JPS6321886Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6321886Y2 JPS6321886Y2 JP1981094853U JP9485381U JPS6321886Y2 JP S6321886 Y2 JPS6321886 Y2 JP S6321886Y2 JP 1981094853 U JP1981094853 U JP 1981094853U JP 9485381 U JP9485381 U JP 9485381U JP S6321886 Y2 JPS6321886 Y2 JP S6321886Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- sample
- scanning
- electron beam
- field image
- Prior art date
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- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は薄膜試料を透過した電子による明視野
像及び暗視野像を容易に選択して観察できる透過
走査像観察装置に関する。
像及び暗視野像を容易に選択して観察できる透過
走査像観察装置に関する。
従来、透過像を観察する場合、試料の下方に電
子線検出器を固定し、該試料と検出器の間に電子
線偏向コイルを置き、明視野像の観察にあたつて
は前記偏向コイルの励磁をオフにして中心ビーム
のみを検出器に入射せしめ、又暗視野像観察時に
は偏向コイルに適当に電流を流して任意な回折ビ
ームを検出器に入射せしめるように構成してい
る。
子線検出器を固定し、該試料と検出器の間に電子
線偏向コイルを置き、明視野像の観察にあたつて
は前記偏向コイルの励磁をオフにして中心ビーム
のみを検出器に入射せしめ、又暗視野像観察時に
は偏向コイルに適当に電流を流して任意な回折ビ
ームを検出器に入射せしめるように構成してい
る。
この様な装置を用いると電気的に明、暗視野像
の切換えができ、取扱いが簡便ではあるが、試料
ステージに近接して偏向コイルを置かねばならな
いため、試料の移動や傾斜、回転に制限を与える
ことになる。
の切換えができ、取扱いが簡便ではあるが、試料
ステージに近接して偏向コイルを置かねばならな
いため、試料の移動や傾斜、回転に制限を与える
ことになる。
本考案は上記如き障害になるようなものを用い
ることなく簡便に明視野像と暗視野像の切換えを
可能にする装置を提供することを目的としてい
る。
ることなく簡便に明視野像と暗視野像の切換えを
可能にする装置を提供することを目的としてい
る。
そのため本考案は、電子線を細く集束するため
の電子レンズ、該電子レンズの後段に配置され薄
膜試料を保持可能な試料ステージ、前記電子レン
ズによつて集束された電子線を前記試料上で２次
元的に走査する走査手段、該照射の結果前記試料
を透過した電子を検出する検出器、該検出器の出
力信号が輝度信号として供給される表示装置、前
記検出器の入射部を取り囲んで配置された蛍光
板、前記検出器に取り込む像を透過走査暗視野像
と透過走査明視野像間で切換えるため該検出器及
び蛍光板を一体的に前記電子線の軸と垂直な方向
へ移動させるための移動手段、前記蛍光板上を観
察するため試料に設けられた観察窓を備えたこと
を特徴としている。
の電子レンズ、該電子レンズの後段に配置され薄
膜試料を保持可能な試料ステージ、前記電子レン
ズによつて集束された電子線を前記試料上で２次
元的に走査する走査手段、該照射の結果前記試料
を透過した電子を検出する検出器、該検出器の出
力信号が輝度信号として供給される表示装置、前
記検出器の入射部を取り囲んで配置された蛍光
板、前記検出器に取り込む像を透過走査暗視野像
と透過走査明視野像間で切換えるため該検出器及
び蛍光板を一体的に前記電子線の軸と垂直な方向
へ移動させるための移動手段、前記蛍光板上を観
察するため試料に設けられた観察窓を備えたこと
を特徴としている。
以下図面に示した実施例を説明する。図中、１
は試料室で内部は高真空に排気される。この試料
室の上には対物レンズ２が積載されており、更に
その上に集束レンズ３が固設される。集束レンズ
の上には電子銃が置かれ、これより出た電子線を
該集束レンズ及び対物レンズ２により細く集束す
る。４ａ，４ｂは対物レンズ２の中に配設された
偏向コイルであり、図示外の走査電源からの水
平、垂直鋸歯状波信号が供給され、前記電子線を
Ｘ，Ｙ方向に走査する。対物レンズ２の直下には
第１の試料ステージ５が置かれ、薄膜試料６ａ，
