JPS63253206A - 形状計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、被測定物の表面に沿って計測点を自動的に
求める形状計測装置に関し、特に計測点を高速且つ高精
度で求めることのできる形状計測装置に関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来より、形鋼などの被測定物の断面形状を計測する場
合、被測定物の表面に沿って計測点を順次求めることは
よく知られている。この種の形状計測装置においては、
被測定物の概略形状を予め教示しておいてその通りに計
測するティーチングプレイバック方式が一般的であり、
オペレータが手動制御で計測機本体を駆動しながら教示
点を入力している。

第１０図は例えば特開昭６１−１０７０２号公報に記載
された従来の形状計測装置を示す斜視図である６図にお
いて、（９０）はテーブル、（９１）はテーブル（９０
）に載置された被測定物、（９２）は駆動部（図示せず
）を介してＸ〜Ｚ軸方向に３次元移動自在な主軸、（９
３）は主軸（９２）に設けられた接触式のセンサヘッド
、（９４）はセンサヘッド（９３）の先端に位置する測
定子である。

次に、第１０図に示した従来の形状計測装置の動作につ
いて説明する。

まず、被測定物（９１）の概略形状に基づいて教示点す
、　ｅ、・・・、を入力し、同時に、移動開始方向及び
移動速度等も初期設定しておく。

計測動作が開始すると、測定子（９４）の先端部は初期
位置ａから教示点すに向かって高速移動し、続いてＺ軸
に沿って低速で下降する。

測定子（９４）の先端部が点Ｃにおいて被測定物（９１
）の表面に接触すると、センサヘッド（９３）は表面検
出信号を発生する。この表面検出信号に基づいて、処理
回路（図示せず）は、接触点Ｃの位置を演算して計測点
として格納する。

続いて、センサヘッド（９３）はＺ軸に沿って点ｄまで
上昇し、次の教示点ｅまで移動して同様の動作を行い接
触点ｆを検出する。

こうして、被測定物（９１）の表面の接触点ｃ、　ｆ、
・・・、を所定間隔で順次検出してこれらの位置を計測
点として求めることにより、被測定物（９１）の断面形
状を計測する。

［発明が解決しようとする問題点］ 従来の形状計測装置は以上のように、計測に必要な教示
点等の入力をオペレータの手動作業により行なっていた
ので、多くの時間及び労力を必要とするという問題点が
あった。

又、センサヘッド（９３）が接触式であるため、被測定
物（９１）が柔らかい場合には計測できず、更に、被測
定物（９１）の表面に沿って連続して計測点を求めるこ
とができないうえ、表面に対するセンサヘッド（９３）
の上下動が多く計測速度が遅いという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、計測点を高速且つ高精度で求めることのでき
る形状計測装置を得ることを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ この発明に係る形状計測装置は、アーム先端部の位置及
び姿勢を示す位置検出信号を出力する計測機本体と、ア
ーム先端部に設けられて被測定物までの高さを示す高さ
検出信号を出力するセンサヘッドと、高さ検出信号及び
位置検出信号に基づいて倣い動作におけるセンサヘッド
の目標位置及び移動速度を演算する倣い計測演算部と、
位置検出信号並びに目標位置及び移動速度に基づいてセ
ンサヘッドの駆動信号を出力するＮＣ制御部とを備えた
ものである。

［作用］ この発明においては、センサヘッドの目標位置及び最適
の移動速度を決定し、被測定物の表面を自動的に倣いな
がら連続的に計測点を求める。

［実施例］ 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第２図は第
１図内の加工機本体の軸構成を示す概略斜視図、第３図
は第１図の倣い動作時における機能ブロック図である。

図において、（１）はＺ軸方向に延長形状を有する形鋼
からなる被測定物である。　（１０）は３次元移動可能
な計測機本体であり、被測定物（１）の表面Ｔを倣って
移動するアーム先端部（１０ａ）を有し、４軸（Ｘ−Ｚ
及びθ方向）駆動用の各モータ（Ｍｌ）〜（Ｍ４）の回
転位置に基づいて、アーム先端部（１０ａ）の位置（及
び姿勢）を示す位置検出信号り、Ｇを出力している。

