JPS63228772A - 高繰返しパルスレ−ザ電極 - Google Patents
高繰返しパルスレ−ザ電極Info
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- JPS63228772A JPS63228772A JP6325887A JP6325887A JPS63228772A JP S63228772 A JPS63228772 A JP S63228772A JP 6325887 A JP6325887 A JP 6325887A JP 6325887 A JP6325887 A JP 6325887A JP S63228772 A JPS63228772 A JP S63228772A
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- Japan
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- discharge
- ionization
- electrode
- insulator
- groove sections
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、高繰返しパルスレーザ装置に使用される高繰
返しパルスレーザ電極に関するものであり、特に予備放
電を行う予備電離電極部分に改良を施した高繰返しパル
スレーザ電極に係る。
返しパルスレーザ電極に関するものであり、特に予備放
電を行う予備電離電極部分に改良を施した高繰返しパル
スレーザ電極に係る。
（従来の技術）
近年、ＣＯ２レーデ、エキシマレーザ等の各種高繰返し
パルスレーザ“装置における技術の著しい進歩に伴い、
これらの各種高繰返しパルスレーザ装置の−・層の小型
化、高性能化が要求されている。
パルスレーザ“装置における技術の著しい進歩に伴い、
これらの各種高繰返しパルスレーザ装置の−・層の小型
化、高性能化が要求されている。
この様な高繰返しパルスレーザ装置としては、例えば、
第３図に承り様な実開昭５５−６５８７５〕号のζ案が
存在している。
第３図に承り様な実開昭５５−６５８７５〕号のζ案が
存在している。
第３図において、レーザキャビティ１内には、主放電電
極２，３か対向配置され、この主成電電４ＪＪ２，３の
側方の近接位置には、予備電離電極４か配置されている
。予備電離電極４は、主成電電）※２，３に並べて配設
されたビーキングコンデン１す５に直列接続された電極
部材４Ａ、４Ｂと、この間に配設されたレラミックチッ
プ等の絶縁物６から崩成されている。パルス電源装置か
ら放電部へのパルス電圧の供給は、給電導体７を介して
なされる様になっている。また、レーザキＶビティ１の
壁面には、主放電電極２，３の長手方向両端に出力ミラ
ー８と全反射ミラー９とが配設され、この構成によって
主放電電極２，３間にグロー放電を生じた際、励起され
たレーザガスを共撮させてレーザ発売を７１い、図中１
０に示す方向にレーザ光を取出す様になっている。
極２，３か対向配置され、この主成電電４ＪＪ２，３の
側方の近接位置には、予備電離電極４か配置されている
。予備電離電極４は、主成電電）※２，３に並べて配設
されたビーキングコンデン１す５に直列接続された電極
部材４Ａ、４Ｂと、この間に配設されたレラミックチッ
プ等の絶縁物６から崩成されている。パルス電源装置か
ら放電部へのパルス電圧の供給は、給電導体７を介して
なされる様になっている。また、レーザキＶビティ１の
壁面には、主放電電極２，３の長手方向両端に出力ミラ
ー８と全反射ミラー９とが配設され、この構成によって
主放電電極２，３間にグロー放電を生じた際、励起され
たレーザガスを共撮させてレーザ発売を７１い、図中１
０に示す方向にレーザ光を取出す様になっている。
ところで、高繰返しパルスレーザ装置においては、主放
電電極２，３間に安定したグロー放電を発生するために
予め予備電離がなされるか、第３図の高繰返しパルスレ
ーザ装置における予（ｌｉ？ｌ電離は、予備電離電極４
の電４ＴＩ部材４Ａ、４８間に配置された絶縁物６の沿
面を放電ざぜて、紫外線光を発生させることで行なわれ
る。なお、第４図は、第３図の装置の予備電離電極４を
示す斜視図でおる。
電電極２，３間に安定したグロー放電を発生するために
