JPS63249065A - 液式熱衝撃試験装置 - Google Patents
液式熱衝撃試験装置Info
- Publication number
- JPS63249065A JPS63249065A JP8290587A JP8290587A JPS63249065A JP S63249065 A JPS63249065 A JP S63249065A JP 8290587 A JP8290587 A JP 8290587A JP 8290587 A JP8290587 A JP 8290587A JP S63249065 A JPS63249065 A JP S63249065A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- heater
- refrigeration cycle
- thermal shock
- shock test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分熱〕
本発明は、半導体等の冷却、加熱くり返し試験を行う冷
熱衝撃試験装置に係り、！！！ｆｉこ低温槽のランニン
グコストを安くし、装置の安全性能を向上させる構造憂
こ関する。
熱衝撃試験装置に係り、！！！ｆｉこ低温槽のランニン
グコストを安くし、装置の安全性能を向上させる構造憂
こ関する。
（従来の技術〕
従来の装置は、！開昭６０−１２９６５８号ＩＣ記載の
ように低温槽の温度制量は冷却器および加熱器で行なう
ようになっているが、加熱器の熱媒体に及ぼす影響、ラ
ンニングコスト、安全性等誓こついては配慮されていな
かった。
ように低温槽の温度制量は冷却器および加熱器で行なう
ようになっているが、加熱器の熱媒体に及ぼす影響、ラ
ンニングコスト、安全性等誓こついては配慮されていな
かった。
（発明が解決しようとする間萌点）
上記従来技術は低温槽の厖度側−を冷却器で加熱し電気
ヒータで加熱した場合、その分だけ電力型が多くなり、
装置のランニングコストが高くなる問題がある。また低
温槽１ご用いる熱媒体は流動点が低いかわりに沸点も低
いため、電気ヒータ等を用いた場合表面温度が２００°
Ｃ以上となり極度の液面低下をさせた場合、熱媒体を分
解させ人体に害を及ぼすガス体を発生してしまう問題も
あり、複雑な液面制御も必要であった。
ヒータで加熱した場合、その分だけ電力型が多くなり、
装置のランニングコストが高くなる問題がある。また低
温槽１ご用いる熱媒体は流動点が低いかわりに沸点も低
いため、電気ヒータ等を用いた場合表面温度が２００°
Ｃ以上となり極度の液面低下をさせた場合、熱媒体を分
解させ人体に害を及ぼすガス体を発生してしまう問題も
あり、複雑な液面制御も必要であった。
（問題点を解決すふための手段〕
上記目的は低温槽の熱媒体加熱は二元冷凍サイクル高温
側の吐出ガスを用いて加熱することｆこより、達成され
る。
側の吐出ガスを用いて加熱することｆこより、達成され
る。
第１冷凍サイクルＡの第１圧縮機２１より吐出された冷
媒ガスは凝縮＠２２で外気または冷却水に放熱して凝縮
する。この凝縮液は第１膨脹弁２８で減圧され、カスケ
ード熱交換器８に流入し、ここで第２冷凍サイクルＢと
の熱交換により蒸発して第１圧縮機２１に戻る。第２冷
凍サイクルＢの第２圧縮＠７より吐出された冷媒ガスは
カスケード熱交換器８にて前述の第１冷凍サイクルＡに
放熱して冷却され、凝縮する、この凝縮液は第２膨脹弁
９にて後、蒸発器６に流入し、ここで低温槽熱媒体を冷
却して蒸発し、第２圧縮器７に戻る。このとき低温槽５
内を冷却しすぎないようにするため低温槽５内に設けた
温度センサ（図示せず）の信号によりホットガス往路系
２９Ａの制御弁８１を０Ｎ−ＯＦＦまた比例制）御させ
、第１圧縮機２１よりの冷媒ガスを加熱器１０へ流入さ
せて、熱媒体２を加熱し調温する。
媒ガスは凝縮＠２２で外気または冷却水に放熱して凝縮
する。この凝縮液は第１膨脹弁２８で減圧され、カスケ
ード熱交換器８に流入し、ここで第２冷凍サイクルＢと
の熱交換により蒸発して第１圧縮機２１に戻る。第２冷
凍サイクルＢの第２圧縮＠７より吐出された冷媒ガスは
カスケード熱交換器８にて前述の第１冷凍サイクルＡに
放熱して冷却され、凝縮する、この凝縮液は第２膨脹弁
９にて後、蒸発器６に流入し、ここで低温槽熱媒体を冷
却して蒸発し、第２圧縮器７に戻る。このとき低温槽５
内を冷却しすぎないようにするため低温槽５内に設けた
温度センサ（図示せず）の信号によりホットガス往路系
２９Ａの制御弁８１を０Ｎ−ＯＦＦまた比例制）御させ
、第１圧縮機２１よりの冷媒ガスを加熱器１０へ流入さ
せて、熱媒体２を加熱し調温する。
このように、低１２ｉＲ１１Ｓ内の熱媒体を電気加熱器
を用いず１こ調温できるので、ランニングコス＋ｔ−安
くできる。また耐媒ガスの温度ｒｉ１００℃前後のため
加熱器の表面温度も極度に高くならず熱媒体を熱分解さ
せることがない。また電気加熱器の使用箇所が少なくな
るので、安全性が向上する。
を用いず１こ調温できるので、ランニングコス＋ｔ−安
