JPS63246450A - スタ−リングエンジン - Google Patents
スタ−リングエンジンInfo
- Publication number
- JPS63246450A JPS63246450A JP7855287A JP7855287A JPS63246450A JP S63246450 A JPS63246450 A JP S63246450A JP 7855287 A JP7855287 A JP 7855287A JP 7855287 A JP7855287 A JP 7855287A JP S63246450 A JPS63246450 A JP S63246450A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- buffer tank
- stirling engine
- cylinder
- expansion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02G—HOT GAS OR COMBUSTION-PRODUCT POSITIVE-DISPLACEMENT ENGINE PLANTS; USE OF WASTE HEAT OF COMBUSTION ENGINES; NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F02G1/00—Hot gas positive-displacement engine plants
- F02G1/04—Hot gas positive-displacement engine plants of closed-cycle type
- F02G1/043—Hot gas positive-displacement engine plants of closed-cycle type the engine being operated by expansion and contraction of a mass of working gas which is heated and cooled in one of a plurality of constantly communicating expansible chambers, e.g. Stirling cycle type engines
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02G—HOT GAS OR COMBUSTION-PRODUCT POSITIVE-DISPLACEMENT ENGINE PLANTS; USE OF WASTE HEAT OF COMBUSTION ENGINES; NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F02G2243/00—Stirling type engines having closed regenerative thermodynamic cycles with flow controlled by volume changes
- F02G2243/30—Stirling type engines having closed regenerative thermodynamic cycles with flow controlled by volume changes having their pistons and displacers each in separate cylinders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はスターリングエンジンに関する。
（従来の技術）
近年、省エネルギーの一環としてスターリングエンジン
が見直され、精力的に研究がなされている。
が見直され、精力的に研究がなされている。
第２図は２ピストン式のスターリングエンジンの構成を
概略的に示す断面間であり、膨脹シリンダ１と圧縮シリ
ンダ２との間に、高温熱交換器３と再生器４および低温
熱交換器５が接続されている。ＩＢ脹シリンダ１内の膨
脹ピストン６と圧縮シリンダ２内の圧縮ピストン７とは
、クランク室８内のクランク９にピストンロッド１２，
１３お、Ｊ、びコネクティングロッド１０．１１を介し
て接続されている。シリンダ１．２およびピストン６゜
７で形成された作動空間内には作動ガス、＠２．ばＨｅ
ガスが封入されている。
概略的に示す断面間であり、膨脹シリンダ１と圧縮シリ
ンダ２との間に、高温熱交換器３と再生器４および低温