（２）はアーム先端部（１０Ｍ＞に設けられた光学式の
センサヘッドであり、赤外線レーザ光を放射する半導体
レーザと、被測定物（１）表面Ｔで乱反射された反射レ
ーザ光を受光する半導体装置検出器とからなり、被測定
物〈１）の表面Ｔまでの高さを表わす高さ検出信号Ｈを
出力している。

（３）はモータ（Ｍ４）により矢印θ方向に回転駆動さ
れるθ軸、（４）はモータ（Ｍ３）により矢印Ｚ方向に
駆動されるＺ軸であり、これらθ軸（３）及びＺ軸（４
）は連結されて計測機本体（１０）のアームを構成して
おり、モータ（Ｍ２）及びＹ軸（５）により矢印Ｙ方向
に駆動されると共に、モータ（Ｍｌ）及びＸ軸（６）に
より矢印Ｘ方向に駆動されるよ′うになっている。

（１１）は各モータ（Ｍｌ）〜（Ｎ４）からなるモータ
部、（１２）はモータ部（１１）の位置検出信号りを出
力するレゾルバ部、（１３）は位置検出信号りより高精
度のモータ部（１１）の位置検出信号Ｇを出力するリニ
アスケール部であり、これらは加工機本体（１０）に内
蔵されている。

（３０）は、計測機本体（１０）内のモータ部（１１）
に駆動信号Ｍを出力するＮＣ制御部であり、内蔵された
ＣＰＵにより以下の各手段（３１）〜（３３）が構成さ
れている。

（３１）は後述する移動速度■及び目標位置Ｗに基づい
てセンサヘッド（２）の移動軌跡の補間信号Ａを出力す
る軌跡補間手段、（３２）は補間信号Ａに基づいて機械
逆変換された変換信号Ｂを出力する機械逆変換手段、（
３３）は変換信号Ｂ及び位置検出信号りに基づいて駆動
信号Ｍを出力する位置制御手段である。

（４０）はセンサヘッド（２）を被測定物（１）の表面
Ｔに沿って倣い動作させるための倣い計測演算部であり
、位置検出信号Ｇ及び高さ検出信号Ｈに基づいて、計測
点データＣを後述するデータ処理部に出力すると共に倣
い動作に用いられるセンサヘッド（２）の目標位置Ｗ及
び移動速度ＶをＮＣ制御部（３０）に出力しており、内
蔵されたＣＰＵにより以下の各手段（４１）〜（４８）
が構成されている。

（４１）は位置検出信号Ｇ及び高さ検出信号Ｈに基づい
て計測点Ｐの位置座標Ｃ８を演算すると共に現在位置Ｃ
１を出力する現在位置演算処理手段、（４２）は計測点
Ｐの位置座標Ｃ５を順次記憶すると共に前回位置Ｃ２を
出力し且つ一連の計測点データＣを出力する計測点位置
記憶手段、（４３）及び（４４）は計測点Ｐの現在位置
Ｃ１及び前回位置Ｃ２に基づいて被測定物（１）の表面
Ｔの接線方向Ｑを演算する接線方向演算処理手段及び曲
率半径Ｒを演算する曲率半径演算処理手段、（４５）は
曲率半径Ｒ及び予め設定された最大移動速度ｖＨに基づ
いて最適の移動速度Ｖを決定する移動速度決定手段、（
４６）は接線方向Ｑ及び移動速度Ｖに基づいてセンサヘ
ッド（２）の第１目標位置Ｈ１を演算する第１目標位置
演算処理手段、（４７）はセンサヘッド（２）のスタン
ドオフ距離ｈ０及び第１目標位置綽１に基づいて第２目
標位置−２を演算する第２目標位置演算処理手段、（４
８）はセンサヘッド（２）の表面Ｔに対する倣い角度ψ
。並びに第２目標位置１Ｉ１２及びスタンドオフ距離ｈ
０に基づいて第３目標位置即ち目標位ＩｆＷを演算する
第３目標位置演算処理手段である。

そして、第１〜第３目標位置演算処理手段（４６）〜（
４８）は、接線方向Ｑ及び曲率半径Ｒに基づいてセンサ
ヘッド（２）の目標位２ｗを演算し、これをＮＣ制御部
（３０）に出力する目標位置演算処理手段を構成してい
る。