予め予備電離がなされるか、第３図の高繰返しパルスレ
ーザ装置における予（ｌｉ？ｌ電離は、予備電離電極４
の電４ＴＩ部材４Ａ、４８間に配置された絶縁物６の沿
面を放電ざぜて、紫外線光を発生させることで行なわれ
る。なお、第４図は、第３図の装置の予備電離電極４を
示す斜視図でおる。
しかしながら、この様に絶縁物６の沿面を放電させた場
合、放電や、電極スパッタリングで沿面か汚損されて、
沿面放電特性が変化すると、予備電離電極４の放電開始
電圧が変化してしまい、安定した紫外線光が得られなく
なる。この様に予備電離の条件か不安定ｃ必るとレーザ
発振特性が安定Ｕず、特に繰返し数の多い場合や、繰返
し周液数の高い場合に、動作が著しく不安定となってし
にう。
合、放電や、電極スパッタリングで沿面か汚損されて、
沿面放電特性が変化すると、予備電離電極４の放電開始
電圧が変化してしまい、安定した紫外線光が得られなく
なる。この様に予備電離の条件か不安定ｃ必るとレーザ
発振特性が安定Ｕず、特に繰返し数の多い場合や、繰返
し周液数の高い場合に、動作が著しく不安定となってし
にう。
ざらに、絶縁物の沿面を放電ざぜるタイプの予備電離電
極４どしでは、第４図に示した様な単純形状の乙のの他
に、第５図に示す様に、絶縁物６の沿面に放電方向に沿
って溝部６Ａを有し、この）ｊへ部６Ａで放電を行なわ
けるものも存在している。
極４どしでは、第４図に示した様な単純形状の乙のの他
に、第５図に示す様に、絶縁物６の沿面に放電方向に沿
って溝部６Ａを有し、この）ｊへ部６Ａで放電を行なわ
けるものも存在している。
この様に、絶縁物６の溝部６Ａで放電を行なわける場合
には、ぞれだけ紫外線光が強くなる利点をイｊしている
反面、紫外線光が強力になるに従い絶縁物の沿面の１目
傷が多くなり、前記の様な予Ｗ１電離の不安定化が助長
されてしまう。
には、ぞれだけ紫外線光が強くなる利点をイｊしている
反面、紫外線光が強力になるに従い絶縁物の沿面の１目
傷が多くなり、前記の様な予Ｗ１電離の不安定化が助長
されてしまう。
（発明が解決しようとする問題点）
上記の様に、従来、絶縁物の沿面を放電させて予備電ｗ
ｉ＠行なわせるタイプの高繰返しパルスレーザ装置にお
いては、放電や電極スパッタリングで放電開始電圧が変
化してしまい、この結果安定した条件の予備電離が不可
能となる問題点が存在していた。
ｉ＠行なわせるタイプの高繰返しパルスレーザ装置にお
いては、放電や電極スパッタリングで放電開始電圧が変
化してしまい、この結果安定した条件の予備電離が不可
能となる問題点が存在していた。
本発明は、この様な従来技術の問題点を解決するために
提案されたものであり、その目的は、放電や電極スパッ
タリングによっても放電開始電圧が変化しない様にする
ことにより、常に安定した予備電離を行え、安定したレ
ーザ発振特性を得られる様な優れた高繰返しパルスレー
ザ電極を提供することである。
提案されたものであり、その目的は、放電や電極スパッ
タリングによっても放電開始電圧が変化しない様にする
ことにより、常に安定した予備電離を行え、安定したレ
ーザ発振特性を得られる様な優れた高繰返しパルスレー
ザ電極を提供することである。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本発明による高繰返しパルスレーザ電極は、予備電離電
極の対向電極の間に配置された絶縁物の沿面に、放電方
向と直交する複数の溝部を説けることを構成の特徴とし
ている。
極の対向電極の間に配置された絶縁物の沿面に、放電方
向と直交する複数の溝部を説けることを構成の特徴とし
ている。
（作用）
以上の様な構成を有する本発明においては、溝部にて空
間の絶縁破壊電圧を１ｑられる一方、溝部の放電に晒さ
れる他の沿面部では絶縁破壊電圧をほとんど得られない
ため、予備放電の放電開始電圧が複数の溝部の放電開始
電圧の総計にほぼ等しくなる。この場合、溝部の放電開
始電圧は、溝部の放電方向距離にて決定されるため、放
電や電極スパッタリングにＪ、っても放電特性が変化す
ることはなく、従って、常に安定した予備電離を行え、
安定したレーリ゛光（辰特性を１ｑられる。
間の絶縁破壊電圧を１ｑられる一方、溝部の放電に晒さ
れる他の沿面部では絶縁破壊電圧をほとんど得られない
ため、予備放電の放電開始電圧が複数の溝部の放電開始