熱交換器５が接続されている。ＩＢ脹シリンダ１内の膨
脹ピストン６と圧縮シリンダ２内の圧縮ピストン７とは
、クランク室８内のクランク９にピストンロッド１２，
１３お、Ｊ、びコネクティングロッド１０．１１を介し
て接続されている。シリンダ１．２およびピストン６゜
７で形成された作動空間内には作動ガス、＠２．ばＨｅ
ガスが封入されている。
このような構成において、高温熱交換器３で作動ガスを
加熱して膨脹させると、膨脹シリンダ１内のｌ１ｉｌＦ
Ｕピストン６が押し下げられ、クランク９が回転する。
加熱して膨脹させると、膨脹シリンダ１内のｌ１ｉｌＦ
Ｕピストン６が押し下げられ、クランク９が回転する。
そして、クランク９が戻り過程に入った岡、膨脹シリン
ダ１内の作動ガスＧＪ再生器４で熱を奪われた後、低温
熱交換器５に移送され、圧縮シリンダ２内に供拾される
。従って、クランク９は圧縮ビス［・ン７に＝よってさ
らに回転させＩ−）れることになる。次いで、膨脹ピス
トン６が再嗅下り過程に入る時、圧縮シリンダ２内の作
動ガ２スは再び再生器４に移送され、ここで予熱された
後、高温熱交換器３で加熱され膨脹して、再度膨脹シリ
ンダ１内に供給される。
ダ１内の作動ガスＧＪ再生器４で熱を奪われた後、低温
熱交換器５に移送され、圧縮シリンダ２内に供拾される
。従って、クランク９は圧縮ビス［・ン７に＝よってさ
らに回転させＩ−）れることになる。次いで、膨脹ピス
トン６が再嗅下り過程に入る時、圧縮シリンダ２内の作
動ガ２スは再び再生器４に移送され、ここで予熱された
後、高温熱交換器３で加熱され膨脹して、再度膨脹シリ
ンダ１内に供給される。
こうして作動ガスの加熱・冷却による膨脹・収縮により
、膨脹ピストン６と圧縮ピストン７を往復動させ、クラ
ンク９を回転させて出力を取出すことができる。
、膨脹ピストン６と圧縮ピストン７を往復動させ、クラ
ンク９を回転させて出力を取出すことができる。
このようなスターリングエンジンにおいて、従来ではさ
らに膨脹側ピストンロッド１２および圧縮側ピストンロ
ッド１３の各々のクロスヘッド部１４．１５においてピ
ストン背面空間１６．１７にパイプ３１．３２の各一端
を接続し、パイプ３１．３２の各他端をエンジン本体の
外部に設けられているバッファタンク３０に連通させて
いる。
らに膨脹側ピストンロッド１２および圧縮側ピストンロ
ッド１３の各々のクロスヘッド部１４．１５においてピ
ストン背面空間１６．１７にパイプ３１．３２の各一端
を接続し、パイプ３１．３２の各他端をエンジン本体の
外部に設けられているバッファタンク３０に連通させて
いる。
これはピストン６．７が往復動する時に、ピストン背面
空間１６．１７にある作動ガスまたは空気が抵抗となっ
て効率を下げるのを防ぐために、ピストン背面空間１６
．１７にある作動ガスまた空気が圧縮を受ける時はパイ
プ３１．３２を通じてバッファタンク３０へ逃がし、そ
の抵抗を減らすことを目的している。
空間１６．１７にある作動ガスまたは空気が抵抗となっ
て効率を下げるのを防ぐために、ピストン背面空間１６
．１７にある作動ガスまた空気が圧縮を受ける時はパイ
プ３１．３２を通じてバッファタンク３０へ逃がし、そ
の抵抗を減らすことを目的している。
しかしながら、このような目的を達成するためにはバッ
ファタンク３０として容積の非常に大きいものが必要で
ある。従って、バッファタンク３０によりスターリング
エンジンの設置スペースが増大し、組立てや整備に際し
てもバッファタンク３０が邪魔になり、作業が煩雑とな
る。
ファタンク３０として容積の非常に大きいものが必要で
ある。従って、バッファタンク３０によりスターリング
エンジンの設置スペースが増大し、組立てや整備に際し
てもバッファタンク３０が邪魔になり、作業が煩雑とな
る。
（発明が解決しようとする問題点）
このように従来のスターリングエンジンにおいては、大
型のバッファタンクを必要とし、エンジンの設置スペー
スが増大し、組立てや整備が煩雑化するという問題があ
った。
型のバッファタンクを必要とし、エンジンの設置スペー
スが増大し、組立てや整備が煩雑化するという問題があ
った。
本発明はこのような問題点を解決し、バッファタンクを
不要とするか、または小型化することができ、設置スペ
ースが小さく、組立ておよび整備が容易なスターリング
エンジンを提供することを目的とする。
不要とするか、または小型化することができ、設置スペ
ースが小さく、組立ておよび整備が容易なスターリング
エンジンを提供することを目的とする。
［発明の構成コ
（問題点を解決するための手段）
