JPS63220780A - 超音波モ−タ - Google Patents
超音波モ−タInfo
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- JPS63220780A JPS63220780A JP62054456A JP5445687A JPS63220780A JP S63220780 A JPS63220780 A JP S63220780A JP 62054456 A JP62054456 A JP 62054456A JP 5445687 A JP5445687 A JP 5445687A JP S63220780 A JPS63220780 A JP S63220780A
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- ultrasonic motor
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Links
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- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
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- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的J
(産業上の利用分野)
この発明は、屈曲振動を利用した超音波モータに関する
。
。
(従来の技術)
圧電素子を用いた超音波モータの研究、 141発が行
われでいるが、その原理、構造もさまざまである。たと
えば、弾性進行波を利用し回転運動を行う超音波モータ
は、第27図および第28図に示ずように複数個の圧電
素子61を弾性体リングに取付け、該圧電素子61を位
相の異なる信号で順次駆動すると弾性体リング62には
楕円運動を行う弾性進行波63が発生する。
われでいるが、その原理、構造もさまざまである。たと
えば、弾性進行波を利用し回転運動を行う超音波モータ
は、第27図および第28図に示ずように複数個の圧電
素子61を弾性体リングに取付け、該圧電素子61を位
相の異なる信号で順次駆動すると弾性体リング62には
楕円運動を行う弾性進行波63が発生する。
この楕円運動を利用して弾性体リング62に加圧接触さ
せたロータ64を回転させていたが、この構成からなる
超音波モータでは多数個の圧電素子61を要し、かつこ
れらの圧電素子61をそれぞれ位相の、S?!なる信号
で駆動しなければならず、このため駆動回路が複雑とな
り大形化せざるを得なかった。また弾性体リング62に
発生する弾性進行波63の楕円運動を利用して回転運動
を11でいるため、入力する電気エネルギーに対し出力
される機械的エネルギーが小さく効率が低い問題点があ
った。
せたロータ64を回転させていたが、この構成からなる
超音波モータでは多数個の圧電素子61を要し、かつこ
れらの圧電素子61をそれぞれ位相の、S?!なる信号
で駆動しなければならず、このため駆動回路が複雑とな
り大形化せざるを得なかった。また弾性体リング62に
発生する弾性進行波63の楕円運動を利用して回転運動
を11でいるため、入力する電気エネルギーに対し出力
される機械的エネルギーが小さく効率が低い問題点があ
った。
(発明が解決しようとする問題点)
この発明では、厚み方向または縦方向振動を行う圧電素
子を使用して駆動回路構成が簡易であり、出力効率の高
い、かつ小形化できる超音波モータを提供づる−6ので
ある。
子を使用して駆動回路構成が簡易であり、出力効率の高
い、かつ小形化できる超音波モータを提供づる−6ので
ある。
[発明の構成1
(問題点を解決するための手段)
この発明になる超音波[−タは、ステータの一面からス
リットを設けるとともに、該スリットを設置)だ面に形
成した段差によって接触面を形成し、該接触面にロータ
を接触させ、または接触なるようにし、前記スリットに
よって区分されたステータの側面に凹部を設け、該凹部
の上下面に密着固定した厚み方向または縦方向振動を行
う圧電素子を駆動させることによりステータを屈曲振動
させロータを回転させるしのである。
リットを設けるとともに、該スリットを設置)だ面に形
成した段差によって接触面を形成し、該接触面にロータ
