JPS63247617A - 光学式スケ−ル - Google Patents
光学式スケ−ルInfo
- Publication number
- JPS63247617A JPS63247617A JP8225287A JP8225287A JPS63247617A JP S63247617 A JPS63247617 A JP S63247617A JP 8225287 A JP8225287 A JP 8225287A JP 8225287 A JP8225287 A JP 8225287A JP S63247617 A JPS63247617 A JP S63247617A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は光学式スケールに関し、特に光学式ロータリー
エンコーダー等の被検物の回転状態を測定する際に該被
検物に装着する光学式スケールに関するものである。
エンコーダー等の被検物の回転状態を測定する際に該被
検物に装着する光学式スケールに関するものである。
(従来の技術)
従来より電子タイプライタ−等の情報機器に3いて、キ
ャリッジ等の可動部の位置・速度を検出する為に、光学
式エンコーダが多く用いられてきた。このような光学式
エンコーダは、通常可動部に固定され、光学式符号が記
録された光学式スケールに光を投射し、該光学式スケー
ルで変調された光を光電変換することによって前記可動
部の位置情報を符号化した電気信号として取り出すよう
に構成されていた。そして、光学式スケールとしては、 (I)金属板にエツチングによりスリットを加工したも
の (II)ガラス、プラスチック等の透明基板上に銀、銅
、クロム、アルミニウムなどの金属を蒸着し、金属層の
みをエツチング辷よってスリット状に削除したもの 等が用いられていた。
ャリッジ等の可動部の位置・速度を検出する為に、光学
式エンコーダが多く用いられてきた。このような光学式
エンコーダは、通常可動部に固定され、光学式符号が記
録された光学式スケールに光を投射し、該光学式スケー
ルで変調された光を光電変換することによって前記可動
部の位置情報を符号化した電気信号として取り出すよう
に構成されていた。そして、光学式スケールとしては、 (I)金属板にエツチングによりスリットを加工したも
の (II)ガラス、プラスチック等の透明基板上に銀、銅
、クロム、アルミニウムなどの金属を蒸着し、金属層の
みをエツチング辷よってスリット状に削除したもの 等が用いられていた。
しかし、これらはエツチング可能なスリット幅が構成上
金属の厚みの2倍以上に制限され、微細な符号を記録す
ることが困難であった。また、製作工程が複雑で、しか
もエツチングに高価な感光性樹脂を用いる為、コスト高
になるといった欠点があった。
金属の厚みの2倍以上に制限され、微細な符号を記録す
ることが困難であった。また、製作工程が複雑で、しか
もエツチングに高価な感光性樹脂を用いる為、コスト高
になるといった欠点があった。
又、従来の光学式スケールは、例えば第5図に示すよう
な方法で被検物に取り付けられていた。
な方法で被検物に取り付けられていた。
第5図は従来の光学式スケールを用いて光学式エンコー
ダを構成した一例の概略図であり、図中21は光源、2
2は金属板をエツチングすることによって光透過部と光
非透過部とを有する標識部を形成した従来の光学式スケ
ール、30はコリメータレンズ、23は金属板をエツチ
ングすることにより製作した固定光学格子、24は受光
素子、25は波形整形回路であり、受光素子24からの
信号、例えば正弦波形を波形整形して同図のSに示した
ような信号波形に整形するものである。26は本光学式
エンコーダにより位置検出をされるべき被検物の回転軸
、27は光学式スケール22を軸26に取り付けるため
に軸26に接着されている取付板、28は光学式スケー
ル22を取付板27に固定する際の押え板であり、29
はその際に用いられるネジである。光源21.固定光学
格子23.受光素子24はプラスチックや金属からなる
ケース(図示せず)に固定され、またケースは回転軸2
6にベアリング等を介して位置決められている。
ダを構成した一例の概略図であり、図中21は光源、2
2は金属板をエツチングすることによって光透過部と光
非透過部とを有する標識部を形成した従来の光学式スケ
ール、30はコリメータレンズ、23は金属板をエツチ
ングすることにより製作した固定光学格子、24は受光
素子、25は波形整形回路であり、受光素子24からの
信号、例えば正弦波形を波形整形して同図のSに示した
ような信号波形に整形するものである。26は本光学式
エンコーダにより位置検出をされるべき被検物の回転軸
、27は光学式スケール22を軸26に取り付けるため
に軸26に接着されている取付板、28は光学式スケー
ル22を取付板27に固定する際の押え板であり、29
はその際に用いられるネジである。光源21.固定光学
