JPH03110087A - 三次元レーザ加工機の追従制御方法 - Google Patents

三次元レーザ加工機の追従制御方法

Info

Publication number
JPH03110087A
JPH03110087A JP1249939A JP24993989A JPH03110087A JP H03110087 A JPH03110087 A JP H03110087A JP 1249939 A JP1249939 A JP 1249939A JP 24993989 A JP24993989 A JP 24993989A JP H03110087 A JPH03110087 A JP H03110087A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
processing
machining
work
head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1249939A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiyuki Hokodate
俊之 鉾館
Manabu Kubo
学 久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP1249939A priority Critical patent/JPH03110087A/ja
Publication of JPH03110087A publication Critical patent/JPH03110087A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
〔産業上のill用分野j この発明は、ワークと加工ヘッド間の電磁的容量を検出
し、この検出された電磁的容量に応じてワークと加工ヘ
ッド間の距離を一定に保持しながら加工を行う三次元レ
ーザ加工機の追従制御方法に関するものである。 〔従来の技術] 従来から、レーザビームを用いてワークを切断又は溶接
する装置はよく知られており、一般に。 ワークの加工軌跡を予め教示しておき、その教示された
データに従って加工するティーチング・プレイバック方
式が用いられている。 また、この種の装置においては、加工時に、ワークと加
工ヘッド先端間の距離、つまり、ワークに照射するレー
ザビームの焦点位置を適正に保つ必要があるため、加工
ヘッドの先端部には、ワークと加工ヘッド先端間の距離
を1例えば渦電流。 磁気、D電容澄等の′Ki磁的容愈によって検出するた
めのセンサが設けられている。 第4図は一般的な三次元レーザ加工機の構成を示す斜視
図であり1図において、アーム[11)は加工ヘッド(
1)が取り付けられたβ軸(8) と、このβ軸(8)
に接続されたα軸(9)と、このα軸(9)に接続され
たZ軸(lO)とから構成されている。 (2)はモータ(M5)により図の矢印β方向に回転す
るβ軸(8)を支えるβ軸受、(3)はモータ(M4)
により図の矢印α方向に回転するα軸(9)を支えるα
軸受、(4)はモータ(M3)により加工ヘッド(1)
を図の矢印Z方向に移動するZ軸(10)を支えるZ軸
受、(5)はモータ(Ml)により加工ヘッド(1)を
図の矢印X方向に移動する軸を支持するX軸受。 (6)はモータ(Ml)により加工ヘッド(1)を図の
矢印Y方向に移動する軸を支持するY軸受である。 (7)は加工ヘッド(1)の先端部分に設けられた静電
容量式のセンサであり、ワーク(Ml上の加工線(K)
に沿って加工を行うとき、ワーク(W)と加工ヘッド(
1)先端間の距離を一定に保つためにワーク(W)と加
工ヘッド(1)間の静電容量を検出している。なお、加
工ヘッド(11はその先端部から加工用のレーザビーム
(L)をワーク(W)表面に照射する。 各モータ(Ml)〜(M5)は制御装置(12)からの
指令で駆動され、これにより加工用レーザビーム(L)
の焦点が加工線(に)を倣うとともに、加工ヘッド(1
)の姿勢がワーク(W)の表面に対してほぼ垂直になる
よう制御されている。 ところで、加工用のプログラムは、オペレータがティー
チングボックス(13)を操作してティーチング作業を
行なうことによって求められ、制御装置t (12)の
メモリに格納される。 次に、加工ヘッド(1)高さの制御方法について説明す
る。上記の加工プログラムによる加工においては、加工
ヘッド(1)の先端に設けられたセンサ(7)によって
ワーク(W)と加工ヘッド(11間の静電容量が検出さ
れている。この静電容量はワーク(W)から加工ヘッド
(1)先端までの距離によって変化するため、検出され
た静電容量が、予め設定された静電容量と同じ値になる
ように制御すればよいことになる。なお、ワーク(Wl
 と加工ヘッド[1)間の静電容量は、ワーク(W)か
ら加工ヘッド(1)先端までの距離に反比例することは
自明である。 第4図に示すように、ワーク(W)の加工1m (K)
に対する加工ヘッド(1)の位rIt(高さ)は、最適
な加工が得られるような寸法(A)が設定されるととも
に、この時の加工ヘッド(1)の位置における静電容量
が基準値として設定され、予め制御装置(12)のメモ
リに格納されている。 これにより、センサ(7)によって検出された静電容量
は、予め設定された静電容量の基準値と比較され、その
結果、検出された静電容量が基準値から外れた場合は、
検出された静電容量が基準値と一致するように制御袋f
fi! (12)によって加工ヘッド(1)が移動制御
される。 したがって、ワーク(If)上の加工線(K)に対する
