JPS6324112A - 投影画像のエツジ検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

（産業上の利用分野１ この発明は、物体の寸法、変位ｆｆｉ等を測定するため
の投影画像のエツジ検出装置に係り、特に、測定対象物
に、測定用の毒李光線を照射し、これにより生じる透過
光又は反射光による測定対象物の投影灸を、受光素子か
らなるセンサーで走査して電気１８号を取り出し、この
信号に基づき該測定物の用法測定、位置判別、形状判断
等を行うための光学式測定機器における投影画像のエツ
ジ検出装−に３＋ｌ！する。

【従来の技術ｌ ？イ末このｉ・Ｅ光学式測定Ｕｌ！器、例えば、投影ば
は、代物台上の測定対象物を平行な光線により照射して
、その透過光又は反射光に基づきスクリーン上に該測定
対象物の投影像を結像させ、この結像から測定対象物の
寸法形状等を測定するものであるが、スクリーンに投影
された測定対象物の像のエツジ（端部）は一般的にいわ
ゆるにじみがあり、従って、載物台上の測定え１象物を
移動させ、そのスクリーン上の結像とヘアラインとの一
致から測定１！／１を正確に読み込むことは困難である
。 かかる間ｑｒＵ点を解消するために、従来は、結像のエ
ツジを光電素子を相対移動さけることにより、充電素子
の受光面に投影された像の四部とｎｎ部との面積の割合
の変化から充電素子から出力づ゛る電気１８号の大きさ
の変化を、参照電圧と比較しで、投影画像の端部を検出
するものがある。 しかしながら、この方法は、外乱光等のノイズの影響が
大きいと共に、光電素子から得られる信号又は参照電圧
の変動による測定精度の低下が大きいという問題点があ
る。 更に、スクリーン上の投影画像の境界（エツジ）に対し
て光電素子を相対移動させ、その時の出力信号を２階徽
分して波形信号をＩＪ、これと参照電圧との比較によっ
てエツジを検出するしのがあるが、光電素子と投影画像
との相対移動速度の大小によって、検出されるエツジの
位ｔが異なることがあり、更に、前記と同様に参照電圧
の変動による測定精度の低下が大きいという問題点があ
る。 更に、充電素子を２個配置して、これを役彰両内のエツ
ジに対して相対移動させ、これにより（ｑられた？ｃ２
攻の出力信号から波形の信号を１！′Ｐ、これと参照電
圧との比較によってエツジを検出するものがあるが、前
記と同様に光電素子から得られた出力信号と参照電圧と
の相対変化、レベル変Ｂ７１等から測定が非常に不安定
となり、更に、照射光線の照度に対する適用範囲が狭く
、又、測定態様が限定され口つ、センサ一部あるいは回
路部分が複雑になるという問題点がある。 ゛　持に、投影機においては、照射用の光源ランプの疲
労、投影系のレンズ特性、外乱光によりスクリーン上の
投影画像の明るさが変化し、又、投影倍率の切替により
投影画像の明るさが変化したり、更には測定音側の条件
として、例えば測定音の師の色（人種により異なる）に
より作業に好適な明るさが異なるため、これを適宜に選
択しなげれはならないが、前記のように照射光線の照度
に対する適用範囲が秋いと、結果として投影機の能力を
低下させてしまうことになる。 又、従来の］、ツジ検出方法では、投影画像のフォーカ
スがずれていた場合は、光？ｔ？１子による出力波形が
なだらかになってしまうので、正確ナエッジ検出ができ
ないという問題点があった。 この問題点は、投影機のみならず、一般的に透過光又は
反射光を検出して、直接的又は間接的に測定対象物の寸
法測定等をするための光学式測定機器におけるエツジ検
出に共通の問題である。 これに対して例えば特開昭５８−１７３４０８弓に開示
されるように、透過光又は反ｍ′／ｆ、を検出して、直