くできる。また耐媒ガスの温度ｒｉ１００℃前後のため
加熱器の表面温度も極度に高くならず熱媒体を熱分解さ
せることがない。また電気加熱器の使用箇所が少なくな
るので、安全性が向上する。
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図Ｅこより説明
する。第１図は本発明の液式熱衝撃試験装置における機
器の構成を系統図で表わしたものであり、第２図は低温
槽および冷凍サイクル系統図を表わしている。１６は装
置本体で内部ｆこは高温槽１及び低温槽５を適宜配置す
る高温槽１には熱媒体２を所定の高温温度に上昇させ維
持するための電気加熱器４及び高温槽内を攪拌するため
の攪拌機８を具備している。又高温槽１には試験中の蒸
発等により減少する熱媒体２を補給する貯水器１８とを
配管接続している。一方低温槽５には。
する。第１図は本発明の液式熱衝撃試験装置における機
器の構成を系統図で表わしたものであり、第２図は低温
槽および冷凍サイクル系統図を表わしている。１６は装
置本体で内部ｆこは高温槽１及び低温槽５を適宜配置す
る高温槽１には熱媒体２を所定の高温温度に上昇させ維
持するための電気加熱器４及び高温槽内を攪拌するため
の攪拌機８を具備している。又高温槽１には試験中の蒸
発等により減少する熱媒体２を補給する貯水器１８とを
配管接続している。一方低温槽５には。
熱媒体２を所定の低ｍ湛変に降下させるための蒸発器６
．調温維持するための加熱器１０及び低温槽５内を攪拌
するための攪拌愼１１を具備している。７ｔ−ｊｍ２圧
縮機で前記蒸発器６と配管１こよって接続されるととも
に、第２膨脹弁９、カスケード熱交換ｌＳ８を配・Ｕに
よって顆序直列に接続して第２冷凍サイクルを形成して
いる。また前記加熱器１０には第１圧縮機２１、凝縮器
２２、第１膨脹弁２８、カスケード熱交換器８により構
成される第１冷凍サイクルと順次直列に配管により接続
し、第１圧縮器２１からの吐出ガスを流入するように構
成されている。熱衝撃試験を行う場合、高温槽ｌは熱媒
体２を電気加熱器４により加熱し。
．調温維持するための加熱器１０及び低温槽５内を攪拌
するための攪拌愼１１を具備している。７ｔ−ｊｍ２圧
縮機で前記蒸発器６と配管１こよって接続されるととも
に、第２膨脹弁９、カスケード熱交換ｌＳ８を配・Ｕに
よって顆序直列に接続して第２冷凍サイクルを形成して
いる。また前記加熱器１０には第１圧縮機２１、凝縮器
２２、第１膨脹弁２８、カスケード熱交換器８により構
成される第１冷凍サイクルと順次直列に配管により接続
し、第１圧縮器２１からの吐出ガスを流入するように構
成されている。熱衝撃試験を行う場合、高温槽ｌは熱媒
体２を電気加熱器４により加熱し。
高温の所定温度で維持し低温槽５は熱媒体２を、冷凍サ
イクル運転を行い、蒸発器６で冷却し、低温の所定温度
まで到達した時点で加熱器１０＃こより温度維持させる
。次に試料を試料１１５に入れ駆動装置１４により駆動
させ、低温槽５又は高温槽１に交互に出し入れし、低温
試験、高温試験を行う。このときの低温槽５内の温度制
御は第２図に示すように、第２冷凍サイクルＢの蒸発器
６で冷却しながら、第１冷凍サイクルＡの加熱器１゜曝
こ第１冷凍サイクルＡの第１圧ａ＠２１からのホットガ
スを制御弁８１を開閉させコントロールする。制御弁の
開閉力法ｒｉ低低槽槽内５内こ設けた温度センサ（図示
せず）の信号により、０Ｎ−ＯＦ’Ｆ、比例制御等によ
り行なうことにより精度の高いａｔ−１７トロールも可
能となる。このよう番こ本実施例によれば、低温槽５内
の熱媒体２を電気加熱器を用いずに調温できるので、ラ
ンニングコストを安くできる。また電気加熱器の使用箇
所が少なくなるので、安全性が向上する。また熱媒性の
物性にあった使用方法ができ有害なガスの発生もさせる
ことなく、安全性が向上する。さらｌこ本実施例のよう
にＩＩＩＮ弁８１全８１制−によりコントロールすれば
高精度の温度コントロールも可能となる。
イクル運転を行い、蒸発器６で冷却し、低温の所定温度
まで到達した時点で加熱器１０＃こより温度維持させる
。次に試料を試料１１５に入れ駆動装置１４により駆動
させ、低温槽５又は高温槽１に交互に出し入れし、低温
試験、高温試験を行う。このときの低温槽５内の温度制
御は第２図に示すように、第２冷凍サイクルＢの蒸発器
６で冷却しながら、第１冷凍サイクルＡの加熱器１゜曝
こ第１冷凍サイクルＡの第１圧ａ＠２１からのホットガ
スを制御弁８１を開閉させコントロールする。制御弁の
開閉力法ｒｉ低低槽槽内５内こ設けた温度センサ（図示
せず）の信号により、０Ｎ−ＯＦ’Ｆ、比例制御等によ
り行なうことにより精度の高いａｔ−１７トロールも可
能となる。このよう番こ本実施例によれば、低温槽５内
の熱媒体２を電気加熱器を用いずに調温できるので、ラ
ンニングコストを安くできる。また電気加熱器の使用箇
所が少なくなるので、安全性が向上する。また熱媒性の
物性にあった使用方法ができ有害なガスの発生もさせる
ことなく、安全性が向上する。さらｌこ本実施例のよう