格子23.受光素子24はプラスチックや金属からなる
ケース(図示せず)に固定され、またケースは回転軸2
6にベアリング等を介して位置決められている。
ここで、光学式スケール22と固定光学格子23との隙
間は光学式エンコーダの性能に大きく影響を与えるため
微少であり、かつ、光学式スケール22は隙間を変化さ
せることなく回転しなければならない。このためには、
取付板27等に高い部品精度、接着精度が要求され、又
、同時に光学式スケール22を被検物に回転軸26に強
固に安定した状態で取り付けることも要求され、これら
のことを満足させようとすると作業工程及び装置全体が
複雑化してくる傾向があった。
間は光学式エンコーダの性能に大きく影響を与えるため
微少であり、かつ、光学式スケール22は隙間を変化さ
せることなく回転しなければならない。このためには、
取付板27等に高い部品精度、接着精度が要求され、又
、同時に光学式スケール22を被検物に回転軸26に強
固に安定した状態で取り付けることも要求され、これら
のことを満足させようとすると作業工程及び装置全体が
複雑化してくる傾向があった。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は本出願人の先の出願である特願昭60−143
130号で提案した光学式スケールを更に改良し、簡単
な組立工程で被検物の回転軸に高錆度にしかも安定的に
取り付けることのできる光学式スケールの提供を目的と
する。
130号で提案した光学式スケールを更に改良し、簡単
な組立工程で被検物の回転軸に高錆度にしかも安定的に
取り付けることのできる光学式スケールの提供を目的と
する。
(問題点を解決するための手段)
回転可能な円形状の部材の周縁部に設けた、該部材の回
転状態を検出する為の標識部と、該部材の回転中心に被
検物の回転軸を嵌入する為の内壁に溝部を有した穴部と
を設けたことである。
転状態を検出する為の標識部と、該部材の回転中心に被
検物の回転軸を嵌入する為の内壁に溝部を有した穴部と
を設けたことである。
この他本発明の特徴は実施例において記載されている。
(実施例)
第1図は、本発明の光学式スケールを用いて光学式エン
コーダを構成した一実施例を示す斜視図である。同図に
おいて、1は光源、2はコリメータレンズ、3は本発明
に基づいたロータリー型の光学式スケールで、被検物の
回転軸7に固定され、この駆動に伴なって回転する。光
学式スケール3の周縁部には、光透過部と光非透過部と
が交互に形成された標識部8と回転軸7に嵌入させる為
の回転中心に設けた穴部32、そして後述するように穴
部32の内壁には複数の溝部31とが設けられている。
コーダを構成した一実施例を示す斜視図である。同図に
おいて、1は光源、2はコリメータレンズ、3は本発明
に基づいたロータリー型の光学式スケールで、被検物の
回転軸7に固定され、この駆動に伴なって回転する。光
学式スケール3の周縁部には、光透過部と光非透過部と
が交互に形成された標識部8と回転軸7に嵌入させる為
の回転中心に設けた穴部32、そして後述するように穴
部32の内壁には複数の溝部31とが設けられている。
11はフランジ部で光学式スケール3を回転軸7に嵌入
する際の双方の接合面を増大させている。
する際の双方の接合面を増大させている。
4は透明部材から成る固定光学格子で、5は前記透明光
学路Y−4を透過した光を電気信号に変換する受光素子
、6は波形整形回路で、受光素子5からの出力信号を波
形整形して同図の右側にSで示したような信号波形に整
形するものである。
学路Y−4を透過した光を電気信号に変換する受光素子
、6は波形整形回路で、受光素子5からの出力信号を波
形整形して同図の右側にSで示したような信号波形に整
形するものである。
第2図(A)、(B)は、航記光学式スケール3の構成
を示す概略図であり、同図(A)は下面から見た図、同
図(B)は同図(A)のAA’における略断面図である
。光学式スケール3はガラス、プラスチック等の透過性
部材を用いて、凸状の標識部8とフランジ部11とが一
体に成形されて成る。またこの標識部8には、光透過部
9と光非透過部lOとが交互に規則正しく形成され、該
標識部8により第1図にように照射された光を変調する
。
を示す概略図であり、同図(A)は下面から見た図、同
図(B)は同図(A)のAA’における略断面図である
。光学式スケール3はガラス、プラスチック等の透過性
部材を用いて、凸状の標識部8とフランジ部11とが一
体に成形されて成る。またこの標識部8には、光透過部
9と光非透過部lOとが交互に規則正しく形成され、該
標識部8により第1図にように照射された光を変調する
。
第3図は、第2図(A)におけるBB’の1部断面図で
ある。館述の光透過部9は、入射光L1に対し、その入
射角が臨界角より小さな角度をなす、例えば9aのよう
な平坦面から成る。また、光非透過部10は、入射光L
2に対し、その入射角が臨界角以上の角度となるように