接的又は間接的に測定対象１力の寸法測定をするための
光学式測定機器におけるエツジ検出装置において、前記
測定対象物との）ｎ対移動時に生ずる明暗に基づき、少
なくとも２紺の位相ずれ信号を発生するよう移動面と略
平（ｊな面内に配設された４個の受光素子からなるセン
サーと、前記各相の位相ずれ信号の差を演算する第１及
び第２の演算手段と、これら第１及び第２の演算手段の
出力信号の差を団体する第３の演算手段及び和を演弾す
る第４の演算手段と、この第４の演算手段の出力信号が
所定レベルにある間に生じる、前記第３の演算手段の出
力信号と基準レベルのクロス信号を出力する検知手段を
設けたものが提案されている。 このエツジ検出装置は、測定対象物を照射する光強度、
測定中の外乱光等のノイズ、光電素子の出力信号あるい
は参照電圧の変動による影彎を伴なうことなく、しかも
簡単な構成で、測定対象物のエツジを検出することがで
き、又投影機において、投影画像の焦点ずれがあっても
、正確にエツジを検出することができ、更に、光電素子
からのアナログ信号を直接処理することにより、測定対
象物のエツジを検出することができるという利点がある
。 しかしながら、上記特開昭５８−１７３４０８号公報に
開示されるエツジ検出装置は、センサからの出力信号が
基準信号とクロスする点、即ら、測定対象物のエツジ位
置を含む特定領域を、判別するための手段として、第４
の演算手段の出力信号が所定レベルにある間に領域信号
を出力するようにされているが、前記第４の演算手段の
出力信８のレベルが低い場合は、実際のエツジ位置で、
領域信号を発生することができない場合があるという問
題点を有する。 叩も、測定対象物が、例えば半透明硝子製品等の、光を
完全に遮断することができない材料で形成されている場
合は、測定対照物を照明することによって得られた投影
画像の明部と暗部の比が小さくなり、明部を「１」、完
全暗部をｒ　Ｏｊとした場合、半透明硝子製品の投影画
像における暗部は１よりも小さく、月つ「０」よりも大
ぎい範囲となり、明部と暗部の差が小さいために、所定
レベル以上の信号を得ることができ１「、従って、領域
信号を発生することができないことがある。 更に、前記エツジ検出装置は、そのセンサーが田型に配
室された４個の受光素子から形成されているために、例
えば投影機におりるスクリーン上の投影画像に対する相
対移動時に、受光素子の境界線と移動方向が一致したと
き、投影画像のエツジを検出で心ない場合があり、従っ
て、投影画像に対するセンサーの移動方向の制限が生じ
るという問題点がある。 これに対して、本出願人は特願昭５９−２４９２７８号
により測定対象物が例えば半透明硝子製品等の、光を完
全に遮断することができない材！１の場合であっても、
そのエツジを確実に検出することができるようにした光
学式測定機器における］エツジ検出装置を提案している
。 上記のようなエツジ検出装置における領域信８発生器は
、アナログのサンプル・ホールド回路を用いて領域信号
を発生するようにされているので、領１峻信号が励起さ
れずに、誤計測をする恐れがあつ　ｌこ　。 即ち、アナログのサンプル・ボールド回路は、−ａ的に
トランスミッションゲート、コンデンナ、アンプ等を備
え、これらにおいて電流がリークするため、ホールド信
号が一定の減衰率で変化することになる。 特に、測定対象物を載置する載物台の送り）ｉセ１０が
非常に遅い場合や、アナログ信号たるホールド信号のホ
ールド後に暫く測定を行わないで載物台を傑出した後、
再び測定を始める場合等には、ハイホールド信号が減衰
してセンサー出力信号よりも小さくなるときがあり、こ
のような場合は、領域信号がローレベルとなって、本来
