JPS632232B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS632232B2 JPS632232B2 JP58094913A JP9491383A JPS632232B2 JP S632232 B2 JPS632232 B2 JP S632232B2 JP 58094913 A JP58094913 A JP 58094913A JP 9491383 A JP9491383 A JP 9491383A JP S632232 B2 JPS632232 B2 JP S632232B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrapure water
- valve
- steam
- discharge means
- storage tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は超純水供給装置に関する。純度の高
い水は電子工業用洗浄水、医薬用水、原子力用水
に用いられる。しかも、近年はこれらの工業の高
度化に伴い純度が理論純水に近い超純水が要求さ
れている。
い水は電子工業用洗浄水、医薬用水、原子力用水
に用いられる。しかも、近年はこれらの工業の高
度化に伴い純度が理論純水に近い超純水が要求さ
れている。
超純水は限外過膜装置、逆浸透膜装置などの
膜分離装置やイオン交換樹脂装置またはこれらの
組合せからなる超純水製造装置で製造してタンク
に貯蔵し、タンクから管路により使用個所へ供給
する。しかし、使用個所で使用中に使用個所から
細菌が逆入して純度を低下することがあると共
に、場合によつては製造装置そのものも細菌で汚
染されることがあり、そうなると使用箇所での用
水は満足すべきものではなくなり、この用水を用
いるプロセス側では製品の歩留の低下と言う不都
合が生じる。そして、製造装置が一旦汚染される
と高純度の水はなかなか製造できなくなる。
膜分離装置やイオン交換樹脂装置またはこれらの
組合せからなる超純水製造装置で製造してタンク
に貯蔵し、タンクから管路により使用個所へ供給
する。しかし、使用個所で使用中に使用個所から
細菌が逆入して純度を低下することがあると共
に、場合によつては製造装置そのものも細菌で汚
染されることがあり、そうなると使用箇所での用
水は満足すべきものではなくなり、この用水を用
いるプロセス側では製品の歩留の低下と言う不都
合が生じる。そして、製造装置が一旦汚染される
と高純度の水はなかなか製造できなくなる。
このため従来は一週間に一回位の割合いで貯蔵
タンク中の水を空け、内部を蒸気で洗浄し滅菌し
ているが、タンク内部を大気に開放するためタン
クに設けてある無菌エアフイルタ（細菌をタンク
内に入れないフイルタ）の滅菌が同時に行えない
ので、このフイルタは外して別に蒸気で洗浄しな
ければならず、非常に手数がかゝる。
タンク中の水を空け、内部を蒸気で洗浄し滅菌し
ているが、タンク内部を大気に開放するためタン
クに設けてある無菌エアフイルタ（細菌をタンク
内に入れないフイルタ）の滅菌が同時に行えない
ので、このフイルタは外して別に蒸気で洗浄しな
ければならず、非常に手数がかゝる。
そこで本発明はこの貯蔵タンクを付属の無菌エ
アフイルタと一緒に蒸気で滅菌できる様に改良し
たのであつて、以下、図示の実施例を参照して説
明する。
アフイルタと一緒に蒸気で滅菌できる様に改良し
たのであつて、以下、図示の実施例を参照して説
明する。
１は前述した超純水製造装置、２は上記製造装
置が製造した超純水を貯蔵する貯蔵タンク、３は
タンク中の超純水をポンプＰで使用箇所４に導く
管路を示す。
置が製造した超純水を貯蔵する貯蔵タンク、３は
タンク中の超純水をポンプＰで使用箇所４に導く
管路を示す。
貯蔵タンクのほゞ頂部には通気管５が立ち、そ
の上端には無菌エアフイルタ６が設けてある。無
菌エアフイルタは通気管５の上端が内部に連通し
たフイルタエレメント６ａと、エレメント６ａを
収容したケース６ｂとからなり、ケースには弁
V1を有する排気管７と、弁V2とオリフイス８を
有する絞り排気管９と、弁V3を有する圧縮空気
などの気体圧入管１０を接続してある。
の上端には無菌エアフイルタ６が設けてある。無
