JPS63238534A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS63238534A JPS63238534A JP7166587A JP7166587A JPS63238534A JP S63238534 A JPS63238534 A JP S63238534A JP 7166587 A JP7166587 A JP 7166587A JP 7166587 A JP7166587 A JP 7166587A JP S63238534 A JPS63238534 A JP S63238534A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- receiving diaphragm
- pressure receiving
- pressure
- annular
- adhesive layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、圧力を電気信号に変換するピエゾ抵抗素子を
有する圧力センサに関する。
有する圧力センサに関する。
（従来の技術）
この種圧力センサは、第５図に示すように構成されてい
る。すなわち、この圧力センサ５０ば。
る。すなわち、この圧力センサ５０ば。
ピエゾ抵抗素子５１を有する環状の受圧ダイア２ラム５
２と、この受圧ダイアフラム５２の凹所５３側でこの受
圧ダイアフラム５２を支持する支持台５４とを有してい
る。この受圧ダイアフラム５２と支持台５４とは、受圧
ダイアフラム５２の凹所５３側環状端面全域と支持台５
４との間に介在する接着層６２により取着されている。
２と、この受圧ダイアフラム５２の凹所５３側でこの受
圧ダイアフラム５２を支持する支持台５４とを有してい
る。この受圧ダイアフラム５２と支持台５４とは、受圧
ダイアフラム５２の凹所５３側環状端面全域と支持台５
４との間に介在する接着層６２により取着されている。
この支持台５４の中央部には、被測定圧力導入用の導入
筒５５が貫通取着されている。この導入筒５５から導入
された圧力は、前記受圧ダイアフラム５２の凹所５３側
に供給される。また、この導入筒５５は、環状凹部５６
を有する基体５７の中心部３に貫通支持されている。こ
の基体５７には、前記受圧ダイアフラム５２のピエゾ抵
抗素子５１の抵抗変化を外部に取出すための端子５８が
設けられている。この端子５８は、基体５７の軸方向に
貫通して取着され、リード線５９及び電極６１を介して
前記ピエゾ抵抗素子５１に接続されている。
筒５５が貫通取着されている。この導入筒５５から導入
された圧力は、前記受圧ダイアフラム５２の凹所５３側
に供給される。また、この導入筒５５は、環状凹部５６
を有する基体５７の中心部３に貫通支持されている。こ
の基体５７には、前記受圧ダイアフラム５２のピエゾ抵
抗素子５１の抵抗変化を外部に取出すための端子５８が
設けられている。この端子５８は、基体５７の軸方向に
貫通して取着され、リード線５９及び電極６１を介して
前記ピエゾ抵抗素子５１に接続されている。
このように構成された圧力センサ５０は、前記導入筒５
５から受圧ダイアフラム５２の凹所５３内に導入された
圧力と受圧ダイアフラム５２のピエゾ抵抗素子５１側に
供給される圧力との差圧をピエゾ抵抗素子５１で電気信
号に変換し圧力検出を行なっている。
５から受圧ダイアフラム５２の凹所５３内に導入された
圧力と受圧ダイアフラム５２のピエゾ抵抗素子５１側に
供給される圧力との差圧をピエゾ抵抗素子５１で電気信
号に変換し圧力検出を行なっている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、このように構成された圧力センサ５０に
おいては、第４図に点線で示すように。
おいては、第４図に点線で示すように。
受圧ダイアフラム５２のピエゾ抵抗素子５１側に圧力が
繰返し供給され９時には過大圧が印加されることにより
受圧ダイアフラム５２と支持台５４との間の接着層６２
が疲労し、はがれたりひびが入り損傷することがある。
繰返し供給され９時には過大圧が印加されることにより
受圧ダイアフラム５２と支持台５４との間の接着層６２
が疲労し、はがれたりひびが入り損傷することがある。
また、受圧ダイアフラム５２と支持台５４との材質が異
なるため２周囲温度の影響によシ受圧ダイアフラム５２
に歪や変形などの被測定圧力以外の機械的応力が生じ測
定精度が低下することがある。
なるため２周囲温度の影響によシ受圧ダイアフラム５２
に歪や変形などの被測定圧力以外の機械的応力が生じ測
定精度が低下することがある。
本発明の目的は、受圧ダイアフラムと支持台との間の接
着層が損傷することがなく、また周囲温度の影響により
受圧ダイアフラムに歪等が生じることのな−い圧力セン
サを提供することにある。
着層が損傷することがなく、また周囲温度の影響により