出力されるはずのエツジ信号が出力されることなく、誤
計測が生じる。 又、サンプル・ホールド回路でも↓へ［圃を設定する方
式は、エツジ検出装置の電源没入時に（よ基１１ｊ１直
がなく、スクリーン上の投影画□□□における明部又は
暗部でも領域イ二号が励起されてしまい、この対策のた
めに、別途の初期セット回路を設すイ１ければならない
という問題点がある。 ［発明の目的］ この発明は、上記問題点に鑑みて４ヱされたものであっ
て、投影画像に対するセンリーーの相対的侶１ＦｊＪ速
度が遅い場合や、センサーの受光部近傍に役影画像のエ
ツジがあり、ｐつ測定を休止した後で測定を再開するＪ
Ｑ合であっても、領域信号が確実に励起されるようにし
て誤計測を防止した投影画像のエツジ検出装置を提供す
ることを目的とする。 又、初ｍセット回路を設ける必要がない投影画像のエツ
ジ検出装置を提供することを目的とする。 【問題点を解決するための手段】 この発明は、透過光又は反射光による測定対象物の投影
画像によって寸法測定をするための光学式測定機器にお
ける投影画像のエツジ検出装置において、外周が円形の
内側受光素子、及び、この内側受光素子を囲んでこれと
同心で面積の等しい輪帯状に配置されてなる外側受光素
子を備え、目つ、これら内側受光素子及び外側受光素子
が、円周方向に少なくとも２個の偶数に′８区画された
内側分割受光素子及び外側分割受光素子から構成され、
前記測定対τ−物との相対移動時に生ずる明暗に基づき
、位相ずれ信号を発生するセンサーと、前記内側及び外
側分割受光素子のうちの一方における１つの直径方向に
対向する分割受光素子の出力の差が所定値を越えるとき
に領域信号を出力する領域（Ｍ号発生回路と、この領域
信号発生回路から領域信号が出ツノされている間であっ
て、前記内側分割受光素子の出力の総和と外側弁：９ｊ
受光木了の出力の総和が一致するときに、エツジ信号を
出力する検知回路と、を設けることにより上記目的を達
成するものである。 又、前記内側及び外側受光素子を、それぞれ２分割し、
且つ、その分割方向が直交するようにして上記目的を達
成するものである。 又、前記領域信号発生回路を、前記２つの外側分割受光
素子の出力の差を演算する第１の差演算器と、前記２つ
の内側分割受光素子の出力の差を演算する第２の差演算
器と、前記第１の差演算器の出力信号とプラス側参照信
号及びマイナス側参照信号と比較し、該出力信号がこれ
らの参照信号の値の間にないとき信号を出）Ｊする第１
のウィンドコンパレータと、前記第２の差演算器の出力
イＳ号とプラス側参照信号及びマイナス側参照信号と比
較し、該出力信号がこれらの参照信号の１心の間にない
とき信号を出力する第２のウィンドコンパレータと、前
記第１及び第２のウィンドコンパレータの少なくとも一
方のみが信号を出力するとき領域信号を出力するＯＲゲ
ートと、を有するよ−うにして上記目的を達成するもの
である。 【作用１ この発明においては、領域信号発生回路におけるウィン
ドコンパレータに入力される信号が、分割受光素子の出
力信号の差であって、且つ、これらの信号と比較される
べき信号は予め設定されたプラス側及びマイナス側の参
照信号■ｒｅｆ”とＶｒｅｆ−であるので、センサーの
投影画像に対する相対速度が遅い場合、あるいは、セン
サーが投影画像のエツジ近傍で測定を一時休止した後再
開する場合等であっても、確実に領域信号を発生ずるこ
とができる。 又、初期セット回路等を設けることなく、領域信号が電
源投入時に誤ってＱ１起されるようなことを防止でさる
。 【実施例１ 以下本発明の実施例を図面を参照して説明するつこの実
施例は、本発明を、投彰濾に適用したものであり、第１
