JPS6326348A - 切削工具用または耐摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材の製造方法 - Google Patents
切削工具用または耐摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材の製造方法Info
- Publication number
- JPS6326348A JPS6326348A JP16946286A JP16946286A JPS6326348A JP S6326348 A JPS6326348 A JP S6326348A JP 16946286 A JP16946286 A JP 16946286A JP 16946286 A JP16946286 A JP 16946286A JP S6326348 A JPS6326348 A JP S6326348A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、表面に硬質の被覆層が形成されている切削
工具用まだは耐摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材の製造
方法に関し、特に、密着性にすぐれた硬質のチタン化合
物の被覆層が表面に形成されている切削工具用または耐
摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材を、物理蒸着法を利用
して製造する方法に関するものである。
工具用まだは耐摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材の製造
方法に関し、特に、密着性にすぐれた硬質のチタン化合
物の被覆層が表面に形成されている切削工具用または耐
摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材を、物理蒸着法を利用
して製造する方法に関するものである。
従来、高速度鋼（以下、ハイスという）は、高い硬さと
すぐれた靭性を有するので、スローアウェイチップ、バ
イト、ギアーホブ、タップ、ドリル、エンドミルのよう
な切削工具、あるいはノξンチ、ジョンピン、ダイスの
ような耐摩耗工具の素材として広く使用されているが、
このハイス表面に炭化チタンや窒化チタンのようなチタ
ン化合物からなる硬質被覆層を設けると、それによって
耐溶着外、耐焼付性および耐摩耗性が向上し、工具寿命
が飛躍的に延びるところから、最近ではこのような被覆
層をハイス表面に１〜８μｍの厚さに設けることも盛ん
に行われている。
すぐれた靭性を有するので、スローアウェイチップ、バ
イト、ギアーホブ、タップ、ドリル、エンドミルのよう
な切削工具、あるいはノξンチ、ジョンピン、ダイスの
ような耐摩耗工具の素材として広く使用されているが、
このハイス表面に炭化チタンや窒化チタンのようなチタ
ン化合物からなる硬質被覆層を設けると、それによって
耐溶着外、耐焼付性および耐摩耗性が向上し、工具寿命
が飛躍的に延びるところから、最近ではこのような被覆
層をハイス表面に１〜８μｍの厚さに設けることも盛ん
に行われている。
このような炭化チタン−まだは窒化チタンの表面被覆層
を有する切削］−具用または耐摩耗工具用ハイス部材を
反応性の物理蒸着法によって製造するには、例えば、ま
ずハイス基体を反応炉内で圧カニ １０−５〜１Ｏ−５
Ｔｏｒｒの真空雰囲気中、ハイスの焼戻１ｙ ｆｆ＋？
＞度以下の温度に加熱してから、圧カニ１０’〜１０
Ｔｏｒｒにおいてアルゴンによるイオンエツチングを
随意にこの基体に施した後、引続きこの温度と圧力を維
持しながら、炭化チタンまたは窒化チタンによる被覆反