受圧ダイアフラムに歪等が生じることのな−い圧力セン
サを提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
上記目的を達成するために１本発明においては、受圧ダ
イアフラムと支持台とを、互いに対向する多面に介在さ
せた異径の環状接着層により接着し、その環状接着層間
に両者非接触空間を形成して構成したものである。
イアフラムと支持台とを、互いに対向する多面に介在さ
せた異径の環状接着層により接着し、その環状接着層間
に両者非接触空間を形成して構成したものである。
（作用）
このように構成されたものにおいては、受圧ダイアフラ
ムに繰返し圧力が印加されても多面で支持台に取着され
ているために機械的強度が大きく、接着層が損傷される
ことがなく、また環状接着層間に受圧ダイアフラムと支
持台とが接触しない空間部を形成したので１周囲温度変
化による影響をその空間部で吸収でき、受圧ダイアフラ
ムに歪等が生じることがなくなる。
ムに繰返し圧力が印加されても多面で支持台に取着され
ているために機械的強度が大きく、接着層が損傷される
ことがなく、また環状接着層間に受圧ダイアフラムと支
持台とが接触しない空間部を形成したので１周囲温度変
化による影響をその空間部で吸収でき、受圧ダイアフラ
ムに歪等が生じることがなくなる。
（実施例）
以下２本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。
１０は、中央部に環状凹所１１を有する受圧ダイアフラ
ムで、この受圧ダイアフラム１０の凹所１１と反対側面
にはピエゾ抵抗素子１２が形成されている。この受圧ダ
イアフラム１０はその凹所１１側先端部１３で環状の支
持台１４に支持されている。すなわち、この支持台１４
の受圧ダイアフラム１０側には、受圧ダイアフラム１０
の先端部１３が遊嵌する環状溝１５が形成されている。
ムで、この受圧ダイアフラム１０の凹所１１と反対側面
にはピエゾ抵抗素子１２が形成されている。この受圧ダ
イアフラム１０はその凹所１１側先端部１３で環状の支
持台１４に支持されている。すなわち、この支持台１４
の受圧ダイアフラム１０側には、受圧ダイアフラム１０
の先端部１３が遊嵌する環状溝１５が形成されている。
この環状溝１５の内側起立面２面と受圧ダイアフラム１
０の先端部１３両側面とは、接着材により取着されてい
る。すなわち、この環状溝１５と受圧ダイアフラム１０
とは、夫々互いに対向する軸方向２面間に介在する異径
の環状接着層１６．１７により一体化されている。
０の先端部１３両側面とは、接着材により取着されてい
る。すなわち、この環状溝１５と受圧ダイアフラム１０
とは、夫々互いに対向する軸方向２面間に介在する異径
の環状接着層１６．１７により一体化されている。
このように従来の一面での接着にして、２面で接着され
ているので大きな強度を得ることができる。
ているので大きな強度を得ることができる。
また、この受圧ダイアフラム１０の先端部１３の軸方向
に垂直な面とこれに対向する環状溝１５の面との間は、
離間している。すなわち、前記接着層１６．１７によυ
閉塞され九部分には。
に垂直な面とこれに対向する環状溝１５の面との間は、
離間している。すなわち、前記接着層１６．１７によυ
閉塞され九部分には。
両者非接触空間１８が形成されている。
この空間１８により２周囲温度変化の影響を吸収するこ
とができ、受圧ダイアフラム１０に有害なストレスが印
加されることは防止される。
とができ、受圧ダイアフラム１０に有害なストレスが印
加されることは防止される。
なお、２０は被測定圧力導入用の導入筒であり２図示し
ない基体に貫通支持されている。また。
ない基体に貫通支持されている。また。
２１は電極であり、前記ピエゾ抵抗素子１２の抵抗値変
化を図示しないリード線及び端子を介して外部に出力す
るためのものである。この端子は第５図に示すように基
体に貫通取着されている。
化を図示しないリード線及び端子を介して外部に出力す
るためのものである。この端子は第５図に示すように基
体に貫通取着されている。
次に２本発明の他の実施例につき第２図を参照して説明
する。
する。
前記の一実施例においては、受圧ダイアフラム１０と支
持台１４とを、異なる径を有する軸方向接着層２層によ
り取着するようにして説明したが、軸方向に垂直な接着
層により両者を取着するようにしても良い。すなわち、
受圧ダイアフラム１０の先端部１３に環状突起部２２を
形成し、支持台１４側にこの環状突起部２２が遊嵌する
凹部２３を形成する。そして、この環状突起部２２の軸
方向に垂直な３面とその各面に対向する支持台１４面と
の間を接着材で取着し１両者を３つの環状接着層２４，
２５．２６により一体化する。また、各環状接着層２４
，２５．２６で囲まれた軸方向面部の各々には、非接触
空間２７．２８が形成されている。