図及び第２図に示されるように、光源ランプ１からの光
をコンデンサレンズ２を介して載物台３の下方から、あ
るいは他の光路を介して載物台３の−Ｅ方から、該載物
台３Ｆの測定対象物４を黒用して、その透過光又は反射
光に基づき、投影レンズ５を介してスクリーン６上に、
」１１定対雫物４の投影画像４Ａを結像させ、この投影
画像４Ａにより、間接的に測定対？！物４の寸法１り定
等をするための投影機１０における投影画像のエツジ検
出装２において、円形の内側受光素子１２、及び、この
内側受光素子１２を囲んでこれと同心で面積の等しい輪
帯状に配置されてなる外側受光素子１４を備え、且つ、
該内側受光素子１２が、２等分された半円形の第１及び
第２の内ｆｆ１ｉ＋分割受光素子１２Ｂ、１２Ｄからな
り、外側受光素子１４が前記内側受光素子１２におジノ
ると直交する方向に２分割された第１、第２の外側分割
受光素子１４Ａ、１４Ｃからなり、前記測定対象物４と
の相対移動時に牛する明Ｍに基づき、位相ずれ信号を発
生するセンサー１６と、前記第１、第２の外側弁ｖ１受
光ｉ子１／ＩＡ、１４Ｃ又ｔ、Ｌｌｌ、第２の内側分割
受光素子１２Ｂ、１２Ｄの出力の苧が所定ｆ１１１′ｌ
を越えるときに領Ｉｉ！信号を出力する領域信号発生回
路１８と、この領域信号発生回路１８から領域信号が出
力されている間であって、前記内側分割受光素子１２８
，１２０の出力の総和と外側分割受光素子１４Ａ、１４
Ｃの出力の総和が一敗するときに、エツジ信号を出力す
る検知回路２０とを設けたものである。 前記領域信号発生回路１８は、前記第１及び第２の外側
分割受光素子１４Ａ、１４Ｃの出力の差を演算する第１
の差演算器２２と、前記第１及び第２の内側分割受光素
子１２Ｂ、１２Ｄの出力の差を液口する第２の差演算器
２４と、前記第１の差演算２！１ｆ２２の出力信号とプ
ラス側参照信号■ｒｅｆ＋及びマイナス側参照信号Ｖ　
ｒｅｆ−と比較し、該出力信号がこれらの参照信号Ｖ　
ｒｃｆ十とＶ　ｒｅｆ−の値の間にないとき信号を出力
する第１のウィンドコンパレータ２６と、ｎｉＩ記第２
の差部Ｃ’７照２４の出カイ３′；″Ｊとプラス１１１
１１　参照信号＼／ｒｅｆ”及びマイナス（ｌｔｑ勾照
信号Ｖ　ｒｅｆ−と比較し、該出力信５弓がこれらの参
照信号＼／　ｒＯｆ＋とＶ　ｒｃｆ−の藺の間にないと
き信号を出力する１２のウィンドコンパレーク２８ど、
前記第１及び第２のウィンドコンパレータ２６．２８の
少なくとも一方のみが信ｇを出力サイ）とき領域信号を
出力するＯＲゲート３０とを備えている。 前記センサー１６は、第１図に示されるように。 役彰機１０のスクリーン６の上面にこれと’Ｔ’　ｔｒ
に■つ摺動可能に戴置された透明板７と一体的に設けら
れ、前記透明板７と共に、移動できるよ−うにされてい
る。 前記セン”）−１６の外側受光素子１４は、内側受光素
子１２の周囲に、半径方向の間隔をおいて同心の輪状に
形成されている。 又、前記検知回路２０は、プリアンプ１５△〜１５Ｄを
介して入力される前記４個の分割受光素子１４△、１４
Ｃ及び１２Ｂ、１２Ｄの出力信号の和を演算する第１及
び第２の和演算器３２．３３と、これら第１及び第２の
和演算器３２．３３の出力信号の差を演算する差Ｆｉ４
算器３４と、この差演算器３４の出力信号と基準レベル
の信号とを比較して、両者が一敗するとき、即ちクロス
ポイントにおいて信号を出力づ゛る比較器３６と、この
比較器３６から信号が出力されたとき、これに基づいて
エツジパルス信号を発生するパルス信号発生器３８と、
このパルス信号発生器３８及び前記領域信号発生回路１
８の両者から（８号が出力されているときのみエツジ検
出信号を出力するＡＮＤゲート４０と、を備えている。 このＡＮＤゲート４０からの出力信号は、載物台３に連