応を起すこと、すなわち反応炉内で電子ビームなどによ
って蒸発させた金属チタンと、この反応炉中に供給され
たアセチレンまたは窒素ガスをそれぞれ正にイオン化し
、これらの正イオンを負に帯電させた基体上に電気的に
引寄せて、それぞれ炭化チタンまたは窒化チタンからな
る被膜を基体表面に析出形成させ、ついで放冷または反
応炉内にアルゴンガスを吹込んで前記基体を室温まで冷
却している。
を有する切削］−具用または耐摩耗工具用ハイス部材を
反応性の物理蒸着法によって製造するには、例えば、ま
ずハイス基体を反応炉内で圧カニ １０−５〜１Ｏ−５
Ｔｏｒｒの真空雰囲気中、ハイスの焼戻１ｙ ｆｆ＋？
＞度以下の温度に加熱してから、圧カニ１０’〜１０
Ｔｏｒｒにおいてアルゴンによるイオンエツチングを
随意にこの基体に施した後、引続きこの温度と圧力を維
持しながら、炭化チタンまたは窒化チタンによる被覆反
応を起すこと、すなわち反応炉内で電子ビームなどによ
って蒸発させた金属チタンと、この反応炉中に供給され
たアセチレンまたは窒素ガスをそれぞれ正にイオン化し
、これらの正イオンを負に帯電させた基体上に電気的に
引寄せて、それぞれ炭化チタンまたは窒化チタンからな
る被膜を基体表面に析出形成させ、ついで放冷または反
応炉内にアルゴンガスを吹込んで前記基体を室温まで冷
却している。
しかしながら、上記の方法によって製造された表面被覆
ハイス部材における炭化チタン、窒化チタンおよび炭窒
化チタン（以下、これらをそれぞれＴｉＣ１ＴｉＮおよ
び甲ｉＣＮで表わし、また便宜上これらを総称してチタ
ンの炭・窒化物という）の被膜は、密着性に乏しいため
に、このような被膜で被覆された切削工具用または耐摩
耗工具用ハイス部材は工具寿命が短いという問題があっ
た。
ハイス部材における炭化チタン、窒化チタンおよび炭窒
化チタン（以下、これらをそれぞれＴｉＣ１ＴｉＮおよ
び甲ｉＣＮで表わし、また便宜上これらを総称してチタ
ンの炭・窒化物という）の被膜は、密着性に乏しいため
に、このような被膜で被覆された切削工具用または耐摩
耗工具用ハイス部材は工具寿命が短いという問題があっ
た。
そこで、本発明者は、このような問題を解決するだめに
種々研究を重ねた結果、 物理蒸着法を利用して、チタンの炭・窒化物の被覆成分
からなる被覆層を切削工具用または耐摩耗工具用ハイス
基体にコーティングする場合に、前記基体に対する前記
被覆層の蒸着が終了した後、前記反応性の物理蒸着法の
適用によってハイスの焼戻し温度以下の温度に加熱され
ていた前記基体を室温まで冷却する際の冷却速度を毎時
５０〜１００℃とすると、密着性にすぐれた切削工具用
または耐摩耗工具用表面被覆ハイス部材が得られること
、を見出した。
種々研究を重ねた結果、 物理蒸着法を利用して、チタンの炭・窒化物の被覆成分
からなる被覆層を切削工具用または耐摩耗工具用ハイス
基体にコーティングする場合に、前記基体に対する前記
被覆層の蒸着が終了した後、前記反応性の物理蒸着法の
適用によってハイスの焼戻し温度以下の温度に加熱され
ていた前記基体を室温まで冷却する際の冷却速度を毎時
５０〜１００℃とすると、密着性にすぐれた切削工具用
または耐摩耗工具用表面被覆ハイス部材が得られること
、を見出した。
このような結果は、一般にハイスの熱膨張係数がチタン
の炭・窒化物のそれよりもかなり大きいため、従来のよ
うに、被膜形成後の基体を無造作に、すなわち比較的速
やかに室温まで冷却すると、ハイス基体の急激な収縮に
対して被覆層が十分に追随できないで、基体と被覆層と
の間に剥離やずれを起したり、被覆層中に歪が残るのに
対し、上記のように基体を比較的ゆっくり冷却すると、
ノ・イス基体は徐々に収縮し、その収縮に伴って被覆層
との界面で生ずる圧縮力が被覆層に対して穏やかに作用
し、それによって前記の剥離やずれ、あるいは歪が生じ