を接触させ、または接触なるようにし、前記スリットに
よって区分されたステータの側面に凹部を設け、該凹部
の上下面に密着固定した厚み方向または縦方向振動を行
う圧電素子を駆動させることによりステータを屈曲振動
させロータを回転させるしのである。
(作用)
この発明になる超音波モータは、ステータの側面に設け
た凹部に密着固定した厚み方向または縦方向振動を行う
圧電素子を駆動することによりステータに屈曲振動を生
じさせ、該屈曲振動を直接ロータに伝達づるものである
から、ステータからロータへの伝達効率が高くなるもの
である。
た凹部に密着固定した厚み方向または縦方向振動を行う
圧電素子を駆動することによりステータに屈曲振動を生
じさせ、該屈曲振動を直接ロータに伝達づるものである
から、ステータからロータへの伝達効率が高くなるもの
である。
(実施例)
実施例1
第1図に分解斜視図、第2図に組立図を示すように、厚
み方向または縦方向振動を行う圧電素子1はステータの
一表面から形成したスリット12によって区分された側
面に凹部8を設け、該凹部8の上下面に密着させ、接着
などにより固定されており、前記ステータ2の前記スリ
ット12を形成した面にはロータ3.ベアリング4、ワ
クシ1フ5.スプリング6などを介してビス7によりス
テータ2に加圧状態のまま取着される。前記ステータ2
は図示のように、前記2本のスリット12を形成したは
か段差11を設GJ 、該段差11によって接触面10
を形成しCある。このような構成からなる超音波モータ
において、圧電素子1に電圧を印加して駆動させると、
ステータ2は2本のスリット12を形成しであるために
、図示のような屈曲振#h14を行うので接触面10に
は13なるベクトルが働き、これにJ、ってロータ3は
回転する。このステータ2の他の例を第3図〜第7図に
示すが、それぞれ12a、12b、12c、12d。
み方向または縦方向振動を行う圧電素子1はステータの
一表面から形成したスリット12によって区分された側
面に凹部8を設け、該凹部8の上下面に密着させ、接着
などにより固定されており、前記ステータ2の前記スリ
ット12を形成した面にはロータ3.ベアリング4、ワ
クシ1フ5.スプリング6などを介してビス7によりス
テータ2に加圧状態のまま取着される。前記ステータ2
は図示のように、前記2本のスリット12を形成したは
か段差11を設GJ 、該段差11によって接触面10
を形成しCある。このような構成からなる超音波モータ
において、圧電素子1に電圧を印加して駆動させると、
ステータ2は2本のスリット12を形成しであるために
、図示のような屈曲振#h14を行うので接触面10に
は13なるベクトルが働き、これにJ、ってロータ3は
回転する。このステータ2の他の例を第3図〜第7図に
示すが、それぞれ12a、12b、12c、12d。
12eがスリットであり、10a、10b。
10c、10d、10eが接触面で、ロータに接する部
分であり、11a、11b、llc。
分であり、11a、11b、llc。
11d、11eは段差である。なJ3、ff13図43
よび第4図ではスリット12a、12bを直線的平行状
のものを示したが、第5図に示ずように曲線的なスリッ
ト12cの如く湾曲状にしたちのぐもよい。また、第6
図に示したステータの正面図を第8図に示すが、第6図
および第7図のようにスリンt−12d、12cはひと
つづきになっていてもよい。さらに接触面については、
第4図、第5図および第7図に示すように細分化されて
いるような構成でもよい。また第9図〜第12図にステ
ータの接触面の拡大1個を示すが、第9図に示すように
接触面101は外から内に下がった勾配を有した構造で
6よく、第10図に示すように細分化し、勾配を右する
段差状の接触面10Qでもよい。この場合ステータが屈
曲したとぎ、ロータに接Jる面積を人きくとれるため、
より大きな1−ルクを右し、伝達効率がすぐれているこ
とが確認された。、’t’Lお、第11図に示すように
接触面10hは外から内に上がった勾配、第12図に示
すように曲線からなる勾配の接触向101でもよい。こ
のような勾配を用いて超音波の回転方向を任意に定める
ことも可能ひある。また第2図においてステータ2 G
J接接触10にてロータ3に接触している旨述べたが、
屈曲振動を行ったときのみロータ3が接触向10に接触
するようにしてもよい。
よび第4図ではスリット12a、12bを直線的平行状
