JPS63246486A - 多段式真空ル−ツブロワ− - Google Patents
多段式真空ル−ツブロワ−Info
- Publication number
- JPS63246486A JPS63246486A JP8184287A JP8184287A JPS63246486A JP S63246486 A JPS63246486 A JP S63246486A JP 8184287 A JP8184287 A JP 8184287A JP 8184287 A JP8184287 A JP 8184287A JP S63246486 A JPS63246486 A JP S63246486A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling water
- water tank
- stage
- main shaft
- rotor main
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 47
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は冷却水槽内に据え付けた多段式真空ルーツブロ
ワ−のロータ主軸の回転駆動を冷却水槽の外部からの動
力伝導によって行う梠成に係るものである。
ワ−のロータ主軸の回転駆動を冷却水槽の外部からの動
力伝導によって行う梠成に係るものである。
（在米の技術）
ハウジングから一部を突出するロータ主軸とタイミング
ギヤを介して連動するロータ従軸とを備え、その各軸に
固定した数段のルーツロータを第１段〜第Ｒ段の連結形
の多段真空ケーシング内で回転させると共に、その多段
真空ケーシングを冷却水槽中に設置して第１段の真空ケ
ーシングの吸込口及び第ｎｒλの吐出口に連結した各ホ
ースを冷却水槽の壁内面に密着して開口させ、各段のケ
ーシングをホースによって接続してなる多段式真空ルー
ツブロワ−は特開昭６２−４５９９２号公報に開示され
ているように本出願人が既に出願しているものである、
しかるにこの従来の技術は駆動モータ内蔵型に閃するも
のであって、ケーシングの外部に設けるモータによって
ロータ主軸を駆動する多段真空ルーツブロワ−について
は未解決である。しかるに外部のモータによりロータ駆
動軸を駆動する多段真空ルーツブロワ−を設置する必要
も多くある。
ギヤを介して連動するロータ従軸とを備え、その各軸に
固定した数段のルーツロータを第１段〜第Ｒ段の連結形
の多段真空ケーシング内で回転させると共に、その多段
真空ケーシングを冷却水槽中に設置して第１段の真空ケ
ーシングの吸込口及び第ｎｒλの吐出口に連結した各ホ
ースを冷却水槽の壁内面に密着して開口させ、各段のケ
ーシングをホースによって接続してなる多段式真空ルー
ツブロワ−は特開昭６２−４５９９２号公報に開示され
ているように本出願人が既に出願しているものである、
しかるにこの従来の技術は駆動モータ内蔵型に閃するも
のであって、ケーシングの外部に設けるモータによって
ロータ主軸を駆動する多段真空ルーツブロワ−について
は未解決である。しかるに外部のモータによりロータ駆
動軸を駆動する多段真空ルーツブロワ−を設置する必要
も多くある。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は外部のモータにより駆動する多段真空ルーツブ
ロワ−に付いても該ルーツブロワ一本体を冷却水槽に浸
漬して、多段真空ルーツブロワ−についで施す冷却手段
を簡略にしながら外部のモータによる駆動を可能にする
ことを課題としたものである。
ロワ−に付いても該ルーツブロワ一本体を冷却水槽に浸
漬して、多段真空ルーツブロワ−についで施す冷却手段
を簡略にしながら外部のモータによる駆動を可能にする
ことを課題としたものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明は前項に述べた問題点を解決することを目的とし
、ロータ主軸の一部を、水槽壁との間に損傷を生じ易い
防水シールを施すことなく水槽外に取り出せる構成にす
るものであって、ロータ主軸を突出したハウジングを防
