズマ電極と溶射ノズル間の電
圧、■は溶射ガンの移動速度。
Ar、 Heはそれぞれ吹付はガスとその流量を表す。
ここで上記実施例における第2工程2の溶射条件を変え
て、5〜30%の気孔率を与えた実施例(a)〜(d)
について、1000℃と24℃間の繰返し熱負荷試験を
行なった結果を従来例と比較して第1表に示す、なお従
来例は酸化ジルコニウムの焼結体として、本実施例と同
一肉厚・形状に成型されたものを用いた。
第1表 第1表から明らかなように、気孔率を増加させたとき、
特に気孔率20%以上における繰返し熱負荷耐力の向上
は著しい、これに対し気孔率2%の焼結体である従来例
は、1回の熱負荷で既に割れが発生した。
なお型材10としては適宜の有機物樹脂を選択して用い
ることもできる。
また型材10として金属アルミニウム、アルミニウム合
金、金属亜鉛または亜鉛合金等を用いるとともに、上記
第3工程3を、熱溶解の代わりにたとえば王水等の強酸
を用いた溶解法としてもよい。
さらに型材10として木材9紙等を用いるとともに、上
記第3工程3を、熱溶解の代わりに燃焼による焼却して
もよい。
さらにまた型材10の如何にかかわらず、上記第3工程
3を、適宜の機械的加工法を用いて第2工程2の半製品
から型材10を除去するようにしてもよい。
なお溶射するセラミック材は酸化ジルコニウムに限定さ
れることなく、その他のセラミック材、たとえば酸化イ
ツトリウム等も用いることができる。またコーティング
層12は単層に限られず、異材質のセラミック材を順次
溶射することによって。
焼結体では困難な二層、三層等の構造のセラミック部材
を製造することができる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、薄厚で且つ気孔率が大きく、また均質
で局部応力が発生し難いため、繰返し熱応力に対する耐
性が優れたセラミック部材の製造方法を提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の工程を示す流れ図、第2図
は第1図の各工程における半製品等の概略を示す模式図
、第3図および第4図はそれぞれ第1図における工程の
作用を説明するための線図である。 10・・・型材 12・・・コーティング層/るつぼ 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同  三俣弘文 第3図 電 〉汽 1  (A) 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、所定形状のセラミック部材の外形に合致した表面形
    状を有する型材を準備し、この型材の表面にセラミック
    粉末を溶射して薄膜を形成し、次いで前記型材を除去し
    て所要形状のセラミック部材を得ることを特徴とするセ
    ラミック部材の製造方法。 2、前記セラミック粉末は酸化ジルコニウムであること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載のセラミック部
    材の製造方法。 3、前記セラミック粉末を溶射する工程は異材質のセラ
    ミック粉末を順次溶射して多層の薄膜を形成させる特許
    請求の範囲第1項記載のセラミック部材の製造方法。 4、前記型材を除去する工程に機械的加工法を用いた特
    許請求の範囲第1項記載のセラミック部材の製造方法。 5、前記型材を金属亜鉛、亜鉛合金、有機物樹脂のいず
    れかとし、前記型材を除去する工程を加熱による溶解法
    とした特許請求の範囲第1項記載のセラミック部材の製
    造方法。 6、前記型材は金属アルミニウム、アルミニウム合金、
    金属亜鉛、亜鉛合金のいずれかとし、前記型材を除去す
    る工程を強酸による溶解法とした特許請求の範囲第1項
    記載のセラミック部材の製造方法。 7、前記型材は木材、紙のいずれかとし、前記型材を除
    去する工程を燃焼による焼却法とした特許請求の範囲第
    1項記載のセラミック部材の製造方法。
JP5017987A 1987-03-06 1987-03-06 セラミツク部材の製造方法 Pending JPS63216965A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210084341A (ko) * 2019-12-23 2021-07-07 주식회사 히타치하이테크 플라스마 처리 장치의 부품의 제조 방법 및 부품의 검사 방법

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