のものを示したが、第5図に示ずように曲線的なスリッ
ト12cの如く湾曲状にしたちのぐもよい。また、第6
図に示したステータの正面図を第8図に示すが、第6図
および第7図のようにスリンt−12d、12cはひと
つづきになっていてもよい。さらに接触面については、
第4図、第5図および第7図に示すように細分化されて
いるような構成でもよい。また第9図〜第12図にステ
ータの接触面の拡大1個を示すが、第9図に示すように
接触面101は外から内に下がった勾配を有した構造で
6よく、第10図に示すように細分化し、勾配を右する
段差状の接触面10Qでもよい。この場合ステータが屈
曲したとぎ、ロータに接Jる面積を人きくとれるため、
より大きな1−ルクを右し、伝達効率がすぐれているこ
とが確認された。、’t’Lお、第11図に示すように
接触面10hは外から内に上がった勾配、第12図に示
すように曲線からなる勾配の接触向101でもよい。こ
のような勾配を用いて超音波の回転方向を任意に定める
ことも可能ひある。また第2図においてステータ2 G
J接接触10にてロータ3に接触している旨述べたが、
屈曲振動を行ったときのみロータ3が接触向10に接触
するようにしてもよい。
実施例2
第13に斜視図、第14図に平面図を承りように、ステ
ータ18に3本以上のスリット22を形成し、該スリッ
ト22に相当する数の段差21および接触向20を設け
、その他は実施例1の第1図43よび第2図と同じよう
な部品を用いて超音波モータを構成する。なお、前記ス
リット22により区分された前記ステータ18の側面に
設けた凹部23は、圧電素゛了を密着固定するためのも
のであり、圧電素子の密着固定構造としで、凹部23の
上下面に密着固定することは勿論ぐある。このようなス
テータの他の実施例として第15図の如く段差21aに
よって形成しノζ接触面20aを径方向に細分したり、
あるいは第16図の如(段差21bによって形成した接
触面20t)を円周状に綱介したものでもよい。さらに
この径方向と円周状とを組合せたものからなる段差およ
び接触面を設けたものも同様の効果を得ることができる
し、接触面に勾配を形成したもので6よい。
ータ18に3本以上のスリット22を形成し、該スリッ
ト22に相当する数の段差21および接触向20を設け
、その他は実施例1の第1図43よび第2図と同じよう
な部品を用いて超音波モータを構成する。なお、前記ス
リット22により区分された前記ステータ18の側面に
設けた凹部23は、圧電素゛了を密着固定するためのも
のであり、圧電素子の密着固定構造としで、凹部23の
上下面に密着固定することは勿論ぐある。このようなス
テータの他の実施例として第15図の如く段差21aに
よって形成しノζ接触面20aを径方向に細分したり、
あるいは第16図の如(段差21bによって形成した接
触面20t)を円周状に綱介したものでもよい。さらに
この径方向と円周状とを組合せたものからなる段差およ
び接触面を設けたものも同様の効果を得ることができる
し、接触面に勾配を形成したもので6よい。
実施N3
第17図に斜視図、第18図に平面図、第19図に圧M
素子を固着したときの側面図に示すもので構成し、fi
f11型の厚み方向または縦方向振動を行う圧電素子を
用い、他は実施PA1と同様の部品を使用した超音波モ
ータの実施例を示す。すなわち第17図および第18図
tよ、スリット321段差31.接触面30 Jj J
:び凹部33を形成したものであり、第19図は該凹r
Ji33に積層型の圧ffi素子35を51着したと3
の構成を示すものであり、第20図は接触iT+130
aをn線状に細分したちのぐある。またステータの形を
第21図の如く6角形として接触面30b1段差31b
およびスリット32bを形成し、たちのなど、ステータ
の形を多角形としたものも同効である。
素子を固着したときの側面図に示すもので構成し、fi
f11型の厚み方向または縦方向振動を行う圧電素子を
用い、他は実施PA1と同様の部品を使用した超音波モ
ータの実施例を示す。すなわち第17図および第18図
tよ、スリット321段差31.接触面30 Jj J
:び凹部33を形成したものであり、第19図は該凹r
Ji33に積層型の圧ffi素子35を51着したと3
の構成を示すものであり、第20図は接触iT+130
aをn線状に細分したちのぐある。またステータの形を
第21図の如く6角形として接触面30b1段差31b