難く力ることに基づくものと考えられる。
の炭・窒化物のそれよりもかなり大きいため、従来のよ
うに、被膜形成後の基体を無造作に、すなわち比較的速
やかに室温まで冷却すると、ハイス基体の急激な収縮に
対して被覆層が十分に追随できないで、基体と被覆層と
の間に剥離やずれを起したり、被覆層中に歪が残るのに
対し、上記のように基体を比較的ゆっくり冷却すると、
ノ・イス基体は徐々に収縮し、その収縮に伴って被覆層
との界面で生ずる圧縮力が被覆層に対して穏やかに作用
し、それによって前記の剥離やずれ、あるいは歪が生じ
難く力ることに基づくものと考えられる。
この発明は、上記知見に基づいて発明されたもので、
物理蒸着法を利用して、ＴｉＣ，Ｔｊ−Ｎおよび’］’
ｉＣＮのうちのいずれか１種または２種以上の被覆成分
を切削工具用または耐摩耗工具用ノ・イス基体にコーテ
ィングすることによって、前記被覆成分からなる被覆層
が表面に付着している切削工具用または耐摩耗工具用表
面被覆ノ・イス部材を製造する方法において、前記基体
に対する前記被覆層の蒸着が終了した後、前記物理蒸着
法の適用によってノ・イス焼戻し温度以下の温度に加熱
されていた前記基体を、毎時５０〜１００℃の冷却速度
で室温まで冷却することを特徴とする、前記切削工具用
または耐摩耗工具用表面被覆・・イス部材の製造方法、
に係わるものである。
ｉＣＮのうちのいずれか１種または２種以上の被覆成分
を切削工具用または耐摩耗工具用ノ・イス基体にコーテ
ィングすることによって、前記被覆成分からなる被覆層
が表面に付着している切削工具用または耐摩耗工具用表
面被覆ノ・イス部材を製造する方法において、前記基体
に対する前記被覆層の蒸着が終了した後、前記物理蒸着
法の適用によってノ・イス焼戻し温度以下の温度に加熱
されていた前記基体を、毎時５０〜１００℃の冷却速度
で室温まで冷却することを特徴とする、前記切削工具用
または耐摩耗工具用表面被覆・・イス部材の製造方法、
に係わるものである。
（１）÷÷←→物理蒸着法
この発明において利用する物理蒸着法を、例えばＴｉＮ
被膜の析出形成を例にとって説明すると、第１図に概略
説明図で示されているように、例えば、まずノ・イス基
体を反応炉１内で圧力、１０〜１０”−５Ｔｏｒｒ の
真空雰囲気中、・・イスの焼戻し温度以下の温度に加熱
してから、圧カニ］Ｏ−’〜１０−２Ｔｏｒｒにおいて
アルゴンによるイオンエツチングをこの基体に随意に施
した後、前記アルゴンの代りに窒素ガス２を反応炉ｌ内
に導入して反応炉］、内の雰囲気圧力および温度を前記
圧力および温度に維持するとともに、反応炉１内に対向
配置した基体３と水冷銅ルツボ４との間に設けられた放
電用電極５に数十ボルトの直流電圧を印加して、前記ル
ツボ４内に保持された金属チタン６と放電用電極５との
間に放電を起して、窒素ガス２のプラズマを前記放電用
電極５とルツボ４との間に形成させる一方、前記金属チ
タン６に電子ビーム７を照射してこれを溶解蒸発させ、
この蒸発したチタンを前記プラズマ中に通過させてプラ
スイオンにイオン化した後、Ｏ〜１５００ボルトのマイ
ナス電位に保った前記基体３に付着させるとともに、前
記放電によってプラスにイオン化した窒素も前記基体３
に付着させて、これらのチタンイオンと窒素イオンとの
反応によって生成したＴｉＮ被膜を基体３０表面に析出
形成させ、ついで、ハイス焼戻し温度以下の温度に加熱
されている基体３を放冷または外部加熱手段８により、
所定の冷却速度で室温１で冷却する。
被膜の析出形成を例にとって説明すると、第１図に概略
説明図で示されているように、例えば、まずノ・イス基
体を反応炉１内で圧力、１０〜１０”−５Ｔｏｒｒ の
真空雰囲気中、・・イスの焼戻し温度以下の温度に加熱
してから、圧カニ］Ｏ−’〜１０−２Ｔｏｒｒにおいて