本発明は、シリンダとピストンとで形成された作動空間
の作動ガスを加熱・冷却して膨脹・収縮させることによ
り、ピストンを往復動させクランク室内のクランクを回
転させるスターリングエンジンにおいて、シリンダ内の
ピストン背面空間に連通したバッファタンクをクランク
室内に形成したことを特徴とする。
の作動ガスを加熱・冷却して膨脹・収縮させることによ
り、ピストンを往復動させクランク室内のクランクを回
転させるスターリングエンジンにおいて、シリンダ内の
ピストン背面空間に連通したバッファタンクをクランク
室内に形成したことを特徴とする。
（作用）
バッファタンクをクランク室内に設けると、スターリン
グエンジン本体外部のバッフ７タンクが不要になるか、
またはクランク室内のバッファタンクでは容量が足りず
外部に補助的にバッフ７タンクを設ける場合でも、その
外部バッフ７タンクは小型なものでよい。従って、スタ
ーリングエンジンのＩＩＩスペースが減少するとともに
、組立てや整備が容易となる。特に、外部バッファタン
クが不要な場合には、その外部バッファタンクへの接続
パイプの必要がなくなるため、これらの効果は一層顕著
となる。また、クランク室内部に設けられたバッファタ
ンクはピストン背面空間に近接して設けられるため、外
部バッファタンクの場合に比べてピストン背面空間の作
動ガスおよび空気の流動抵抗が小さくなり、それだけよ
り小さい容積でバッファタンクとしての効果が得られる
。
グエンジン本体外部のバッフ７タンクが不要になるか、
またはクランク室内のバッファタンクでは容量が足りず
外部に補助的にバッフ７タンクを設ける場合でも、その
外部バッフ７タンクは小型なものでよい。従って、スタ
ーリングエンジンのＩＩＩスペースが減少するとともに
、組立てや整備が容易となる。特に、外部バッファタン
クが不要な場合には、その外部バッファタンクへの接続
パイプの必要がなくなるため、これらの効果は一層顕著
となる。また、クランク室内部に設けられたバッファタ
ンクはピストン背面空間に近接して設けられるため、外
部バッファタンクの場合に比べてピストン背面空間の作
動ガスおよび空気の流動抵抗が小さくなり、それだけよ
り小さい容積でバッファタンクとしての効果が得られる
。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例の概略的構成を示す断面図で
あり、第２図と同様に２ピストン式のスターリングエン
ジンに適用した□′例である。
あり、第２図と同様に２ピストン式のスターリングエン
ジンに適用した□′例である。
第１図において、膨脹シリンダ１と圧縮シリンダ２との
間には、高温熱交換器３と再生器４および低部熱交換器
５が接続され、膨脹シリンダ１内の膨脹ピストン６と圧
縮シリンダ２内の圧縮ピストン７とは、クランク室８内
のクランク９にピストンロッド１２．１３およびコネク
ティングロッド１０．１１を介して接続されている。シ
リンダ１．２およびピストン６．７で形成された作動空
間内には作動ガス、例えばＨｅガスが封入されている。
間には、高温熱交換器３と再生器４および低部熱交換器
５が接続され、膨脹シリンダ１内の膨脹ピストン６と圧
縮シリンダ２内の圧縮ピストン７とは、クランク室８内
のクランク９にピストンロッド１２．１３およびコネク
ティングロッド１０．１１を介して接続されている。シ
リンダ１．２およびピストン６．７で形成された作動空
間内には作動ガス、例えばＨｅガスが封入されている。
膨脹シリンダ１内には膨脹ピストン６が挿入され、この
膨脹ピストン６の下部にピストンロッド１２を介してコ
ネクティングロッド１ｏが連結されている。ピストンロ
ッド１２は膨脹シリンダ１の内壁に支持されたクロスヘ
ッド部１４により案内されて往復動する。膨脹シリンダ
１内のクロスヘッド部１４の周囲には、ピストン背面空
間１６と、このピストン背面空間１６の下方に位置して
連通孔１８が形成されている。この連通孔１８はクロス
ヘッド部１４の周囲の外壁を切削することにより形成さ
れたもので、連通孔１９を介してクランク室８内に形成
されたバッファタンク２０に連通している。
膨脹ピストン６の下部にピストンロッド１２を介してコ
ネクティングロッド１ｏが連結されている。ピストンロ
ッド１２は膨脹シリンダ１の内壁に支持されたクロスヘ
ッド部１４により案内されて往復動する。膨脹シリンダ
１内のクロスヘッド部１４の周囲には、ピストン背面空
間１６と、このピストン背面空間１６の下方に位置して
連通孔１８が形成されている。この連通孔１８はクロス
ヘッド部１４の周囲の外壁を切削することにより形成さ