およびスリット32bを形成し、たちのなど、ステータ
の形を多角形としたものも同効である。
実施例4
第22図にff電素子を固着したときのステータの正面
図、第23図にステータの平面図を示す。すなわち積層
型の厚み方向または縦方向振動を行う圧電素子45はス
テータ38のスリット42によって区分された側面の凹
部43に取付けられており、該スリット42および凹部
43は切り火き44をイiしている。第22図および第
23図におい−<接触面は40で、段差(、監4′1で
ある。この実施例でもステータの形は円形(、l限らず
、第24図に承りように4角形など多角形のものを用い
てしよい。第24図中400は接触面、41a1汀■、
42aはスリットである。
図、第23図にステータの平面図を示す。すなわち積層
型の厚み方向または縦方向振動を行う圧電素子45はス
テータ38のスリット42によって区分された側面の凹
部43に取付けられており、該スリット42および凹部
43は切り火き44をイiしている。第22図および第
23図におい−<接触面は40で、段差(、監4′1で
ある。この実施例でもステータの形は円形(、l限らず
、第24図に承りように4角形など多角形のものを用い
てしよい。第24図中400は接触面、41a1汀■、
42aはスリットである。
実施例5
第25図にIE?i素了を同右し・たステ〜りの正面図
、第26図に平面図を示す。第25図に示すようにスリ
ット52により区分されたステータの両側面に凹部を設
け、それぞれの凹部の上下面に密着して8!in型の厚
み方向または縦方向振動を行う圧電素子55を固定する
。50aおよび50 b G、を接触部、51は段差で
ある。
、第26図に平面図を示す。第25図に示すようにスリ
ット52により区分されたステータの両側面に凹部を設
け、それぞれの凹部の上下面に密着して8!in型の厚
み方向または縦方向振動を行う圧電素子55を固定する
。50aおよび50 b G、を接触部、51は段差で
ある。
このような構造のステータをイ1する超n波(己−夕に
おいて、接触部50aが上に、接触部50bが下になる
ような屈曲揚動をさせるときと、接触部50aが下に、
接触150bが4−になるような屈曲振動をさせるとき
とでは、ロー・りの回転方向が異なるため、正転9反転
の可能な超音波モータを実現できる。
おいて、接触部50aが上に、接触部50bが下になる
ような屈曲揚動をさせるときと、接触部50aが下に、
接触150bが4−になるような屈曲振動をさせるとき
とでは、ロー・りの回転方向が異なるため、正転9反転
の可能な超音波モータを実現できる。
なお、以上述べた実施例などのほか、接触面が勾配を有
するもの、または接触向を細分化し勾配を有する段差と
し!ごものでもよい。、、t!ごスラータに形成したス
リットは2本以上の蛾のを実施例としたが、中心または
中心をはずしまた1本のスリットでも、スリットの側面
および底面を段差状としたものやスリブ1へ幅を変化さ
Uたもので6かまわない。なJj、スリット椙U J3
よびスリット形状については、上記で個々に述べたしの
それぞれに限定されることなく、必要に応じそれぞれの
組合せから構成するか、あるいは設計変更の範躊で適宜
に考えられる構成としても屈曲撮動を得ることができ、
実施例と同じ効果を得ることができる。
するもの、または接触向を細分化し勾配を有する段差と
し!ごものでもよい。、、t!ごスラータに形成したス
リットは2本以上の蛾のを実施例としたが、中心または
中心をはずしまた1本のスリットでも、スリットの側面
および底面を段差状としたものやスリブ1へ幅を変化さ
Uたもので6かまわない。なJj、スリット椙U J3
よびスリット形状については、上記で個々に述べたしの
それぞれに限定されることなく、必要に応じそれぞれの
組合せから構成するか、あるいは設計変更の範躊で適宜
に考えられる構成としても屈曲撮動を得ることができ、
実施例と同じ効果を得ることができる。
さらに、圧電水子の駆動信号は交流信号はもとより、パ
ルス信号の如きものぐもよく、複数の圧電素子を用いた
とさ゛は、位相λを右りる交流ft号、パルス1g号で
それぞれのJU−電素子を駆動してもよい。
ルス信号の如きものぐもよく、複数の圧電素子を用いた
とさ゛は、位相λを右りる交流ft号、パルス1g号で
それぞれのJU−電素子を駆動してもよい。
また、【コータJ3よび/または接触面にはゴム2繊維