水ゴムリングを介して前記冷却水槽の内面壁に水密に固
定し、ロータ主軸の突出部分を防水ゴムリングの中心に
回転自由に通して冷却水槽の外部に突出させ、防水ゴム
リングによりロータ主軸に対する冷却水の接触を遮断し
たことを特徴とする多段式真空ルーツブロワ−に係るも
のである。
、ロータ主軸の一部を、水槽壁との間に損傷を生じ易い
防水シールを施すことなく水槽外に取り出せる構成にす
るものであって、ロータ主軸を突出したハウジングを防
水ゴムリングを介して前記冷却水槽の内面壁に水密に固
定し、ロータ主軸の突出部分を防水ゴムリングの中心に
回転自由に通して冷却水槽の外部に突出させ、防水ゴム
リングによりロータ主軸に対する冷却水の接触を遮断し
たことを特徴とする多段式真空ルーツブロワ−に係るも
のである。
（作用）
本発明は外部のモータによりロータ主軸を駆動する大型
の多段ｎ：！ルーツブロワ−に付いて冷却水槽に浸漬し
て従来のインタークーラー等の冷却手段を簡略にする構
成になり、ロータ主軸を突出したハウジングを防水ゴム
リングを介して前記冷却水槽の内面壁に水密に固定し、
該ロータ主軸の突出部分を防水ゴムリングの中心に回転
自由に通して冷却水槽の外部に突出させ、防水ゴムリン
グによりロータ主軸に対する冷却水の接触を遮断するこ
とを持金しているもので、冷却水槽内の冷却水は連結形
のケーシング−ハウジング及び各段のケーシングを接続
するホースにより第１段〜第ｎ段の真空室に侵入するこ
とは無く、さらに一方のハウジングから外部に突出する
ロータ駆動軸についても防水ゴムリングによって冷却水
から遮断する構成になるから、該ロータ駆動軸の一部を
冷却水槽の外部に適宜に突出させても、冷却水が接する
成分は全く無く、冷却水槽から突出する部分において該
水槽外で駆動されるモータに掛けたベルトを掛は渡すプ
ーリの取付けを施すとか、モータ主軸とカップリングを
介して連結することが出来る等の利益を生じ、多段式真
空ルーツブロワ−について冷却水槽による冷却の簡易化
と、外部モータによる駆動とを、モータビルトインの多
段式真空ルーツブロワ−と同様の冷却方式にしてドライ
式特有の真空ポンプの威力を発揮させることができる。
の多段ｎ：！ルーツブロワ−に付いて冷却水槽に浸漬し
て従来のインタークーラー等の冷却手段を簡略にする構
成になり、ロータ主軸を突出したハウジングを防水ゴム
リングを介して前記冷却水槽の内面壁に水密に固定し、
該ロータ主軸の突出部分を防水ゴムリングの中心に回転
自由に通して冷却水槽の外部に突出させ、防水ゴムリン
グによりロータ主軸に対する冷却水の接触を遮断するこ
とを持金しているもので、冷却水槽内の冷却水は連結形
のケーシング−ハウジング及び各段のケーシングを接続
するホースにより第１段〜第ｎ段の真空室に侵入するこ
とは無く、さらに一方のハウジングから外部に突出する
ロータ駆動軸についても防水ゴムリングによって冷却水
から遮断する構成になるから、該ロータ駆動軸の一部を
冷却水槽の外部に適宜に突出させても、冷却水が接する
成分は全く無く、冷却水槽から突出する部分において該
水槽外で駆動されるモータに掛けたベルトを掛は渡すプ
ーリの取付けを施すとか、モータ主軸とカップリングを
介して連結することが出来る等の利益を生じ、多段式真
空ルーツブロワ−について冷却水槽による冷却の簡易化
と、外部モータによる駆動とを、モータビルトインの多
段式真空ルーツブロワ−と同様の冷却方式にしてドライ
式特有の真空ポンプの威力を発揮させることができる。
（実施例）
本発明の好適な実施例を次に説明する。
第１〜３図は本発明の第１実施例を示し、図中１は冷却
水槽、２は水Ｗ！蓋である。冷却水槽１の内部には架台
３上に多段真空用ルーツブロワ−４を据付ける。該ルー
ツブロワ−４はｆ５２図のようにロータ主軸５とタイミ
ングギヤを介して連動するロータ従軸６とを有し、夫々
の数段のルーツブロワ−を第１段１． ｆｊＳ２段■、
第３段■の連結形の多段真空ケーシング内で噛合い方向
に回転させるようにしたものであって、ハウジング７．
８の内部でベアリングにより支持し、一方のハウジング
７の外側に連結したタイミングギヤケース９内においで
互いに噛合うタイミングギヤを取付け、他方のハウジン
