JPS63228636A

JPS63228636A - ウエハ移載装置

Info

Publication number: JPS63228636A
Application number: JP62061216A
Authority: JP
Inventors: Hidehiro Funaki; 船木　秀博; Osamu Arimura; 有村　修
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1987-03-18
Filing date: 1987-03-18
Publication date: 1988-09-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］〈産業上の利用分野）この発明は、ウェハ移載装置に関する。

（従来の技術）半導体ウェハを熱拡散炉で処理する場合、キャリアと呼
ばれるウェハ収納容器から複数枚のウェハをウェハボー
トに順次移載することが行なわれている。

第６図は、従来のウェハ移載装置の一例を示す斜視図で
ある。

図示のように、従来のウェハ移載装置は、複数のウェハ
１をａｉし所定位置に搬送されてきたキャリア２に対し
、該ウェハ１を支持し位置決めされたウェハボート３の
所定位置に移載するチャック装置４を備えている。キャ
リア２からウェハボート３にかけて示される矢印５は、
ウェハ１の移動軌跡を示すものである。

前記ウェハボート３の上面には、２本のウェハ支持部材
６が配設され、両支持部材６には、移送されてきたウェ
ハ１を固定するための満７が、ウェハボー１−３のフレ
ーム８の長手方向に対し所定ピッチで多数切られている
。

又、前記フレーム８の下面には、前記キャリア２に対し
前記溝７を所定位置に位置決めするためのボート駆！ｌ
Ｊｎ構９が設けられている。

ボート駆動機構９は、前記フレーム８の下面に備えられ
たナツト部材１０に、フレーム８の長手方向に沿って配
設されたボールねじ１１（第７図に拡大して示す）を螺
合させ、該ボールねじ１１をエンコーダＥ付のモータＭ
によって回転駆動するものである。

前記フレーム８の下面にはドグ１２が設けられ、該ドグ
１２の下方には、前記フレーム８の機械的原点位置を設
定するための光学式センサ１２が設けられている。

第８図は上記ウェハ移載装置の制御装置のブロック図で
ある。

制御装置は、前記ドグ１２及び光学式センサ１３によっ
て規定される原点位置に対し、原点から最初の溝までの
距離及び８溝７のごッチデータを記憶した距離データ記
憶部１４が備えられている。

距離データ記憶部１４は、送り場演算回路１５と接続さ
れ、送り昂演算回路１５は、前記エンコーダＥと接続さ
れるモータ駆動量演算部１６及び前記モータＭと接続さ
れるモータドライバ１７と接続されている。

送り準演算回路１５は、モータ駆動■演算部１６で演σ
されたモータＭの駆動■をフィードバックしつつ、前記
距離データ記憶部１４で規定される各ｉｎ位置が前記チ
ャックに対し所定位置に来るよう、前記モータドライバ
１７を介して前記モータＭを駆動する。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、上記のごとき従来のウェハ移載装置にあ
っては、ウェハボート３の現在位置を、ドグ１２で規定
される原点に対しモータ駆初最演算部１６からの帰還値
で管理し、８溝７への位置決め位置の指令を前記原点に
対して距離及びピッチデータによって演算する構成であ
ったため、ボールねじ１１のピッチ誤差により、又、ウ
ェハ支持用溝７の製作上の誤差に基いて、実位置と管理
位置との間に大きな誤差を生ずるという問題点があった
。チャック装置４に対し溝７の位置決め位置に誤差が生
じる場合には、第９図に示すように、チャック４が溝７
から外れ、ウェハ１を溝７に嵌合させることができず、
ウェハ１を破損することがあり、歩溜りを悪くしたり、
修復に多くの時間を要するものである。

そこで、この発明は、ウェハを確実にウェハボートに移
載することができるウェハ移載装置を提供す７ることを
目的とする。

［発明の構成コ（問題点を解決するための手段）上記目的を達成するためこの発明では、ウェハボートを
動力伝達機構を介して駆動力検出装置付のモータでピッ
チ動作させ、前記ウェハボートに所定ピッチで配列され
た複数のウェハ支持用溝にウェハを順次移載するウェハ
の移載装置において、前記ウェハボートに複数の基準位
置を設け、該基準位置を前記ウェハボートの外部から検
出する基準位置検出手段を設け、該手段による前記基準
位置の検出に基いて各基準位置に付属する区間の各溝位
置を設定する溝位置設定手段を設け、該手段が設定する
ウェハ支持用溝位置に基いて、前記ウェハボート１９を
前記モータＭでピッチ動作させるようにした。