加工ヘッド(1)の高さ、つまり、ワーク(W)に照射
される加工用レーザビーム(L)の焦点位置が常に適正
に保持されながら加工が行われるのである。 [発明が解決しようとする課に] 従来の三次元レーザ加工機の追従制御方法は以上のよう
に行われているので、ワーク(W)が平面形状の場合は
加工ヘッドが精度良く追従するが。 第5図に示すような凹面形状を有するワーク(Wlを矢
印の方向に加工する場合、加工ヘッド(1)が図に示す
bの位置にあるときは、ワークfill と加工ヘッド
(11の距離がaの位置に比べて小さくなるために、a
の位置より大きな静電容量が検出されることになる。 これにより、制御装置〔12)は、静電容量の基準値よ
り検出された静電容量の方が大きいから、加工ヘッド(
11がワーク(W)に近接していると判断して加工ヘッ
ド(1)を引上げるように指示を出力することになる。 なお、第6図に示すような凸面形状を有するワーク(W
)を加工する場合には、上記で説明した凹面形状のワー
ク(W)の場合とは全く逆の制御がなされる。 以上、いづれのワーク形状の場合であっても。 ワーク(If)と加工ヘッド(11間の距離と静電容量
の関係が平面形状のワーク(11の場合と異なるために
、加工ヘッド(1)が所定の加工軌跡へから図中Bのよ
うに外れることになる。この結果、レーザビーム(L)
の正常な焦点位置を維持することができなくなり、加工
不良が発生して高精度の加工が得られないという問題点
があった。 この発明は上記のような課題を解決するためになされた
もので、ワークの形状に限定されることなく高精度の加
工ができる三次元レーザ加工機の追従制御方法を得るこ
とを目的とする。 〔課題を解決するための手段] この発明に係る三次元レーザ加工機の追従制御方法は、
ワークの各種輪郭形状を加工プログラム中に指示すると
ともに、上記輪郭形状に対応したワークと加工ヘッド間
の距離対電磁的容量の変換関数を予め設定しておき、上
記加工プログラムに従って加工を行う際、ワークの輪郭
形状に対応する変換関数を選択し、実測された電磁的容
量を選択された変換関数により補正してワークと加工ヘ
ッド間の実際の距離が所定の基串値になるように制御し
つつ加工を行なうものである。 〔作用〕 この発明においては、ワークの各種輪郭形状を加工プロ
グラム中に指示するとともに、上記輪郭形状に対応した
ワークと加工ヘッド間の距離対電磁的容量の変換関数を
予め設定しておくことに゛より、加工に際して上記変換
関数が選択され、実測されたワークと加工ヘッド間の電
磁的容量が補正される。
【発明の実施例】
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図はこの発明による三次元レーザ加工機の追従制御方法
を示すフロー図、第2図は特徴的な輪郭形状を有するワ
ークの斜視図、第3図はワークと加工ヘッド間の静電容
量に対するワークと加工ヘッド先端間の距離をワーク形
状別に示した変換関数の曲線である。なお、この発明に
よる三次元レーザ加工機の構成は、第4図に示す従来の
ものと同一であるので説明を省略する。 次に、三次元レーザ加工機の追従制御方法におけるティ
ーチングについて説明する。レーザ加工に必要となる加
工プログラムはティーチング作業によって得られること
は前述のとおりであるが。 −磁的なティーチングの必要性としては次のような点が
考えられる。 ■対象ワークが立体で、その加工形状は任意の空間曲線
であり9図面情報として正確に表示しにくい。 ■それぞれの加工面に対して、はぼ垂直となるように加
工ヘッドの姿勢角(α・β)を決定していく必要がある
が2図面からその姿勢角を数値的に求めるのは非常に煩
雑で、困難な場合が多い。 したがって、第2図に示すようにワーク上に加工形状に
沿ったケガキ線(加工線)を描き、このケガキ線に沿っ
て、オペレータがティーチングボックスを用いて操作し
ながら、加工ヘッドの姿勢角を含む5軸のデータを教示
していき、最後に。 加工速度、出力、i!統/パルスなどの加工条件データ
を追加して加工用プログラムを完成する、このように、
三次元加工では、実際に加工機を動かすことによりティ
ーチング作業が行われているのである。 では次に、第2図に示すようなワークのティーチングに
ついて第1図を参照しながら説明する。 第2図は平面、凹面および凸面のような輪郭形状を有す
るワーク(W)である。なお、(K)はワーク上の加工
線を示している。 先ず、オペレータは、ティーチング時に加工線(K)上
の教示点における座標値や姿勢角の教示を行なうが、こ
のとき、教示点におけるワーク(1の輪郭形状も同時に
教示する。つまり、教示点におけるワークの輪郭形状が
平面か凹面か又は凸面かを判断して、そのそれぞれをテ
ィーチングボックス(13)から加工プログラム中に教
示していくのである。そして、この操作を順次繰り返す
ことによって、加工線(K)上の特徴的な形状(ワーク
の輪郭形状)データと5軸のデータ(x、y、z。 α、β)が加工プログラム中に教示されることになり、
その後、前述した加工条件データを追加すれば加工用の
プログラムが完成し2.これが制御装! (121のメ
モリに格納される。 以上のようにして得られた加工プログラムによって切断
や溶接等の加工を行なう場合では、ワーク(If)  
と加工ヘッド(1)間の距離を常に一定に保持すること
が、精度の高い加工を行う上で重要になってくる。 そこで、加工時におけるワーク(W)と加工ヘッド(1
1間の距離を制御する方法としては、加工ヘッド(1)
の先端部に設けられた静電容量式のセンサ(7)によっ
て、ワーク(W)と加工ヘッド(11間の静電容量を検