電圧の総計にほぼ等しくなる。この場合、溝部の放電開
始電圧は、溝部の放電方向距離にて決定されるため、放
電や電極スパッタリングにＪ、っても放電特性が変化す
ることはなく、従って、常に安定した予備電離を行え、
安定したレーリ゛光（辰特性を１ｑられる。
（実施例）
以上説明した様な本発明による高繰返しパルスレーザ装
置極の実施例を以下に説明する。なお、第３図乃至第５
Ｎに示した従来技術と同一部分には同一？”］号を付し
、説明を省略する。
置極の実施例を以下に説明する。なお、第３図乃至第５
Ｎに示した従来技術と同一部分には同一？”］号を付し
、説明を省略する。
第１図の実施例は、絶縁物６の放電方向の２箇所に放電
方向に直交する溝部６Ｃ＠設【プたものである。この実
施例において、予備電離の際には、２箇所の溝部６Ｃに
て空間の絶縁破壊電圧が得られる一方、絶縁物６の溝部
６Ｃ以外の沿面においては、渦部６Ｃの放電に晒される
ためにほとんど電圧が１９られない。従って、同実施例
において、予備放電の放電開始電圧は２箇所の溝部６Ｃ
の放電開始電圧の総計にほぼ等しくなる。この場合、溝
部６Ｃの放電開始電圧は、溝部６Ｃの放電方向距離にて
決定されるため、従来技術の様に放電やＮ極スパッタリ
ングによって絶縁物６の放電開始電圧が変化する問題は
ない。従って、本実施例においては、放電の繰返し数や
繰返し周波数の高さに拘らず、常時安定した放電開始電
圧を得られるため、常に安定した予備電離を行え、安定
したレーザ発（膜特性を得られる。
方向に直交する溝部６Ｃ＠設【プたものである。この実
施例において、予備電離の際には、２箇所の溝部６Ｃに
て空間の絶縁破壊電圧が得られる一方、絶縁物６の溝部
６Ｃ以外の沿面においては、渦部６Ｃの放電に晒される
ためにほとんど電圧が１９られない。従って、同実施例
において、予備放電の放電開始電圧は２箇所の溝部６Ｃ
の放電開始電圧の総計にほぼ等しくなる。この場合、溝
部６Ｃの放電開始電圧は、溝部６Ｃの放電方向距離にて
決定されるため、従来技術の様に放電やＮ極スパッタリ
ングによって絶縁物６の放電開始電圧が変化する問題は
ない。従って、本実施例においては、放電の繰返し数や
繰返し周波数の高さに拘らず、常時安定した放電開始電
圧を得られるため、常に安定した予備電離を行え、安定
したレーザ発（膜特性を得られる。
第２図の実施例は放電方向に溝部６Ａを有する絶縁物６
に本発明を施したものであり、絶縁物６の放電方向の溝
部６Ａの構成面には、放電方向の２箇所に放電方向に直
交する溝部６Ｂが設けられている。本実施例においても
第１図の実施例と同様の作用効果を得られる。
に本発明を施したものであり、絶縁物６の放電方向の溝
部６Ａの構成面には、放電方向の２箇所に放電方向に直
交する溝部６Ｂが設けられている。本実施例においても
第１図の実施例と同様の作用効果を得られる。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
例えば、放電方向と直交方向の溝部を３箇所以上に設（
プることも可能である。また、本発明は、全ての予備層
ｌｉｔ電極間に絶縁物を配置する構成と、一部の予備電
離電極間のみに絶縁物を配置する構成のいずれも可能で
ある。さらに、本発明は、予備電離電極部分の特に絶縁
物の形状の改良に係る発明であるため、その他の構成、
即ら、主成電電（〜やピーキングコンデンサ等の形状、
配置構成等は適宜選択可能である。
例えば、放電方向と直交方向の溝部を３箇所以上に設（
プることも可能である。また、本発明は、全ての予備層
ｌｉｔ電極間に絶縁物を配置する構成と、一部の予備電
離電極間のみに絶縁物を配置する構成のいずれも可能で
ある。さらに、本発明は、予備電離電極部分の特に絶縁
物の形状の改良に係る発明であるため、その他の構成、
即ら、主成電電（〜やピーキングコンデンサ等の形状、
配置構成等は適宜選択可能である。
［発明の効果］
以」−説明した様に、本発明においては、予備電離電極
間に配設される絶縁物に、放電方向と直交づる溝部を設
けるという簡単な構成により、従来問題となっていた経
時的な絶縁物沿面の汚損の影響をほとんど受けることな
く、溝部の空間放電にで常に安定した放電開始電圧を得
られるため、安定したレーザ発振特性を得られる様な優
れた高繰返しパルスレーザ電極を提供できる。
間に配設される絶縁物に、放電方向と直交づる溝部を設