れたもので、連通孔１９を介してクランク室８内に形成
されたバッファタンク２０に連通している。
一方、圧縮シリンダ２内には圧縮ピストン７が挿入され
、この圧縮ピストン７の下部にピストンロッド１３を介
してコネクティングロッド１１が連結されている。ピス
トンロッド１３は圧縮シリンダ２の内壁に支持されたク
ロスヘッド部１５により案内されて往復動する。この圧
縮シリンダ２内においても、クロスヘッド部１５の周囲
にピストン背面空間１７とその下方に位置して連通孔２
１が形成されている。そして、この連通孔２１はさらに
連通孔２２を介してバッフ７タンク２０に連通している
。
、この圧縮ピストン７の下部にピストンロッド１３を介
してコネクティングロッド１１が連結されている。ピス
トンロッド１３は圧縮シリンダ２の内壁に支持されたク
ロスヘッド部１５により案内されて往復動する。この圧
縮シリンダ２内においても、クロスヘッド部１５の周囲
にピストン背面空間１７とその下方に位置して連通孔２
１が形成されている。そして、この連通孔２１はさらに
連通孔２２を介してバッフ７タンク２０に連通している
。
次に、このように構成されたスターリングエンジンの作
用を説明する。
用を説明する。
まず、高温熱交換器３で作動ガスが加熱されて膨脹する
と、膨脹シリンダ１内の膨脹ピストンＣが押し下げられ
、クランク９が回転する。クランク９が戻り過程に入っ
た時、膨脹シリンダ１内の作動ガスは再生器４で熱を奪
われた後、低湿熱交換器５に移送され、圧縮シリンダ２
内に供給されることにより、クランク９は圧縮ピストン
７によってさらに回転させられることになる。次いで、
膨脹ピストン６が再度下り過程に入る時、圧縮シリンダ
２内の作動ガスは再び再生器４に移送され、ここで予熱
された後、高温熱交換器３で加熱され膨脹して、再度膨
脹シリンダ１内に供給される。
と、膨脹シリンダ１内の膨脹ピストンＣが押し下げられ
、クランク９が回転する。クランク９が戻り過程に入っ
た時、膨脹シリンダ１内の作動ガスは再生器４で熱を奪
われた後、低湿熱交換器５に移送され、圧縮シリンダ２
内に供給されることにより、クランク９は圧縮ピストン
７によってさらに回転させられることになる。次いで、
膨脹ピストン６が再度下り過程に入る時、圧縮シリンダ
２内の作動ガスは再び再生器４に移送され、ここで予熱
された後、高温熱交換器３で加熱され膨脹して、再度膨
脹シリンダ１内に供給される。
このような作動ガスの加熱・冷却による膨脹・収縮によ
り、膨脹ピストン６と圧縮ピストン７が往復動され、こ
れによりクランク９が回転して外部に出力が取出される
。
り、膨脹ピストン６と圧縮ピストン７が往復動され、こ
れによりクランク９が回転して外部に出力が取出される
。
ここで、膨脹ピストン６および圧縮ピストン７がそれぞ
れ押し下げられる時は、ピストン背面空間１６．１７に
ある作動ガスまたは空気は圧縮を受けるが、ピストン背
面空間１６は連通孔１８゜１９を介してバッファタンク
２０に連通され、ピストン背面空間１７も同様に連通孔
２１．２２を介してバッフ７タンク２０に連通している
ため、圧縮を受けた作動ガスまたは空気はバッフ７タン
ク２ｏへ逃げる。これによりピストン６．７の往復動時
の抵抗が減じられろ。
れ押し下げられる時は、ピストン背面空間１６．１７に
ある作動ガスまたは空気は圧縮を受けるが、ピストン背
面空間１６は連通孔１８゜１９を介してバッファタンク
２０に連通され、ピストン背面空間１７も同様に連通孔
２１．２２を介してバッフ７タンク２０に連通している
ため、圧縮を受けた作動ガスまたは空気はバッフ７タン
ク２ｏへ逃げる。これによりピストン６．７の往復動時
の抵抗が減じられろ。
この場合、バッファタンク２０はクランク室８内に設け
られているため、第２図に示したようにバッフ７タンク
３０および該タンク３０とピストン背面空間１６．１７
とを接続するバイブ３１゜３２をエンジン本体の外部に
設けたスターリングエンジンと比較して、設置スペース
が非常に小さくて済む。また、組立てや整備の際にバッ
ファタンクおよびバイブ等が邪魔とならないので、作業
が容易となる。さらに、バッファタンク２０とピストン
背面空間１６．１７との間はエンジン内部に形成した連
通孔１８．１９および２１．２２により最短距離で連通
しているため、ピストン背面空間１６．１７内の作動ガ
スや空気の流動抵抗が最小限に抑えられる。従って、バ
ッフ７タンク２０は従来の外部に設けたバッファタンク
と同一容積でも、実効的ｒより大きなバッファ効果を発
揮することになる。換言すれば、バッファタンクをクラ
