JPS6324257U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6324257U JPS6324257U JP11481986U JP11481986U JPS6324257U JP S6324257 U JPS6324257 U JP S6324257U JP 11481986 U JP11481986 U JP 11481986U JP 11481986 U JP11481986 U JP 11481986U JP S6324257 U JPS6324257 U JP S6324257U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- evaporation source
- starting
- power source
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 3
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- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の構成を示すブロ
ツク図、第２図はその要部の具体的な構成を示す
断面図、第３図は第１図の各部の波形図、第４図
は従来例を示すブロツク図、第５図はその要部の
具体的な構成を示す断面図である。 １……真空槽、３……蒸発源、４……トリガ電
極、７……アーク電源、２１……ギヤツプスイツ
チ、２１ａ……始動電極、２２……振動抑止抵抗
、２３……コンデンサ、２４……充電電源、２６
……始動電源、２７……電圧検出回路。
ツク図、第２図はその要部の具体的な構成を示す
断面図、第３図は第１図の各部の波形図、第４図
は従来例を示すブロツク図、第５図はその要部の
具体的な構成を示す断面図である。 １……真空槽、３……蒸発源、４……トリガ電
極、７……アーク電源、２１……ギヤツプスイツ
チ、２１ａ……始動電極、２２……振動抑止抵抗
、２３……コンデンサ、２４……充電電源、２６
……始動電源、２７……電圧検出回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 金属製の真空槽と、この真空槽と電気的に
絶縁した状態で前記真空槽の内壁に取付けた金属
製の蒸発源と、この蒸発源に対向しかつ前記真空
槽と電気的に絶縁した状態で前記真空槽に取付け
たトリガ電極と、前記蒸発源および真空槽間に接
続したアーク電源と、前記トリガ電極および真空
槽間に接続したコンデンサ、振動抑止抵抗および
ギヤツプスイツチの直列回路と、前記コンデンサ
を充電する充電電源と、前記ギヤツプスイツチの
始動電極に始動電圧を与える始動電源とを備えた
蒸発源のアーク点弧装置。 (2) 前記蒸発源および真空槽間の電圧の上昇を
検出する電圧検出回路を設け、この電圧検出回路
の出力に応答して前記始動電源を作動させるよう
にした実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の蒸
発源のアーク点弧装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11481986U JPS6324257U (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11481986U JPS6324257U (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324257U true JPS6324257U (ja) | 1988-02-17 |
Family
ID=30997903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11481986U Pending JPS6324257U (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6324257U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0280660A (ja) * | 1988-09-13 | 1990-03-20 | Wakayama Tekko Kk | 毛焼用水冷ロール洗浄装置 |
| JP2005150118A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Unaxis Balzer Ag | 点火装置、電気的アーク蒸発器および工作物の加工方法 |
-
1986
- 1986-07-25 JP JP11481986U patent/JPS6324257U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0280660A (ja) * | 1988-09-13 | 1990-03-20 | Wakayama Tekko Kk | 毛焼用水冷ロール洗浄装置 |
| JP2005150118A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Unaxis Balzer Ag | 点火装置、電気的アーク蒸発器および工作物の加工方法 |
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