JPH07121380B2 - 液吐出装置 - Google Patents
液吐出装置Info
- Publication number
- JPH07121380B2 JPH07121380B2 JP62067873A JP6787387A JPH07121380B2 JP H07121380 B2 JPH07121380 B2 JP H07121380B2 JP 62067873 A JP62067873 A JP 62067873A JP 6787387 A JP6787387 A JP 6787387A JP H07121380 B2 JPH07121380 B2 JP H07121380B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- liquid
- pump
- discharge
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- General Preparation And Processing Of Foods (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体、医薬品、食料品等の製造に際し使用
される高精度の液吐出装置に関する。
される高精度の液吐出装置に関する。
（従来の技術） 一般に、吐出液量に精度が要求される工程、例えば半導
体製造工程等においては、第２図〜５図に示すような液
吐出装置が使用される。
体製造工程等においては、第２図〜５図に示すような液
吐出装置が使用される。
第２図において、ソレノイドバルブ１を作動させスピー
ドコントローラ２を介してポンプ３を吸引状態にする。
ドコントローラ２を介してポンプ３を吸引状態にする。
この時、クローズバルブ４は閉じているので、ポンプ３
は逆止弁５を介して容器６に収容されている処理液７を
吸引する。
は逆止弁５を介して容器６に収容されている処理液７を
吸引する。
次に、ソレノイドバルブ１の作動を中止するとスピード
コントローラ８を介してポンプ３は吐出状態になり、ク
ローズバルブ４、サックバックバルブ９を介してノズル
10先端から処理液７を吐出する。そして、吐出が終了す
るとソレノイドバルブ１を作動させ、ポンプ３を吸引状
態にすると共に、サックバッグバルブ９によりノズル10
内にある処理液７をサッバックバルブ９方向に引き戻
す。
コントローラ８を介してポンプ３は吐出状態になり、ク
ローズバルブ４、サックバックバルブ９を介してノズル
10先端から処理液７を吐出する。そして、吐出が終了す
るとソレノイドバルブ１を作動させ、ポンプ３を吸引状
態にすると共に、サックバッグバルブ９によりノズル10
内にある処理液７をサッバックバルブ９方向に引き戻
す。
一方、第４図において、ポンプ43により逆止弁45を介し
て容器46に収容されている処理液47を吸引する。次に、
ポンプ43を吐出状態にすると、ポンプ43内に吸引されて
いた処理液47は、逆止弁44、サックバックバルブ49を介
してノズル50の先端より吐出される。そして、吐出が終
了すると前述と同様にノズル50内の処理液47を引き戻
す。
て容器46に収容されている処理液47を吸引する。次に、
ポンプ43を吐出状態にすると、ポンプ43内に吸引されて
いた処理液47は、逆止弁44、サックバックバルブ49を介
してノズル50の先端より吐出される。そして、吐出が終
了すると前述と同様にノズル50内の処理液47を引き戻
す。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述の装置には次に述べるような問題が
ある。
ある。
先ず、第２図の装置において、クローズバルブ４が閉じ
る動作をする際、このクローズバルブ４内の処理液７を
外に向って吐出しようとするポンピング作用をするのを
禁じ得ず吐出量が安定しない。
る動作をする際、このクローズバルブ４内の処理液７を
外に向って吐出しようとするポンピング作用をするのを
禁じ得ず吐出量が安定しない。
第３図は、クローズバルプ４の内部構成を示すもので、
シリンダ11により弁12を弁座13に押圧して液密にする。
一般に弁12はダイアフラム14等に固着されているので、
弁12が下降して閉じる動作をすると、ダイアフラム14は
弁座13側に変形する。したがって、液体室15の容積が減
少することとなり、クローズバルブ４外に処理液を吐出
してしまう。
シリンダ11により弁12を弁座13に押圧して液密にする。
一般に弁12はダイアフラム14等に固着されているので、
弁12が下降して閉じる動作をすると、ダイアフラム14は
弁座13側に変形する。したがって、液体室15の容積が減
少することとなり、クローズバルブ４外に処理液を吐出
してしまう。
この吐出の影響を減少させるために、ポンプ３の吸引力
によってクローズバルブ４のポンピング作用を吸収しよ
うと、ポンプ３とクローズバルブ４の動作タイミングを
調整する。しかし、一般にポンプ３、クローズバルブ４
共、空気圧によって駆動されるので、両者のタイミング
を常時安定させることは極めて難しい。
によってクローズバルブ４のポンピング作用を吸収しよ
うと、ポンプ３とクローズバルブ４の動作タイミングを
調整する。しかし、一般にポンプ３、クローズバルブ４
共、空気圧によって駆動されるので、両者のタイミング
を常時安定させることは極めて難しい。
例えば、もしポンプ３の吸引速度に対してクローズバル
ブ４の閉じる速度が速ければ、ノズル10側に処理液７を
押出してしまう。
ブ４の閉じる速度が速ければ、ノズル10側に処理液７を