（５０）は計測点データＣに基づいて計測プログラムＫ
をＮＣ制御部（３０）に入力するデータ処理部、（６０
）は計測機本体（１０）を駆動するときの初期設定指令
等をＮＣ制御部（３０）に入力する操作盤、（）０）は
計測機本体（１０）の駆動指令等をＮＣ制御部（３０）
に入力するティーチングボックスである。

次に、第４図及び第６図のフローチャート図、並びに第
５図、第７図〜第９図の説明図を参照しながら、第１図
〜第３図に示したこの発明の一実施例の動作について説
明する。

倣い動作により被測定物（１）の表面Ｔに沿って計測点
Ｐを得る場合、第４図のフローチャートのように操作盤
（６０）を介して倣いモードを選択するとステップＳ１
で判定され、又、ティーチングボックス（７０）を介し
て倣い計測開始指令を入力するとステップＳ２で判定さ
れる。

続いて、ティーチングボックス（７０）を介して、初期
倣い方向く右又は左）、最大移動速度■Ｈ、スタンドオ
フ距離ｈａ（数ｃｍ）及び倣い角度ψ。（約９０°）等
を初期設定する（ステップＳ３）、これらの初期設定値
は、必要に応じてＮＣＭ６１１部（３０）から倣い計測
演算部（４０）に入力される。

次に、倣い計測演算部（４０）内のＣＰＵは、左方向倣
いか否かを判定しくステップＳ４）、左であれば左方向
の倣い演算を行い（ステップＳ５）、右であれば右方向
の倣い演算を行い（ステップＳＳ）、計測点Ｐの記憶処
理を行う（ステップＳ７）、そして、倣い計測が終了か
否かを判定しくステップＳ８）、終了であれば倣い計測
動作を終了し、終了でなければステップＳ２に戻る。こ
こで、倣い計測開始モードでなければステップ８４以下
を繰り返し、倣い開始モードであれば、再び初期設定を
行う（ステップＳ３）。

ここで、センサヘッド（２）がＸＹ千圃面上移動するも
のとしてＺ座標を無視すると、第５図に示すように、位
置検出信号りから求められるセンサヘッド（２）の中心
座標は（ＸＡ、ＹＡ）、光軸Ｊの角度はθで表わされる
。又、センサヘッド（２）の基準座標系のＺ軸中心から
距離基準点く投光位置）までの距離を！、センサヘッド
（２）から計測点Ｐまでの距離をｈ、光軸Ｊと接線方向
Ｑとの倣い角度をψ、Ｘ軸と接線方向Ｑとの接線角度を
φとする。

ステップＳ７において、まず現在位置演算処理手段（４
１）は、ｉ番目の計測点Ｐｉの位置座標（Ｘｉ、Ｘｉ）
を、 Ｘ１＝ＸＡｉ＋（ｈｉ−１１りｃｏｓθ１Ｙｉ＝ＹＡｉ
＋（ｈｉ＋Ｚ）ｓｉｎθｉから求める。但し、（Ｘ７１
ｉ、ＹＡｉ）は現在の計測点Ｐｉを検出するときのセン
サヘッド（２）の中心座標である。この計測点Ｐｉの位
置座標（Ｘｉ、Ｙｉ）は計測点位置記憶手段（４２）に
順次記憶される。尚、これら計測点Ｐｉの位置座標（Ｘ
ｉ、Ｙｉ）は約１ｍ秒毎に検出されているが、実際に計
測点として記憶されるのは約３５−秒毎である。

次に、接線方向演算処理手段（４３）は、計測点Ｐｉに
おける表面Ｔの接線方向Ｑｉ、ＨｒＪち接線角度φｉを
、 φ１＝ｊａｎ−’［（Ｙｉ−Ｙｉ−＋）／（Ｘｉ　　Ｘ
ｉ−＋）］から求める。但し、（Ｘ　ｉ−１、Ｙ　ｉ−
＋）は前回の計測点Ｐ　ｉ−１の位置座標、即ち前回位
置である。

又、曲率半径演算処理手段（４４）は計測点Ｐｉにおけ
る表面Ｔの曲率半径Ｒを演算し、更に、移動速度決定手
段（４５）は、第６図のフローチャートに従ってセンサ
ヘッド（２）の移動速度Ｖを決定する。ここでは、倣い
方向が左の場合を例にとって説明する。