ンクし内に設けた場合は、より小さな容積で大きなバッ
ファ効果が得られる。
られているため、第２図に示したようにバッフ７タンク
３０および該タンク３０とピストン背面空間１６．１７
とを接続するバイブ３１゜３２をエンジン本体の外部に
設けたスターリングエンジンと比較して、設置スペース
が非常に小さくて済む。また、組立てや整備の際にバッ
ファタンクおよびバイブ等が邪魔とならないので、作業
が容易となる。さらに、バッファタンク２０とピストン
背面空間１６．１７との間はエンジン内部に形成した連
通孔１８．１９および２１．２２により最短距離で連通
しているため、ピストン背面空間１６．１７内の作動ガ
スや空気の流動抵抗が最小限に抑えられる。従って、バ
ッフ７タンク２０は従来の外部に設けたバッファタンク
と同一容積でも、実効的ｒより大きなバッファ効果を発
揮することになる。換言すれば、バッファタンクをクラ
ンクし内に設けた場合は、より小さな容積で大きなバッ
ファ効果が得られる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
例えば実施例ではバッファタンクをクランク室内にのみ
設けたが、外部にも補助的「、−６設けてよい。その場
合、外部に設けるバッファタンクは従来に比較して格段
に小型でよいから、設置スペース等の点で有利となる。
例えば実施例ではバッファタンクをクランク室内にのみ
設けたが、外部にも補助的「、−６設けてよい。その場
合、外部に設けるバッファタンクは従来に比較して格段
に小型でよいから、設置スペース等の点で有利となる。
また、実流例では２ピストン式のスターリングエンジン
について説明したが、ディスプレーサ式のスターリング
エンジンにも本発明を適用することが可能である。そｒ
パ）他、本発明は要旨を逸税しない範囲で種々変形して
実施することができる。
について説明したが、ディスプレーサ式のスターリング
エンジンにも本発明を適用することが可能である。そｒ
パ）他、本発明は要旨を逸税しない範囲で種々変形して
実施することができる。
［発明の効采］
本発明によれば、バッファタンクの全部または一部をク
ランク室内に形成したことにより、Ｉｆｆスペースが小
さく、組立てや整備が容易であり、スターリングエンジ
ンを提供することができる。
ランク室内に形成したことにより、Ｉｆｆスペースが小
さく、組立てや整備が容易であり、スターリングエンジ
ンを提供することができる。
第１図は本発明の一実施例に係るスターリングエンジン
の断面図、第２図は従来のスターリングエンジンの断面
図である。 １・・・膨脹シリンダ、２・・・圧縮シリンダ、３・・
・高温熱交換器、４・・・再生器、５・・・低温熱交換
器、６・・・？チ服ピストン７・・・圧縮ピストン、８
・・・クランク室、９・・・クランク、１０．１１・・
・コネクティングロッド、１２．１３・・・ピストンロ
ッド、１４゜１５・・・クロスヘッド部、１６．１７・
・・ピストン背面空間、１８．１９，２１．２２・・・
連通孔、２０・・・バッファタンク。
の断面図、第２図は従来のスターリングエンジンの断面
図である。 １・・・膨脹シリンダ、２・・・圧縮シリンダ、３・・
・高温熱交換器、４・・・再生器、５・・・低温熱交換
器、６・・・？チ服ピストン７・・・圧縮ピストン、８
・・・クランク室、９・・・クランク、１０．１１・・
・コネクティングロッド、１２．１３・・・ピストンロ
ッド、１４゜１５・・・クロスヘッド部、１６．１７・
・・ピストン背面空間、１８．１９，２１．２２・・・
連通孔、２０・・・バッファタンク。
Claims (1)
- シリンダとピストンとで形成された作動空間の作動ガス
を加熱・冷却して膨脹・収縮させることにより、ピスト
ンを往復動させクランク室内のクランクを回転させるス
ターリングエンジンにおいて、前記シリンダ内のピスト
ン背面空間に連通したバッファタンクを前記クランク室
内に形成したことを特徴とするスターリングエンジン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62078552A JPH086640B2 (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | スターリングエンジン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62078552A JPH086640B2 (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | スターリングエンジン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63246450A true JPS63246450A (ja) | 1988-10-13 |