グ８がら第２図により明瞭なようにロータ主軸５のみを
突出させる。
水槽、２は水Ｗ！蓋である。冷却水槽１の内部には架台
３上に多段真空用ルーツブロワ−４を据付ける。該ルー
ツブロワ−４はｆ５２図のようにロータ主軸５とタイミ
ングギヤを介して連動するロータ従軸６とを有し、夫々
の数段のルーツブロワ−を第１段１． ｆｊＳ２段■、
第３段■の連結形の多段真空ケーシング内で噛合い方向
に回転させるようにしたものであって、ハウジング７．
８の内部でベアリングにより支持し、一方のハウジング
７の外側に連結したタイミングギヤケース９内においで
互いに噛合うタイミングギヤを取付け、他方のハウジン
グ８がら第２図により明瞭なようにロータ主軸５のみを
突出させる。
第１ Ｊ２１のケースの吸込口１−、にはフレキシブル
ホース１０を連結し、第３ Ｅｌ、 Ｉ［Ｉのケーシン
グは吐出口ｌ１１２にもフレキシブルホースを突出して
夫々のホース１０．１１の末端を冷却水槽１の内面壁に
固着して開口させる。このほか第１段ケーシング■の吐
出口と！＠２段ケーシング■の吸込口及び第２ ）Ｉｆ
ｆ ｎケーシングの吐出口とｍ ３ 段ＩＩＩケーシン
グ吸込口とに７レキシブルホース１２．１３を夫々に従
前の技術に従って連結する。これら各ホース１０〜１３
は何れも冷却水との接触による冷却の作用をもた′せた
ものである。
ホース１０を連結し、第３ Ｅｌ、 Ｉ［Ｉのケーシン
グは吐出口ｌ１１２にもフレキシブルホースを突出して
夫々のホース１０．１１の末端を冷却水槽１の内面壁に
固着して開口させる。このほか第１段ケーシング■の吐
出口と！＠２段ケーシング■の吸込口及び第２ ）Ｉｆ
ｆ ｎケーシングの吐出口とｍ ３ 段ＩＩＩケーシン
グ吸込口とに７レキシブルホース１２．１３を夫々に従
前の技術に従って連結する。これら各ホース１０〜１３
は何れも冷却水との接触による冷却の作用をもた′せた
ものである。
第１段■〜第３段■の各ケーシングには各吐出口側にド
レン排出口２４を設けて第２図のようにドレン溜パイプ
２５に連結させ、該パイプ２５を冷却水槽１から外部に
突出して、該突出部分に電磁弁その他の開閉弁２６を取
付ける。尤も取扱う〃スの種類によってはドレンを発生
せぬものがあり、上記のドレン排出口２４又はドレン溜
筒２５等は本発明に必須ではない。
レン排出口２４を設けて第２図のようにドレン溜パイプ
２５に連結させ、該パイプ２５を冷却水槽１から外部に
突出して、該突出部分に電磁弁その他の開閉弁２６を取
付ける。尤も取扱う〃スの種類によってはドレンを発生
せぬものがあり、上記のドレン排出口２４又はドレン溜
筒２５等は本発明に必須ではない。
他方ハウジング８にはエンドカバー１５をボルト１５ａ
によって固定して振り切り室１６を構成し、ロータ主軸
５とロータ従軸６により振り切り板を取付け、エンドカ
バー１５には振り切り室１６の外側に形成した環状板１
７を設け、その内周にロータ主軸５及びロータ従軸６に
ほぼ接触するオイルシールゴム１８を設けて、ロータ主
軸５のみを突出すると共に、エンドカバー１５の端面に
防水ゴムリング１９とリング形プレート２０とを当て冷
却水槽１の内面壁に当て、該水槽１の外面からゴムリン
グ１９に通したゴムボルト２１をエンドカバー１５にね
じ込んで固定し、ロータ主軸５の一部を冷却水Ｗ１１の
壁に穿った径のやや大きい透孔２２から外部に突出する
。第３図にはロータ従軸６と水振り切り室１６、水切り
板、オイルシール１８等について図示を省略しているが
、その構成はロータ主軸５に関するものと同じである。
によって固定して振り切り室１６を構成し、ロータ主軸
５とロータ従軸６により振り切り板を取付け、エンドカ
バー１５には振り切り室１６の外側に形成した環状板１
７を設け、その内周にロータ主軸５及びロータ従軸６に
ほぼ接触するオイルシールゴム１８を設けて、ロータ主
軸５のみを突出すると共に、エンドカバー１５の端面に
防水ゴムリング１９とリング形プレート２０とを当て冷
却水槽１の内面壁に当て、該水槽１の外面からゴムリン
グ１９に通したゴムボルト２１をエンドカバー１５にね
じ込んで固定し、ロータ主軸５の一部を冷却水Ｗ１１の
壁に穿った径のやや大きい透孔２２から外部に突出する