出し、この検出された静電容量の値に応じて、加工ヘッ
ド(1)をレーザビーム(L)の光軸方向に移動して所
定の距離、つまり、適切なレーザビーム(L)の焦点位
置を得る方法が取られている。 しかし、上記の方法では、従来の技術で述べたように、
ワークfW)と加工ヘッド(1)間の距離と静電容量の
関係がワーク(W)の輪郭形状によっては影響を受ける
ために、ワーク(W)と加工ヘッド(1)間の所定の距
離が得られないという不具合が生じることになる。 以下、この不具合の解決方法を第1図および第2図を用
いて詳細に説明する。 第3図に示す変換関数の曲線は、ワーク(Wlの各種輪
郭形状におけるセンサ(7)の出力(ここでは静電容量
とする)の変化と、それに対応するワーク(Wl と加
工ヘッド(1)間の距離の変化を示したものである。 図において1曲線工は平面1曲線■は凹面、そして1曲
線l■は凸面の場合を表わしており、各曲線には、ワー
ク(W)と加工ヘッド(1)間の所定の距離に対応する
静電容量の基準値が設定されている。例えば2曲線■で
は図に示すように、所定の距離h6に対応する静電容量
の基準値はC0となる。 なお、上記の各曲線は実験等により求められ。 予め制御装置(12)のメモリに格納されている。 ここで、ワーク(W)の凸面部を、前記の加工プログラ
ムに従って加工する場合を例にとって説明すると、先ず
、制御袋2 f12)に格納された各々の曲線が読み出
される。次いで、予めワーク(Wlの輪郭形状が教示さ
れた加工プログラムにより、加工すべき輪郭形状が凸面
であることが判別され。 読み出された曲線の中から凸面に対応する曲線■が選択
される。そして1曲線■に設定された基準の距離h0に
対応する静電容量の基準値C0と凸面に置ける実際の静
電容量とが比較される。 例えば、第3図に示すように実測された静電容量がC1
であれば、静電容量の基準値C0からはずれていると判
断され、静電容量の実測値C1が基準値C0に補正され
る。 これによって、実測値C1におけるワーク(W)と加工
ヘッド(1)間の距+1ih、が所定の距fih、に設
定されることになる。 なお、このような制御は、加工の進行に伴って随時実行
される。 以上のように、ワーク(If)の輪郭形状のそれぞれに
対応して設定された変換関数により、静電容量の実測値
を静電容量の基準値に補正するように制御することで、
平面、凹面、凸面など、特徴的な輪郭形状を有するワー
ク(W)のいづれの面においても、加工ヘッド(1)は
加工線(に)に対して所定の距離を持って追従すること
が可能になるのである。 したがって、ワーク(W)と加工ヘッド(1)間の距離
が、予め設定された所定の距離に保持されるため、ワー
ク(W)に照射されるレーザビーム(L)の焦点位置が
常に一定になる。 ところで、上記実施例では、変換関数として連続的な曲
線をメモリに格納しているが、離散値をデータとして格
納しておき逐次補間して用いても良い。 また、上記の実施例ではワーク(W)と加工ヘッド(1
1間の距離を静電容量によって検出しているが、他の電
磁的容量1例えば渦電流や磁気であっても同様の効果を
奏する。 更に、上記実施例ではティーチング時に教示されるワー
クの輪郭形状を、平面、凹面および凸面の3種類として
いるが、これらの形状に限定されるものではないことは
言うまでもない。 〔発明の効果〕 以上説明したようにこの発明によれば、ワークの各種輪
郭形状を加工プログラム中に指示するとともに各種輪郭
形状に対応したワークと加工ヘッド間の距離対電磁的容
量の変換関数を予め設定しておき、上記加工プログラム
に従って加工を行う際、ワークの輪郭形状に対応する変
換関数を選択し、実測された電磁的容量を1選択された
変換関数により補正してワークと加工ヘッド間の距離が
所定の基準値になるように制御しつつ加工を行うように
したので、ワークの輪郭形状に限定されることな(高精
度の加工を行うことができる三次元レーザ加工機の追従
制御方法が得られるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例による三次元レーザ加工機
の追従制御方法を示すフロー図、第2図はワークの形状
を示す斜視図、第3図はこの方法による距離対静電容量
の変換関数を示す曲線図。 第4図は三次元レーザ加工機の構成図、第5図および第
6図は従来の追従制御方法を説明するための図である。 図において、(1)は加工ヘッド、(W)はワーク。 (C0)は静電容量の基準値、 (h、)はワークと加
工ヘッド間の基準距離である。 なお9図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 検出されたワークと加工ヘッド間の電磁的容量に基づい
    て上記ワークと加工ヘッド間の距離を所定の基準値に保
    持しながら加工を行う三次元レーザ加工機の追従制御方
    法において、上記ワークの各種輪郭形状を加工プログラ
    ム中に指示するとともに、上記輪郭形状に対応したワー
    クと加工ヘッド間の距離対電磁的容量の変換関数を予め
    設定しておき、上記加工プログラムに従って加工を行う
    際、ワークの輪郭形状に対応する変換関数を選択し、実
    測された電磁的容量を選択された変換関数により補正し
    てワークと加工ヘッド間の実際の距離が所定の基準値に
    なるように制御しつつ加工を行うことを特徴とする三次
    元レーザ加工機の追従制御方法。
JP1249939A 1989-09-26 1989-09-26 三次元レーザ加工機の追従制御方法 Pending JPH03110087A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1249939A JPH03110087A (ja) 1989-09-26 1989-09-26 三次元レーザ加工機の追従制御方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1249939A JPH03110087A (ja) 1989-09-26 1989-09-26 三次元レーザ加工機の追従制御方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03110087A true JPH03110087A (ja) 1991-05-10

Family

ID=17200421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1249939A Pending JPH03110087A (ja) 1989-09-26 1989-09-26 三次元レーザ加工機の追従制御方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03110087A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015104735A (ja) * 2013-11-29 2015-06-08 株式会社アマダ センサのキャリブレーション用の基準部材及びセンサのキャリブレーション方法
CN111085774A (zh) * 2018-10-24 2020-05-01 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种快速寻边方法
JP2023014518A (ja) * 2021-07-19 2023-01-31 パナソニックIpマネジメント株式会社 レーザ加工装置の制御方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015104735A (ja) * 2013-11-29 2015-06-08 株式会社アマダ センサのキャリブレーション用の基準部材及びセンサのキャリブレーション方法
CN111085774A (zh) * 2018-10-24 2020-05-01 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种快速寻边方法
CN111085774B (zh) * 2018-10-24 2022-01-25 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种快速寻边方法
JP2023014518A (ja) * 2021-07-19 2023-01-31 パナソニックIpマネジメント株式会社 レーザ加工装置の制御方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0743130B1 (en) Robotic movement of object over a workpiece surface
US4568816A (en) Method and apparatus for manipulator welding apparatus with improved weld path definition
KR100311663B1 (ko) 여유축을이용하여물체의외형을추적하는장치및방법
WO1989006174A1 (fr) Dispositif laser pour l'usinage tridimensionnel
CN111014879A (zh) 一种基于激光焊缝跟踪的机器人波纹板自动焊接方法
JPH0360956A (ja) 非接触ならい制御装置
JP4799472B2 (ja) 工具の刃先位置の測定方法及び装置、ワークの加工方法並びに工作機械
US11654562B2 (en) Apparatus, robot control device, robot system, and method of setting robot coordinate system
JPH0482658A (ja) 非接触ならい制御装置
JPH03110087A (ja) 三次元レーザ加工機の追従制御方法
JP2002001568A (ja) Nc制御3次元レーザ加工機におけるレーザ加工ヘッドのパラメータ設定方法およびnc制御3次元レーザ加工機
JPH04115854A (ja) 非接触ならい制御装置
EP0160705A1 (en) Machining method for machine tools
JP3084259B2 (ja) 開先切断装置および方法
JPH03169490A (ja) 三次元レーザ加工装置の追従制御方法
JPH0146275B2 (ja)
JP2739354B2 (ja) 三次元レーザ加工機におけるティーチング方法
JPS641269B2 (ja)
JPS63253206A (ja) 形状計測装置
JPH04344885A (ja) 3次元レーザ加工装置
JPH04123884A (ja) 三次元レーザ加工機の追従制御装置
JPH0512102B2 (ja)
JPS63245359A (ja) 加工線テイ−チング方法
Prabuwono et al. Performance evaluation of autonomous contour following algorithms for industrial robot
JP2672953B2 (ja) 境界線自動センシング方法