まず、曲率半径演算処理手段（４４）は、第７図のよう
に、現在位置、前回位置及び前々回位置の各計測点Ｐ　
ｉ、、ｐ　ｉ−＋、Ｐ　ｒ−２をそれぞれ結ぶ弦の垂直
二等分線の交点から曲率中心ＴＯを演算し、この曲率中
心ＴＯから１つの計測点Ｐｉ−１までの距離を曲率半径
Ｒとする（ステップ５ｉｏ）　。

この曲率半径Ｒは、計測点の位置座標（Ｘｉ、Ｙｉ）、
（Ｘ　ｉ−＋　、ｙ　ｉ、＋）及び（Ｘ　ｉ−ｔ　＋　
Ｙ　１−ｚ）から、以下のように求められる。

計測点Ｐ　ｉ−１からＰｌに対するベクトルｌｉ及び計
測点はＰ　ｉ−２からＰ　ｉ−１に対するベクトル１１
−１は、１：＝　（Ｘ　ｉ　−Ｘ　ｉ−＋　、Ｙ　ｉ　
−Ｙ　ｉ−＋）Ｎｉ−＋＝　（Ｘ　ｉ−＋−Ｘ　ｉ−ｚ
、Ｙ　ｉ−＋−Ｙ　１−ｚ）で表わされ、又、各計測点
間を結ぶ弦の距離Ｌｉ及びＬｉ−＋は、 Ｌｉ＝ｌｊ！ｉｌ −［（Ｘ　ｉ　−Ｘ　ｉ−＋）２＋　（Ｙ　ｉ　−Ｙ　
ｉ−＋）２］””Ｌ　ｉ−＋　＝　ｌ　１ニーＩｌ ＝［（Ｘｉ−＋　　Ｘｌ−２）”（Ｙｉ−＋−Ｙｉ−ｚ
）２］”２で表わされる。更に、２つの垂直二等分線の
なす角度αの余弦は、 ｃｏｓａ　＝１ｉ１ｉ−＋／　ｌ　１ｉｉｆ　ｌｉ−＋
　１＝［（Ｘｉ　　Ｘｉ−＋）（Ｘｉ−＋　　Ｘｌ−ｉ
）＋　（Ｙｉ−Ｙｉ−＋）（Ｙｉ−＋−Ｙｉ−ｔ）］／
　ｌ　１ｉＩ・ｌ　１１−、　Ｉで表わされる。従って
、曲率半径Ｒは、Ｒ＝（［１１１Ｍ＋２１１ｉｌ　１１
ｉ１ｅｏｓα＋　１１ニー＋　Ｉ　”］／　２ｓｉｎａ
ｌ””で表わされ、α＝０のときはＲ＝■となる。

移動速度決定手段（４５）は、曲率半径Ｒを予め設定さ
れた最大曲率半径Ｒ，と比較しくステップ５１１）、も
し最大曲率半径Ｒ，より大きければ移動速度Ｖを最大移
動速度ｖＨに決定する（ステップ５１２）　。

又、最大曲率半径Ｒ，より小さい場合は、更に、最小曲
率半径ＲＬと比較しくステップ５１３）、もし最小曲率
半径ＲＬより小さければ移動速度■を最小移動速度Ｖし
に決定する（ステップ５１４）　。

又、曲率半径Ｒが最大曲率半径ＲＨ以下で最小曲率半径
ＲＬ以上の場合は、移動速度■を、比例係数Ｋｐの一次
関数に従う値Ｋｐ−Ｈに決定する（ステップ５１５）　
。

以上の移動速度Ｖ及び曲率半径Ｒの関係を表わすと第８
図のようになる。

次に、第１目標位置演算処理手段（４６）は、第９図の
ように、計測点Ｐｉの現在位置（Ｘｉ、Ｙｉ）から接線
方向Ｑに距離Ｖ・Δｔ（Δｔ−３５輸秒）だけ離間した
第１目標位置１１１１（ＸＴ；、ＹＴＩ）を、Ｘ　Ｔ　
＋　＝　Ｘ　ｉ　＋　ＶΔｔ−ｃｏｓφｉＹ　Ｔ　＋　
＝　Ｙ　ｉ　＋　ＶΔｔ−５ｉｎφｉから演算する。

