JPS6323629U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6323629U JPS6323629U JP11784986U JP11784986U JPS6323629U JP S6323629 U JPS6323629 U JP S6323629U JP 11784986 U JP11784986 U JP 11784986U JP 11784986 U JP11784986 U JP 11784986U JP S6323629 U JPS6323629 U JP S6323629U
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- JP
- Japan
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- detection circuit
- output
- discharge
- circuit
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図はこの考案の冷陰極真空測定装置の一実
施例のブロツク構成図、第２図は冷陰極真空計の
圧力と放電電流との関係図である。 １…冷陰極真空計、３…電流検出回路、５…変
化値検知回路、６…比較回路、８…放電停止検知
回路、９…アンド回路、１２…高圧力表示回路。
施例のブロツク構成図、第２図は冷陰極真空計の
圧力と放電電流との関係図である。 １…冷陰極真空計、３…電流検出回路、５…変
化値検知回路、６…比較回路、８…放電停止検知
回路、９…アンド回路、１２…高圧力表示回路。
Claims (1)
- 冷陰極真空計の陽極と陰極との間に定電圧をか
け、かつ前記両極の対称軸方向に強い磁場を与え
て磁界内で定電圧放電させ、この放電電流を電流
検出回路で検出して放電電流と真空度との間の一
定の関係から真空度を測定する冷陰極真空測定装
置において、前記電流検出回路の出力の変化を検
知する変化値検知回路と、この変化値検知回路の
出力が設定値以上になつたのを検出して出力する
比較回路と、前記検出回路の出力値が設定値以下
になつたことを検出して出力する放電停止検知回
路と、この放電停止検知回路と前記比較回路とか
ら同時に出力された時に駆動表示する高圧力表示
回路とを備えてなることを特徴とする冷陰極真空
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11784986U JPS6323629U (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11784986U JPS6323629U (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6323629U true JPS6323629U (ja) | 1988-02-16 |
Family
ID=31003749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11784986U Pending JPS6323629U (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6323629U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020052013A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 株式会社島津製作所 | 真空度検出装置、及び電子線照射システム |
-
1986
- 1986-07-30 JP JP11784986U patent/JPS6323629U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020052013A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 株式会社島津製作所 | 真空度検出装置、及び電子線照射システム |
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