押出してしまう。
逆に、遅ければノズル10側から大量の処理液７がポンプ
３に吸収されてしまう。
３に吸収されてしまう。
次に、第４図の装置においては、逆止弁44、45の安定
性、信頼性が問題であり、処理液47のノズル50からの液
垂れ、容器46への逆流が生じ易い。
性、信頼性が問題であり、処理液47のノズル50からの液
垂れ、容器46への逆流が生じ易い。
逆止弁44、45は弁に圧力が加わっている時は逆止機構を
果すが、圧力が加わっていない時例えばポンプ43が休止
している時は、液漏れ逆流を生じることがある。
果すが、圧力が加わっていない時例えばポンプ43が休止
している時は、液漏れ逆流を生じることがある。
すなわち、第５図に示すように逆止弁44、45はボール51
が座52に当接し液密になるが、圧力が加わらない時はボ
ール51の自重のみによって液密にすることとなる。
が座52に当接し液密になるが、圧力が加わらない時はボ
ール51の自重のみによって液密にすることとなる。
したがって、ボール51、座52に極めて微少であってもキ
ズ、表面粗さ等があれば液漏れが発生する。例えば、ノ
ズル50が容器46より高い位置に有れば長時間放置すると
容器46に向って処理液47が逆流し、ますノズル50が容器
46より低い位置に有れば、ノズル50先端より処理液47が
漏れ落ちてしまう。
ズ、表面粗さ等があれば液漏れが発生する。例えば、ノ
ズル50が容器46より高い位置に有れば長時間放置すると
容器46に向って処理液47が逆流し、ますノズル50が容器
46より低い位置に有れば、ノズル50先端より処理液47が
漏れ落ちてしまう。
ここで、逆止弁44、45をより信頼性の高いもの、例えば
スプリング等にて強制的にボール51を押圧する逆止弁4
4、45や、逆止弁44、45の使用数を増やしたもの等も用
いられる。しかし、この場合には、逆止弁44、45を開く
ために強い力が必要であり流路抵抗が増すので高粘度液
体を取扱い得ない。
スプリング等にて強制的にボール51を押圧する逆止弁4
4、45や、逆止弁44、45の使用数を増やしたもの等も用
いられる。しかし、この場合には、逆止弁44、45を開く
ために強い力が必要であり流路抵抗が増すので高粘度液
体を取扱い得ない。
また、逆止弁44、45を直列に重ねて使用した場合や、逆
止弁44、45内にスプリング等の押圧材を入れると、内部
に気泡等が溜り易くなり吐出量が不安定になる。
止弁44、45内にスプリング等の押圧材を入れると、内部
に気泡等が溜り易くなり吐出量が不安定になる。
本発明は、上述の従来の事情に対処してなされたもの
で、調整が容易で吐出精度の高い液吐出装置を提供しよ
うとするものである。
で、調整が容易で吐出精度の高い液吐出装置を提供しよ
うとするものである。
（問題点を解決するための手段） すなわち本発明は、被吐出液を吸引吐出するポンプ、前
記被吐出液の流れを断続制御する第１のバルブ、前記被
吐出液を一方向にのみ通過する逆止弁、前記被吐出液を
吐出終了時に吐出方向とは逆方向に引き戻す第２のバル
ブを備え、吐出液の流路に向って前記ポンプ、前記第１
のバルブ、前記逆止弁、前記第２のバルブの順に設ける
ことを特徴とする。
記被吐出液の流れを断続制御する第１のバルブ、前記被
吐出液を一方向にのみ通過する逆止弁、前記被吐出液を
吐出終了時に吐出方向とは逆方向に引き戻す第２のバル
ブを備え、吐出液の流路に向って前記ポンプ、前記第１
のバルブ、前記逆止弁、前記第２のバルブの順に設ける
ことを特徴とする。
（作用） 本発明の液吐出装置では、液の吐出方向に向って、ポン
プ、第１のバルブ、逆止弁、第２のバルブの順に配置接
続されているで、前記ポンプの吸引時に前記第２のバル
ブ側の液が逆流することはなく、また前記ポンプの休止
時に液が装置内を流動することを防止できる。
プ、第１のバルブ、逆止弁、第２のバルブの順に配置接
続されているで、前記ポンプの吸引時に前記第２のバル
ブ側の液が逆流することはなく、また前記ポンプの休止
時に液が装置内を流動することを防止できる。
（実施例） 以下、本発明の液吐出装置の一実施例を、図面を参照し
て説明する。
て説明する。
液吐出用のノズル101に向って順に、ポンプ102、第１の
バルブ例えばクローズバルブ103、逆止弁104、第２のバ
ルブ例えばサックバックバルブ105、ノズル101が直列に
配置接続されている。
バルブ例えばクローズバルブ103、逆止弁104、第２のバ
ルブ例えばサックバックバルブ105、ノズル101が直列に
配置接続されている。
ポンプ102の吸引口106は逆止弁107に配管接続されてお
り、この逆止弁107を介して容器108に収容されている処
理液109を吸引可能に構成されている。
り、この逆止弁107を介して容器108に収容されている処
理液109を吸引可能に構成されている。
また、ポンプ102はソレノイドバルブ110に接続されたポ
ンプ102の吸引速度を調整するためのスピードコントロ
ーラ111、吐出速度を調整するためのスピードコントロ
ーラ112により吸引吐出動作を行なう。
ンプ102の吸引速度を調整するためのスピードコントロ
ーラ111、吐出速度を調整するためのスピードコントロ
ーラ112により吸引吐出動作を行なう。
次に、クローズバルブ103には閉動作の速度を調整する
スピードコントローラ113が、吐出終了後ノズル101内の
処理液109を引き戻すサックバックバルブ105には吸引速
度を調整するスピードコントローラ114が接続されてい
る。
スピードコントローラ113が、吐出終了後ノズル101内の