又、第２目標位置演算処理手段（４７）は、第１目標位
ｉＪＩ’ｔｌ（ＸＴ’＋　、ＹＴＩ）から、接線方向Ｑ
の垂線方向にスタンドオフ距離６０分だけ離間したセン
サヘッド（２）の第２目標位置Ｗ２（Ｘ７２．ｙ７．）
を、ＸＴｔ＝　Ｘ７＋　　　（ｈｏ　　ｈｉ）・ｃｏｓ
ａ１ＹＴ２＝　ＹＴＩ　　　（ｈｏ−ｈｉ）・ｓｉｎθ
ｉから演算する。

更に、第３目標位置演算処理手段（４８）は、第２目標
位置（Ｘ　Ｔ２　、　Ｙ　Ｔ２）を、センサヘッド（２
）の光軸Ｊが接線方向Ｑにほぼ垂直となるように補正し
、センサヘッド（２）の最終的な目標位置となる第３目
標位置Ｗ　（Ｘ　Ｔ３　、　Ｙ　Ｔ３）を、Ｘ　Ｔ３　
＝　Ｘ　Ｔｚ　＋　（ｈｏ　＋　１）　・Δψ１−ｓｉ
ｎθｉＹ　Ｔｓ　＝　Ｙ　Ｔｚ　　（ｈｅ　＋　ｉ’）
　・Δψ１−ｃｏｓθｉから演算する。このときの光軸
Ｊの方向は、接線方向Ｑに対して９０”であることが望
ましいが、許容角（約±１５°）の範囲内であれば良い
、こうして求められた目標位置ＷはＮＣ制御部（３０）
に入力される。

ＮＣ制御部（３０）内の軌跡補間手段（３１）は、目標
位置Ｗ及び移動速度Ｖに基づいて、センサヘッド（２）
が目標位ＷＷまで移動する間の補間演算を行い、補間信
号Ａを出力する。このとき、センサヘッド（２）の姿勢
変化は、補間区間毎に均等に設定される。

補間信号Ａは、機械逆変換演算処理手段（３２）により
機械逆変換されて変換信号Ｂとなり、更に位置制御手段
（３３）により駆動信号Ｍとなって加工機本体（１０）
を駆動する。

こうして倣い計測動作を続け、被測定物（１）上の倣い
距離が予め設定された値に到達又は計測点位置が教示点
に到達すると、倣い計測動作は終了し、求められた一連
の計測点Ｐ＋ｚＰｎの各座標位置は、計測点データＣと
してデータ処理部（５０）に伝送される。

データ処理部（５０）は、計測点データＣに基づいて計
測プログラムＫを生成し、ＮＣ制御部（３０）に入力す
る。この計測プログラムには、必要に応じて次回の倣い
計測動作に用いられる。