（作用）この発明では、多数のウェハ支持用溝を分割して構成さ
れる各区間に基準位置を設定し、該位置の検出に基いて
各区間内の溝位置を設定し、８溝（を瞠を設定するピッ
チＰの累積誤差及び動力伝達機構による誤差を各区間の
ウェハ支持用溝の溝数によって定まる誤差に限定する。

（実施例）第１図はこの発明の一実施例を示すウェハ移載装置の斜
視説明図である。第２図はウェハ支持部材の側面説明図
、第３図は制御装置のブロック図、第４図はその処理の
フローチャートである。

第１図において、ウェハボート１９のウェハ支持部材２
０には、従来例（第６図）で示した溝７に代えて、基準
位置としての切欠き２１（’２１−１．２１−２．２ｌ
−３）と、各切欠き２１に従屈されるウェハ支持用溝２
２　（２２−１，２２−２，２２−３）が設けである。

各切欠き２１に従属される溝数は、ピッチ誤差の累積値
が移載に際し支承を来たさない程度の贋として定められ
ている。

第２図に詳細に示すように、溝２２は、所定ピッチＰで
群を作り、各群の先頭（図において左側）の前部に各切
欠き２１が設けられている。言い換えれば、満２２は、
従来例で示した溝７を分割したｖ４造であり、各溝群の
先頭部分より原点Ｘｏ側寄りに間隔ｄを置いて切欠き２
１が設けられている。各切欠き２１の原点Ｘｏに対する
距離はＬ＋＋１２　、Ｌ３である。

又、前記ウェハボート１９が移載のためにＸ方向に移動
したときに前記切欠き２１を一位置で検出する光学式セ
ンサ２３　（２３ａ　、’２３ｂ　）が設けられている
。２３ａは投光器、２３ｂは受光器を示している。

第１図において、従来例（第６図）で示した部材と同一
の機能を果す部材には同一の参照符号を付けて示しであ
る。

第３図に示すように、制御装置は、従来例と同様のモー
タドライバ１７にオア回路２４を介して切欠き位置演算
回路２５と溝位置演算回路２６が接続されている。

切欠き位置演算回路２５には、原点ＸＯから各切欠き２
１までの距離データＬ＋　、Ｌ２　、Ｌ３を記憶する切
欠き位置データ記憶部２７と、前記光学式センサ２３と
接続される信号入力部２８とが接続されている。又、切
欠き位置演算回路２５は、前記溝位置演算回路２６に対
し相互に接続され接続線には、モータ駆動量演算部２９
と接続されるてい倍回路３０と接続されている。モータ
駆１１７１ｍ演ロ部２９は前記エンコーダＥと接続され
ている。

前記溝位置演算回路２６は、第２図に示した各区間につ
いての距離ｄ１及びピッチＰを記憶した溝位置データ記
憶部３１と接続されている。

前記切欠き位置演算回路２５は、ウェハボート１９を第
２図に示した距離Ｌ　（Ｌ＋　、　Ｌ２　、　Ｌ３　）
から予定される切欠き位置近くまで高速動作させ、切欠
き位置付近で低速動作に移行させ、信号入力部２８から
切欠き検出信号が入力されたとき、モータＭを停止させ
るよう、モータドライバ１７を介してモータＭを制御す
る。

前記溝位置演算回路２６は、距離ｄにピッチＰを適合す
ることにより、８溝２２の位置を設定し、各溝２２位置
がチャック装置４の移載位置に来るようモータドライバ
１７を介してモータＭを制御する。

第４図に示すように、制御装置は、ステップ４０１で、
ドグ１２が光学式センサ１３位置に来るようウェハボー
ト１９を原点復帰させる。

ステップ４０２では、切欠き２１が光学式センサ２３位
置まで来るよう、モータＭにセンシング送りをかける。

センシング送りとは、最初高速で、目的とする切欠き位
置付近で低速動作をさせるものである。

ステップ４０３は、切欠き検出による割込み処理を示し
ている。

ステップ４０４では、切欠き検出信号に基いて、ウェハ
ボート１９を停止させる。又、ステップ４０５では、現
在位置に対し、距ｌ１１ｔｄ及びピッチＰを適合するこ
とにより８溝の位置を設定する。