。第３図にはロータ従軸６と水振り切り室１６、水切り
板、オイルシール１８等について図示を省略しているが
、その構成はロータ主軸５に関するものと同じである。
ロータ主軸５の冷却水槽１がらの突出部分にＶプーリ２
３を嵌めつける。
３を嵌めつける。
第４．５．６図は本発明の第２実施例を示したものであ
って、ハウジング８に第１リング３１を突出し、冷却水
槽１の内面壁に前記の第１リング３１と同径の第２リン
グ３２を溶接などで固着し、第１リング３１と第３２リ
ング３２にリング形の防水リングゴム３３の両端を嵌め
て、バンド３４．３５により締付け、防水ゴム３３の内
周を通るロータ主軸５の一部を冷却水槽１の外部に突出
し、その突出部分にｙブー９３６を嵌めつける。その他
、第１〜３図の第１実施例と同一の符号を付した部分は
第１実施例について説明したところと同じである。
って、ハウジング８に第１リング３１を突出し、冷却水
槽１の内面壁に前記の第１リング３１と同径の第２リン
グ３２を溶接などで固着し、第１リング３１と第３２リ
ング３２にリング形の防水リングゴム３３の両端を嵌め
て、バンド３４．３５により締付け、防水ゴム３３の内
周を通るロータ主軸５の一部を冷却水槽１の外部に突出
し、その突出部分にｙブー９３６を嵌めつける。その他
、第１〜３図の第１実施例と同一の符号を付した部分は
第１実施例について説明したところと同じである。
冷却水Ｗｊ１に供給する冷却用水は通常１０℃〜１５℃
程度の冷水であるが、水温２０℃〜３０℃の工場排水を
供給する場合らあり、このときには多段式真空ルーツプ
ロワ−４が冷却不足になるおそれがあるから、例外的に
各段のケーシング■〜■の吐出側部１４″使用する真空
吸引されるガスの冷却されたガス等を供給できる補助冷
却手段を設ける。
程度の冷水であるが、水温２０℃〜３０℃の工場排水を
供給する場合らあり、このときには多段式真空ルーツプ
ロワ−４が冷却不足になるおそれがあるから、例外的に
各段のケーシング■〜■の吐出側部１４″使用する真空
吸引されるガスの冷却されたガス等を供給できる補助冷
却手段を設ける。
（効果）
本発明は、冷却水槽１に浸漬して冷却を施すようにした
多段真空プロワ−について、ロータ主軸５を防水ゴムリ
ング１９又は３２に通し、前記の水槽１の冷却水と遮断
して水槽外に突出し、ケーシング外部のモータによりｆ
ｆｉ動することがで島るもので、ケーシング等の冷却手
段を冷却水槽水により施すと同時に、外部にモータを設
ける真空プロワ−に特有な駆動方式にできる効果をもつ
。
多段真空プロワ−について、ロータ主軸５を防水ゴムリ
ング１９又は３２に通し、前記の水槽１の冷却水と遮断
して水槽外に突出し、ケーシング外部のモータによりｆ
ｆｉ動することがで島るもので、ケーシング等の冷却手
段を冷却水槽水により施すと同時に、外部にモータを設
ける真空プロワ−に特有な駆動方式にできる効果をもつ
。
ｆｆ１１〜３図は本発明の第１実施例を示し、第１図は
一部をａｌ［した正面図、ｊ！ｌｓ２図は第１図Ａ−Ａ
線切［側面図、第３図は要部の一部を縦断して示した拡
大正面図である。第４〜６図は本発明の第２実施例を示
し、第４図は一部を縦断した正面図、第５図は第４図Ｂ
−Ｂｌｉ切断側面図、第６図は要部の一部をｌ１ｌｆし
て示した拡大側面図である。 １→冷却水槽 ４→多段真空用ブロワー５→ロータ主紬
６→ロータ従紬 ■第１段、■第２段、ＩＩＩ ｆｆｉ ３ ｙ、→ケー
シング７．８→ハウシング １９．３３→防水リング２
３．３６→Ｖプーリ 第１図 第３図 第４図 第５図
一部をａｌ［した正面図、ｊ！ｌｓ２図は第１図Ａ−Ａ
線切［側面図、第３図は要部の一部を縦断して示した拡
大正面図である。第４〜６図は本発明の第２実施例を示
し、第４図は一部を縦断した正面図、第５図は第４図Ｂ
−Ｂｌｉ切断側面図、第６図は要部の一部をｌ１ｌｆし
て示した拡大側面図である。 １→冷却水槽 ４→多段真空用ブロワー５→ロータ主紬
６→ロータ従紬 ■第１段、■第２段、ＩＩＩ ｆｆｉ ３ ｙ、→ケー
シング７．８→ハウシング １９．３３→防水リング２
３．３６→Ｖプーリ 第１図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ハウジングから一部を突出するロータ主軸とタイミング