このように、センサヘッド（２）が被測定物（１）の表
面Ｔを倣いながら各計測点Ｐ１〜Ｐｎを検出するので、
起動時に、わずかな初期設定値を入力しておけばよい。

［発明の効果］ 以上のようにこの発明によれば、位置検出信号を出力す
る計測機本体のアーム先端部に設けられ且つ被測定物ま
での高さを示す高さ検出信号を出力するセンサヘッドと
、高さ検出信号及び位置検出信号に基づいて倣い動作に
おけるセンサヘッドの目標位置及び移動速度を演算する
倣い計測演算部と、位置検出信号並びに目標位置及び移
動速度に基づいてセンサヘッドの駆動信号を出力するＮ
Ｃ制御部とを備え、被測定物の表面を自動的に倣いなが
ら連続的に計測点を求めるようにしたので、計測点を高
速且つ高精度で求めることのできる形状計測装置が得ら
れる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第２図
は第１図内の加工機本体の軸構成を示す概略斜視図、第
３図は第１図の倣い動作状態を示す機能ブロック図、第
４図はこの発明による倣い動作を示すフローチャート図
、第５図は被測定物とセンサヘッドとの位置関係を示す
説明図、第６図はこの発明による移動速度の求め方を示
すフローチャート図、第７図は曲率半径の求め方を示す
説明図、第８図は曲率半径に対する移動速度変化を示す
特性図、第９図はこの発明による目標位置の求め方を示
す説明図、第１０図は従来の形状計測装置を示す斜視図
である。 （１）・・・被測定物　　　　（２）・・・センサヘッ
ド（１０）・・・計測機本体　　　（１０ａ）・・・ア
ーム先端部（２０）・・・センサヘッド　　（３０）・
・・ＮＣ１Ｉ、ＩＩ御部（３１）・・・軌跡補間手段 （３２）・・・機械逆変換演算処理手段（３３）・・・
位置制御手段　　（４０）・・・倣い計測演算部（４１
）・・・現在位置演算処理手段 （４２）・・・計測点位置記憶手段 （４３）・・・接線方向演算処理手段 （４４）・・・曲率半径演算処理手段 （４５）・・・移動速度決定手段 （４６）・・・第１目標位置演算処理手段（４））・・
・第２目標位置演算処理手段（４８）・・・第３目標位
置演算処理手段Ｍ・・・駆動信号　　　　　Ｈ・・・高
さ検出信号り、Ｇ・・・位置検出信号　Ｔ・・・被測定
物の表面Ｐ・・・計測点　　　　　　Ｃ５・・・位置座
標Ｑ・・・接線方向　　　　　Ｒ・・・曲率半径■・・
・移動速度　　　　　Ｈｌ・・・第１目標位置冒２・・
・第２目標位置　　　Ｗ・・・目標位置Ｊ・・・光軸　
　　　　　　ｈｏ・・・スタンドオフ距離向、図中、同
一符号は同−又は相当部分を示す。 第２図 ドＭ潰１定才勿 第５図 Ｊ：光軸 φ：杉沫泉角皮 プ：倣い角度 第７図 第８図 遮９図 慨１０図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定物の表面に沿って倣い動作を行うアーム先
   端部を有し且つこのアーム先端部の位置及び姿勢を示す
   位置検出信号を出力する計測機本体と、前記アーム先端
   部に設けられ且つ前記アーム先端部から前記被測定物ま
   での高さを示す高さ検出信号を出力するセンサヘッドと
   、前記高さ検出信号及び前記位置検出信号に基づいて前
   記倣い動作における前記センサヘッドの目標位置及び移
   動速度を演算する倣い計測演算部と、前記位置検出信号
   並びに前記目標位置及び前記移動速度に基づいて前記セ
   ンサヘッドを駆動するための駆動信号を出力するＮＣ制
   御部とを備え、前記被測定物の表面に沿った複数の計測
   点を自動的に求める形状計測装置。
2. （２）倣い計測演算部は、高さ検出信号及び位置検出信
   号に基づいて計測点の位置座標を演算する現在位置演算
   処理手段と、前記計測点の位置座標を順次記憶する計測
   点位置記憶手段と、前記計測点の前回位置及び現在位置
   に基づいて被測定物の表面の接線方向及び曲率半径を演
   算する接線方向演算処理手段及び曲率半径演算処理手段
   と、前記曲率半径に基づいて最適の移動速度を決定する
   移動速度決定手段と、前記接線方向及び前記移動速度に
   基づいてセンサヘッドの目標位置を演算する目標位置演
   算処理手段とから構成されたことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の形状計測装置。
3. （３）目標位置演算処理手段は、接線方向に移動速度に
   応じた距離だけ離間した第１目標位置を演算する第１目
   標位置演算処理手段と、センサヘッドが前記第１目標位
   置から前記接線の垂線方向にセンサヘッドのスタンドオ
   フ距離分だけ離間したときの第２目標位置を演算する第
   ２目標位置演算処理手段と、前記センサヘッドの光軸が
   前記垂線方向とほぼ一致するように前記第２目標位置を
   補正して第３目標位置を演算する第３目標位置演算処理
   手段とから構成され、前記第３目標位置を前記センサヘ
   ッドの目標位置としたことを特徴とする特許請求の範囲
   第２項記載の形状計測装置。
4. （４）ＮＣ制御部は、目標位置及び移動速度に基づいて
   センサヘッドの移動軌跡の補間信号を出力する軌跡補間
   手段と、前記補間信号に基づいて機械逆変換された変換
   信号を出力する機械逆変換演算処理手段と、位置検出手
   段及び前記変換信号に基づいて計測機本体に駆動信号を
   出力する位置制御手段とから構成されたことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記載の
   形状計測装置。