JPS60932A - 超純水供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は超純水供給装置に関する。純度の高い水は電
子工業用洗浄水、医薬用水、原子力用水に用いらｎる。

しかも、近年はこれらの工業の高酸化に伴い純度が理論
純水に近い超純水が要求されている。

超純水は限外濾過膜装置、逆浸透膜装置などの膜分離装
置やイオン交換樹脂装置ｔｆＣ，はこれらの組合せから
なる超純水製造装置で製造してタンクに貯蔵し、タンク
から管路により使用個所へ供給する。しかし、使用個所
で使用中に使用個所から細菌が進入して純度を低下する
ことがあると共に、場合によっては製造装置そのものも
細菌で汚染されることがあり、そうなると使用箇所での
用水は満足すべきものではなくなシ、この用水を用いる
プロセス側では製品の歩留の低下と言う不都合が生じる
。そして、製造装置が一旦汚染されると高純度の水はな
かなか製造できなくなる。

このため従来は一週間に一回位の割合いで貯蔵タンク中
の水を空け、内部を蒸気で洗浄し滅菌しているが、タン
ク内部を大気に開放するためタンクに設けである無菌エ
アフィルタ（細菌をタンク内に入れないフィルタ）の滅
菌が同時に行えないので、このフィルタは外して別に蒸
気で洗浄しなければならず、非常に手数がか＼る。

そこで本発明はこの貯蔵タンクを付属の無菌エアフィル
タ、と−緒に蒸気で滅菌できる様に改良したのであって
、以下、図示の実施例を参照して説明する。

ｌは前述した超純水製造装置、コは上記製造装置が製造
した超純水を貯蔵する貯蔵タンク、３はタンク中の超純
水をポンプＰで使用箇所ダに導く管路を示す。

貯蔵タンクのはソ頂部には通気管３が立ち、その上端に
は無菌エアフィルタ６が設けである。

無菌エアフィルタは通気管５の上端が内部に連通したフ
ィルタエレメント６αと、エレメントＡａＶ！を有する
排気管７と、弁■２とオリフィスｇを有する絞り排気管
９と、弁ｖ３を有する圧縮空気などの気体圧入管１０を
接続しである。

両排気管７，９は別々にケースに接続せず、図示の様に
どちらか一方をケースに接続し、その弁の手前に他方を
連結してもよい。又、例えば両排気管り、９の一方或い
は双方は気体圧入’ｆ１１０の弁Ｖ８の手前に連結した
り、逆に気体圧入管／θをどちらの排気管７，９の弁の
手前に連結してもよい。

又、貯蔵タンクの底には排水弁／／と、スチームトラッ
プ／コと、オリフィス／３とを接続する。

この王者はスチームトラップとオリフィスには夫々弁を
設け、個々にタンクの底に接続してもよいが、図示の如
く並列にし、弁■４を介してタンクの底に接続してもよ
く、その場合、導管３の上流端部にも弁Ｖｌｌを設け、
タンクの底に接続したドレン管／グに弁ｖ４と弁Ｖ、を
分岐状に連結すると最も簡単である。

貯蔵タンク中に蒸気を圧入するための弁ｖ６を有する蒸
気注入管／Ｓを設ける。この実施例では蒸気注入管／Ｓ
は通気管５に接続しであるが、勿論、タンクコに直接接
続してもよい。そして、製造装Ｒｔが製造した超純水を
貯蔵タンクに補給する補給管／６にはタンク中を洗浄す
る際に閉じる弁■を設ける。

これにより常時は弁Ｖ、　、　Ｖ、　、　Ｖ、を介して
使用個所グに超純水を供給することができる。尚、ｖ３
を介して貯蔵タンクの内部は無菌フィルタ６を通じ大気
圧よりも常時高い圧力になる様に無菌気体で加圧状態を
維持する様にする。

貯蔵タンク中を洗浄するにはタンク内の水を排水するた
めに弁Ｖい排水弁／ｌを開くと共に、必要に応じ弁Ｖ、
も開き圧縮気体（空気）で気体圧入管１０．無菌フィル
タ６、通気管Ｓを通じタンク内上部空間に圧入し、水面
を上から加圧して排水を促進することができる。尚、そ
の他の弁は閉じて置く。タンクから排水した水は超純水
製造装置／の原水タンクに戻し、超純水製造装置の原料
水に利用する。