菌エアフイルタは通気管５の上端が内部に連通し
たフイルタエレメント６ａと、エレメント６ａを
収容したケース６ｂとからなり、ケースには弁
V1を有する排気管７と、弁V2とオリフイス８を
有する絞り排気管９と、弁V3を有する圧縮空気
などの気体圧入管１０を接続してある。
両排気管７，９は別々にケースに接続せず、図
示の様にどちらか一方をケースに接続し、その弁
の手前に他方を連結してもよい。又、例えば両排
気管７，９の一方或いは双方は気体圧入管１０の
弁V3の手前に連結したり、逆に気体圧入管１０
をどちらの排気管７，９の弁の手前に連結しても
よい。
示の様にどちらか一方をケースに接続し、その弁
の手前に他方を連結してもよい。又、例えば両排
気管７，９の一方或いは双方は気体圧入管１０の
弁V3の手前に連結したり、逆に気体圧入管１０
をどちらの排気管７，９の弁の手前に連結しても
よい。
又、貯蔵タンクの底には排水弁１１と、スチー
ムトラツプ１２と、オリフイス１３とを接続す
る。この三者はスチームトラツプとオリフイスに
は夫々弁を設け、個々にタンクの底に接続しても
よいが、図示の如く並列にし、弁V4を介してタ
ンクの底に接続してもよく、その場合、導管３の
上流端部にも弁V5を設け、タンクの底に接続し
たドレン管１４に弁V4と弁V5を分岐状に連結す
ると最も簡単である。
ムトラツプ１２と、オリフイス１３とを接続す
る。この三者はスチームトラツプとオリフイスに
は夫々弁を設け、個々にタンクの底に接続しても
よいが、図示の如く並列にし、弁V4を介してタ
ンクの底に接続してもよく、その場合、導管３の
上流端部にも弁V5を設け、タンクの底に接続し
たドレン管１４に弁V4と弁V5を分岐状に連結す
ると最も簡単である。
貯蔵タンク中に蒸気を圧入するための弁V6を
有する蒸気注入管１５を設ける。この実施例では
蒸気注入管１５は通気管５に接続してあるが、勿
論、タンク２に直接接続してもよい。そして、製
造装置１が製造した超純水を貯蔵タンクに補給す
る補給管１６にはタンク中を洗浄する際に閉じる
弁V7を設ける。
有する蒸気注入管１５を設ける。この実施例では
蒸気注入管１５は通気管５に接続してあるが、勿
論、タンク２に直接接続してもよい。そして、製
造装置１が製造した超純水を貯蔵タンクに補給す
る補給管１６にはタンク中を洗浄する際に閉じる
弁V7を設ける。
これにより常時は弁V5，V7，V8を介して使用
個所４に超純水を供給することができる。尚、
V3を介して貯蔵タンクの内部は無菌フイルタ６
を通じ大気圧よりも常時高い圧力になる様に無菌
気体で加圧状態を維持する様にする。
個所４に超純水を供給することができる。尚、
V3を介して貯蔵タンクの内部は無菌フイルタ６
を通じ大気圧よりも常時高い圧力になる様に無菌
気体で加圧状態を維持する様にする。
貯蔵タンク中を洗浄するにはタンク内の水を排
水するために弁V4、排水弁１１を開くと共に、
必要に応じ弁V3も開き圧縮気体（空気）で気体
圧入管１０、無菌フイルタ６、通気管５を通じタ
ンク内上部空間に圧入し、水面を上から加圧して
排水を促進することができる。尚、その他の弁は
閉じて置く。タンクから排水した水は超純水製造
装置１の原水タンクに戻し、超純水製造装置の原
料水に利用する。
水するために弁V4、排水弁１１を開くと共に、
必要に応じ弁V3も開き圧縮気体（空気）で気体
圧入管１０、無菌フイルタ６、通気管５を通じタ
ンク内上部空間に圧入し、水面を上から加圧して
排水を促進することができる。尚、その他の弁は
閉じて置く。タンクから排水した水は超純水製造
装置１の原水タンクに戻し、超純水製造装置の原
料水に利用する。
貯蔵タンク中の水の排水が完了したら、次には
弁V6を開き、タンク内に蒸気注入管１５から蒸
気を注入して滅菌を行う。この場合、タンク、無
菌フイルタ、これらに接続した管内に空気が残存
し、空気溜が生じていると、蒸気は空気に障害さ
れて空気溜と接触する面を滅菌することができな
いので、滅菌に先立つて空気を完全に駆出するこ
とが好ましい。
弁V6を開き、タンク内に蒸気注入管１５から蒸
気を注入して滅菌を行う。この場合、タンク、無
菌フイルタ、これらに接続した管内に空気が残存
し、空気溜が生じていると、蒸気は空気に障害さ
れて空気溜と接触する面を滅菌することができな
いので、滅菌に先立つて空気を完全に駆出するこ