傾斜している傾斜面10a及び10bから成る。例えば
、傾斜面10aと10bのなす角度を90°とし、傾斜
面10aと10bとを合わせた水平方向の幅W+(入射
光の光軸に垂直な面への傾斜面の投影像の幅を示す)と
平坦面9a夫々の幅W2とを同一とする。すると同図か
ら明らかなように、傾斜部10aに入射した光は入射角
が45°となるので全反射されて直角に反射され、もう
1つの他の傾斜部Jobに45°の角度をなして入射し
、再び全反射されて直角に反射されてもとの入射側に戻
る。又、傾斜部10bに入射した光についても上記と同
様に入射側に戻る。ところが、平坦面9aに入射する光
はそのまま透過してしまう。このことは平坦面のみが開
口のスリットの役割を果たすことを意味する。従って、
この光学式スケール3は丁度スリットと遮光部が同一幅
、等ピッチで配列されたものと同じとなる。又、眞述の
固定光学格子4にも光学式スケール3と同様の凹凸が形
成されている。
ある。館述の光透過部9は、入射光L1に対し、その入
射角が臨界角より小さな角度をなす、例えば9aのよう
な平坦面から成る。また、光非透過部10は、入射光L
2に対し、その入射角が臨界角以上の角度となるように
傾斜している傾斜面10a及び10bから成る。例えば
、傾斜面10aと10bのなす角度を90°とし、傾斜
面10aと10bとを合わせた水平方向の幅W+(入射
光の光軸に垂直な面への傾斜面の投影像の幅を示す)と
平坦面9a夫々の幅W2とを同一とする。すると同図か
ら明らかなように、傾斜部10aに入射した光は入射角
が45°となるので全反射されて直角に反射され、もう
1つの他の傾斜部Jobに45°の角度をなして入射し
、再び全反射されて直角に反射されてもとの入射側に戻
る。又、傾斜部10bに入射した光についても上記と同
様に入射側に戻る。ところが、平坦面9aに入射する光
はそのまま透過してしまう。このことは平坦面のみが開
口のスリットの役割を果たすことを意味する。従って、
この光学式スケール3は丁度スリットと遮光部が同一幅
、等ピッチで配列されたものと同じとなる。又、眞述の
固定光学格子4にも光学式スケール3と同様の凹凸が形
成されている。
次に、本発明の光学式スケールを用いた光学式エンコー
ダの動作を第1図及び第4図(八) 、 (B)を用い
て説明する。第4図(八) 、 (B)は光学式スケー
ル3.固定光学格子4及び受光素子5の略断面図で5間
図(A)が光学式スケール3と固定光学格子4とに形成
された標識の位相が一致した状態、同図(B)が1/2
周期位相がずれた状態を示す。
ダの動作を第1図及び第4図(八) 、 (B)を用い
て説明する。第4図(八) 、 (B)は光学式スケー
ル3.固定光学格子4及び受光素子5の略断面図で5間
図(A)が光学式スケール3と固定光学格子4とに形成
された標識の位相が一致した状態、同図(B)が1/2
周期位相がずれた状態を示す。
第1図において、光源lからの光はコリメータレンズ2
により平行光とされ光学式スケール3の上方から入射す
る。上述のように上方から入射した光はその平坦面で光
学式スケール3を透過する。又、その傾斜面では2回全
反射されて光学式スケール3を透過しない。従って、光
学式スケール3を透過した光により規則的な光の明暗分
布を生じる。ここで光学式スケール3はその回転軸7と
共に図示矢印方向に回転し、その明暗分布も同方向に移
動する。ここで、固定光学格子4と光学式スケールとに
形成された符号は同一、即ち、固定光学格子4の明暗分
布と、入射する光の明暗分布とは等ピッチとなっている
ので、双方の凹凸の位相が第4図(A)の如く一致した
時には、光学式スケール3を透過した光は全て固定光学
格子4を透過するので受光素子5へ入射する光量は最大
となる。又、凹凸の位相が第4図(B)のように1/2
周期ズした時には光学格子同士の傾斜面と平坦面とが夫
々対応した位置となるので、光学式スケール3を透過す
る光は全て固定光学格子4の傾斜面で2回全反射されて
入射側に戻り、受光素子5へ入射する光量は最小となる
。
により平行光とされ光学式スケール3の上方から入射す
る。上述のように上方から入射した光はその平坦面で光
学式スケール3を透過する。又、その傾斜面では2回全
反射されて光学式スケール3を透過しない。従って、光
学式スケール3を透過した光により規則的な光の明暗分
布を生じる。ここで光学式スケール3はその回転軸7と
共に図示矢印方向に回転し、その明暗分布も同方向に移
動する。ここで、固定光学格子4と光学式スケールとに
形成された符号は同一、即ち、固定光学格子4の明暗分
布と、入射する光の明暗分布とは等ピッチとなっている
ので、双方の凹凸の位相が第4図(A)の如く一致した
時には、光学式スケール3を透過した光は全て固定光学
格子4を透過するので受光素子5へ入射する光量は最大
となる。又、凹凸の位相が第4図(B)のように1/2
周期ズした時には光学格子同士の傾斜面と平坦面とが夫