| JPH086640B2 JPH086640B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=13665082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62078552A Expired - Fee Related JPH086640B2 (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | スターリングエンジン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086640B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5794444A (en) * | 1995-05-05 | 1998-08-18 | Robert Bosch Gmbh | Method for utilizing waste-gas heat from heat-generating and refrigerating machines |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3623894B1 (en) | 2018-09-13 | 2022-11-23 | Mobile Industrial Robots A/S | Agv having dynamic safety zone |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57113938A (en) * | 1980-12-15 | 1982-07-15 | Mitsubishi Electric Corp | Stirling engine |
| JPS58158353A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Sanyo Electric Co Ltd | スタ−リング機関 |
| JPS5917261A (ja) * | 1982-07-21 | 1984-01-28 | Hitachi Ltd | ウエハ搬送装置 |
| JPS5985451A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-17 | Toshiba Corp | スタ−リングエンジン |
-
1987
- 1987-03-31 JP JP62078552A patent/JPH086640B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57113938A (en) * | 1980-12-15 | 1982-07-15 | Mitsubishi Electric Corp | Stirling engine |
| JPS58158353A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Sanyo Electric Co Ltd | スタ−リング機関 |
| JPS5917261A (ja) * | 1982-07-21 | 1984-01-28 | Hitachi Ltd | ウエハ搬送装置 |
| JPS5985451A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-17 | Toshiba Corp | スタ−リングエンジン |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5794444A (en) * | 1995-05-05 | 1998-08-18 | Robert Bosch Gmbh | Method for utilizing waste-gas heat from heat-generating and refrigerating machines |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH086640B2 (ja) | 1996-01-29 |
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