アルゴンによるイオンエツチングをこの基体に随意に施
した後、前記アルゴンの代りに窒素ガス２を反応炉ｌ内
に導入して反応炉］、内の雰囲気圧力および温度を前記
圧力および温度に維持するとともに、反応炉１内に対向
配置した基体３と水冷銅ルツボ４との間に設けられた放
電用電極５に数十ボルトの直流電圧を印加して、前記ル
ツボ４内に保持された金属チタン６と放電用電極５との
間に放電を起して、窒素ガス２のプラズマを前記放電用
電極５とルツボ４との間に形成させる一方、前記金属チ
タン６に電子ビーム７を照射してこれを溶解蒸発させ、
この蒸発したチタンを前記プラズマ中に通過させてプラ
スイオンにイオン化した後、Ｏ〜１５００ボルトのマイ
ナス電位に保った前記基体３に付着させるとともに、前
記放電によってプラスにイオン化した窒素も前記基体３
に付着させて、これらのチタンイオンと窒素イオンとの
反応によって生成したＴｉＮ被膜を基体３０表面に析出
形成させ、ついで、ハイス焼戻し温度以下の温度に加熱
されている基体３を放冷または外部加熱手段８により、
所定の冷却速度で室温１で冷却する。
（２）基体の冷却速度
チタンの炭・窒化物の被覆層形成後、ハイス焼戻し温度
以下の温度に保持されていた基体を、１００℃、／ｈｒ
を越える速さで冷却すると、所望のすぐれた密着性を有
する被覆層によってコーティングされた表面被覆ハイス
部材が得られず、一方その冷却速度が５０℃／ｈｒ未満
になると、基体の冷却に時間がかかりすぎ、かつ上記効
果に格別の向上がみられないところから、この発明では
基体の冷却速度を５０〜ｂ この発明において特定した５０〜ｂ いう冷却速度で前記効果が顕著に現われるのは、前記被
覆層の厚みが２〜８μｍの場合であり、また、ハイス基
体上に形成されたＴｉＣおよびＴｉＮ被膜をＸ線回折の
解析によって調査すると、基体の冷却速度が速すぎた場
合、すなわちその冷却速度が１００℃／ｈｒを越えた場
合は、それらのチタン化合物から々る結晶の（２２０）
面におけるｄ値がＡ、 Ｓ Ｔ Ｍカードの値に対して
±００４であったのに対し、冷却速度：５０−１００℃
／ｈｒによる基体の冷却においては、前記ｄ値が±０．
０３以下であり、このような結果は、この発明によって
得られた被覆層では、従来のものよりも歪の発生が軽微
であることを示している。
以下の温度に保持されていた基体を、１００℃、／ｈｒ
を越える速さで冷却すると、所望のすぐれた密着性を有
する被覆層によってコーティングされた表面被覆ハイス
部材が得られず、一方その冷却速度が５０℃／ｈｒ未満
になると、基体の冷却に時間がかかりすぎ、かつ上記効
果に格別の向上がみられないところから、この発明では
基体の冷却速度を５０〜ｂ この発明において特定した５０〜ｂ いう冷却速度で前記効果が顕著に現われるのは、前記被
覆層の厚みが２〜８μｍの場合であり、また、ハイス基
体上に形成されたＴｉＣおよびＴｉＮ被膜をＸ線回折の
解析によって調査すると、基体の冷却速度が速すぎた場
合、すなわちその冷却速度が１００℃／ｈｒを越えた場
合は、それらのチタン化合物から々る結晶の（２２０）
面におけるｄ値がＡ、 Ｓ Ｔ Ｍカードの値に対して
±００４であったのに対し、冷却速度：５０−１００℃
／ｈｒによる基体の冷却においては、前記ｄ値が±０．
０３以下であり、このような結果は、この発明によって
得られた被覆層では、従来のものよりも歪の発生が軽微
であることを示している。
ついで、この発明を、チタンの炭・窒化物被覆層で被覆
された切削工具の製造を例にあげて、比較例と対比しな
がら説明する。
された切削工具の製造を例にあげて、比較例と対比しな
がら説明する。
実施例１
第１図に示されるような、反応炉ｌ、水冷銅ルツボ４、
放電用電極５、および電熱器８を備えた蒸着装置を利用