持台１４とを、異なる径を有する軸方向接着層２層によ
り取着するようにして説明したが、軸方向に垂直な接着
層により両者を取着するようにしても良い。すなわち、
受圧ダイアフラム１０の先端部１３に環状突起部２２を
形成し、支持台１４側にこの環状突起部２２が遊嵌する
凹部２３を形成する。そして、この環状突起部２２の軸
方向に垂直な３面とその各面に対向する支持台１４面と
の間を接着材で取着し１両者を３つの環状接着層２４，
２５．２６により一体化する。また、各環状接着層２４
，２５．２６で囲まれた軸方向面部の各々には、非接触
空間２７．２８が形成されている。
このように３面接着、２空間となるように構成したので
、前記実施例に比し機械的強度が大きくかつ周囲温度の
影響をより吸収することができる。
、前記実施例に比し機械的強度が大きくかつ周囲温度の
影響をより吸収することができる。
なお９強度のみを向上させる場合には、第３図に示すよ
うに受圧ダイアフラム１０の先端部１３の外コーナ部分
３０を接着するようにすれば良い。この第３図には、第
１図と同一部分に同一符号を付した。
うに受圧ダイアフラム１０の先端部１３の外コーナ部分
３０を接着するようにすれば良い。この第３図には、第
１図と同一部分に同一符号を付した。
本発明は以上のように構成し九ので９機械的強度が増大
するとともに周囲温度の影響を受けることがないなどの
効果を奏する。
するとともに周囲温度の影響を受けることがないなどの
効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は同じ
く他の実施例を示す断面図、第３図は同じく変形例を示
す一部切欠き断面図、第４図及び第５図は夫々従来例を
示す一部切欠き断面図である。 １０・・・受圧ダイアフラム １２・・・ピエゾ抵抗素子 １３・・・先端部 １４・・・支持台 １５・・・環状溝 １６、１７．２４．２５．２６・・・接着層１８、２７
．２８・・・空間 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 蔀 而
く他の実施例を示す断面図、第３図は同じく変形例を示
す一部切欠き断面図、第４図及び第５図は夫々従来例を
示す一部切欠き断面図である。 １０・・・受圧ダイアフラム １２・・・ピエゾ抵抗素子 １３・・・先端部 １４・・・支持台 １５・・・環状溝 １６、１７．２４．２５．２６・・・接着層１８、２７
．２８・・・空間 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 蔀 而
Claims (1)
- 一面にピエゾ抵抗素子を有するとともに中央部に凹所を
有する環状の受圧ダイアフラムと、この受圧ダイアフラ
ムをその凹所側で支持するとともに前記凹所内に被測定
圧力を導入するための導入孔を有する支持台とを有する
圧力センサにおいて、受圧ダイアフラムと支持台とを互
いに対向する多面に介在させた異径の環状接着層により
接着し、その環状接着層間に両者非接触空間を形成した
ことを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7166587A JPS63238534A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7166587A JPS63238534A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63238534A true JPS63238534A (ja) | 1988-10-04 |
Family
ID=13467123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7166587A Pending JPS63238534A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63238534A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012021923A (ja) * | 2010-07-16 | 2012-02-02 | Denso Corp | センサチップの実装構造およびその実装方法 |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP7166587A patent/JPS63238534A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012021923A (ja) * | 2010-07-16 | 2012-02-02 | Denso Corp | センサチップの実装構造およびその実装方法 |
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