とが好ましい。
それには蒸気注入管１５の弁V6だけを開いて
蒸気を入れ、貯蔵タンク、無菌フイルタ、これら
に接続する管内に夫々弁の前までを蒸気で充満
し、蒸気加圧を行い、それから弁V4と排水弁１
１だけを開き、内部の蒸気を排気し、内部圧力を
開放する。この工程を１回ないし数回行うことに
より内部に残存していた空気は蒸気と一緒に排水
弁１１から完全に排出される。
蒸気を入れ、貯蔵タンク、無菌フイルタ、これら
に接続する管内に夫々弁の前までを蒸気で充満
し、蒸気加圧を行い、それから弁V4と排水弁１
１だけを開き、内部の蒸気を排気し、内部圧力を
開放する。この工程を１回ないし数回行うことに
より内部に残存していた空気は蒸気と一緒に排水
弁１１から完全に排出される。
蒸気滅菌を行うには蒸気注入管１５の弁V6を
開くと共に、弁V2と弁V4を開く。これにより注
入された蒸気は弁V2とオリフイス８、弁V4とオ
リフイス１３、スチームトラツプ１２を通じて排
出され、貯蔵タンク、通気管５、無菌フイルタ６
を同時に滅菌する。
開くと共に、弁V2と弁V4を開く。これにより注
入された蒸気は弁V2とオリフイス８、弁V4とオ
リフイス１３、スチームトラツプ１２を通じて排
出され、貯蔵タンク、通気管５、無菌フイルタ６
を同時に滅菌する。
蒸気滅菌が終了したら、気体圧入管１０の弁
V3を開いて圧縮空気を無菌フイルタ６、通気管
５を経て貯蔵タンク３に入れ、弁V4、排気弁１
１を開いて排出し、これにより無菌フイルタとタ
ンクを冷却する。そして、冷却したら補給管１６
の弁V7を開いてタンク中に超純水を補給し、弁
V5，V1を開いてその超純水を管路３に流し、使
用個所４で取出せる様にする。
V3を開いて圧縮空気を無菌フイルタ６、通気管
５を経て貯蔵タンク３に入れ、弁V4、排気弁１
１を開いて排出し、これにより無菌フイルタとタ
ンクを冷却する。そして、冷却したら補給管１６
の弁V7を開いてタンク中に超純水を補給し、弁
V5，V1を開いてその超純水を管路３に流し、使
用個所４で取出せる様にする。
弁V1からV8と、排水弁１１は例えば電磁式の
開閉弁で構成し、上述の動作を全自動とすること
ができる。
開閉弁で構成し、上述の動作を全自動とすること
ができる。
以上の実施例の説明で明らかな如く本発明によ
れば無菌フイルタ６にはオリフイス８が接続して
あり、又、タンク３の底にもオリフイス１３を接
続してある。このため蒸気滅菌工程の際に注入し
た蒸気がこれらのオリフイス８，１３を通じ外に
出られる様にすることにより貯蔵タンクと無菌フ
イルタを同時に滅菌でき、無菌フイルタを外して
別に滅菌する手数が解消する。
れば無菌フイルタ６にはオリフイス８が接続して
あり、又、タンク３の底にもオリフイス１３を接
続してある。このため蒸気滅菌工程の際に注入し
た蒸気がこれらのオリフイス８，１３を通じ外に
出られる様にすることにより貯蔵タンクと無菌フ
イルタを同時に滅菌でき、無菌フイルタを外して
別に滅菌する手数が解消する。
又、本発明はこれに限らず、例えば弁V1と排
水弁１１を開閉弁にしないで開度を調整できる調
整弁とし、蒸気滅菌工程の際に開度をオリフイス
と同様に小さく調整すれば、この調整弁を通じ絞
つて蒸気を逃出させ同様に貯蔵タンクと無菌フイ
ルタを同時に滅菌することができる。
水弁１１を開閉弁にしないで開度を調整できる調
整弁とし、蒸気滅菌工程の際に開度をオリフイス
と同様に小さく調整すれば、この調整弁を通じ絞
つて蒸気を逃出させ同様に貯蔵タンクと無菌フイ
ルタを同時に滅菌することができる。
こうして本発明によれば超純水の貯蔵タンクと
付属の無菌フイルタを容易且つ完全に滅菌処理す
ることにより、これから使用箇所に供給される超
純水の水質低下を起こさない様にすることができ
る。
付属の無菌フイルタを容易且つ完全に滅菌処理す
ることにより、これから使用箇所に供給される超
純水の水質低下を起こさない様にすることができ
る。
そして、本発明は装置全体を新設する場合以外
に、既存の装置を改造して簡単に実施することも
できる。
に、既存の装置を改造して簡単に実施することも
できる。
図面は本発明の一実施例を示すフローシート
で、図中、１は超純水製造装置、２は貯蔵タン
ク、３は管路、４は使用箇所、６は無菌フイル
タ、１４はドレン管、８と１３は絞り排出手段と