６ｂ，６ｃを保持している。この試料ステージは
試料室外の駆動機構７に連結されており、試料を
電子線軸と直角な平面内で任意に移動可能であ
る。８は第２の試料ステージで、第１のステージ
と同様駆動機構９に連結されており、電子線軸に
対し直角な平面内で任意に移動できる。このステ
ージは対物レンズから遠く離れており、ワーキン
グデイスタンスを長くする必要がある観察や分析
のとき試料をこのステージにセツトする。本実施
例においてはこのステージを用し、透過電子の検
出器１０をこれに固定し、該検出器の位置を駆動
機構９を用いて調整できるようになしてある。こ
の検出器の上には螢光板１１が置かれ、その中央
部にはシンチレータ１２が設けられる。このシン
チレータは入射電子を光に変換するもので、この
変換された光は光電子増倍管などの検出器１０に
検出される。この検出器の出力は表示装置に画像
信号として供給される。１３は試料室１の上面に
設けた観察窓でこれを通して螢光板上のパターン
を観察できる。
は試料室で内部は高真空に排気される。この試料
室の上には対物レンズ２が積載されており、更に
その上に集束レンズ３が固設される。集束レンズ
の上には電子銃が置かれ、これより出た電子線を
該集束レンズ及び対物レンズ２により細く集束す
る。４ａ，４ｂは対物レンズ２の中に配設された
偏向コイルであり、図示外の走査電源からの水
平、垂直鋸歯状波信号が供給され、前記電子線を
Ｘ，Ｙ方向に走査する。対物レンズ２の直下には
第１の試料ステージ５が置かれ、薄膜試料６ａ，
６ｂ，６ｃを保持している。この試料ステージは
試料室外の駆動機構７に連結されており、試料を
電子線軸と直角な平面内で任意に移動可能であ
る。８は第２の試料ステージで、第１のステージ
と同様駆動機構９に連結されており、電子線軸に
対し直角な平面内で任意に移動できる。このステ
ージは対物レンズから遠く離れており、ワーキン
グデイスタンスを長くする必要がある観察や分析
のとき試料をこのステージにセツトする。本実施
例においてはこのステージを用し、透過電子の検
出器１０をこれに固定し、該検出器の位置を駆動
機構９を用いて調整できるようになしてある。こ
の検出器の上には螢光板１１が置かれ、その中央
部にはシンチレータ１２が設けられる。このシン
チレータは入射電子を光に変換するもので、この
変換された光は光電子増倍管などの検出器１０に
検出される。この検出器の出力は表示装置に画像
信号として供給される。１３は試料室１の上面に
設けた観察窓でこれを通して螢光板上のパターン
を観察できる。
この様な構成において薄膜試料をステージ５に
取り付け、図の如く６ｂが電子線で照射されてい
るとする。試料からの透過電子は中心ビームEB1
と回折ビームEB2，EB3，……に分かれ螢光板１
１上に投射する。そこで駆動機構９を操作して中
心ビームEB1がシンチレータ１２に入射するよう
にすると明視野の観察ができ、又、所望の回折ビ
ーム、例えばEB2がシンチレータ１２に入射する
ようにすれば暗視野像を観察することができる。
中心ビーム、回折ビームの選択に当つては観察窓
１３から螢光板１１上のパターンをみながら所望
のビームがシンチレータ１２に入射するように操
作される。
取り付け、図の如く６ｂが電子線で照射されてい
るとする。試料からの透過電子は中心ビームEB1
と回折ビームEB2，EB3，……に分かれ螢光板１
１上に投射する。そこで駆動機構９を操作して中
心ビームEB1がシンチレータ１２に入射するよう
にすると明視野の観察ができ、又、所望の回折ビ
ーム、例えばEB2がシンチレータ１２に入射する
ようにすれば暗視野像を観察することができる。
中心ビーム、回折ビームの選択に当つては観察窓
１３から螢光板１１上のパターンをみながら所望
のビームがシンチレータ１２に入射するように操
作される。
尚、上述した実施例においては、蛍光板及び検
出器を一体的に移動させるため、これらを第２試
料ステージの上に載置するようにしたが、蛍光板
及び検出器を一体的に移動させるための移動機構
を別個に設けるようにしても良い。
出器を一体的に移動させるため、これらを第２試
料ステージの上に載置するようにしたが、蛍光板
及び検出器を一体的に移動させるための移動機構
を別個に設けるようにしても良い。
上述した説明から明らかなように、本考案によ
れば、偏向コイル等の障害物を設けることなく透
過走査明視野像と透過走査暗視野像の切換を行な
うことができるため、透過走査明視野像と透過走
査暗視野像の切換を行ない得るという長所を損う
ことなく、試料ステージ５に保持された試料を大
きく傾斜させて観察することができる。
れば、偏向コイル等の障害物を設けることなく透