にＩＩＩＮ弁８１全８１制−によりコントロールすれば
高精度の温度コントロールも可能となる。
（発明の効果〕
本発明によれば、低温槽の調温を電気加熱器を用いるこ
となく行えるので、装置のランニングコストを低減でき
、かつ電気加熱器の使用箇所も少なくなるので、安全性
が高くなる。
となく行えるので、装置のランニングコストを低減でき
、かつ電気加熱器の使用箇所も少なくなるので、安全性
が高くなる。
第１図は本発明の一実施例の熱衝撃試験装置の機器の構
成系統図、第２図は低温槽および冷凍サイクル系統を示
す図である。 ｌ・・・高温槽 ５・・・低温槽 １４・・・駆動
装置１５・・・試料ｔ ′＄１図 ＋１
成系統図、第２図は低温槽および冷凍サイクル系統を示
す図である。 ｌ・・・高温槽 ５・・・低温槽 １４・・・駆動
装置１５・・・試料ｔ ′＄１図 ＋１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 液熱媒体を冷却手段と加熱手段により低温温度に保
持する低温槽と液体熱媒体を加熱手段により高温温度に
保持する高温槽を適宜配置し被試験品を移動手段により
前記各槽へ交互に出し入れする液式熱衝撃試験装置にお
いて、第１圧縮機、凝縮器、第１膨脹弁、カスケード熱
交換器により構成される第１冷凍サイクルおよび第２圧
縮機、前記カスケード熱交換器、第２膨脹弁、蒸発器に
より構成される第２冷凍サイクルと、加熱器とを備え、
前記第２冷凍サイクルの蒸発器および前記加熱器を低温
槽内に配設し、その加熱器に前記第１冷凍サイクルのホ
ットガスを流入させるように構成したことを特徴とする
液式熱衝撃試験装置。 ２、前記加熱器へのホットガスの流入を比例制御弁を用
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の液式
熱衝撃試験装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8290587A JPS63249065A (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 | 液式熱衝撃試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8290587A JPS63249065A (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 | 液式熱衝撃試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63249065A true JPS63249065A (ja) | 1988-10-17 |
Family
ID=13787274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8290587A Pending JPS63249065A (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 | 液式熱衝撃試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63249065A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03195038A (ja) * | 1989-12-25 | 1991-08-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体集積回路の評価装置 |
| KR100565257B1 (ko) | 2004-10-05 | 2006-03-30 | 엘지전자 주식회사 | 압축기를 이용한 이차냉매사이클 및 이를 구비한 공기조화기 |
| CN109147514A (zh) * | 2018-09-30 | 2019-01-04 | 三峡大学 | 一种适用于教学培训和研究的循环式微型抽蓄式储能系统 |
-
1987
- 1987-04-06 JP JP8290587A patent/JPS63249065A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03195038A (ja) * | 1989-12-25 | 1991-08-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体集積回路の評価装置 |
| KR100565257B1 (ko) | 2004-10-05 | 2006-03-30 | 엘지전자 주식회사 | 압축기를 이용한 이차냉매사이클 및 이를 구비한 공기조화기 |
| CN109147514A (zh) * | 2018-09-30 | 2019-01-04 | 三峡大学 | 一种适用于教学培训和研究的循环式微型抽蓄式储能系统 |
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