貯蔵タンク中の水の排水が完了したら、次には弁■６を
開き、タンク内に蒸気注入管ノ（から蒸気を注入して滅
菌を行う。この場合、タンク、無菌フィルタ、これらに
接続した管内に空気が残存し、空気溜が生じていると、
蒸気は空気に障害されて空気溜と接触する面を滅菌する
ことができないので、滅菌に先立って空気を完全に駆出
することか好ましい。

それには蒸気注入管／！ｒの弁ｖ６だけを開いて蒸気を
入れ、貯蔵タンク、無菌フィルタ、これらに接続する管
内に夫々弁の前までを蒸気で充満し、蒸気加圧を行い、
それから弁ｖ４と排水弁／／だけを開き、内部の蒸気を
排気し、内部圧力を開放する。この工程を１回ないし数
回行うことによシ内部に残存していた空気は蒸気と一緒
に排水弁／／から完全に排出される。

蒸気滅菌を行うには蒸気注入管１５の弁■６を開くと共
に、弁■、と弁ｖ４を開く。これにより注入された蒸気
は弁■、とオリフィスざ、弁Ｖ４とオリフイス／３、ス
チームトラップ／２を通じて排出され、貯蔵タンク、通
気管Ｓ、無菌フィルタ６を同時に滅菌する。

蒸気滅菌が終了したら、気体圧入管１０の弁ｖ３を開い
て圧縮空気を無菌フィルタ６、通気管Ｓを経て貯蔵タン
ク３に入れ、弁ｖ４、排気弁／／を開いて排出し、これ
により無菌フィルタとタンクを冷却する。そして、冷却
したら補給管／６の弁■、を開いてタンク中に超純水を
補給し、弁■。

■、を開いてその超純水を管路３に流し、使用個所ダで
取出せる様にする。

弁Ｖ、からＶ♂と、排水弁／／は例えば電磁式の開閉弁
で構成し、上述の動作を全自動とすることができる。） 以上の実施例の説明で明らかな如く本発明によれば無菌
フィルタ乙にはオリフィスざが接続してあり、又、タン
ク３の底にもオリフィス／３を接続しである。このため
蒸気滅菌工程の際に注入した蒸気がこｊらのオリフィス
ざ、　／Ｊ　ヲ通じ外に出られる様にすることにより貯
蔵タンクと無菌フィルタを同時に滅菌でき、無菌フィル
タを外して別に滅菌する手数が解消する。

又、本発明はこれに限らず、例えば弁ｖＩと排水弁／／
を開閉弁にしないで開度を調整できる調整弁とし、蒸気
滅菌工程の際に開度をオリフィスと同様に小さく調整す
れば、この調整弁を通じ絞って蒸気を逃出させ同様に貯
蔵タンクと無菌フィルタを同時に滅菌することができる
。

こうして本発明によれば超純水の貯蔵タンクと付属の無
菌フィルタを容易且つ完全に滅菌処理することにより、
これから使用箇所に供給される超純水の水質低下を起こ
さない様にすることができろう そして、本発明は装置全体を新設する場合以外に、既存
の装置を改造して簡単に実施することもできる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すフローシートで、図中、
ｌは超純水製造装置、コは貯蔵タンク、３は管路、ｌＩ
は使用箇所、乙は無菌フィルタ、／ｌＩはドレン管、ｇ
と／３は絞り排出手段として例示したオリフィス、ｌＳ
は蒸気注入管を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）超純水製造装置と、超純水製造装置が製造した超
   純水の貯蔵タンクと、貯蔵タンクから使用箇所に超純水
   を導く管路とからなる超純水供給装置において、 上記貯蔵タンクには滅菌用の蒸気供給手段と、無菌気体
   を供給する無菌フィルタと、ドレン排出手段を設け、ド
   レン排出手段と、無菌フィルタには滅菌用蒸気を絞って
   排出するための絞り排出手段を夫々備えさせたことを特
   徴とする超純水供給装置。 （２、特許請求の範囲（１）の装置において、ドレン排
   出手段と無菌フィルタの絞シ排出手段はオリフィスであ
   る超純水供給装置。 （３）％許請求の範囲（１）の装置においてドレン排出
   手段と無菌フィルタの絞り排出手段は開度の調整可能な
   弁である超純水供給装置。