処理液109を引き戻すサックバックバルブ105には吸引速
度を調整するスピードコントローラ114が接続されてい
る。
そして、この両スピードコントローラ113、114はポンプ
102のスピードコントローラ111と同一のソレノイドバル
ブ110出力に接続されている。
102のスピードコントローラ111と同一のソレノイドバル
ブ110出力に接続されている。
次に動作を説明する。
先ず、図示しない空圧源に接続されたソレノイドバルブ
110を作動させ、ポンプ102の動作を吐出状態にするとポ
ンプ102に吸引されていた処理液109を押し出し、クロー
ズバルブ103、逆止弁104、サックバックバルブ105を通
ってノズル101の先端から吐出する。
110を作動させ、ポンプ102の動作を吐出状態にするとポ
ンプ102に吸引されていた処理液109を押し出し、クロー
ズバルブ103、逆止弁104、サックバックバルブ105を通
ってノズル101の先端から吐出する。
吐出終了後、ソレノイドバルブ110の作動を停止すると
ポンプ102は吸引状態になり、クローズバルブ103は閉
じ、サックバックバルブ105はノズル101内の処理液を吸
引して引き戻す。
ポンプ102は吸引状態になり、クローズバルブ103は閉
じ、サックバックバルブ105はノズル101内の処理液を吸
引して引き戻す。
この時、スピードコントローラ111、113を調整して、ポ
ンプ102が処理液109を逆止弁107を介して吸引開始して
から終了するまでの時間内にクローズバルブ103が先に
閉じるようにしておく。
ンプ102が処理液109を逆止弁107を介して吸引開始して
から終了するまでの時間内にクローズバルブ103が先に
閉じるようにしておく。
そうすると、ポンプ102が吸引状態であるので逆止弁104
が作用し、サックバックバルブ105側からの液の逆流は
なく、クローズバルブ103が閉じる際のポンピング作用
による押出液はポンプ102に完全に吸収されるのでノズ
ル101より処理液109が押し出されることはない。
が作用し、サックバックバルブ105側からの液の逆流は
なく、クローズバルブ103が閉じる際のポンピング作用
による押出液はポンプ102に完全に吸収されるのでノズ
ル101より処理液109が押し出されることはない。
また、ポンプ102が休止状態で本装置を放置しても、逆
止弁104、107の他にクローズバルブ103が有るので、流
路は完全に閉ざされているので、処理液109が容器108に
向って逆流したり、ノズル101から漏れ落ちることはな
い。
止弁104、107の他にクローズバルブ103が有るので、流
路は完全に閉ざされているので、処理液109が容器108に
向って逆流したり、ノズル101から漏れ落ちることはな
い。
なお、本装置の調整方法として、例えば、次のように調
整する。
整する。
先ず、ポンプ102のスピードコントローラ112により適正
吐出速度に調整する。次に、クローズバルブ103のスピ
ードコントローラ113を絞った状態から徐々に緩めなが
ら、ポンプ102の吸引開始から吸引終了までの間にクロ
ーズバルブ103が閉じるように調整する。この調整は、
ポンプ102の吸引時間が長いので容易に行える。
吐出速度に調整する。次に、クローズバルブ103のスピ
ードコントローラ113を絞った状態から徐々に緩めなが
ら、ポンプ102の吸引開始から吸引終了までの間にクロ
ーズバルブ103が閉じるように調整する。この調整は、
ポンプ102の吸引時間が長いので容易に行える。
その後、サックバックブルブ105の吸引量を調整ネジ115
にて、吸引速度をスピードコントローラ114にて調整す
る。
にて、吸引速度をスピードコントローラ114にて調整す
る。
なお、逆止弁104とサックバックバルブ105を逆に配置す
ると、液吐出終了時ノズル101内の処理液109を引き戻す
サックバック動作ができない。したがって、本実施例の
ように逆止弁104は、クローズバルブ103とサックバック
バルブ105の間に配置する。
ると、液吐出終了時ノズル101内の処理液109を引き戻す
サックバック動作ができない。したがって、本実施例の
ように逆止弁104は、クローズバルブ103とサックバック
バルブ105の間に配置する。
上述のように本発明によれば、被吐出液が逆流したり漏
れ落ちたりすることがないので、吐出精度が高く、調整
が容易で、安定した液吐出を行うことができる。
れ落ちたりすることがないので、吐出精度が高く、調整
が容易で、安定した液吐出を行うことができる。
第１図は本発明の液吐出装置の一実施例を示す構成図、
第２図第３図は一従来例を示す構成図、第４図第５図は
他の従来例を示す構成図である。 102……ポンプ、103……クローズバルブ、104……逆止
弁、105……サックバックバルブ、107……逆止弁、11
1、113……スピードコントローラ。
第２図第３図は一従来例を示す構成図、第４図第５図は
他の従来例を示す構成図である。 102……ポンプ、103……クローズバルブ、104……逆止
弁、105……サックバックバルブ、107……逆止弁、11
1、113……スピードコントローラ。
Claims (1)
- 【請求項１】被吐出液を吸引吐出するポンプ、前記被吐
出液の流れを断続制御する第１のバルブ、前記被吐出液
を一方向にのみ通過する逆止弁、前記被吐出液を吐出終
了時に吐出方向とは逆方向に引き戻す第２のバルブを備
え、吐出液の流路に向って、前記ポンプ、前記第１のバ
ルブ、前記逆止弁、前記第２のバルブの順に設けること