動する変位検出装置４２のカウンタ４４にエツジ検出信
号を出力するようにされている。 この変位検出装置ｉ’Ｔ４２は、前記載物台３に連動し
てその移動量に応じてパルス信号を発生するエンコーダ
４６と、このエンコーダ４６から出力されるパルス信号
を読取る前記カウンタ４４とから構成されている。 このカウンタ４４は、前記ＡＮＤゲー１〜４Ｑがらエツ
ジ検出信号が入力されるときに、その読取り値を記憶装
置４８に出力するようにされている。 次に上記実施例の作用を説明する。 スクリーン６上に結代された測定対豪物４の投影画Ｂ４
Ａを、載物台３を移動させることにより、センサー１６
に対して第２図のＸ方向に相対的に移動させ、投影画像
４△のエツジがセンサー１６を１ａＶＪるようにする。 投影画像４Δが、センサー１６に相対的に接近し且つこ
れを通過した場合は、外側分割受光素子累〒１４Ａ、　
１４Ｇニヨリ１”Ｊうｆｌ、、７！Ｊ７ン７１５Ａ、１
５Ｇにより調整されて、第１の和演紳器３２を鋒Ｃ加口
された信号、及び、内側分割受光素子１２Ｂ、１２０に
より（りられ、プリアンプ１５Ｂ、１５Ｄにより調整さ
れて、第２の和演算器３３　′ｌ！”。 経て加等された（３弓は、第３図＜Ａ＞に符号り及びａ
によって示されるように、ｊ膜幅の等しいσ７１目ｆ杭
信号となる。これらの出力信号は、第３図Ｎ３＞に示さ
れるように、差演算′ａ３１によりＣ−ａ−ｂに演算さ
れ、出力される。 前記外側受光素子１４における第１及び第２の外側分割
受光素子１４△、１４Ｇによって得られた信号はプリア
ンプ１５△、１５Ｇを経て、信ＣＡ、Ｃとして第１の差
部０器２２に入力される。 この第１の差演算器２２は入力された２つの信号Ａ、Ｃ
の差を演算して、その結果の信号ｆ−Ａ−Ｇを第１のウ
ィンドコンパレータ２６に出力する。 又、前記内側受光素子１２における第１及び第２の内側
分割受光素子１２８，１２０によって得られた信号はプ
リアンプ１５８，１５０によって調整された後、信号Ｂ
、Ｄとして第２の差演算器２４に出力される。 この第２の差部障７Ｓ２４は入力された２つの信号Ｂ、
Ｄの差を演東してその信号（１−Ｂ−Ｄを第２のウィン
ドコンパレータ２８に出力する。 ここで、前記セン１ナー１６が、投影画像４Ａに対して
、第２図に示されるように、第１及び第２の外側分割受
光素子１４Ａ、１４Ｃの中心を通る直径の方向に、第１
の外側分割受光素子１４　Ａ　ｌｌ］、Ｑから相対的に
接近した場合、第１のに演陣器２２の出力信号ｒは第３
図（Ｄ）で示されるようになる。 これに対して、第１及び第２の内側分割受光素子１２Ｂ
、１２Ｄは投影側１１４Ａのエツジに対して常に等距離
となるように相対的に移動されるので、両者の出力信号
の差、即ち第２の差演算器２４の出カイを号！７−０と
なる。 前記第１のウィンドコンパレータ２６は、第１の差部ｆ
７器２２からの入力信号ｆの値が予め設定されたプラス
側参照信号Ｖｒｅｆ◆及びマイナス側舎ｒｙｐｔ信号＼
／　ｒｅｆ−と比較して、出力信号ｆがこれら参照信号
の値の間にないときにその出力信号りがハイレベルとな
る。 即ち、第３図（Ｅ）に示されるような信号りがＯＲゲー
ト３２に対して出力されることになる。 一方、第２の差演算器２４の出力信号はり＝Ｏとなり、
プラス及びマイナス側参照信号■ｒｅｆ　“とＶ　ｒｅ
ｆ−との間にあるので、第２のウィンド」ンパレーク２
８は信号を出力しない。 従って、ＯＲゲー１−３０に対しては第１のウィンドコ
ンパレータ２６の出力信号りのみが入力され、このため
、該ＯＲゲート３０は第３図（Ｆ）に示されるような領
域信号ｊを検知回路２０のＡＮＤゲート４０に対して出