し、かつチタン６、反応ガス２、および基体３として、
ｍ３、ＰＡ２０°右１条、進み角２°２３′、Ｄｊｆ３
．５、外径：８０ｍｍＸ長さ：１５０ｕ×内径：３１．
’７５Ｍの形状、寸法を有する５ＫＨ５５製ホブを使用
し、さらに反応条件として、炉内温度：５００℃、炉内
圧カニ’７Ｘ１０ Ｔｏｒｒとなる窒素またはアセチ
レンを使用し、反応ガス流量： ２５０７／ｍｉａおよ
び基体電位ニー１００ボルトを採用して、前記ホブ表面
に第１表に示される厚みのＴｉＮ被覆およびＴｉＣ被膜
をそれぞれ蒸着させた後、５００℃に保持されている基
体が急冷されるのを防ぐため、反応炉］の外部から電熱
器８で熱を供給しながら、第１表に示される冷却速度で
基体を室温（２５℃）まで徐々に冷却することによって
本発明表面被覆ホブ１〜６をそれぞれ製造するとともに
、比較のため、前記５００℃に保持されている基体を放
冷して、それの降温速度を第１表に示されるように増大
させた点だけを変えることによって、比較表面被覆ホブ
１〜６をそれぞれ製造した。
放電用電極５、および電熱器８を備えた蒸着装置を利用
し、かつチタン６、反応ガス２、および基体３として、
ｍ３、ＰＡ２０°右１条、進み角２°２３′、Ｄｊｆ３
．５、外径：８０ｍｍＸ長さ：１５０ｕ×内径：３１．
’７５Ｍの形状、寸法を有する５ＫＨ５５製ホブを使用
し、さらに反応条件として、炉内温度：５００℃、炉内
圧カニ’７Ｘ１０ Ｔｏｒｒとなる窒素またはアセチ
レンを使用し、反応ガス流量： ２５０７／ｍｉａおよ
び基体電位ニー１００ボルトを採用して、前記ホブ表面
に第１表に示される厚みのＴｉＮ被覆およびＴｉＣ被膜
をそれぞれ蒸着させた後、５００℃に保持されている基
体が急冷されるのを防ぐため、反応炉］の外部から電熱
器８で熱を供給しながら、第１表に示される冷却速度で
基体を室温（２５℃）まで徐々に冷却することによって
本発明表面被覆ホブ１〜６をそれぞれ製造するとともに
、比較のため、前記５００℃に保持されている基体を放
冷して、それの降温速度を第１表に示されるように増大
させた点だけを変えることによって、比較表面被覆ホブ
１〜６をそれぞれ製造した。
ついで、これらの表面被覆ホブの耐摩耗性を調べるため
に、 被削材：ＪＴＳ ８０Ｍ３の丸棒、 （硬さ： ＨＲＣ９〜１３） 作製歯車：歯数２１、寸法：外径７０ｍｍＸ厚さ２０Ｂ
×内径３０朋 第１表 切削速度： １６０ ｒ、 ｐ、ｍ、 （４０ｎ／ｍ１
ｕ）、送り：２顧、／’ｗ−ｒｅｖ、、 切削方向：クライムカット、 の条件での断続切削試験を実施し、１２．６ ｍ切削し
た時点におけるホブ表面の三番最大摩耗幅を測定して、
その結果を第１表に示した。
に、 被削材：ＪＴＳ ８０Ｍ３の丸棒、 （硬さ： ＨＲＣ９〜１３） 作製歯車：歯数２１、寸法：外径７０ｍｍＸ厚さ２０Ｂ
×内径３０朋 第１表 切削速度： １６０ ｒ、 ｐ、ｍ、 （４０ｎ／ｍ１
ｕ）、送り：２顧、／’ｗ−ｒｅｖ、、 切削方向：クライムカット、 の条件での断続切削試験を実施し、１２．６ ｍ切削し
た時点におけるホブ表面の三番最大摩耗幅を測定して、
その結果を第１表に示した。
実施例２
鋼種：５ＫＨ２のハイスを焼戻し温度：５６０〜５８０
℃において焼戻すことによって得られた、硬さ： Ｉ−
ＴＲＣ６４を有するハイスから形状： ’Ｔ’ＰＰ３２
２のスローアウェイチップを多数製作し、これらのチッ
プを基体として、実施例１と同様なコーティング条件を
採用し、第２表に示される厚みのＴｉＮ 、 ＴｉＣお
よび’Ｊ：’ｉＣ’Ｎ （ただし、Ｃ／Ｎ比＝４／６、
この場合反応ガスとして、アセチレンと窒素との混合ガ
スを使用）からなる被覆層を前記チップ表面に析出形成
させた後、５００℃に保持されているチップを第２表に
示される冷却速度で冷却することによって、本発明表面