、高分子4を料またはこれらを含む複合材料などからな
る摩擦材などを設けでもよい。
、高分子4を料またはこれらを含む複合材料などからな
る摩擦材などを設けでもよい。
[発明の効果1
この発明になる超へ波七−夕によれば、従来のように複
数の圧is子にそれぞれ位相の異なる駆動信号を必要と
じず、厚み方向または縦方向&8を行う圧電素子に重相
の駆動信号を印加するだけて・も回転運動が得られ、構
造的にも回路的にもシンプルになり、また直接屈曲振動
を利用するためステータからLl−夕への伝達効率が非
常にすぐれている効果をイエする。
数の圧is子にそれぞれ位相の異なる駆動信号を必要と
じず、厚み方向または縦方向&8を行う圧電素子に重相
の駆動信号を印加するだけて・も回転運動が得られ、構
造的にも回路的にもシンプルになり、また直接屈曲振動
を利用するためステータからLl−夕への伝達効率が非
常にすぐれている効果をイエする。
第1図〜第26図は本発明の実施例を示し、第1図は超
音波モータの分解斜視図、第2図は超音波[−タの正面
図、第3図〜第7図は実施例に係るステータイれぞれを
示づ平面図、第8図は第6図のステータの正面図、第9
図〜第12図は接触面を勾配としたステータそれぞれを
示す−・部拡人正面図、第13図はステータの他の実施
例を1.4斜視図、第14図〜第16図は他の実施例に
係るステー・夕それぞれを示す平面図、第17図は他の
実施例に係るステータを示す斜視図、第18図はステー
タの伯の実施例を示ず平面図、第19図は圧電素子を固
着したどぎの他の実施例に係るステータを示す側面図、
第20図および第21図は他の実施例に係るステ・−夕
それぞれを示1平面図、第22図は他の実施例になる圧
電水子を固着i)だステータの正面図、第23図および
′PI2/1図&、1他の実施例に係るステータぞれぞ
れを示ず平面図、第25図は圧電素子を固着したときの
他の実施例に係るステータを示す正面図、第26図1よ
他の実施例に係るステータをiJ\す平面図、第27図
は従来のtOg波モータを示す分解斜視図、第28図は
従来の超音波モータの構成を示す斜視図である。 1・・・l〕二電木子、2・・・ステータ、3・・・a
−タ。 8・・・凹部、10・・・接触面、11・・・段差。 12・・・スリブ1〜.1:3・・・ベクトル。 14・・・l111曲娠動 特 許 出 願 人 マル」ン坩7−株式会社 ◎z571シイ 14べ°アリz′7゛ 疋品な遭モー7−/#1斗科捉図 竿1図 第 6 図 第
7 図ステータの正面図 第8図 第 9 図 ステータのロータに接する接触面の拡大同第 10
図 第 11 図 ステータのロータに接する接触面の拡大同第 12
図 ステータの他の実施例の斜視図 スデ、りの他の
実施例の平面図第 13 図
第 14 図ステータの他の実施例の平
面図 ステータの他の実施例の平面図第 15
図 第 16 図
第 18 図 第19図 ステータの他の実施例の平面図 第 20 図 ステータの他の実mIjlAの平面同 第 21 図 他の実施例のステータの正面図 第22図 他の実施例のステータの平面図 第 23 図 他の実施例のス〒゛−タの平面図 第 24 図 第25図 他の実施例のステータの平面図 第 26 図
音波モータの分解斜視図、第2図は超音波[−タの正面
図、第3図〜第7図は実施例に係るステータイれぞれを
示づ平面図、第8図は第6図のステータの正面図、第9
図〜第12図は接触面を勾配としたステータそれぞれを
示す−・部拡人正面図、第13図はステータの他の実施
例を1.4斜視図、第14図〜第16図は他の実施例に
係るステー・夕それぞれを示す平面図、第17図は他の
実施例に係るステータを示す斜視図、第18図はステー
タの伯の実施例を示ず平面図、第19図は圧電素子を固
着したどぎの他の実施例に係るステータを示す側面図、
第20図および第21図は他の実施例に係るステ・−夕
それぞれを示1平面図、第22図は他の実施例になる圧
電水子を固着i)だステータの正面図、第23図および
′PI2/1図&、1他の実施例に係るステータぞれぞ
れを示ず平面図、第25図は圧電素子を固着したときの
他の実施例に係るステータを示す正面図、第26図1よ
他の実施例に係るステータをiJ\す平面図、第27図
は従来のtOg波モータを示す分解斜視図、第28図は
従来の超音波モータの構成を示す斜視図である。 1・・・l〕二電木子、2・・・ステータ、3・・・a