けるという簡単な構成により、従来問題となっていた経
時的な絶縁物沿面の汚損の影響をほとんど受けることな
く、溝部の空間放電にで常に安定した放電開始電圧を得
られるため、安定したレーザ発振特性を得られる様な優
れた高繰返しパルスレーザ電極を提供できる。
第１図は本発明による高繰返しパルスレーザ電極の一実
施例を示す斜視図、第２図は本発明の他の実施例を示す
斜視図、第３図は従来の高繰返しパルスレーザ発振装置
を示す斜視図、第４図及び第５図はそれぞれ従来の異な
るパルスレーザ電（伽を示す斜視図である。 １・・・レーザキャビティ、２，３・・・主放電電極、
４・・・予備電離電極、４Ａ、４Ｂ・・・電極部材、５
・・・ピーキングコンデンサ、６・・・絶縁物、６Ａ〜
６Ｃ・・・絶縁物、７・・・給電導体、８・・・出力ミ
ラー、９・・・全反射ミラー、１０・・・レーザ光。
施例を示す斜視図、第２図は本発明の他の実施例を示す
斜視図、第３図は従来の高繰返しパルスレーザ発振装置
を示す斜視図、第４図及び第５図はそれぞれ従来の異な
るパルスレーザ電（伽を示す斜視図である。 １・・・レーザキャビティ、２，３・・・主放電電極、
４・・・予備電離電極、４Ａ、４Ｂ・・・電極部材、５
・・・ピーキングコンデンサ、６・・・絶縁物、６Ａ〜
６Ｃ・・・絶縁物、７・・・給電導体、８・・・出力ミ
ラー、９・・・全反射ミラー、１０・・・レーザ光。
Claims (2)
- （１）対向配置された主放電電極の側方に主放電電極の
放電に先立って予備放電を行う予備電離電極を備え、こ
の予備電離電極の対向電極の間に絶縁物を配置して成る
高繰返しパルスレーザ電極において、 前記絶縁物の沿面に放電方向と直交する複数の溝部が設
けられたことを特徴とする高繰返しパルスレーザ電極。 - （２）絶縁物が、その放電方向に溝部を有するものであ
る特許請求の範囲第１項記載の高繰返しパルスレーザ電
極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6325887A JPS63228772A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 高繰返しパルスレ−ザ電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6325887A JPS63228772A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 高繰返しパルスレ−ザ電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63228772A true JPS63228772A (ja) | 1988-09-22 |
Family
ID=13224060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6325887A Pending JPS63228772A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 高繰返しパルスレ−ザ電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63228772A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0294486A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-04-05 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |
-
1987
- 1987-03-18 JP JP6325887A patent/JPS63228772A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0294486A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-04-05 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |
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