JPS6322404U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本考案の一実施例を示し
第１図は断面図、第２図は平面図、第３図は第１
図の一部拡大図、第４図および第５図は第３図に
相当する本考案のそれぞれ異なる他の実施例にお
ける一部拡大図、第６図および第７図は従来例を
示し第６図は断面図、第７図は第６図の一部拡大
図である。 ３１…ベローズユニツト、３２…ベローズ、３
６，４２…アームＸ（被駆動体）、３７，４１，
４６…板バネ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一端が固定され内側と外側とで圧力差を与
   えることにより他端が伸縮するベローズユニツト
   と、一端が固定され他端が前記ベローズユニツト
   の他端に直接或いは部材を介して取り付けられか
   つ同ベローズユニツトの伸縮方向には変位可能で
   あるがそれと直交する方向には剛性の高い板バネ
   と、前記ベローズユニツトの他端側に直接または
   部材を介して連結された被駆動体とからなるクリ
   ーンルーム内の駆動機構。 (2) 板バネをベローズユニツトの伸縮方向に間
   隔を置いて少くとも２枚にすることにより被駆動
   体に平行リンク運動を与えることを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第１項記載のクリーンルー
   ム内の駆動機構。 (3) ベローズの伸縮距離に比較して板バネの長
   さが十分に長いことを特徴とする実用新案登録請
   求の範囲第１または２項記載のクリーンルーム内
   の駆動機構。 (4) ベローズユニツトのベローズが薄肉板の溶
   接構造であることを特徴とする実用新案登録請求
   の範囲第１・２または３項記載のクリーンルーム
   内の駆動機構。