被覆チップ１〜９および比較表面被覆チップ１〜９をそ
れぞれ製菓２表 造した。
℃において焼戻すことによって得られた、硬さ： Ｉ−
ＴＲＣ６４を有するハイスから形状： ’Ｔ’ＰＰ３２
２のスローアウェイチップを多数製作し、これらのチッ
プを基体として、実施例１と同様なコーティング条件を
採用し、第２表に示される厚みのＴｉＮ 、 ＴｉＣお
よび’Ｊ：’ｉＣ’Ｎ （ただし、Ｃ／Ｎ比＝４／６、
この場合反応ガスとして、アセチレンと窒素との混合ガ
スを使用）からなる被覆層を前記チップ表面に析出形成
させた後、５００℃に保持されているチップを第２表に
示される冷却速度で冷却することによって、本発明表面
被覆チップ１〜９および比較表面被覆チップ１〜９をそ
れぞれ製菓２表 造した。
ついでこれらの表面被覆チップの耐摩耗性を調べるため
に下記の条件による切削試験を実施し、ｖＢ摩耗が０．
３ ｍｙｎに達するまでの切削時間を工具寿命として、
その時間を測定し、その結果を第２表に示した。
に下記の条件による切削試験を実施し、ｖＢ摩耗が０．
３ ｍｙｎに達するまでの切削時間を工具寿命として、
その時間を測定し、その結果を第２表に示した。
切削条件
被削材： ＳＮ０Ｍ８、ＨＢ ： ２５０ 。
ホルダ： Ｐ ２２Ｒ−４４、
切削速度： Ｖ＝６０ ｍ／ｍｉａ、ｄ＝１．５Ｍ、ｆ
＝ ０．１ ｍｍ／ ｒｅｖ、。
＝ ０．１ ｍｍ／ ｒｅｖ、。
第１表に示される結果から、材質と厚みが互に同じであ
る本発明表面被覆ホブと比較表面被覆ホブとを比較する
と、１２．６ ｍ切削した時点におけるホブ表面の三番
最大摩耗幅は、本発明表面被覆ホブの方が著しく小さく
、かつ比較表面被覆ホブ３および６ではそれぞれ切削の
途中および切削開始直後で被覆層が剥離したことがわか
り、また第２表に示される結果から、同様に本発明表面
被覆チップと比較表面被覆チップとを比較すると、本発
明表面被覆チップは比較表面被覆チップよりもＴ具寿命
が著しく長く、かつ比較表面被覆チップ６および９では
切削開始直後に被覆層が剥離したことがわかり、実施例
１および２の結果によれば、ホブおよびスローアウェイ
チップのいずれにおいても、この発明によって製造され
たホブおよびチップは著しくすぐれた耐摩耗性をそなえ
ていることがわかる。
る本発明表面被覆ホブと比較表面被覆ホブとを比較する
と、１２．６ ｍ切削した時点におけるホブ表面の三番
最大摩耗幅は、本発明表面被覆ホブの方が著しく小さく
、かつ比較表面被覆ホブ３および６ではそれぞれ切削の
途中および切削開始直後で被覆層が剥離したことがわか
り、また第２表に示される結果から、同様に本発明表面
被覆チップと比較表面被覆チップとを比較すると、本発
明表面被覆チップは比較表面被覆チップよりもＴ具寿命
が著しく長く、かつ比較表面被覆チップ６および９では
切削開始直後に被覆層が剥離したことがわかり、実施例
１および２の結果によれば、ホブおよびスローアウェイ
チップのいずれにおいても、この発明によって製造され
たホブおよびチップは著しくすぐれた耐摩耗性をそなえ
ていることがわかる。
以上述べた説明から明らかなように、この発明によると
、密着性が著しく改善され、したがって耐摩耗性が著し
く向上した切削工具用または耐摩耗工具用表面被覆ハイ
ス部材が得られ、その結果工具寿命の著しく長いこれら
の表面被覆ハイス部材が提供されるという産業上有用々
効果が得られる。
、密着性が著しく改善され、したがって耐摩耗性が著し
く向上した切削工具用または耐摩耗工具用表面被覆ハイ
ス部材が得られ、その結果工具寿命の著しく長いこれら
の表面被覆ハイス部材が提供されるという産業上有用々
効果が得られる。
第１図は本発明方法を遂行する場合に使用される装置の
概要を示す説明図である。図においてｌ・・・反応炉、
２・・・反応ガス、３・・・基体、