力することになる。 一方、前記差？ＩｔｉＲ５３４によって出力される差動
出力信号Ｃは比較器３６に入力され、この比較５３６は
、差動出力（３号Ｃが００暴準レベル信号とクロスする
時に信号ｋを出力する。比較器３６の出力信号ｋに基づ
き、パルス信号発生器３８は、第３図（Ｃ）に示される
ようなパルス信号λをΔＮｒ）ゲート４０に出力する。 前記パルス信号発生器３８からのパルス信号ρと、ＯＲ
ゲート３０からのデジタル信号ｊは、ＡＮＯゲート４０
に入力され、このＡＮＤゲートは、該入力信号が共にハ
イレベルの時に、第３図（Ｇ　）で示されるように、例
えば、１０μｓｅｃのパルス信号ｍを出力し、この時点
で、投影画像４Ａのエツジを検出する。 ここで、前記比較器３６は、入力信号Ｃが零レベルを横
切る際に１３号ｋを出力する。 従って、比較器３６は、セン畳ナー１６が投影側８１４
△のエツジの外側あるいは内側、即ち、明部Ｉ′＋ｎａ
部であっても不要な信号ｋを出力し、その都度、パルス
信号発生器３８は第３図（Ｃ）において示されるような
不要なパルス信号し１あるいは１−２を出力してしまう
ことになるが、これは、領域信号発生回路１８からのｆ
Ａ戚信号、ｊとパルス信号発生器３８からのパルス信号
βの両名がＡＮＤゲート４０に入力されたときのみエツ
ジ信号が出力されるのｒ１不要なパルス信号１−１及び
１−２に基づくエツジ信号が出力されることはない。 この実施例においては、ｆＡ域信号発生回路１８におけ
る第１及び第２のウインド二］ンバレータ２６．２８に
入力される信号が、分割受光素子１／１△、１４Ｇ及び
１２Ｂ、１２Ｄの出力信号の差であって、Ｄつ、これら
の信号と比較されるべき信号は予め設定されたプラス側
及びマイ犬ス測の参照ＩＭ　Ｆｒ　Ｖ　ｒ　ｅ　ｆ＋と
Ｖ　ｒＱｆ−であるので、セン４ｊ−１６の投影画ａ４
△に対する相対速度が遅い場合、あるいは、センサ゛−
１６が投影両Ｂ４Ａのエツジ近■で測定を一時休止した
後再開する場合等であっても、確実に領域信号を発生す
ることができる。 又、初期セット回路等を設けることなく、領戚信舅が電
源投入時に誤って励起されるようなことを防止できる。 なお上記実施例の作用は、第２図に示されるように、第
１及び第２の外側分割受光素子１４Δ、１／Ｉｃの中心
を通る直径方向に、センナ−１６が投影画像４Ａのエツ
ジに対してこれを横切るようにした場合のものであるが
、セン→ノー１６が上記と直交する方向くＹ方向）に移
動する場合あるいけ斜めに移！Ｆ７１する場合であって
も、前記と同様にエツジ信号ｍを１ｒ：Ｉることができ
る。 更に、上記実施例において、センサー１６を構成する内
側受光素子１２が円形であって、且つ外側受光素子１４
が輪状であり、共に２分割されているが、本発明はこれ
に限定されるものでなく、４分割、６分割等の偶数に分
割されるものであればよい。 又、内側受光素子１２及び外側受光素子１１４・“ノ（
１ｔに輪状であってＩ：）Ｊ：い。 更に前記実施例は、載物台３を移動さぜることにより投
影画像４Ａをセンサー１６に対して移動させるものであ
るが、と札は、投影画象４△に幻してセンナ−１６を移
％）Ｉさせるようにしてもよい。 又、上記実施例は、投影機においてそのスフＩ」−ン上
の投影画像のエツジを測定する場合のものであるが、本
発明はこれに限定されるものぐなく、光学式測定機器等
における投影画像のエツジ検出′Ｆ：冒に一般的に適用
されるものである。 従って、例えば、光学素子を形成したメインスケール及
びインデックススケールの相対移動から、光電的に寸法
等を測定するための光電式測長器、あるいはレーザー光
等により測定対象物を平（テ走査して、その明部と暗部
から該測定対象物の１八等を測定する測定機器等におけ