過走査明視野像と透過走査暗視野像の切換を行な
うことができるため、透過走査明視野像と透過走
査暗視野像の切換を行ない得るという長所を損う
ことなく、試料ステージ５に保持された試料を大
きく傾斜させて観察することができる。
添付図面は本考案の一実施例を示す断面図であ
る。 １：試料室、２：対物レンズ、３：集束レン
ズ、４ａ，４ｂ：偏向コイル、５：第１試料ステ
ージ、６ａ，６ｂ，６ｃ：薄膜試料、７：駆動機
構、８：第２試料ステージ、９：駆動機構、１
０：検出器、１１：螢光板、１２：シンチレー
タ、１３：観察窓。
る。 １：試料室、２：対物レンズ、３：集束レン
ズ、４ａ，４ｂ：偏向コイル、５：第１試料ステ
ージ、６ａ，６ｂ，６ｃ：薄膜試料、７：駆動機
構、８：第２試料ステージ、９：駆動機構、１
０：検出器、１１：螢光板、１２：シンチレー
タ、１３：観察窓。
Claims (1)
- 電子線を細く集束するための電子レンズ、該電
子レンズの後段に配置され薄膜試料を保持可能な
試料ステージ、前記電子レンズによつて集束され
た電子線を前記試料上で２次元的に走査する走査
手段、該照射の結果前記試料を透過した電子を検
出する検出器、該検出器の出力信号が輝度信号と
して供給される表示装置、前記検出器の入射部を
取り囲んで配置された蛍光板、前記検出器に取り
込む像を透過走査暗視野像と透過走査明視野像間
で切換えるため該検出器及び蛍光板を一体的に前
記電子線の軸と垂直な方向へ移動させるための移
動手段、前記蛍光板上を観察するため試料室に設
けられた観察窓を備えたことを特徴とする透過走
査像観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9485381U JPS582856U (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 透過走査像観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9485381U JPS582856U (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 透過走査像観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS582856U JPS582856U (ja) | 1983-01-10 |
| JPS6321886Y2 true JPS6321886Y2 (ja) | 1988-06-16 |
Family
ID=29889774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9485381U Granted JPS582856U (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 透過走査像観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582856U (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6327683U (ja) * | 1986-08-05 | 1988-02-23 | ||
| WO2014192361A1 (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料観察方法 |
| JP6191636B2 (ja) * | 2014-03-03 | 2017-09-06 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 電子線を用いた試料観察方法、および、電子顕微鏡 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5824900B2 (ja) * | 1978-02-27 | 1983-05-24 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |
| JPS5938701B2 (ja) * | 1979-04-10 | 1984-09-18 | 株式会社国際精工 | 二段試料台を備えた走査型電子顕微鏡 |
-
1981
- 1981-06-26 JP JP9485381U patent/JPS582856U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS582856U (ja) | 1983-01-10 |
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