々対応した位置となるので、光学式スケール3を透過す
る光は全て固定光学格子4の傾斜面で2回全反射されて
入射側に戻り、受光素子5へ入射する光量は最小となる
。
そして、この光量が最大になるときと最小になるときと
の間には、光学式スケール3の平坦面と固定光学格子4
の平坦面とが部分的に一致し、その一致した部分の面積
の割合に応じた光量を受光素子5は受光する。従って、
受光素子5からの出力信号は正弦波状となり、この出力
信号は波形整形回路6により第1図のSのようなパルス
状の信号に整形される。
の間には、光学式スケール3の平坦面と固定光学格子4
の平坦面とが部分的に一致し、その一致した部分の面積
の割合に応じた光量を受光素子5は受光する。従って、
受光素子5からの出力信号は正弦波状となり、この出力
信号は波形整形回路6により第1図のSのようなパルス
状の信号に整形される。
本発明の光学式スケールは、例えば第2図の如きスケー
ルと同一形状のマスク型を加工し、ここからNi電鋳等
によって反転型をとり、次にこれを成形用金型として、
プラスチック等の材料に凹凸を転写することによって作
製される。従って、被検物(実施例では回転軸7)にス
ケールを取り付ける為の接合部たるフランジ部11も、
高精度にしかも簡単に形成される。又、第1図において
、光学式スケール3を回転軸7に取り付ける場合には、
まず光学式スケール3と固定光学格子4間の受光素子5
に形容を与えない部分に、隙間lに相当する厚さのスペ
ーサーをはさみ、次に光学式スケール3を押さえて回転
させながらフランジ部11と回転軸7との間及び溝部3
1に接着剤を流し込む。そして、接着剤が完全に乾燥し
た後、スペーサーを引きぬく。この作業によって光学式
スケール3と固定光学格子4との隙間は正しくスペーサ
ーの厚み!に調整され、又回転させながら接着されるの
で隙間の変化はほとんどない。
ルと同一形状のマスク型を加工し、ここからNi電鋳等
によって反転型をとり、次にこれを成形用金型として、
プラスチック等の材料に凹凸を転写することによって作
製される。従って、被検物(実施例では回転軸7)にス
ケールを取り付ける為の接合部たるフランジ部11も、
高精度にしかも簡単に形成される。又、第1図において
、光学式スケール3を回転軸7に取り付ける場合には、
まず光学式スケール3と固定光学格子4間の受光素子5
に形容を与えない部分に、隙間lに相当する厚さのスペ
ーサーをはさみ、次に光学式スケール3を押さえて回転
させながらフランジ部11と回転軸7との間及び溝部3
1に接着剤を流し込む。そして、接着剤が完全に乾燥し
た後、スペーサーを引きぬく。この作業によって光学式
スケール3と固定光学格子4との隙間は正しくスペーサ
ーの厚み!に調整され、又回転させながら接着されるの
で隙間の変化はほとんどない。
特に本実施例ではフランジ部11に設けた穴部32と回
転軸7との取付精度を高める為に、双方の嵌合がきつく
なるようにしている。この為穴部32と回転軸7との隙
間は全んどなくなるが、穴部32の内壁に複数の溝部3
1を設け、該構部31に接着剤を流し込むようにして、
これによりフランジ部11の接着強度を高めている。
転軸7との取付精度を高める為に、双方の嵌合がきつく
なるようにしている。この為穴部32と回転軸7との隙
間は全んどなくなるが、穴部32の内壁に複数の溝部3
1を設け、該構部31に接着剤を流し込むようにして、
これによりフランジ部11の接着強度を高めている。
尚、本実施例において穴部32の内壁に設ける溝部31
は回転軸7の回転軸方向に平行に又は非平行に複数個設
けても良く、又、内壁に添って螺施状や8次状に設けて
も良い。
は回転軸7の回転軸方向に平行に又は非平行に複数個設
けても良く、又、内壁に添って螺施状や8次状に設けて
も良い。
又、本実施例においては溝部31をフランジ部11の穴
部32の代わりに回転軸7の外周に若しくは双方に設け
ても良い。
部32の代わりに回転軸7の外周に若しくは双方に設け
ても良い。
尚、光学式スケール3と固定光学格子4との間に設ける
スペーサーとしては、ウレタンシート等を使用すると、
光学式スケールに傷が付きにくく好都合である。又、ス
ペーサーをはさみ込む場所として、光学式スケール3の
標識部8の更に外周に平坦な部分を設け、これに対向す
る固定光学格子4の部分も平坦に形成して、これらの平
坦部を基準にすると、より作業が容易となる。
スペーサーとしては、ウレタンシート等を使用すると、
光学式スケールに傷が付きにくく好都合である。又、ス
ペーサーをはさみ込む場所として、光学式スケール3の
標識部8の更に外周に平坦な部分を設け、これに対向す
る固定光学格子4の部分も平坦に形成して、これらの平
坦部を基準にすると、より作業が容易となる。
本発明は、以上の実施例に限らず、紳々の応用が可能で
ある。例えば光学式エンコーダに用いる場合、透過光で
はなく、反射光を検出するようにしてもかまわない。
ある。例えば光学式エンコーダに用いる場合、透過光で