して例示したオリフイス、１５は蒸気注入管を示
す。
で、図中、１は超純水製造装置、２は貯蔵タン
ク、３は管路、４は使用箇所、６は無菌フイル
タ、１４はドレン管、８と１３は絞り排出手段と
して例示したオリフイス、１５は蒸気注入管を示
す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 超純水製造装置と、超純水製造装置が製造し
た超純水の貯蔵タンクと、貯蔵タンクから使用箇
所に超純水を導く管路とからなる超純水供給装置
において、 上記貯蔵タンクには滅菌用の蒸気供給手段と、
無菌気体を供給する無菌フイルタと、ドレン排出
手段を設け、ドレン排出手段と、無菌フイルタに
は滅菌用蒸気を絞つて排出するための絞り排出手
段を夫々備えさせたことを特徴とする超純水供給
装置。 ２ 特許請求の範囲１の装置において、ドレン排
出手段と無菌フイルタの絞り排出手段はオリフイ
スである超純水供給装置。 ３ 特許請求の範囲１の装置においてドレン排出
手段と無菌フイルタの絞り排出手段は開度の調整
可能な弁である超純水供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9491383A JPS60932A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超純水供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9491383A JPS60932A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超純水供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60932A JPS60932A (ja) | 1985-01-07 |
| JPS632232B2 true JPS632232B2 (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=14123241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9491383A Granted JPS60932A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超純水供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60932A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05167984A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-07-02 | Sanyo Electric Co Ltd | ビデオヘッド切換え信号作成回路 |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP9491383A patent/JPS60932A/ja active Granted
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| JOURNAL OF PARENTERAL SCIENCE AND TECHNOLOGY=1981 * |
| JOURNAL OF PARENTERAL SCIENCE AND TECHNOLOGY=1982 * |
| PHARMACEUTICAL TECHNOLOGY=1978 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05167984A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-07-02 | Sanyo Electric Co Ltd | ビデオヘッド切換え信号作成回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60932A (ja) | 1985-01-07 |
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