ステップ４０６では、目的とする次の溝位置まで低速送
りをする。

ステップ４０７では、各区間内の現在位置がステップ４
０５で設定された溝位置データに一致したことを検出す
る。

ステップ４０８では、第５図に示したように、ウェハボ
ート１９の溝２２の位置をチャック装置４の移載位置と
合わμ、ウェハ１を満２２に支持可能の状態とする。

ここで、チャック装置４が作動し、ウェハ１を）笥２２
に支持させる。

ステップ４０９では、１区間内の処理完了を判断し、完
了すればステップ４１０へ移行する。ステップ４１０で
は、全区間内の処理完了を判断する。

本例では、各区間毎に切欠き２１で設定された基準位置
に対し、該切欠き２１の光学式センサ２３の検出に基い
て各区間の溝位置を設定するので、位圓決め誤差は、各
区間内でのボールねじ１１の僅かなピッチ誤差と各区間
の溝ピッチの誤差の和に限定され、第９図に示したよう
な大きな誤差は生じない。

従って、本例では、第５図に示すように、各溝２２位置
をチャック装置４の移載位置へ正確に合わせることがで
き、チャック装置４でウェハ１を確実に移載することが
できる。

上記実施例では、基準位置及びその検出手段を切欠き２
１及び投受光式の光学式センサ２３で構成する例を示し
たが、これは、反射体及びその検出器で構成する等地の
構成であっても良い。

又、上記実施例では、基準位置としての切欠きをウェハ
支持部材１５に取付け、光学式センサ２３を固定したが
、光学式センサを基準位置としてウェハボート１９に取
付け、被検出体としてのマークを固定位置に取付けるこ
ともできる。

なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではな
く、適宜の設計的変更を行なうことにより、他の態様で
も実施し得るものである。

［発明の効果］以上の通りこの発明によれば、多数のウェハ支持用ｉｎ
を分割して構成される各区間に基準位置を設定し、該位
置の検出に基いて各区間内の溝位置を設定するようにし
たので、各溝位置を設定するピッチＰの累積誤差及び動
力伝達’ａ　＋Ｆｉによる誤差を各区間のウェハ支持用
溝の溝数によって定まる誤差に限定することができ、ウ
ェハを確実に移載することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係るウェハ移載装置の斜
視説明図、第２図はウェハ支持部材の側面説明図、第３
図は上記ウェハ移載装置の制御２１１装置のブロック図
、第４図はその処理の内容を示すフローチャート、第５
図はウェハ移載状態の説明図、第６図は従来例に係るウ
ェハ移Ｍ、装置の斜視説明図、第７図はボールねじの詳
細説明図、第８図は従来のウェハ移載装置の制御装置の
ブロック図、第９図は従来のウェハ移載状態の説明図で
ある。１・・・ウェハ　　　　　　２・・・キャリア４・・・
チャック装置　　１２・・・原点設定用のドグ１５・・
・ウェハ支持部材　２１・・・切欠き２２・・・ウェハ
支持部材　２３・・・光学式センサＬ（Ｌ＋　、１２．
１３　）・・・原点から切欠きまでの距離Ｐ・・・ウェハ支持溝のピッチｄ・・・切欠きから最初の溝までの距離代理人　　弁理
士　　則　近　憲　佑代理人　　弁理士　　三　俣　弘　文第１　図Ｘ。第２閃第３図第４図第５閃第６１！１第７図第８図第９図

Claims

【特許請求の範囲】

ウェハボートを動力伝達機構を介して駆動力検出装置付
のモータでピッチ動作させ、前記ウェハボートに所定ピ
ッチで配列された複数のウェハ支持用溝にウェハを順次
移載するウェハの移載装置において、前記ウェハボート
に複数の基準位置を設け、該基準位置を前記ウェハボー
トの外部から検出する基準位置検出手段を設け、該手段
による前記基準位置の検出に基いて各基準位置に付属す
る区間の各溝位置を設定する溝位置設定手段を設け、該
手段が設定するウェハ支持用溝位置に基いて、前記ウェ
ハボートを前記モータでピッチ動作させることを特徴と
するウェハ移載装置。