４・・・ルツボ、５・・・放電用電極、 ６・
・・金属チタン、７・・・電子ビーム、 ８・・・
電熱器。
概要を示す説明図である。図においてｌ・・・反応炉、
２・・・反応ガス、３・・・基体、
４・・・ルツボ、５・・・放電用電極、 ６・
・・金属チタン、７・・・電子ビーム、 ８・・・
電熱器。
Claims (1)
- 物理蒸着法を利用して、炭化チタン、窒化チタンおよび
炭窒化チタンのうちのいずれか１種または２種以上の被
覆成分を切削工具用または耐摩耗工具用高速度鋼基体に
コーティングすることによつて、前記被覆成分からなる
被覆層が表面に付着している切削工具用または耐摩耗工
具用表面被覆高速度鋼部材を製造する方法において、前
記基体に対する前記被覆層の蒸着が終了した後、前記物
理蒸着法の適用によつて前記高速度鋼焼戻し温度以下の
温度に加熱されていた前記基体を、毎時５０〜１００℃
の冷却速度で室温まで冷却することを特徴とする、前記
切削工具用または耐摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16946286A JPH0680184B2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 切削工具用または耐摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16946286A JPH0680184B2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 切削工具用または耐摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326348A true JPS6326348A (ja) | 1988-02-03 |
| JPH0680184B2 JPH0680184B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=15887020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16946286A Expired - Lifetime JPH0680184B2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 切削工具用または耐摩耗工具用表面被覆高速度鋼部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680184B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119410055A (zh) * | 2025-01-07 | 2025-02-11 | 上海超高环保科技股份有限公司 | 一种耐温耐磨性能增强工艺、超高分子量聚乙烯板及其制备方法 |
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1986
- 1986-07-18 JP JP16946286A patent/JPH0680184B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119410055A (zh) * | 2025-01-07 | 2025-02-11 | 上海超高环保科技股份有限公司 | 一种耐温耐磨性能增强工艺、超高分子量聚乙烯板及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0680184B2 (ja) | 1994-10-12 |
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