ギヤを介して連動するロータ従軸とを備え、その各軸に
固定した数段のルーツロータを第１段〜第ｎ段の連結形
の多段真空ケーシング内で回転させると共に、その多段
真空ケーシングを冷却水槽中に設置して第１段の真空ケ
ーシングの吸込口及び第ｎ段の吐出口に連結した各ホー
スを冷却水槽の壁内面に密着して開口させ、各段のケー
シングをホースによって接続してなる多段式真空ルーツ
ブロワーにおいて、 ロータ主軸を突出したハウジングを防水ゴムリングを介
して前記冷却水槽の内面壁に水密に固定し、ロータ主軸
の突出部分を防水ゴムリングの中心に回転自由に通して
冷却水槽の外部に突出させ、防水ゴムリングによりロー
タ主軸に対する冷却水の接触を遮断したことを特徴とす
る多段式真空ルーツブロワー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8184287A JPS63246486A (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 | 多段式真空ル−ツブロワ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8184287A JPS63246486A (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 | 多段式真空ル−ツブロワ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63246486A true JPS63246486A (ja) | 1988-10-13 |
Family
ID=13757723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8184287A Pending JPS63246486A (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 | 多段式真空ル−ツブロワ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63246486A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56143390A (en) * | 1980-04-08 | 1981-11-09 | Hitachi Koki Co Ltd | Oil supply device for oil-revolved vacuum pump |
| JPS61252890A (ja) * | 1985-04-08 | 1986-11-10 | Anretsuto:Kk | 多段式真空用ル−ツブロワ− |
| JPS6245992A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-02-27 | Anretsuto:Kk | 真空用多段連結型ル−ツブロワ−の冷却装置 |
-
1987
- 1987-04-01 JP JP8184287A patent/JPS63246486A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56143390A (en) * | 1980-04-08 | 1981-11-09 | Hitachi Koki Co Ltd | Oil supply device for oil-revolved vacuum pump |
| JPS61252890A (ja) * | 1985-04-08 | 1986-11-10 | Anretsuto:Kk | 多段式真空用ル−ツブロワ− |
| JPS6245992A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-02-27 | Anretsuto:Kk | 真空用多段連結型ル−ツブロワ−の冷却装置 |
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