るエツジ検出装覚にも適用されるものであるう ［１明の効果］ 本発明は上記のように構成したので、投影画像に対する
センサーの移動速度が遅い場合、あるいけ投影画像のエ
ツジ近傍においてセンサーを一時停止させ、再度移動さ
せた場合であっても、確実に領域信号を励起させて、投
影画像のエツジを検出することができるという優れた効
果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る投影画像のエツジ検出装置を投影
機に実施した場合の実施例を示す光学系統図、第２図は
同実施例の構成を示すブロック図、第３図は同実施例に
おける信号処理の過程を示す線図である。 ４・・・測定対象物、 ４△・・・１２影画像、 １２・・・内側受光素子、 １２Ｂ、１２Ｄ・・・内側分割受光素子、１４・・・外
側受光素子、 １４△、１４Ｃ・・・外側分割受光素子、１６・・・セ
ンサー、 １８・・・領域信号発生回路、 ２０・・・検知手段、 ２２・・・第１の差部０器、 ２４・・・第２の差部σ器、 ２Ｇ・・・第１のウィンドコンパレータ、２８・・・第
２のウィンドコンパレータ、３０・・・ＯＲゲート、 ３２・・・第１の相部障器、 ３３・・・第２の相部口器、 ３８・・・パルス信号発生器、 ４０・・・ＡＮＤゲート。 代理人　　　　松　　山　　圭　　名 高　　矢　　　　論 第１図 ｔｊＳ３図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）透過光又は反射光による測定対象物の投影画像に
   よつて寸法測定をするための光学式測定機器における投
   影画像のエッジ検出装置において、外周が円形の内側受
   光素子、及び、この内側受光素子を囲んでこれと同心で
   面積の等しい輪帯状に配置されてなる外側受光素子を備
   え、且つ、これら内側受光素子及び外側受光素子が、円
   周方向に少なくとも２個の偶数に等区画された内側分割
   受光素子及び外側分割受光素子から構成され、前記測定
   対象物との相対移動時に生ずる明暗に基づき、位相ずれ
   信号を発生するセンサーと、前記内側及び外側分割受光
   素子のうちの一方における１つの直径方向に対向する分
   割受光素子の出力の差が所定値を越えるときに領域信号
   を出力する領域信号発生回路と、この領域信号発生回路
   から領域信号が出力されている間であつて、前記内側分
   割受光素子の出力の総和と外側分割受光素子の出力の総
   和が一致するときに、エッジ信号を出力する検知回路と
   、を設けてなる投影画像のエッジ検出装置。
2. （２）前記内側及び外側受光素子は、それぞれ２分割さ
   れ、且つ、その分割方向が直交するようにされてなる特
   許請求の範囲第１項記載の投影画像のエッジ検出装置。
3. （３）前記領域信号発生回路は、前記２つの外側分割受
   光素子の出力の差を演算する第１の差演算器と、前記２
   つの内側分割受光素子の出力の差を演算する第２の差演
   算器と、前記第１の差演算器の出力信号とプラス側参照
   信号及びマイナス側参照信号と比較し、該出力信号がこ
   れらの参照信号の値の間にないとき信号を出力する第１
   のウインドコンパレータと、前記第２の差演算間の出力
   信号とプラス側参照信号及びマイナス側参照信号と比較
   し、該出力信号がこれらの参照信号の値の間にないとき
   信号を出力する第２のウインドコンパレータと、前記第
   １及び第２のウインドコンパレータの少なくとも一方の
   みが信号を出力するとき領域信号を出力するＯＲゲート
   と、を有してなる特許請求の範囲第２項記載の投影画像
   のエッジ検出装置。