を特徴とする液吐出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62067873A JPH07121380B2 (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | 液吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62067873A JPH07121380B2 (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | 液吐出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63236559A JPS63236559A (ja) | 1988-10-03 |
| JPH07121380B2 true JPH07121380B2 (ja) | 1995-12-25 |
Family
ID=13357473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62067873A Expired - Fee Related JPH07121380B2 (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | 液吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07121380B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0567270B1 (en) * | 1992-04-24 | 1996-12-04 | Hewlett-Packard Company | Back pressure control in ink-jet printing |
| SG81234A1 (en) | 1997-07-04 | 2001-06-19 | Toyko Electron Ltd | Process solution supplying apparatus |
| JPH1133471A (ja) * | 1997-07-23 | 1999-02-09 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置 |
| JP3329720B2 (ja) | 1998-01-19 | 2002-09-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置 |
-
1987
- 1987-03-24 JP JP62067873A patent/JPH07121380B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63236559A (ja) | 1988-10-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7029238B1 (en) | Pump controller for precision pumping apparatus | |
| JPS59177929A (ja) | サツクバツクポンプ | |
| TWI314478B (ja) | ||
| TW593888B (en) | Pump controller for precision pumping apparatus | |
| US5699934A (en) | Dispenser and method for dispensing viscous fluids | |
| KR102032065B1 (ko) | 정량 토출 장치 | |
| JPH10156253A (ja) | ディスペンサ装置 | |
| WO2017128793A1 (zh) | 封框胶涂布装置及其工作方法和封框胶涂布设备 | |
| US6206644B1 (en) | Compact dual pump | |
| TW202344313A (zh) | 出膠裝置及其出膠方法 | |
| JPH07121380B2 (ja) | 液吐出装置 | |
| JPH07324680A (ja) | 流動体供給方法および装置 | |
| NO994581D0 (no) | Doseringspumpe for dosert levering av vaeske | |
| US3348764A (en) | Pressure equalizing means for compressors and the like | |
| JPH0949828A (ja) | 複数種流体混合ポンプ装置 | |
| JPWO2023153331A5 (ja) | ||
| EP0388651A3 (de) | Austragvorrichtung für Medien | |
| JP2006026546A (ja) | 処理液供給システム | |
| JPH09151854A (ja) | 薬液供給装置 | |
| JPS6371586A (ja) | 送液装置 | |
| JPH02201071A (ja) | 送液装置 | |
| JPH0472070B2 (ja) | ||
| JPH07310663A (ja) | 送液ポンプ | |
| JP2593797Y2 (ja) | 液体噴射装置のアンローダ | |
| JP2699451B2 (ja) | プランジャポンプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |