JPS63256068A - Ccd型固体撮像素子を用いた撮像方法 - Google Patents

Ccd型固体撮像素子を用いた撮像方法

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JPS63256068A
JPS63256068A JP62089764A JP8976487A JPS63256068A JP S63256068 A JPS63256068 A JP S63256068A JP 62089764 A JP62089764 A JP 62089764A JP 8976487 A JP8976487 A JP 8976487A JP S63256068 A JPS63256068 A JP S63256068A
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JP
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ccd
charge
transfer clock
vertical
ccd register
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JP62089764A
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Yasuyuki Shiromizu
康之 白水
Kenji Urata
健司 浦田
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/73Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors using interline transfer [IT]
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/60Control of cameras or camera modules

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、テレビカメラの如き画像入力装置としてのC
CD (電荷結合デバイス)型固体撮像素子を用いた撮
像方法に関するものである。
〔従来の技術〕
第5図はかかるCCD型固体損像素子の概略を示す平面
図である。同図において、1は垂直転送クロック、2は
水平転送クロック、3は撮像により得られた画像信号出
力、4は画素を構成するフォトセンサ、5は垂直シフト
レジスタ、6は水平シフトレジスタ、7はリードアウト
パルス、である。
第5図において、リードアウトパルス7により各フォト
センサ4から読み出して垂直シフトレジスタ5に取り込
んだ画像信号を、垂直転送クロックlを用いて水平シフ
トレジスタ6に転送し、更に水平転送クロック2を用い
て水平シフトレジスタ6から画像信号出力3として読み
出すようにしたラスタスキャン方式による読み出しの場
合、NTSC方式を採用したインクレース方式を取ると
、1/30秒というような比較的長い期間を要し、その
長い期間がそのまま次の露光時間の長さにつながるので
、高速な撮像が出来ない。
そこで垂直シフトレジスタ5に取り込んだ画像信号を、
上記ラスタスキャン方式をくずして非ラスタスキャン方
式とすることにより特別に高速の垂直転送クロックを用
いて水平シフトレジスタ6へ転送し、更に高速の水平転
送クロックを用いて該水平シフトレジスタ6の外へ短い
時間で読み出して廃棄することとしくかかる廃棄のため
の走査を以下、非ラスタスキャンと呼ぶ)、その短い時
間の間に各フォトセンサが受光することにより形成され
る画像信号をその後改めて読み出し出力として取り出す
ようにすれば短い露光時間が得られて高速描像が可能と
なり、描像対象が移動物体などであってもブレのない画
像信号が得られる。
第6図(イ)は、第5図における一つのフォトセンサ4
と垂直シフトレジスタ5の対応部を含む部分Mの縦断面
構造(換言すれば、ブルーミングやスミアの原因となる
過剰な信号電荷を取り除くためのオーバフロードレーン
構造を備えたMO5型CCDの画素構造)を示す断面図
である。
第6図(ロ)は、同構造の成る時刻t、におけるエネル
ギー準位分布を示した説明図、第6図(ハ)は、同構造
における他の時刻1tにおけるエネルギー準位分布を示
した説明図、である。
第6図において、11が1画素領域、12がチャンネル
ストップ、13がV−CCD (第5図における垂直シ
フトレジスタ5に対応)、14がリードアウトゲート、
15が感光部、16がオーバーフローコントロールゲー
ト、17がオーバフロードレーン、18がAI光シール
ド、19が透明電極、20は絶縁膜、21は電極、22
は信号電荷、23はオーバーフロー電荷、である。
また、P” 、N” 、P−の記号表示における+。
−は不純物濃度を示し、+は濃度が高く、−は低いこと
を示す。PはP型半導体を、NはN型半導体を示すもの
であることは勿論である。
第7図は、第6図(イ)に示した素子構造へ印加される
垂直転送クロック1とリードアウトパルス7のタイミン
グチャートである。
第6図、第7図を参照して、以下、動作を説明する。
第6図(イ)において、透明電極19には図示せざる手
段によりV2Cというバイアス電位がかかっている。電
極21には、図示せざる手段により垂直転送クロック1
とリードアウトパルス7が入′力される。ここで垂直転
送クロック1とリードアウトパルス7を合成すると、第
7図に見られるような3値(V、1.VL4.VL )
(D信号とfiル。
第6図(イ)において、信号電荷の蓄積時、例えば時刻
11(第7図)における電子エネルギー準位の分布を第
6図(ロ)に示す。時刻t1において、つまりリードア
ウトパルス7が印加されていない時、透明電極19には
バイアス電圧VSGが印加されており、感光部15から
オーバフロードレーン17までの間は、バイアス電圧V
SGに応じた成るレベル幅VSG′だけエネルギー準位
が下がり、結果として電荷を蓄積すIるための井戸が出
来る。
また電極21には垂直転送クロック1が印加されると、
オーバフロードレーン17からリードアウトゲート14
までの間は、転送クロック1の電位レベル■。+VLに
応じたレベル幅v、’、v、・たけエネルギー準位が下
がり、電荷を蓄積するための井戸が出来る。
ここで、第7図から明らかなように、次の関係がある。
■イl > V 、 / 第6図(ロ)において、感光部15とオーバーフローコ
ントロールゲート16との接合部に生じる電位障壁の大
きさをP!lとし、v、、’−v、’=paとすると、
PA >p@の関係にある。
固体損保素子に光が入射すると、Al光シールド18に
より覆われていない部分では、光によって電子が励起さ
れ、該電子が電荷として感光部15の電荷の井戸にたま
っていく。
この電荷の井戸に納まる電荷量は電位障壁P3によって
制限され、該障壁P、をあふれた電荷23は、オーバー
フローコントロールゲート16を通りオーバフロードレ
ーン17へ流れ出し、撮像素子外へ排出される。
通常、感光部15上の電荷量が、V−CCD13の取扱
い電荷量を越えないように電位障壁P。
は定められる。その大きさは、感光部15を構成する半
導体とオーバーフローコントロールゲート16を構成す
る半導体との不純物濃度の差によって決まる。
次にリードアウトパルス印加時(時刻t2のタイミング
)について、第6図(ハ)を参照して説明する。電極2
1にリードアウトパルス7が印加されると、オーバフロ
ードレーン17からリードアウトゲート14までの間は
、該パルス7の電位■oに応じたレベル幅vH′だけエ
ネルギー準位が下がる(Vll’  V)I’=PCと
すると、第6図(ロ)に比べ、さらに電位障壁PCの分
だけエネルギー準位が下がることになる)。
この時次の条件が必要である。
v□′≧■3.′ これにより、リードアウトゲート14のエネルギー準位
は感光部15のそれより低くなり、信号電荷22はリー
ドアウトゲート14を通り、■−CGD 13へ流れ込
み、読み出しが行われる。
ここでV−CCD 13と隣接画素のオーバフロードレ
ーン17との間には手ヤソネルストップ12が設けられ
ていて、V−CCD13上の電荷22が洩れ出ないよう
になっている。
垂直転送クロック1の印加される時刻t、のタイミング
では、vsa’  VL′=PA′とすると Pヶ′〉
PAであるから、リードアウトゲート14と感光部15
のエネルギー準位の差はさらに大きくなる。
所で現在、CCD (電荷結合素−子)における電荷の
転送方式には、単相〜4相クロック方式があるが、ここ
で例として3相クロック方式を採る場合のCCDの構造
図を第8図(イ)に、また第9図に示した如き3相の転
送クロックパルス25a。
25b、25cを与えたときの各タイミングにおけるC
CDの電子エネルギー準位の変動状況を第8図(ロ)に
示した。
第8図において、13はV−CCD (垂直シフトレジ
スタ5に相当)、21は電極であり、またV−CCD 
13上には第6図(ハ)において流入した信号電荷があ
る。
さて第8図、第9図を参照する。今タイミングがTaか
らTcへ移ると、クロックパルス25bはローレベルL
からハイレベルHに転じ、クロックパルス25aはハイ
レベルHからローレベルLに転じる。そしてこのことに
より電荷の井戸が電極21の1個分だけ移動する(図に
おいて右)。
これにより電荷の井戸の中の信号電荷22も電極21の
1個分だけ移動する。同様にしてタイミングTgまで電
荷22の移動を繰り返すことにより信号電荷22の1画
素分の転送が行われる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
先に第5図を参照して、垂直シフトレジスタ5に取り込
んだ画像信号を、ラスクスキャン方式を(ずして非うス
ク・スキャン方式とすることにより特別に高速の垂直転
送クロックを用いて水平シフトレジスタ6へ転送し、更
に高速の水平転送クロックを用いて該水平シフトレジス
タ6の外へ短い時間で読み出して廃棄することとし、そ
の短い時間の間に各フォトセンサが受光することにより
形成される画像信号をその後改めて読み出し出力として
取り出すようにすれば短い露光時間が得られて高速撮像
が可能になると述べた。
ところがこのとき、水平シフトレジスタ6からその外へ
読み出して廃棄(排出)される不要請像信号としての電
荷量が多く、当該水平シフトレジスタ6の排出能力を上
回ると、所定の時間内に排出しきれず水平シフトレジス
タ6内に残留してしまうことがある。するとその結果、
その残留した電荷が、次に読み出されてくる画像信号出
力としての電荷(詳しくは画像の端の部分を構成する電
荷)に加算されてしまい、撮像画像の一部がつぶれて画
質劣化を起こすという問題があった。
本発明の目的は、高速撮像を可能にするCCD型固体撮
像素子を用いた従来の撮像方法において、上記問題点を
解決し、水平シフトレジスタの不要電荷の排出能力を高
めてその残留を無くし、画像のつぶれが発生しないよう
にすることにあり、換言すればかかる画像のつぶれが発
生しないようにしたCCD型固体撮像素子を用いた撮像
方法を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕 次に第1図を参照して問題点を解決するための手段を説
明する。
なお第1図は本発明における問題点解決のための手段お
よび作用を説明するための説明図である。
同図における(イ)は、本発明において用いる普通のC
CD型固体撮像素子の概略平面図(第6図を上から見た
平面図に相当する)である、5は■−CCD (第6図
では13)、15は感光部、17はオーバフロードレー
ン、6はH−CCD (水平シフトレジスタ)、21は
V−CCD5上にそれぞれ位置する電極、25 a、 
 25 b、  25 cは3相の転送クロック、であ
る。
第1図(ロ)は本発明を実施しない時の3相転送クロッ
ク25a、25b、25cのタイミング図、第1図(ハ
)は本発明を実施したときの3相転送クロック25a、
25B、25cのタイミング図であり、7はリードアウ
トパルス(の印加期間)を示す。
第1図(ロ)と(ハ)を比較すれば明らかなように、3
相の両転送クロックは、転送クロック25bと25Bが
相違するだけで、他の転送クロックは同じタイミング位
相をとるクロックである。
つまり、本発明を実施しないときは、3相の転送クロッ
クとして第1図(ロ)に示すクロックを用い、本発明を
実施するときは、第1図(ハ)に示すクロックを用いる
もので、そこに問題点解決のための手段がある。
〔作用〕
次に第1図を参照して作用を説明する。
リードアウトパルス7の印加時、本発明を実施せず標準
的な垂直転送クロック25a、25b。
25C(第1図口)を電極21に印加するときは、クロ
ック25bの印加タイミングにおいて、V−CCD5と
H−CCD6との境界部分(破線領域Sで示す)に電位
障壁が形成され、それによりH−CCDS上の排出され
るべき不要電荷がv−CCD5の方へ逆流しないように
なっている。
ところが、本発明を実施して垂直転送クロック25a、
25B、25C(第1図ハ)を電極21に印加するとき
は、クロック25Bの印加タイミングにおいて、即ち感
光部15から読み出されてV−CCD5を介して高速に
H−CCD6へ転送された不要な排出用電荷が大量に該
1(−CCD6に溜まっているこの時点で、垂直転送ク
ロック25Bにより前記境界(破線領域S)に存在する
電位障壁を除去してやる。これによりH−CCDS上の
不要電荷がV−CCD5を経て一番近くの感光部15に
逆流してそこからオーバフロードレーン17へ排出され
ることが可能となる(それより遠くにある感光部へは、
途中に電位障壁が形成されているため、逆流することは
ない)。
このようにしてH−CCD6上の不要電荷の排出が更に
効率良く行われるようになる。その後、転送クロック2
5Bの電位を転送クロック25aと同じ程度にまで上げ
ても良い(素子を破壊しない程度において)、これによ
り下げられるV−CCD5のエネルギー準位がオーバフ
ローコントロールゲート16のエネルギー準位より低(
なったときが、最も多くの電荷を排出できる。
かかる方法により、画像のつぶれはH−CCD6に一番
近い感光部から成る画素1947分のみとなり、またこ
の1ラインがダミーであるような撮像素子を使用すれば
画像のつぶれは起きなくなる。
〔実施例〕
次に図を参照して本発明の詳細な説明する。
第2図は本発明の一実施例を示すブロック図である。同
図において、30はCCD型固体撮像素子、31はドラ
イバ、32は転送信号合成回路、33は信号排出用垂直
転送クロック発生回路、34は非うスクスキャン用リー
ドアウトパルス発生回路、35は本発明実施用のリード
アウトパルス発生回路、36はタイマ、37は標準駆動
回路、である。
第3図は第2図の回路における各部信号のタイミングチ
ャートである。第3図において、40はブランキング信
号、48はVブランキング期間、43は水平転送クロッ
ク、44は画像掃きだしく排出)信号、49は画像掃き
だしく排出)期間、25a、25B、25cは3相の垂
直転送りo7り、46は画像掃きだしく排出)用リード
アウトパルス、47は読み出し用リードアウトパルス、
50は素子出力、である。
第2図、第3図を参照して回路動作を説明する。
標準駆動回路37からタイマ回路36にはブランキング
信号40が出力されている。タイマ回路36は、このブ
ランキング信号40中からVブランキング期間4Bを検
出すると、転送信号合成回路32に画像掃きだし期間4
9を示す信号を出力する。転送信号合成回路32は、こ
の期間、標準駆動回路37からの信号を出力するのを止
めて信号排出用垂直転送クロック発生回路33、リード
アウトパルス発生回路34.35からの信号を出力する
ように切り替える。
タイマ回路36から信号排出用垂直転送クロック発生回
路33にはA geの期間を示す信号が、リードアウト
パルス発生回路34にはAoの期間を示す信号が、リー
ドアウトパルス発生回路35にはBoの期間を示す信号
が、それぞれ出力され、それぞれの期間だけそれぞれの
回路が動作する。
B +tの期間では垂直転送クロック25a、25B。
25cはすべて停止し、標準駆動回路37からの水平転
送クロック43によりH−CCD6上の電荷排出だけが
行われる。
なお本実施例は、CCD型固体撮像素子として3相式の
V−CCDをもつ素子を用いるものとして説明した。ま
た第3図において、Aは非うスクスキャン期間を示し、
Bは本発明による電荷排出期間を示している。そしてB
oの期間は、第4図(イ)において矢印Yで示したよう
に、H−CCD6上の電荷が逆流する期間であり、B 
11の期間は、第4図(ロ)において矢印にで示したよ
うに、H−CCD6上の電荷が他へ排出される期間であ
る。
〔発明の効果〕
本発明によれば、CCD型固体撮像素子においてH−C
CD (水平シフトレジスタ)における不要信号電荷の
排出効率を高めることができ、従来発生していた撮像画
像の一部がつぶれて画質劣化を起こすという問題を解決
できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明における問題点解決のための手段および
作用を説明するための説明図、第2図は本発明の一実施
例を示すブロック図、第3図は第2図の回路における各
部信号のタイミングチャート、第4図は本発明による動
作態様の説明部、第5図はCCD型固体撮像素子の概略
を示す平面図、第6図はMO3型CCD画素構造の断面
を示すと共にそこにおけるエネルギー準位分布を示した
説明図、第7図は第6図に示した素子構造へ印加される
垂直転送クロックとリードアウトパルスのタイミングチ
ャート、第8図は3相クロツク方式を採るCCDの構造
を示すと共にその電子エネルギー準位の変動状況を示し
た説明図、第9図は第8図に示したCCDに印加する転
送クロックのタイミングチャート、である 符号の説明 30・・・CCD型固体撮像素子、31・・・ドライバ
、32・・・転送信号合成回路、33・・・信号排出用
垂直転送クロック発生回路、34・・・非ラスタスキャ
ン用リードアウトパルス発生回路、35・・・本発明実
施用のリードアウトパルス発生回路、36・・・タイマ
、37・・・標準駆動回路、40・・・ブランキング信
号、48・・・■ブランキング期間、43・・・水平転
送クロック、44・・・画像掃きだしく排出)信号、4
9・・・画像掃きだしく排出)期間、25a、25B。 25c・・・3相の垂直転送クロック、46・・・画像
掃きだしく排出)用リードアウトパルス、47・・・読
み出し用リードアウトパルス、50・・・素子出力。 代理人 弁理士 並 木 昭 夫 代理人 弁理士 松 崎   清 III  図 W2 図 111311!+

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)オーバフロードレーン構造をもつ受光部として光電
    変換素子と、該素子から電荷を取り出すための垂直CC
    Dレジスタと、該垂直CCDレジスタから電荷を転送さ
    れる水平CCDレジスタと、を有して成るCCD型固体
    撮像素子による撮像時において、 垂直ブランキング期間中の或る第1の時刻において、光
    電変換素子から垂直CCDレジスタに電荷を取り出した
    後、該電荷を正常な読み出し時のそれを超える高速な第
    1の転送クロックに従って水平CCDレジスタに転送し
    、その後該水平CCDレジスタから他へ排出し、続く垂
    直ブランキング期間内の或る一定時間後の第2の時刻に
    おいて、前記光電変換素子から垂直CCDレジスタに電
    荷を取り出し、更に該垂直CCDレジスタから水平CC
    Dレジスタに正常な読み出し時の速度をもつ第2の転送
    クロックに従って転送した電荷は、信号電荷として取り
    込み、前記第1の時刻と第2の時刻との間をシャッタの
    開期間とするCCD型固体撮像素子を用いた撮像方法に
    おいて、 前記光電変換素子から垂直CCDレジスタに取り出した
    電荷を前記高速な第1の転送クロックに従って水平CC
    Dレジスタに転送した後、該水平CCDレジスタから他
    へ排出する際、前記第1の転送クロックの採る或る特定
    クロック位相において垂直CCDレジスタ上の電位障壁
    を下げてやり、前記水平CCDレジスタ上の他へ排出さ
    れるべき電荷が該障壁に妨げられず垂直CCDレジスタ
    を経て前記光電変換素子に逆流し、該素子のオーバフロ
    ードレーンからも排出されるようにしたことを特徴とす
    るCCD型固体型撮像素子を用いた撮像方法。
JP62089764A 1987-04-14 1987-04-14 Ccd型固体撮像素子を用いた撮像方法 Pending JPS63256068A (ja)

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