−タ。 8・・・凹部、10・・・接触面、11・・・段差。 12・・・スリブ1〜.1:3・・・ベクトル。 14・・・l111曲娠動 特 許 出 願 人 マル」ン坩7−株式会社 ◎z571シイ 14べ°アリz′7゛ 疋品な遭モー7−/#1斗科捉図 竿1図 第 6 図 第
7 図ステータの正面図 第8図 第 9 図 ステータのロータに接する接触面の拡大同第 10
図 第 11 図 ステータのロータに接する接触面の拡大同第 12
図 ステータの他の実施例の斜視図 スデ、りの他の
実施例の平面図第 13 図
第 14 図ステータの他の実施例の平
面図 ステータの他の実施例の平面図第 15
図 第 16 図
第 18 図 第19図 ステータの他の実施例の平面図 第 20 図 ステータの他の実mIjlAの平面同 第 21 図 他の実施例のステータの正面図 第22図 他の実施例のステータの平面図 第 23 図 他の実施例のス〒゛−タの平面図 第 24 図 第25図 他の実施例のステータの平面図 第 26 図
Claims (5)
- (1)一表面から1個以上のスリットおよび該スリット
を形成した面に設けた段差を有するステータと、前記ス
リットにより区分された前記ステータの側面に凹部を設
け、該凹部の上下面に密着固定した厚み方向または縦方
向振動を行う圧電素子と、前記ステータに当接するロー
タとを具備し、該ロータが前記ステータの段差により形
成された接触面に接触する構成からなる超音波モータ。 - (2)凹部がステータの両側面にそれぞれ2個以上形成
されており、該それぞれの凹部に圧電素子を固定した特
許請求の範囲第(1)項記載の超音波モータ。 - (3)段差により形成された接触面が細分されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第(1)項または第(2
)項記載の超音波モータ。 - (4)接触面が勾配を有していることを特徴とする特許
請求の範囲第(1)項〜第(3)項のいずれかに記載の
超音波モータ。 - (5)圧電素子が積層型であることを特徴とする特許請
求の範囲第(1)項〜第(4)項のいずれかに記載の超
音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62054456A JPS63220780A (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 超音波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62054456A JPS63220780A (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 超音波モ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63220780A true JPS63220780A (ja) | 1988-09-14 |
Family
ID=12971181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62054456A Pending JPS63220780A (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 超音波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63220780A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010268564A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Konica Minolta Opto Inc | 超音波アクチュエータ |
-
1987
- 1987-03-09 JP JP62054456A patent/JPS63220780A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010268564A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Konica Minolta Opto Inc | 超音波アクチュエータ |
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