はなく、反射光を検出するようにしてもかまわない。
(発明の効果)
本発明によれば光学式スケールの回転軸取付は用穴部の
内壁に溝部を一体成形して設けることにより、被検物の
回転軸への取付けを容易にし、しかも取付は強度を高め
た高精度の光学式スケールを達成することができる。
内壁に溝部を一体成形して設けることにより、被検物の
回転軸への取付けを容易にし、しかも取付は強度を高め
た高精度の光学式スケールを達成することができる。
第1図は本発明の光学式スケールを用いて光学式エンコ
ーダを構成した例を示す斜視図、第2図(Δ) 、 (
B)は夫々本発明の光学式スケールの一実施例を示す概
略図、第3図は第2図の光学式スケールの部分断面図、
第4図(八) 、 (B)は夫々第1図の光学式エンコ
ーダの動作を説明する要部断面図、第5図は従来の光学
式スケールを用いた光学式エンコーダの構成例を示す斜
視図である。 3−−−−−−光学式スケール、8−−−−−標識部、
9・・・・・・光透過部 9 a−=平坦面、1
0−・・光非透過部、 10a、10b −傾斜部、 11−・・フランジ
部、32−・・穴部、 31・・・溝部。
ーダを構成した例を示す斜視図、第2図(Δ) 、 (
B)は夫々本発明の光学式スケールの一実施例を示す概
略図、第3図は第2図の光学式スケールの部分断面図、
第4図(八) 、 (B)は夫々第1図の光学式エンコ
ーダの動作を説明する要部断面図、第5図は従来の光学
式スケールを用いた光学式エンコーダの構成例を示す斜
視図である。 3−−−−−−光学式スケール、8−−−−−標識部、
9・・・・・・光透過部 9 a−=平坦面、1
0−・・光非透過部、 10a、10b −傾斜部、 11−・・フランジ
部、32−・・穴部、 31・・・溝部。
Claims (2)
- (1)回転可能な円形状の部材の周縁部に設けた、該部
材の回転状態を検出する為の標識部と、該部材の回転中
心に被検物の回転軸を嵌入する為の内壁に溝部を有した
穴部とを設けたことを特徴とする光学式スケール。 - (2)前記部材を透光性部材より構成すると共に、前記
標識部を光透過部と入射光線に対し、その入射角が臨界
角以上となるように設定した傾斜面から成る光非透過部
とを交互に設けて構成したことを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の光学式スケール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8225287A JPS63247617A (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 光学式スケ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8225287A JPS63247617A (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 光学式スケ−ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63247617A true JPS63247617A (ja) | 1988-10-14 |
Family
ID=13769248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8225287A Pending JPS63247617A (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 光学式スケ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63247617A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02161311A (ja) * | 1988-12-14 | 1990-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学式エンコーダ |
| JPH02118823U (ja) * | 1989-03-13 | 1990-09-25 |
-
1987
- 1987-04-03 JP JP8225287A patent/JPS63247617A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02161311A (ja) * | 1988-12-14 | 1990-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学式エンコーダ |
| JPH02118823U (ja) * | 1989-03-13 | 1990-09-25 |
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